| 意味 | 例文 |
fine patternの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2995件
To improve DOF of both a fine dense pattern and an isolated space pattern, while avoiding generation of a side lobe in a photo mask and a pattern formation method with the photo mask.例文帳に追加
フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法において、サイドローブの発生を避けつつ微細な密集パターン及び孤立スペースパターンの両方のDOFを向上する。 - 特許庁
To provide a method of forming a fine pattern, which forms an oxide film on a resist pattern with a uniform film thickness without causing damage of a resist pattern.例文帳に追加
レジストパターンに損傷が生じないように、かつ、均一な膜厚をもってレジストパターン上に酸化膜を形成することが可能な微細パターンの形成方法を提供すること - 特許庁
The resist pattern 6 is removed to form a fine structural pattern 10 in which a precipitated metal film 9 is deposited between the pitches of the resist pattern 6.例文帳に追加
そして、レジストパターン6を除去することにより、析出した金属膜9がレジストパターン6のピッチの挟間に堆積してなる微細構造パターン10を形成する。 - 特許庁
The imprinting mold provides a large-opening recessed pattern to a substrate and provides a fine uneven pattern to the base of the large-opening recessed pattern.例文帳に追加
本発明のインプリントモールドは、基板に、大開口凹パターンが設けられ、前記大開口凹パターンの底面に微細な凹凸パターンが設けられていることを特徴とする。 - 特許庁
To provide a pattern forming method suppressing drawing abnormality of a pattern due to charges and suitable for forming a multi-level fine three-dimensional structural pattern.例文帳に追加
帯電によるパターンの描画異常を抑制し、かつ多段の微細な3次元構造パターンを形成するのに適したパターン形成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a negative resist composition which exhibits good sensitivity and enables formation of a fine pattern of good pattern shape, and a pattern forming method using the negative resist composition.例文帳に追加
感度が良好で、良好なパターン形状の微細パターンを形成可能なネガ型レジスト組成物、該ネガ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法、を提供する。 - 特許庁
To easily and inexpensively create a fine conductor pattern through reduced steps when creating a conductor pattern, and to create an accurate fine conductive pattern by eliminating precision reduction in manufacturing steps.例文帳に追加
導体パターンを作成するにあたり、少ない工程で容易かつ安価に微細導体パターンを作成することを目的とし、また、製造工程での精度低下を無くし精度良い微細導電パターンを作成することを目的とする。 - 特許庁
Since the resin fine particle is composed of the hot-melt resin, the resin fine particle is melted to improve etching resistance of the formed resist pattern by heating the resist pattern after transferring the resist ink pattern to an etching object.例文帳に追加
また、前記樹脂微粒子は熱溶融型樹脂からなるため、レジストインキパターンを被エッチング材上に転写した後に加熱することで前記樹脂微粒子は溶融し、形成されるレジストパターンのエッチング耐性を高めることができる。 - 特許庁
To provide a pattern generating method for a mask phase shifter which enables accurate exposure to a fine pattern while preventing the cost of a mask from increasing.例文帳に追加
マスクのコスト上昇を防止しながら、微細なパターンを正確に露光し得るマスク位相シフタのパターン生成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a wiring circuit board formed by adhering a wiring pattern to have a more fine wiring pattern shape.例文帳に追加
配線パターンを貼り付けて形成される配線基板であって、より微細な配線パターン形状を有する配線基板を提供する。 - 特許庁
To provide a method for forming a conductor pattern capable of easily and securely forming a fine-pitched pattern to a prescribed object.例文帳に追加
所定の対象物に対して、ファインピッチ化されたパターンを容易かつ確実に形成できる導体パターン形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a mask pattern for semiconductor device fabrication and a forming method thereof, and a manufacturing method for a semiconductor device having a fine pattern.例文帳に追加
半導体素子製造用のマスクパターン及びその形成方法と、微細パターンを持つ半導体素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method of drawing resist patterns, where the surface pattern of a large area and a fine line pattern are mixed, and stably in a short time.例文帳に追加
大面積の面パターンと微細な線パターンが混在したレジストパターンを短時間に安定して描画する方法を提供する。 - 特許庁
To provide a device for forming stereoscopic pattern and a method for forming stereoscopic pattern, capable of forming a fine component having a stereoscopic shape such as microlens, without using a special photomask.例文帳に追加
特殊なフォトマスクを使用することなく、マイクロレンズ等の立体形状を有する微小部品を形成できるようにする。 - 特許庁
To provide a resist pattern forming method and a fine structure manufacturing method, in which resist pattern deformation can be suppressed.例文帳に追加
本発明は、レジストパターンの変形を抑制することができるレジストパターンの形成方法および微細構造体の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a formation method of a fine pattern capable of forming a line pattern having a narrower line width than a resolution limit of an exposure device.例文帳に追加
露光装置の解像限界よりも狭い線幅を有するラインパターンを形成可能な微細パターン形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for producing a semiconductor device, by which a fine pattern is formed even without using an assist pattern method or a phase shift mask and defect inspection on a mask is easily performed.例文帳に追加
補助パターン法や位相シフトマスクなどを用いずとも微細パターンの形成が可能で、かつマスクの欠陥検査を容易とする。 - 特許庁
To provide a pattern forming method suitable for the formation of a fine three-dimensional structure pattern including a plurality of level differences.例文帳に追加
複数の段差を備えた微細な3次元構造パターンの形成に好適なパターン形成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a fine pattern that has an excellent pattern accuracy, and also has an excellent adhesion property with respect to a substrate and an excellent mold releasing property.例文帳に追加
パターン精度に優れ、かつ、基板密着性とモールド離型性に優れた微細パターンを製造できる方法を提供する。 - 特許庁
To provide a pattern forming method and a pattern formed body suitable for forming three-dimensional fine structure patterns equipped with plural level differences.例文帳に追加
複数の段差を備えた微細な3次元構造パターンの形成に好適なパターン形成方法及びパターン形成体を提供する。 - 特許庁
The material pattern formation method by an ink-jet method gives a rectangular material pattern with good control performance of fine line width.例文帳に追加
本発明のインクジェット方式による材料パターン形成方法は、微細な線幅制御性の良い矩形な材料パターンが得られる。 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD OF SHEET HAVING FINE UNEVEN PATTERN COMPRISING NUMEROUS-LINE LIKE PATTERN GROUP AND ITS MOLDED ARTICLE, SHEET AND ITS MOLDED ARTICLE例文帳に追加
万線状パターン群でなる微細な凹凸パターンを有するシート及び成形物の製造方法並びそのシート及びその成形物 - 特許庁
The conductive paste 41 can be used, for example, for forming a fine wiring pattern and a wiring pattern for high-speed signaling.例文帳に追加
導電性ペースト41は例えば微細な配線パターンの形成や高速な信号用の配線パターンの形成に用いられることができる。 - 特許庁
To provide a positive resist composition causing little pattern collapse for the formation of a fine pattern and having low dependence on the mask covering rate.例文帳に追加
微細パターンの形成においても、パターン倒れの発生が少ない、マスク被覆率依存性が小さいポジ型レジスト組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a fine pattern forming method of a semiconductor element having a pattern which is free of misalignment and finer than the resolution of exposure equipment.例文帳に追加
整列誤差の発生のない、露光装備の解像度より微細なパターンを有する半導体素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for producing a pattern-formed product by which a highly fine pattern can be easily formed.例文帳に追加
本発明は、高精細なパターンを容易に形成可能なパターン形成体の製造方法を提供することを主目的とするものである。 - 特許庁
To provide a method for forming a pattern suitable for formation of a fine three-dimensional structural pattern having a plurality of level differences.例文帳に追加
複数の段差を備えた微細な3次元構造パターンの形成に好適なパターン形成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a pattern-forming method, which satisfies high sensitivity, high resolution, a good pattern form and a residual film rate in a super-fine processing region.例文帳に追加
超微細領域での高感度、高解像性、良好なパターン形状、残膜率を満足できるパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method of forming an organic semiconductor pattern which allows the formation of a fine pattern without damaging an organic semiconductor layer.例文帳に追加
有機半導体層にダメージを与えることなく微細なパターン形成が可能な有機半導体パターンの形成方法を提供する。 - 特許庁
To obtain a fine pattern having a proper profile, by preventing liquid used in immersion lithography from affecting a resist pattern.例文帳に追加
液浸リソグラフィに用いる液体によるレジスト膜への影響を防止して、良好な形状を有する微細化パターンを得られるようにする。 - 特許庁
To rapidly engrave a fine design pattern on a pattern pressing roll at low cost.例文帳に追加
緻密な意匠パターンを絞押しロール上に迅速にかつ低廉に彫刻することができる絞押しロールの製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a method for forming a resist pattern by which a fine resist pattern with excellent lithography properties can be formed in a double patterning process.例文帳に追加
ダブルパターニングプロセスにおいて、微細なレジストパターンを良好なリソグラフィー特性にて形成できるレジストパターン形成方法の提供。 - 特許庁
To provide a plasma treatment apparatus and a plasma treatment method capable of facilitating the fine processing of a fine pattern for a sample having a large diameter, and capable of improving a selection ratio at the time of the fine processing.例文帳に追加
大口径の試料について微細パターンの精密な加工が容易で、また、微細加工時の選択比も向上させたプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁
To provide a manufacturing method for forming a fine pattern with a pitch not less than a lithography limit.例文帳に追加
リソグラフィー限界以上のピッチを有する微細パターンを形成する製造方法を提供する。 - 特許庁
The resistance value of the metal thin film becomes less than before and a pattern can easily be made fine.例文帳に追加
従来と比べ、金属薄膜の抵抗値が低くなると共に、パターンの微細化が容易となる。 - 特許庁
To provide an alkali-developable photosensitive composition suitable for forming a fine pattern.例文帳に追加
形成パターンの微細化の要請に適合したアルカリ現像可能な感光性組成物を提供する。 - 特許庁
To clearly reproduce a fine circuit pattern without increasing device costs.例文帳に追加
装置コストを上げることなく、微細な回路パターンを鮮明に再現することができるようにすること。 - 特許庁
To form a fine pattern with a high dimensional accuracy by a thick film required to be formed at high temperature.例文帳に追加
高温での成膜が必要な厚い膜で、寸法精度良く微細なパターンを形成する。 - 特許庁
To prevent an increase in electrical resistance and a conduction failure due to disconnection even in a highly fine pattern.例文帳に追加
高度に高精細なパターンでも電気抵抗の増加や断線による導通不良を防止する。 - 特許庁
To record and form an accurate and fine servo pattern on a tape recording medium.例文帳に追加
テープ状記録媒体に対して正確かつ精細なサーボパターンを記録形成できるようにする。 - 特許庁
Wherein, in the extraction step (S24), the size of an extracted fine-graphic pattern is compared with the corresponding predetermined size.例文帳に追加
抽出するステップ(S24)において、微小図形の大きさを所定の大きさと比較する。 - 特許庁
On the surface of the ball 1, a pattern of fine dots in a color different form the base color is formed.例文帳に追加
ボール1の表面に、その地の色と異なる色の微小な斑点の模様が形成される。 - 特許庁
To provide a pattern forming method capable of forming highly visible and fine patterns.例文帳に追加
視認性が高く微細なパターンを形成することができるパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THREE-DIMENSIONAL SHAPE AND DIMENSION OF FINE PATTERN IN SEMICONDUCTOR WAFER例文帳に追加
半導体ウェハの微細パターンの寸法及び3次元形状測定方法とその測定装置 - 特許庁
To provide a technique for detecting the minute open defect or short defect in a fine pattern.例文帳に追加
微細パターン中の微小なオープン欠陥やショート欠陥を検出する手法を提供する。 - 特許庁
To prevent fine blurring of a position of a predetermined object or a pattern detected from an image.例文帳に追加
画像から検出される所定の物体または図柄の位置の微細なブレを防止すること。 - 特許庁
To form a fine pattern having excellent etching resistance with high mass productivity by an imprinting method.例文帳に追加
インプリント法により、エッチング耐性に優れた高精細なパターンを量産性良く形成する。 - 特許庁
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