| 意味 | 例文 |
MASK patternの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 5189件
The photosensitive film pattern is used as an etching mask to perform etching.例文帳に追加
感光膜パターンをエッチングマスクとしてエッチングを行う。 - 特許庁
HARD MASK PATTERN OF SEMICONDUCTOR ELEMENT, AND METHOD OF FORMING THE SAME例文帳に追加
半導体素子のハードマスクパターン及びその形成方法 - 特許庁
GENERATING METHOD OF MASK PATTERN DATA, MANUFACTURING METHOD OF MASK, MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND PATTERN DATA GENERATING PROGRAM例文帳に追加
マスクパターンデータ生成方法、マスクの製造方法、半導体装置の製造方法及びパターンデータ生成プログラム - 特許庁
Light from the pattern of a mask 3 forms a primary image I of a mask pattern via a first image-forming optical system K1.例文帳に追加
マスク3のパターンからの光が、第1結像光学系K1を介して、マスクパターンの一次像Iを形成する。 - 特許庁
To improve the exposure position accuracy of a mask pattern of a photomask.例文帳に追加
フォトマスクのマスクパターンの露光位置精度を向上する。 - 特許庁
MASK PATTERN CORRECTING METHOD, PHOTOMASK, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM STORED WITH MASK PATTERN CORRECTING PROGRAM例文帳に追加
マスクパターン補正方法、フォトマスク及びマスクパターン補正方法プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - 特許庁
MASK PATTERN WITH HALFTONE PHASE DIFFERENCE AND ITS PRODUCTION例文帳に追加
ハーフトーン位相差マスクのマスクパターン及びその製造方法 - 特許庁
METHOD FOR AUTOMATICALLY MEASURING ROUNDNESS AND MEASUREMENT APPARATUS FOR MASK PATTERN QUALITY例文帳に追加
丸み自動計測方法、マスクパターン品質測定装置 - 特許庁
A photoresist material is developed according to a mask pattern.例文帳に追加
マスク・パターンに従ってフォトレジスト材料が現像される。 - 特許庁
The three-dimensional image on the wafer surface of the mask pattern is obtained.例文帳に追加
マスクパターンの、ウエハ表面における空間像を得る。 - 特許庁
The size of the second mask pattern is reduced by removing a surface part of the second mask pattern by etching.例文帳に追加
第2のマスクパターンの表層部をエッチング除去することにより、第2のマスクパターンの寸法を縮小させる。 - 特許庁
MASK PATTERN VERIFYING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE例文帳に追加
半導体集積回路装置のマスクパターン検証装置 - 特許庁
HALF-TONE TYPE PHASE SHIFT MASK AND HOLE PATTERN FORMING METHOD例文帳に追加
ハーフトーン型位相シフトマスク及びホールパターン形成方法 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING MASK PATTERN, PROGRAM FOR CORRECTING MASK PATTERN, METHOD FOR MANUFACTURING PHOTOMASK, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
マスクパターン補正方法、マスクパターン補正プログラム、フォトマスクの作製方法及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF AND MASK PATTERN例文帳に追加
半導体装置およびその製造方法並びにマスクパターン - 特許庁
PRINTED WIRING BOARD MASK PATTERN ASSEMBLY PICTURE PREPARING DEVICE AND PRINTED WIRING BOARD MASK PATTERN ASSEMBLY PICTURE DISPLAY METHOD例文帳に追加
プリント配線板マスクパターン面付図面作成装置およびプリント配線板マスクパターン面付図面の表示方法 - 特許庁
MASK FOR ELECTRON BEAM EXPOSURE AND METHOD OF DESIGNING PATTERN THEREOF例文帳に追加
電子線露光用マスク及びそのパターン設計方法 - 特許庁
DESIGN METHOD OF MASK PATTERN, PHOTOMASK, AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
マスクパターンの設計方法、フォトマスク及び半導体装置 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING MASK PATTERN, PHOTOMASK AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
マスクパタ−ン補正方法、フォトマスク及び半導体装置 - 特許庁
SEMICONDUCTOR DEVICE, AND MASK PATTERN FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
半導体装置、及び半導体装置製造用マスクパターン - 特許庁
A first photoresist pattern is formed on the hard mask layer.例文帳に追加
ハードマスク層上に第1フォトレジストパターンを形成する。 - 特許庁
In this process, the pattern face 90a of the mask faces upward.例文帳に追加
このとき、マスクのパターン面90aは上向きになる。 - 特許庁
The mask pattern of a phase shift mask has a light shielding pattern and first and second transmitting patterns which transmit exposure light.例文帳に追加
位相シフトマスクのマスクパターンを、遮光パターンと、露光光を透過する第1、第2の透過パターンとから構成する。 - 特許庁
The second region is covered with the mask pattern and the sidewall spacer on the sidewall of the first gate mask pattern is removed.例文帳に追加
第2の領域を、マスクパターンで覆い、第1のゲートマスクパターンの側壁上のサイドウォールスペーサを除去する。 - 特許庁
METHOD FOR INSPECTING PATTERN SHAPE OF TRANSFER MASK FOR ELECTRON BEAM例文帳に追加
電子線用転写マスクのパターン形状の検査方法 - 特許庁
APPARATUS OF FORMING MASK PATTERN, APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING HIGH-RESOLUTION MASK AS WELL AS METHOD OF FORMING RESIST PATTERN例文帳に追加
マスクパターンの作成装置、高解像度マスクの作製装置及び作製方法、並びにレジストパターン形成方法 - 特許庁
Etching is carried out so that the first mask pattern is left in a region where the first pattern and first mask pattern cross each other and the second pattern is left in a region where the first pattern and second pattern cross each other.例文帳に追加
第1のパターンと第1のマスクパターンが交差する領域に第1のマスクパターンが残留し、第1のパターンと第2のパターンが交差する領域に第2のパターンが残留するようにエッチングを行う。 - 特許庁
A pattern facing the pattern of the solder pad is formed in a mask 96.例文帳に追加
マスク96には、半田パッドのパターンと相対するパターンが形成されている。 - 特許庁
To provide a gray tone mask capable of improving a pattern shape and pattern accuracy.例文帳に追加
パターン形状やパターン精度を高めることができるグレートーンマスクを提供する。 - 特許庁
MASK FOR PATTERN TRANSFER, PATTERN TRANSFER METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
パターン転写用マスク、パターン転写方法および半導体装置の製造方法 - 特許庁
AUXILIARY PATTERN FORMING METHOD AND AUTOMATIC FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR MASK LAYOUT PATTERN例文帳に追加
補助パターン生成方法および半導体マスクレイアウトパターンの自動生成方法 - 特許庁
To provide a gray tone mask capable of improving a pattern feature and pattern accuracy.例文帳に追加
パターン形状やパターン精度を高めることができるグレートーンマスクを提供する。 - 特許庁
EXPOSURE MASK, METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN AND METHOD FOR FORMING THIN FILM PATTERN例文帳に追加
露光用マスク、レジストパターンの形成方法および薄膜パターンの形成方法 - 特許庁
COLOR PIXEL ARRAY PATTERN AS WELL AS ELECTRODE PATTERN AND ELECTRODE MASK USING THE SAME例文帳に追加
色画素配列パターン並びに電極パターン及びそれを用いた電極マスク - 特許庁
GRAY TONE MASK BLANK AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, METHOD FOR MANUFACTURING GRAY TONE MASK AND GRAY TONE MASK, AND PATTERN TRANSFER METHOD例文帳に追加
グレートーンマスクブランクとその製造方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 - 特許庁
While the position reference mark 8 is used to detect the position of the mask layer 4, a mask pattern is drawn on the mask layer 4.例文帳に追加
位置基準マーク8をマスク層4の位置検出に用いながら、マスク層4にマスクパターンを描画する。 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING DEFECT IN GRAY TONE MASK, METHOD FOR MANUFACTURING GRAY TONE MASK AND GRAY TONE MASK, AND METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN例文帳に追加
グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING DEFECT IN GRAY TONE MASK, METHOD FOR MANUFACTURING GRAY TONE MASK, GRAY TONE MASK, AND METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN例文帳に追加
グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 - 特許庁
The mask 1 has a first mask layer 13, and a second mask layer 16 having a printing pattern opening corresponding to a printing pattern, laminated together.例文帳に追加
マスク1は、第1のマスク層13と、印刷パターンに対応した印刷パターン開口を有する第2のマスク層16とが積層されている。 - 特許庁
To provide a mask for charged particle exposure in which inner stress generating in a mask pattern formation region can be decreased and a mask pattern can be formed with high accuracy.例文帳に追加
マスクパターン形成領域に生じる内部応力を減少させ、マスクパターンを高精度にできる荷電粒子露光用マスクを提供する。 - 特許庁
In the periphery of a mask pattern 13 or a mask pattern region 14 of the membrane layer 12 which constitutes the mask, a membrane support layer 15 is formed.例文帳に追加
マスクを構成するメンブレン層12のマスクパターン13又はマスクパターン領域14の周辺部に、メンブレン支持層15が形成されて成る。 - 特許庁
With the mask pattern as a mask, ion is injected to a part which is not covered with the mask pattern in the insulating film to damage the insulating film.例文帳に追加
マスクパターンをマスクとして、絶縁膜のうちマスクパターンで覆われていない部分にイオンを注入することにより、絶縁膜にダメージを与える。 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING PATTERN, PATTERN CORRECTING SYSTEM, METHOD FOR MANUFACTURING MASK, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, PATTERN CORRECTING PROGRAM AND DESIGN PATTERN例文帳に追加
パターン補正方法、パターン補正システム、マスク製造方法、半導体装置製造方法、パターン補正プログラム、及び設計パターン - 特許庁
In the method of forming a pattern, a two-layer mask composed of a first mask and a second mask is formed on a film to be worked, and the pattern is formed by etching the film to be worked using the two-layer mask for the mask.例文帳に追加
パターン形成方法において、被加工膜上に、第1のマスクと第2のマスクとからなる2層のマスクを形成し、この2層のマスクをマスクとして被加工膜をエッチングしてパターンを形成する。 - 特許庁
The charged particle beam exposure mask is a mask composed of a mask board and a pattern formed on it with openings, and the beam exposure mask is equipped with pattern regions 23 and 24 which are complementarily divided and a pattern region 22 which is not complementarily divided on the same mask 21.例文帳に追加
マスク基板に開口によってパターンが形成されている荷電粒子線露光用マスクであって、同一マスク21内に相補分割されたパターン領域23,24と相補分割されていないパターン領域22を有する。 - 特許庁
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