「gas purge」に関連した英語例文の一覧と使い方(13ページ目) - Weblio英語例文検索

That is, in the first adsorption vessel 23, the discharge of nitrogen gas is continued and, in the second adsorption vessel 24, nitrogen gas produced in the first adsorption vessel 23 via purge pipe paths 38, 40 is supplied.例文帳に追加

すなわち、第１の吸着槽２３では、窒素ガスの取り出しが継続され、第２の吸着槽２４では、パージ管路３８，４０を介して第１の吸着槽２３で生成された窒素ガスが供給される。 - 特許庁

The adsorbed ozone is obtained by desorbing and recovering ozone as a two-component gas of ozone and air under a relatively low-pressure condition by using dry air as a purge gas.例文帳に追加

吸着したオゾンは、相対的低圧条件で乾燥空気をパージガスとしてオゾン、空気２成分ガスとして脱着して回収することにより得られる。 - 特許庁

Purge gas containing a small amount of molecular oxygen is supplied from a gas supplying source 4 into a space 2 receiving the optical element 3 used in a lithographic projection apparatus.例文帳に追加

リソグラフィ投影装置で使う光学要素３が入っているスペース２にガス供給源４から分子酸素を少量含むパージガスを供給する。 - 特許庁

By passing the offgas of the oxidation gas exhausted from the fuel cell 20 through a bypass passage 16, the purge gas not passing through the catalyst 20 is supplied by bypassing the catalyst 20.例文帳に追加

触媒１２を通らないパージガスは、燃料電池２０から排出された酸化ガスのオフガスがバイパス流路１６を通ることにより、触媒１２をバイパスして供給される。 - 特許庁

In the production process of the hydrogen separation apparatus 100, after joining these members in a laminated state, a palladium coating is formed in each flow passage for the purge gas and the hydrogen-containing gas by electroless plating treatment.例文帳に追加

水素分離装置１００の製造過程では、これらの部材を積層状に接合した後に、パージガス流路と水素含有ガス流路内に、無電解メッキ処理によりパラジウム被膜を形成する。 - 特許庁

To provide an apparatus and method for depositing a thin film on a processing target alternately given with source gas compartments and purge gas compartments in a susceptor rotating direction.例文帳に追加

ソースガスコンパートメントおよびパージガスコンパートメントがサセプタのサセプタ回転方向において交互して与えられる処理ターゲット上に薄膜を堆積するための装置および方法を提供する。 - 特許庁

Thereafter, a trace of an oxygen gas is introduced into the chamber having pressure adjusted at atmospheric pressure or slightly higher than the atmospheric pressure by the purge of the nitrogen gas to attain UV cure.例文帳に追加

その後、窒素パージにより大気圧あるいは大気圧より若干陽圧に調整されたチャンバー内に微量な酸素ガスを導入してＵＶキュアを実施する。 - 特許庁

In the dehumidification step, the high purity gaseous nitrogen from which the moisture is removed and a purge gas containing the removed moisture are separated from a 2nd gas after the purification step.例文帳に追加

除湿工程は、精製工程後の第２ガス中から、水分が除去された高純度窒素ガスと除去された水分を含有するパージガスとを分離する。 - 特許庁

This electron beam irradiation device is constituted so that a running belt rail 3 is continuously irradiated with an electron beam and that an inert gas is jetted out to the irradiation part of the electron beam as a purge gas.例文帳に追加

走行する帯材３に対して連続的に電子線を照射するとともに、電子線の照射部に不活性ガスをパージガスとして噴射するように構成された電子線照射置である。 - 特許庁

To provide a heat treatment apparatus 31 hard to be affected by heat convection in a housing and capable of uniformly supplying purge gas and process gas into the housing.例文帳に追加

筐体内での熱対流の影響を受け難く、パージガスや処理ガスを筐体内に均一に供給することができる加熱処理装置を提供すること。 - 特許庁

The hydrogen separation apparatus 100 has a top plate 130, a plate for flow passages of a purge gas, a hydrogen permeable member 150, a plate 160 for flow passages of a hydrogen-containing gas and a reinforcing plate 170.例文帳に追加

水素分離装置１００は、天板１３０、パージガス流路プレート１４０、水素透過性部材１５０、水素含有ガス流路プレート１６０、補強プレート１７０を備えている。 - 特許庁

Blow-by gas sucked from a crankcase 7 of the engine body 5 and purge gas from a canister 32 are force-fed to the intake system 9 by a pump 37.例文帳に追加

エンジン本体５のクランクケース７から吸引したブローバイガスならびにキャニスタ３２からのパージガスが、ポンプ３７で吸気系９に圧送される。 - 特許庁

To remove hydrogen gas in a fuel cell system without applying a purge by inert gas or the like and without spoiling the performance of a fuel cell, when stopping the system.例文帳に追加

燃料電池システムの停止時において、不活性ガスなどによるパージを行わずに、燃料電池の性能を損なうことなく、系内の水素ガスを除去すること。 - 特許庁

A gas containing the high-concentration evaporated fuel and the gas containing the low-concentration evaporated fuel simultaneously flow in the purge port 3 from both sides of the second partition wall 13.例文帳に追加

パージ時には、高濃度の蒸発燃料を含むガスと、低濃度の蒸発燃料を含むガスとが、第２仕切壁１３の両側から同時にパージポート３に流入する。 - 特許庁

Since the upstream side of the valve A2 is constantly filled with the purge gas, no odor gas is leaked or discharge into the atmosphere as it is.例文帳に追加

これによって、バルブA2の上流側が常時パージガスで満たされた状態となっているため、臭気ガスがリークしてそのまま大気中に放出されてしまうことはない。 - 特許庁

To provide a method for stopping a hydrogen production apparatus and a fuel cell system in a safe, economical and easy manner while suppressing catalyst degradation without incorporating a nitrogen gas cylinder, a purge gas mechanism or an automatic opening and closing valve corresponding to negative pressure.例文帳に追加

窒素ガスボンベ、パージガス機構または負圧対応の自動開閉バルブを組み込むことなく、触媒劣化を抑え、安全に経済的にかつ容易に水素製造装置および燃料電池システムを停止する方法を提供する。 - 特許庁

The etching chamber is constituted so as to be moved to an etching station containing a steam or gas phase etching agent source, a purge gas source and/or a vacuum source and to be attached thereto.例文帳に追加

エッチングチャンバは、蒸気又は気相エッチング剤源、パージガス源及び／又は真空源を含むエッチングステーションに移動しそして取り付けることが比較的容易であるように構成される。 - 特許庁

The hydrogen storing means is equipped with a purge gas retention tank 14 in which a gas phase part is connected to the hydrogen supply piping 55 between the reformer 30 and the reformer outlet shutoff valve 5, and stores hydrogen formed by the reformer 30.例文帳に追加

水素貯蔵手段は、改質装置３０と改質装置出口遮断弁５との間で水素供給配管５５に気相が接続されたパージガス滞留タンク１４を備えて、改質装置３０が生成した水素を貯える。 - 特許庁

A separation unit 34 for high concentration to separate treatment gas containing the evaporated fuel at high concentration from purge gas purged from the canister 20 is provided.例文帳に追加

キャニスタ２０からパージされたパージガス中から、高濃度で蒸発燃料を含む処理ガスを分離する高濃度用分離ユニット３４を設ける。 - 特許庁

When leakage positions LP of the purge gas exist in the respective lens-barrels 16, 17, 27 and the gas supply piping, temperature distribution wherein temperature decreases as going away from the leakage positions LP is generated on the outer surfaces of them.例文帳に追加

ここで、各鏡筒１６，１７，２７及び給気配管にパージガスの漏れ箇所ＬＰが存在すると、その外表面上に漏れ箇所ＬＰから遠ざかるに従って低くなるような温度分布が発生する。 - 特許庁

To provide a gas exchange apparatus which can purge a pellicle-reticle space with a low absorbing gas in a short time and can decrease the concentration of a light absorbing substance in the space.例文帳に追加

ペリクル−レチクル間空間に短時間で低吸収性ガスをパージすることができ、この空間内の吸光物質濃度を低くすることができるガス置換装置を提供する。 - 特許庁

The gas supply facility 1 has two refinery towers 3 and 3' arranged in parallel, two pieces of piping 10 and 10', and conducting and interrupting valves 13 and 13' for conducting or interrupting purge gas G.例文帳に追加

ガス供給設備１は、並列に配置された二つの精製塔３、３’と、配管１０、１０’と、パージ用ガスＧを導通あるいは遮断するための継断バルブ１３、１３’と、を有する。 - 特許庁

It is also provided at the furnace inlet flange 4 adjacent to the gas supply tube 7 for supplying purge gas, forming a plasma generating area 26 in the furnace inlet flange.例文帳に追加

このプラズマ生成手段３２は、パージガスを供給するガス供給管７の近傍の炉口フランジ４に設け、炉口フランジ内にプラズマ生成領域２６を形成する。 - 特許庁

A dilution box 8 which dilutes a fuel gas exhausted from a circulation passage 21 with an oxidant gas is placed, and a purge valve 12 is placed between the circulation passage 21 and the dilution box 8.例文帳に追加

循環通路２１から排出された燃料ガスを酸化剤ガスで希釈する希釈ボックス８を設け、循環通路２１と希釈ボックス８の間にパージ弁１２を設ける。 - 特許庁

To provide a vapor growth apparatus which can improve the in-plane uniformity of semiconductor wafer characteristics and the variation of characteristics between semiconductor wafers by suppressing the flow of material gas being disrupted by purge gas.例文帳に追加

パージガスにより原料ガスの流れが乱されるのを抑制して、半導体ウエハ特性の面内均一性及び半導体ウエハ間の特性のばらつきを改善することができる気相成長装置を提供する。 - 特許庁

To purge fuel gas or oxidant gas used for power generation in a solid polymer type fuel cell used in a submersible vehicle, at a low consumption in a short time.例文帳に追加

潜水艇中で使用する固体高分子形燃料電池の発電に使用する燃料ガスもしくは酸化剤ガスのパージを、短時間、且つ消費量を少なく行う。 - 特許庁

Before unacted ClF_3 intrudes into the silicon substrate, etching gas supply is stopped and purge gas is supplied in order to desorb/remove unacted ClF_3 from the surface of the silicon substrate.例文帳に追加

そして未反応のＣｌＦ_3等がシリコン基板内部に侵入する前に、エッチングガスの供給を止め、未反応のＣｌＦ_3等をシリコン基板表面から脱離・除去するためのパージガスの供給を行う。 - 特許庁

Purge gas is sent from the air storage 61 in the cap 48 through the air exhaust pipe 59 and radioactive gas 36 from the failed fuel 3 is measured to specify the failed fuel.例文帳に追加

キャップ48内の空気溜り部61から送気管59を通して検出器46へパージガスを送り、破損燃料棒３からの放射性ガス36を測定し破損燃料を特定する。 - 特許庁

This valve is provided with a disk 2 selecting an open state and an close state by moving in a horizontal direction and a plural purging gas supply tubes 6 supplying purge gas to an upper surface of the disk 2.例文帳に追加

水平方向に移動して弁の開状態と閉状態を切り替えるディスク２と、ディスク２の上面にパージガスを供給する複数のパージガス供給管６を備える。 - 特許庁

The air in the gas meter or the air in the inlet pipe 1 or the outlet pipe 2 is also discharged from the ignition test instrument together with the gas, to thereby perform air purge.例文帳に追加

このガスとともに，ガスメータＭ内の空気や入管１または出管２内の空気も点火試験器具から放出され，空気パージが行われる。 - 特許庁

The purge mechanism 13 of the FOUP 10 introduces inert gas along each surface direction of the plurality of wafers S and exhausts gas in the shell 11.例文帳に追加

ＦＯＵＰ１０のパージ機構１３は、複数のウェハＳの各々の面方向に沿って、不活性ガスを導入し、シェル１１の内部にある気体を排気する。 - 特許庁

The O_2 gas, the Ar gas for purge and that for concentration adjustment are made to flow by respectively prescribed flow rates in advance of raising temperature.例文帳に追加

昇温前にはＯ_２ガスとパージ用および濃度調整用のＡｒガスをそれぞれ所定の流量で流しておき、パージ用のＡｒガスのみストップして昇温を開始し熱処理を行う。 - 特許庁

The gas introduction pipe 71 introduces the purge gas into the space inside the first intake pipe 53 between the throttle valve 91 and the first partition plate 81 of the partition part 80.例文帳に追加

ガス導入管７１は、スロットルバルブ９１と仕切部８０の第１仕切板８１との間において、第１吸気管５３の内側の空間にパージガスを導入する。 - 特許庁

In the cycle purge process, the parts of a gas supply system 35 and residual moisture inside piping are removed, and the chemical reaction of digital cellular system(DCS) gas and furnace throat part metal part 41 which increase corrosiveness at reaction with moisture.例文帳に追加

サイクルパージ工程では、ガス供給系３５の部品及び配管内部の残留水分を除去し、水分との反応で腐食性を増すＤＣＳガスと炉口部金属部品４１との化学反応を抑制する。 - 特許庁

To provide a ALD processing kit and chamber components that is used for reforming a conventional chamber, can rapidly purge processing gas, and gives better gas, temperature, and pressure uniformity over the whole substrate.例文帳に追加

慣用のチャンバの改造に使用可能で、処理ガスの迅速なパージも可能としつつ、基板全体に亘ってより良好なガス、温度及び圧力均一性を付与するＡＬＤ処理キット及びチャンバ構成部品を提供する。 - 特許庁

To provide a means which facilitates the purge of gas generated from an electrode of an intrinsic polymer battery during initial charge and discharge to the outside, prevents various problems caused by the generation of gas from occurring, and improves the durability of the battery.例文帳に追加

真性ポリマー電池用電極において、初回充放電時に発生したガスを外部に抜けやすくしてガス発生に起因する種々の問題の発生を防止し、電池の耐久性を向上させうる手段を提供する。 - 特許庁

At the time of supply of the treatment liquid to the substrate, the rinsing liquid L in the nozzle cover 2 is discharged from a gas introducing pipe 31 to purge the interior of the nozzle cover 2 by nitrogen gas to transfer to the resist supply operation to the substrate.例文帳に追加

基板に対する処理液の供給時にはガス導入管３１からノズルカバー２内のリンス液Ｌを排出してノズルカバー２内を窒素ガスによってパージして基板に対するレジスト供給動作に移行する。 - 特許庁

To prolong the lifetime of a pellicle film while suppressing the absorption of exposing light by active gas by limiting the number of molecules in an active purge gas filling a space touching the pellicle film and keeping its concentration at a high level.例文帳に追加

ペリクル膜に接する空間に充填されるパージガスの活性ガスの分子の数を抑え、かつ、この濃度を高く保つことにより、活性ガスによる露光光の吸収を抑えつつ、ペリクル膜の延命化を図る。 - 特許庁

After the anode pressure is made at the negative pressure, a pressure control valve 6 and the cut-off valve 10 are opened and the purge valve 11 is closed, and hydrogen gas is supplied to the anode 4 and the fuel gas circulation is started.例文帳に追加

アノード圧力を負圧にした後に、圧力調整弁６及び遮断弁１０を開くとともに、パージ弁１１を閉じて、アノード４へ水素ガス供給を開始すると共に、燃料ガス循環を開始する。 - 特許庁

When conducting the leak test, only gas in the low pressure conduit is used to conduct the leak test in the gas supply inner pipe, and air purge work after the leak test is not required.例文帳に追加

漏洩試験の際には、低圧導管内のガスのみを用いてガス供内管における漏洩試験を行い、漏洩試験後のエアーパージ作業を不要にしている。 - 特許庁

By the above, the fuel cell plant can respond to a frequent start and stop, and the fuel electrode is prevented from oxidation since the exhaust gas for warming-up also serves as purge gas.例文帳に追加

これにより、頻繁な起動停止にも迅速に対応でき、暖機のための排ガスはパージガスの役目をするので燃料極の酸化が防止される。 - 特許庁

The boundary between a reactive gas stream lining vane 5 and a purge gas stream lining vane 7 is arranged inside the substrate mount surface 10a of a susceptor 10 when viewed from a direction where a center axis C is extended in a CVD device 1.例文帳に追加

ＣＶＤ装置１において、中心軸Ｃが延びる方向から見て、反応性ガス整流板５とパージガス整流板７との境界を、サセプタ１０の基板搭載面１０ａの内部に配置する。 - 特許庁

The nitrogen gas 62 is filled in the closure storage chamber 61 of the chamber 60 in opening of the pod to purge the air and moisture of the closer storage chamber 61, a wafer storage chamber 10c of the pod 10 by the nitrogen gas 62.例文帳に追加

ポッドの開放時に窒素ガス６２をチャンバ６０のクロージャ収容室６１に充填し、クロージャ収容室６１、ポッド１０のウエハ収納室１０ｃの空気や水分を窒素ガス６２によってパージする。 - 特許庁

When the leak of the purge valve 16 is detected, stop of supply of the gas for dilution to the dilution device 28 with the diluting gas supply means 22 is prohibited.例文帳に追加

パージ弁１６の漏れが検知されたときには、希釈用ガス供給手段２２による希釈器２８への希釈用ガスの供給の停止を禁止する。 - 特許庁

The shaft seal means 5 supplies a purge gas 11 at a pressure lower than the pressure (pressure of liquefied gas 16) in a pump casing 2, to a purging chamber 10 formed between non- contact-type mechanical seals 8 and 9.例文帳に追加

軸封手段５は、非接触形メカニカルシール８，９間に形成されるパージ室１０に、ポンプケーシング２内の圧力（液化ガス１６の圧力）より低圧のパージガス１１を供給させるものである。 - 特許庁