「gas purge」に関連した英語例文の一覧と使い方(20ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a thermal desorption type oxygen concentrating apparatus capable of reducing an energy consumption by utilizing the exhaust heat of the exhaust gas discharged from a burning appliance for heating a temperature raising purge fluid to be used for desorbing the oxygen, which is adsorbed selectively on an adsorbent from air, from the adsorbent.例文帳に追加

空気から選択吸着した酸素を吸着剤から脱着する昇温パージ流体の加熱に、燃焼機器からの燃焼排ガスの排熱を利用するようにして、消費エネルギーの低減を図った熱脱着式酸素濃縮装置を提供する。 - 特許庁

A throat exhaust pipe 15, which forms a throat exhaust system that evacuates the throat space 21 independently of the substrate processing space 20, is mounted on the throat flange 7, a purge gas is supplied to the throat space 21 while the throat space 21 is evacuated so that the contaminants are exhausted from the throat space 21.例文帳に追加

基板処理空間２０とは独立に炉口部側空間２１を排気する炉口排気系を構成する炉口排気管１５を炉口フランジ７に設けて、炉口部空間２１にパージガスを供給しつつ排気して汚染物質を炉口部側空間２１から除去する。 - 特許庁

To solve the following problems:a fuel evaporative gas cannot be sufficiently purged by purge control due to a reduction in the amount of fuel required for operation of an engine 10 in low-load operation, and an allowable lower limit value of power-on time of a fuel injection valve 24.例文帳に追加

エンジン１０が低負荷状態で運転される場合にエンジン１０の運転に要求される燃料量が少なくなることと、燃料噴射弁２４の通電時間の許容下限値が存在することとに起因して、パージ制御によって燃料蒸発ガスのパージを十分に行うことができなくなること。 - 特許庁

An actual flow rate is determined from detected values by pressure sensors 271, 274 provided on an original supply route 270 and a purge gas supply route 272, and the opening of a flow control valve 275 is controlled so that the actual flow rate becomes the initial flow rate target value.例文帳に追加

そして、元供給路２７０とパージガス供給路２７２とに設けた圧力センサ２７１、２７４の検出値から実流量を求め、実流量が初期流量目標値になるように流量調節弁２７５の開度を制御する。 - 特許庁

To provide a feedback control system for the air/fuel ratio of an internal combustion engine having a cam phase variable mechanism, capable of learning an optimum air/fuel ratio, corresponding to the purge amount of a fuel gas from a canister and thereafter suitably controlling the ratio.例文帳に追加

カム位相可変機構付き内燃機関の空燃比を制御する場合に、キャニスタからの燃料ガスのパージ量に見合った最適な空燃比を学習し、学習終了後に好適な空燃比制御をすることができる空燃比フィードバック制御システムを提供すること。 - 特許庁

To provide a fuel battery power generating facility which can hold a reductive atmosphere in each catalytic reactor without the necessity of a purge gas, which prevents the catalyst from being reacted by oxidation and which can suppress its deterioration and temperature rise and which can easily control and to provide a method for stopping its operation.例文帳に追加

パージガスを必要とせずに各触媒反応器内を還元雰囲気に保持でき、触媒の酸化反応を防止してその劣化と高温化を抑制でき、かつ制御が容易である燃料電池発電設備とその運転停止方法を提供する。 - 特許庁

The flow rate of the counter purge gas is changed at the switching of gaseous species, thus preventing infiltration of particle generated inside the treatment chamber 1 into a rotation mechanism part, a heater part, or the like, and generation of abnormalities in the vapor growth apparatus 40 due to particles.例文帳に追加

カウンタパージガスはガス種切り替え時に流量が変更され、処理チャンバ１内部に発生するパーティクルの回転機構部やヒータ部などへの侵入、或いはパーティクルによる気相成長装置４０の異常発生を防止する働きをする。 - 特許庁

The second purge mechanism 7 is formed of an annular passage 7b communicating with a purging gas supply port 7a attached to a lower part of the valve casing 1 and peripherally arranged on an inclined face 1a of the valve casing 1, and a purging slit 7c formed to be opened in parallel along the inclined face 1a.例文帳に追加

第２パージ機構７は、弁箱１の下位に付設されたパージ用気体供給口７ａと連通し同弁箱１の傾斜面１ａに周設された環状通路７ｂと、傾斜面１ａに沿って平行に開放されるべく形成されたパージ用スリット７ｃとで構成する。 - 特許庁

The plasma-enhanced pilot (50) includes a swirler mechanism (20) and is configured to be inserted into an existing blank (purge air) or a liquid fuel (dual fuel) cartridge space (62) within the centerbody of a lean, premixed land-based gas turbine combustor fuel nozzle (70).例文帳に追加

本プラズマ強化パイロット装置（５０）は、スワーラ機構（２０）を含み、希薄予混合式地上設置型ガスタービン燃焼器燃料ノズル（７０）の中央本体内の現存のブランク（パージ空気）又は液体燃料（二元燃料）カートリッジ空間（６２）内に挿入されるように構成される。 - 特許庁

To provide a method for producing hydrogen capable of effectively performing an air purge type DSS (Daily Start and Stop) operation having predominance in the aspect of efficiency, in the aspect of equipment, e.g., that inert gas is not required and in the aspect of control, e.g., that temperature control is facilitated, and particularly suitable for producing hydrogen for a fuel battery.例文帳に追加

特に燃料電池用水素の製造に好適な効率面、不活性ガスが不要であるなどの設備面および温度管理が容易であるなどの制御面で優位性のある空気パージ式ＤＳＳ運転を効果的に行うことのできる、水素の製造方法を提供する。 - 特許庁

The unreformed fuel is directly supplied to the fuel cell electrode side when power generation is continued, and, while the power generation is stopped or the temperature of the fuel cell stack is decreased , the supply flow path is switched to supply unreformed fuel and air to the fuel cell electrode side as purge gas in the operation method of the fuel cell power generation system.例文帳に追加

発電継続時に未改質燃料を燃料極側に直接供給し、発電停止時又は燃料電池スタック温度低下時に供給流路を切換え、未改質燃料及び空気をパージガスとして燃料極側に供給する燃料電池発電システムの運転方法である。 - 特許庁

To provide epitaxial growth apparatus in which flow of purge gas to be flown into a communication channel is controlled, deposition of bi-products on an upper wall face of the communication channel is suppressed, and amount of generation of particles on a semiconductor wafer is reduced, and consequently amount of generation of LPD is reduced.例文帳に追加

連通路に流すパージガスの流れを制御し、連通路の上壁面に堆積する副生成物を抑制し、半導体ウェーハ上のパーティクルの発生量を低減してＬＰＤの発生量を低減可能なエピタキシャル成長装置を提供する。 - 特許庁

This invention is applied to a boiler 2 configured to sequentially performing pre-purge to ventilate the interior of a can body and a gas duct, pre-ignition from starting of a spark generator 6 to the supply of fuel to a burner 3, and a firing try from the supply of fuel to the burner 3 until the spark generator 6 is stopped.例文帳に追加

缶体内および煙道内の換気を図るプレパージ、スパーク発生装置６の起動からバーナ３へ燃料供給するまでのプレイグニッション、およびバーナ３へ燃料供給してからスパーク発生装置６を停止するまでの着火トライを順次に実行するボイラ２に適用される。 - 特許庁

A loading control device 4 collates the kind of the oil to be loaded this time with the kind of the oil loaded previously, and implements the gas purge if the oil kind is different when a tank lorry 5B of the bottom loading system loads the oil at the top loading station 7A.例文帳に追加

出荷制御装置４は、ボトムローディング方式のタンクローリ車５Ｂがトップローディング積場７Ａで積込みを行なうときは、今回の積込油種と前回の積込油種とを照合して油種が異なる場合にはガスパージを行なう。 - 特許庁

An air purge to feed air to an internal space 13 is provided on a laser beam oscillator 1 of a laser beam machine in order to prevent the assist gas from entering the internal space 13 from an output mirror 5 of the laser beam oscillator 1 to a laser beam outlet 1A.例文帳に追加

レーザ加工機のレーザ発振器１において、レーザ発振器１の出力ミラー５からレーザ光出口１Ａまでの内部空間１３にアシストガスが入り込むことを防止するために、内部空間１３に空気を供給するエアーパージを備えた。 - 特許庁

When the signals S1, S2 of the sensors 34, 36 are inverted during the normal exhaust control, the exhaust gas is circulated to the adsorbent 24 for performing a purge control in which the unremoved components separated from the adsorbent 24 is removed by the catalyst 32.例文帳に追加

通常排気制御中において、センサ３４，３６の信号Ｓ1，Ｓ2が信号反転状態となったときには、排気ガスを吸着材２４に流通させ、吸着材２４から脱離した未浄化成分を触媒３２によって浄化するパージ制御を行う。 - 特許庁

To provide a carbon-dioxide removing apparatus of a pressure-swing adsorption type which is suitably used for removing carbon-dioxide contained in a purge gas which is passed in a light passage connecting a laser oscillation part and a laser irradiation part in a laser beam machine.例文帳に追加

レーザ加工装置におけるレーザ発振部とレーザ照射部とを結ぶ光路に流されるパージガスに含有される二酸化炭素を除去するのに好適に用いることのできる圧力変動吸着式の二酸化炭素除去装置を提供する。 - 特許庁

A control unit of internal combustion engine (1) is provided with a balance tube (12) that causes a purge gas to inflow so as to complement flow rate difference between respective cylinders of intake air that inflows into a plurality of cylinders (31 to 36) through throttles (61 to 66).例文帳に追加

内燃機関の制御装置は、スロットル（６１〜６６）を経由して複数の気筒（３１〜３６）へ流入する吸入空気の、各気筒間での流量差を補完するように、パージガスを流入させるバランスチューブ（１２）を備える内燃機関（１）の制御装置である。 - 特許庁

To obtain an air intake device for an internal combustion engine which can equally allocate PCV and a purge gas into each port in an intake manifold, dispenses with the distance for mixing and also can shorten the distance between a throttle and an air connector.例文帳に追加

本発明は、内燃機関の吸気装置に関し、ＰＣＶやパージガスをインテークマニホールド内の各ポートに均等に配分でき、混合するための距離を不要とし、スロットルからエアコネクタ間の距離を短縮可能とした内燃機関の吸気装置を実現することを目的とする。 - 特許庁

When the output voltage of a fuel cell stack 3 detected by a voltage detection means 36 drops below a boundary value, a system controller 37 controls so as to heat combustion catalyst of the burner 7 by carrying a current to the heater 41 before the anode off-gas is discharged from a purge valve 27.例文帳に追加

電圧検知手段３６が検出した燃料電池スタック３の出力電圧が境界値より低下したとき、アノードオフガスをパージ弁２７から排出するのに先だって、ヒータ４１に通電して燃焼器７の燃焼触媒を加熱するようにシステムコントローラ３７が制御する。 - 特許庁

When a welded part is viewed, cooling water 6 indirectly cools the inside of the holder 1 and blowing the purge gas 16 into the holder 1 directly cools the CCD camera 2 and the optical components 3, 4, respectively.例文帳に追加

溶接部の観察を行う場合には、冷却水６によるホルダ１内部の間接冷却を行わせると共に、パージガス１６をホルダ１内に吹き込んで、ＣＣＤカメラ２と光学部品３，４をそれぞれ直接的に冷却させるようにする。 - 特許庁

According to this method, an unstable material such as ozone or the like is not used whereby an excessive work such as the preparation of the purge gas is not required and the optical element can be cleaned simultaneously with the exposure of the substrate, thereby not requesting the optical element removed from the lithographic apparatus.例文帳に追加

この方法は、オゾンのような不安定な材料を使わないのでパージガス準備の余分な作業がなく、基板の露出と同時に光学要素をクリーニングでき、従って光学要素をリソグラフィ装置から取外す必要もない。 - 特許庁

The controller 26 performs anode purging to open and close the purging open/close valve 24 while the open/close valve 25 is closed, and opens the open/close valve 25 to discharge the anode purge gas from the temporary storage section 22a to the exhaust pipe 20 before the next anode purging comes.例文帳に追加

制御装置２６は開閉弁２５を閉じた状態でパージ用開閉弁２４を開閉するアノードパージを行った後、次のアノードパージまでの間に、開閉弁２５を開放して一時貯留部２２ａに貯留されたアノードパージガスを排気管２０へ排出するように制御する。 - 特許庁

A blade member 25 which forms an oblique state is provided to project toward an interval (gap) L1 between outer peripheral edges of the lenses 18 on the inner wall surface of the frame 23, and a purge gas G flowing in the lens barrel 17 is guided to a narrow space S between the lenses.例文帳に追加

枠体２３の内壁面には、斜状をなす羽根部材２５が各レンズ１８の外周縁部間の間隔（隙間）Ｌ１に向けて突出するように設けられ、鏡筒１７内を流れるパージガスＧを各レンズ間の狭空間Ｓに導くようになっている。 - 特許庁

To provide a purge device of a fuel cell even in a situation that energy supply from outside is difficult (for example, electric service interruption) wherein combustible gas in a fuel cell system can be purged surely without necessitating the use of an equipment (for example, high pressure bomb) wherein a work by specialty engineer(s) is necessary.例文帳に追加

専門技術者による作業が必要な機器（例えば高圧ボンベ）の使用を必要とせず、外部からのエネルギ供給が困難な状況（例えば停電等）でも燃料電池システム内の可燃ガスを確実にパージすることが出来る燃料電池のパージ装置の提供。 - 特許庁

To provide a dust meter for preventing the operation failure of a shutter and the contamination of an optical component, such as a light transmission/reception unit, even if exhaust gas in a flue condenses moisture to become liquid, when a fail-safe shutter mechanism is operated by the stop of purge air and a pressure decrease.例文帳に追加

パージエアの停止や圧力低下によりフェールセーフシャッタ機構が動作したとき、煙道内の排ガスが結露して液体となっても、シャッタの動作不良や投受光ユニット等の光学部品の汚染を生じることのないダスト計を提供する。 - 特許庁

This vacuum exhaust device 10 having a vacuum generation part 15 in a flow passage 23 for purge gas and capable of evacuating from a pipe 16 connected to the vacuum generation part 15 has a body 11, a check valve 12, a shutting-off valve 13, and a nozzle 14 for evacuation.例文帳に追加

パージガスの流路２３に真空発生部１５を有し、前記真空発生部１５に接続された接続配管１６から真空排気可能な真空排気装置１０であって、ボデー１１と、逆止弁１２と、遮断弁１３と、真空排気用ノズル１４とを有する。 - 特許庁

The thin film is coated on the inside of the reaction furnace 1 accommodating no wafer 10 through the heat CVD method by supplying the film forming gas under a condition that the inside pressure of the furnace is lowered than that in the purge process.例文帳に追加

更にパージ後にウェーハ１０を収容しない状態の反応炉１内に、炉内圧力を前記パージ工程における炉内圧力よりも低くした状態で成膜ガスを供給して熱ＣＶＤ法により反応炉１内に薄膜をコーティングする。 - 特許庁

The feeding place of a gaseous starting material charged inside the first buffer chamber 50 is switched to the second buffer chambers 56a and 56b or the third buffer chamber 60 by purge gas introduced into block points 80a, 80b, 82a, 82b, 84a and 84b.例文帳に追加

第１のバッファ室５０に入った原料ガスは、ブロックポイント８０ａ，８０ｂ、８２ａ，８２ｂ、８４ａ，８４ｂに導入されるパージガスにより、供給先が第２のバッファ室５６ａ，５６ｂ又は第３のバッファ室６０へ切り替えられる。 - 特許庁

After filling the content in the container, the cap is moved to oppose to the spout part, both the cap and the spout part are covered with a hood 30, and nitrogen gas is blown into the hood for a period of time from the opposing of the cap to the spout until the covering is completed to purge air inside the hood, inside the head space and inside the cap.例文帳に追加

容器内に内容物を充填した後に、キャップを口部に対峙させて、キャップと口部の双方をフード３０で覆い、キャップを口部に対峙させた時から被せ終わるまで窒素ガスをフード内に吹き込んでフード内、ヘッドスペース内及びキャップ内から空気を排除する。 - 特許庁

This method of manufacturing a semiconductor device includes processes of: supplying a hydrogen chloride gas into a reaction chamber simultaneously with supply at least a B source out of a material gas including the B source containing Cl and a Si source containing H when growing a polysilicon film doped with B on a semiconductor substrate by supplying the material gas into the reaction chamber; and supplying a purge gas into the reaction chamber to discharge the material gas and the hydrogen chloride gas.例文帳に追加

Ｃｌを含むＢ源と、Ｈを含むＳｉ源を有する原料ガスを反応室内に供給して、半導体基板上にＢがドープされたポリシリコン膜を成長させる際に、前記原料ガスのうち、少なくともＢ源の供給と同時に塩化水素ガスを前記反応室内に供給する工程と、パージガスを前記反応室内に供給して、前記原料ガス及び前記塩化水素ガスを排出する工程と、を具備してなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 特許庁

The gas fuel control valve includes a second trip device 115 for moving the gas fuel control valve to a safe position during a purge air operation.例文帳に追加

燃料制御アセンブリは、トリップ流体システム（１０２）からの流体圧力を選択的に放出するように構成された第１のトリップ装置（１０６）と、第１のトリップ装置に結合した１以上のガス燃料制御バルブ（１００、３０２）とを含み、該ガス燃料制御バルブは、パージ空気作動中にガス燃料制御バルブを安全位置まで移動可能にする第２のトリップ装置（１１５）を含む - 特許庁

The char-pulling out and cooling down apparatus 1 introduces the char 8 from the hydrogenating gasification furnace 10 and a fluidizing gas 6 simultaneously, fluidizes the char 8 with the fluidizing gas 6 to form a fluidized bed 5 and has a fluidized bed cooler 2 composed to cool and purge the char 8 from the upper part of the fluidized bed 5 to the outside.例文帳に追加

チャー抜き出し冷却装置１は，水添ガス化炉１０からチャー８を導入すると共に流動化ガス６を導入し，流動化ガス６によりチャー８を流動化させて流動層５を形成し，流動層５においてチャー８を冷却して流動層５上部から外部へ排出するよう構成された流動層冷却器２を有している。 - 特許庁

This fuel cell system 1 is equipped with the fuel cell 13 to generate power by reaction of hydrogen gas and oxygen in the air, a compressor 12 to scavenge the anode pole inside by air, a passage for scavenging 23, a switching valve 15, and a purge valve 16 to discharge remaining gas in the anode pole when starting the fuel cell 13.例文帳に追加

燃料電池システム１は、水素ガスと空気中の酸素との反応により発電する燃料電池１３と、アノード極内を空気により掃気するためのコンプレッサ１２、掃気用流路２３、切替弁１５およびパージ弁１６と、燃料電池１３の起動時にアノード極内の残ガスを排出するためのパージ弁１６とを備えている。 - 特許庁

In the optical unit connected by a flexible member, the inside and the outside of the member are made into individual sealed spaces and a pressure of the purge gas with which the inside is filled, and an external gas pressure are controlled to be equal, so that the position of the optical unit is prevented from being deviated by expanding the flexible member with a pressure difference.例文帳に追加

伸縮性を有する部材で連結された光学ユニットにおいて、前記部材の内部と外部を個別の密閉空間とし、内部に充填したパージガスの圧力と外部のガス圧とを等しい状態に制御することによって、前記伸縮性部品が圧力差による膨張を発生させて、光学ユニットに位置ずれを発生させることを防止する。 - 特許庁

Thus, the first space cannot be a completely sealed space and is communicated with the outside through a prescribed clearance, but since a second space 183 in an almost airtight state inside which the purge gas is supplied is present surrounding the clearance, intrusion of an impurity-containing gas from the outside to the first space is prevented without surrounding an entire reticle stage device 20 by an exclusive large-sized shield container.例文帳に追加

このため、第１空間は完全な密閉空間とは成り得ず、所定のクリアランスを介して外部と連通しているが、その隙間を囲んで、その内部にパージガスが供給されるほぼ気密状態の第２空間１８３が存在するので、レチクルステージ装置２０の全体を専用の大型の遮蔽容器で取り囲むことなく、外部から、第１空間に不純物を含むガスが侵入することが防止される。 - 特許庁

A pump flow rate calculation part 50, a purge parameter calculation part 46, a target air flow rate calculation part 34 and a target air pressure calculation part 36 calculate control parameters according to the set mode to control the supply gas supplied to the fuel cell stack 12 as well as to control the exhaust gas discharged from the fuel cell stack 12.例文帳に追加

ポンプ流量算出部５０、パージパラメータ算出部４６、目標エア流量算出部３４および目標エア圧力算出部３６は、設定されたモードに従って制御パラメータを算出し、燃料電池スタック１２に供給する供給ガスの制御を行うとともに、燃料電池スタック１２から排出される排気ガスの制御を行う。 - 特許庁

To provide a purge valve and a stocker that can decrease a loss of a clean gas at the utmost that is sent to each storage chamber for keeping the cleanness of a stocker's respective chambers and decrease storage costs as well for semiconductor wafers and the like, and can also prevent a nitrogen gas leaking or flowing into a clean room.例文帳に追加

保管装置の各保管室のクリーン度を維持するために必要な各保管室へ流すクリーンガスのロスを極力低減させることにより半導体ウエハー等の保管コストをも低減し、またクリーンルーム内への窒素ガスの漏れ流入も極力抑えることができるパージバルブおよび保管装置をを提供する。 - 特許庁

When the ratio of oxidative gas flow rate flowing to the downstream side of the bypass valve through the bypass passage from the connection part to the oxidative gas flow rate flowing from the connection part of the supply passage and the bypass passage to the fuel cell is defined as a bypass ratio, the control device controls so that the bypass ratio is increased on the way to execution of purge treatment.例文帳に追加

供給路とパイパス路との接続部から燃料電池に流れる酸化ガス流量に対する、接続部からバイパス路を通ってバイパス弁の下流へと流れる酸化ガス流量の割合を、分流比として定義したとき、制御装置は、掃気処理の実行途中で分流比が大きくなるように制御する。 - 特許庁

In a cleaning step using dichloroethylene and oxygen, before the measurement of the metal contaminant substrate measuring device 30 is executed, the crystal oscillator 32 is maintained at 100°C or more, and nitrogen gas is supplied from a purge gas feeding pipe 40, and the peripheral atmosphere of the crystal oscillator 32 is purged so that it is possible to properly measure the quantity of chlorides while preventing any adverse influence due to moisture.例文帳に追加

ジクロロエチレンと酸素を使用したクリーニングステップに際し、金属汚染物質計測装置３０の計測を実施する前に、水晶振動子３２を１００℃以上に維持しつつ、パージガス供給管４０から窒素ガスを供給して水晶振動子３２の周囲の雰囲気をパージすることにより、水分による悪影響を防止しつつ塩化物の量を適正に計測する。 - 特許庁

The purge gas flowing from the flow-in hole 28 into the measuring chamber 30 is prevented from intruding directly into the measuring area 31 by a shielding wall 40 provided on a flow-in-directional extension line, and the ultrasonic wave is hardly attenuated in the measuring area 31 to measure thereby accurately the gas concentration.例文帳に追加

流入孔２８より測定室３０に流入したパージガスは、その流入方向の延長上に設けられた遮断壁４０によって直接、測定領域３１内に侵入することが防止されており、測定領域３１における超音波の減衰が発生しにくく、正確なガス濃度の測定を行うことができる。 - 特許庁

While there are formed on the pressing member 8 an annular distribution chamber 13 and an inlet 14 for introducing a purging gas into the distribution chamber 13 from one place around its periphery, there are formed two or more nozzle holes 15 for spouting the purge gas from the distribution chamber 13 to a clearance gap between the pressing member 8 and the rotary shaft 6 by having an clearance in a circumferential direction.例文帳に追加

押え部材８に、環状の分布室１３と、分布室１３に周囲１個所からパージガスを導入する導入口１４とが形成されると共に、押え部材８と回転軸６との間の隙間に分布室１３からのパージガスを噴出するノズル孔１５が周方向の間隔を存して複数形成される。 - 特許庁

When the fuel cell automobile enters a closed place such as a tunnel, the fuel gas (hydrogen gas) purge control, which maintains the generation performance of the fuel cell, is controlled so that the hydrogen concentration in the closed space may become smaller than the reference value, in accordance with the form of the closed space and the driving condition of the vehicle, while detecting the form of the closed space.例文帳に追加

燃料電池自動車がトンネル等の閉所に進入したとき、該閉所空間の形態を検出しつつ該空間形態と車両運行状態に応じて、燃料電池の発電性能を維持するための燃料ガス（水素ガス）パージ制御を、該閉所空間内の水素ガス濃度が基準値以下となるように制御する。 - 特許庁

In this anode reduction method of the solid oxide fuel cell, a purge gas is sent to the fuel passage side of the anode of the solid oxide fuel cell, a reverse current is sent to the solid oxide fuel cell while sending an oxidizer gas to the oxidizer passage side of a cathode, and thereby the oxide of a catalyst metal in the anode is electrochemically reduced.例文帳に追加

固体酸化物形燃料電池のアノード還元法であって、固体酸化物形燃料電池のアノードの燃料流路側にパージガスを流し、カソードの酸化剤流路側に酸化剤ガスを流しながら、固体酸化物形燃料電池に逆電流を流すことにより、アノード中の触媒金属の酸化物を電気化学的に還元することを特徴とする固体酸化物形燃料電池のアノード還元法。 - 特許庁

Two evacuation passages 30 and 40 of different evacuation capacity are formed in the film deposition chamber 10, and evacuation valves 32 and 42 are switched so that the evacuation is performed by the evacuation passage 30 having a pump 31 of smaller evacuation capacity when the raw gas is fed, and the evacuation is performed by the evacuation paces 40 having a pump 41 of larger evacuation capacity when the purge gas is fed.例文帳に追加

成膜室１０に対して排気能力の異なる２個の排気通路３０、４０を設け、原料ガス供給時には、排気能力の小さいポンプ３１を有する排気通路３０にて排気を行い、パージガス供給時には、排気能力の大きいポンプ４１を有する排気通路４０にて排気を行うように、各排気バルブ３２、４２を切り替える。 - 特許庁