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interlayer insulationの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1025件
An interlayer insulation film is formed, while it is divided into two layers, a first interlayer insulation film on a substrate is made thin, a first contact hole is formed on the first interlayer insulation film, and a barrier metal layer is formed on the inner surface.例文帳に追加
層間絶縁膜を2層分けて形成させ、基板上の第1層間絶縁膜を薄くし、その第1層間絶縁膜に第1コンタクトホールを形成させて、その内面にバリア金属層を形成させる。 - 特許庁
To provide a method for forming an interlayer insulation film in which a general-purpose developer can be used and a photosensitive resin composition for the interlayer insulation film.例文帳に追加
汎用の現像液を使用可能な層間絶縁膜を形成する方法及び層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
An interlayer insulation film 12 is formed on an aluminum interconnect 11.例文帳に追加
アルミニウム配線11上に層間絶縁膜12が形成されている。 - 特許庁
To etch an interlayer insulation film that is composed of organic film made mainly of organic constituent without oxidizing the interlayer insulation film.例文帳に追加
有機成分を主成分とする有機膜からなる層間絶縁膜に対して、層間絶縁膜を酸化させることなくエッチングできるようにする。 - 特許庁
Subsequently, the surface of the interlayer insulation film 4a is polished using a CMP method until the interlayer insulation film 4 remaining on the metal wiring 3 has a predetermined thickness thus planarizing the surface of the interlayer insulation film 4a.例文帳に追加
その後、CMP法を用いて、金属配線3上の層間絶縁膜4aの残膜が所定の膜厚になるまで層間絶縁膜4の表面を研磨して、層間絶縁膜4aの表面を平坦化する。 - 特許庁
A plurality of pillar-shaped interlayer insulation films 13a in a hexagonal plane shape are gathered to form a third interlayer insulation film 13.例文帳に追加
第3層間絶縁膜13は、平面形状が六角形である複数の柱状層間絶縁膜13aが集合して構成されている。 - 特許庁
The interlayer insulation film and microlenses are formed from the composition.例文帳に追加
層間絶縁膜およびマイクロレンズは、上記組成物から形成される。 - 特許庁
The gate electrode 6 is covered with an interlayer insulation film 7 and an Al source electrode 101 stretches to over the interlayer insulation film 7.例文帳に追加
ゲート電極6上は層間絶縁膜7によって覆われており、Alのソース電極101は、層間絶縁膜7上に延在する。 - 特許庁
An interlayer insulation film 22 is formed, while the polysilicon layer 10 is covered, and a polysilicon layer 11 is formed on the interlayer insulation film 22.例文帳に追加
ポリシリコン層10を覆って層間絶縁膜22が形成されており、層間絶縁膜22上にポリシリコン層11が形成されている。 - 特許庁
The SRN film serves as a working stopper film when working an interlayer insulation film to expose the gate insulation film.例文帳に追加
SRN膜が層間絶縁膜を加工してゲート絶縁膜を露出する場合の加工のストッパ膜となる。 - 特許庁
In a thin film transistor, its foundational film, its gate insulation film, and its interlayer insulation film are formed out of silicon oxide films.例文帳に追加
薄膜トランジスタにおいて、下地膜、ゲート絶縁膜、層間絶縁膜を酸化珪素膜で形成する。 - 特許庁
Thus, the gate insulation films 13 and the interlayer insulation films 15 break where the breakdown voltages are low.例文帳に追加
これにより、絶縁耐圧の低い箇所のゲート絶縁膜13や層間絶縁膜15はブレークダウンする。 - 特許庁
Then, the spacer and insulation film are used as a mask to etch the interlayer insulation film, thereby forming a contact hole.例文帳に追加
次に、スペーサ及び絶縁膜をマスクとして層間絶縁膜をエッチングしてコンタクトホールを形成する。 - 特許庁
An interlayer insulation film and an insulation film are formed on the substrate 1 so as to cover the TFTs.例文帳に追加
そのTFTを覆うように基板1上に層間絶縁膜および絶縁膜が形成される。 - 特許庁
To provide an insulation film-forming composition forming an interlayer insulation film having a low dielectric constant and excellent mechanical strength used as an interlayer insulation film of an electronic device or the like.例文帳に追加
電子デバイスなどの層間絶縁膜に用いられる低い誘電率と優れた機械強度を有する層間絶縁膜を形成できる絶縁膜形成用組成物を提供する。 - 特許庁
An uppermost surface ISF of the first interlayer insulation film II4 is flattened.例文帳に追加
第1の層間絶縁膜II4の最上面ISFが平坦化される。 - 特許庁
An interlayer insulation 4 is formed thereon to form a contact plug 6.例文帳に追加
この上部に層間絶縁膜4を形成してコンタクトプラグ6を形成する。 - 特許庁
To enhance heat resistance of an interlayer insulation film comprising an organic SOG film.例文帳に追加
有機SOG膜よりなる層間絶縁膜の耐熱性を向上させる。 - 特許庁
To provide an interlayer insulation material for use in producing a multilayer printed wiring board.例文帳に追加
多層プリント配線板製造用の層間絶縁材料を提供する。 - 特許庁
METHOD OF IMPROVING SURFACE PROPERTY OF INTERLAYER INSULATION FILM AND APPARATUS FOR IMPROVING SURFACE PROPERTY例文帳に追加
層間絶縁膜の表面改質方法及び表面改質装置 - 特許庁
The interlayer insulation film is deposited on the wiring layer patterned in this manner.例文帳に追加
このようにパターニングした配線層の上に層間絶縁膜を堆積する。 - 特許庁
INTERLAYER INSULATION FILM FOR MULTILAYER WIRING AND PRODUCTION OF RESIN USED THEREFOR例文帳に追加
多層配線用層間絶縁膜及びそれに用いる樹脂の製造方法 - 特許庁
Then the interlayer insulation film 23 is heated, so that the particles 24 are gasified and a plurality of cavities are formed in the interlayer insulation film 23a.例文帳に追加
次に、この層間絶縁膜23を熱処理することにより、粒子24を気化させ層間絶縁膜23a中に複数の空孔25を形成する。 - 特許庁
To detect residue of film in a region in which a contact hole is formed in an interlayer insulation layer, and to accurately obtain thickness of residue of film of the interlayer insulation layer.例文帳に追加
層間絶縁層におけるコンタクトホールを形成した領域での膜残りを検出し、且つ層間絶縁層の膜残りの厚みを精度良く求める。 - 特許庁
To form an interlayer insulation film (insulation bank) for interlayer isolation of a lower conductive layer formed in a terminal part of a high density display, with a high pattern accuracy.例文帳に追加
高密度ディスプレイの端子部に形成される下層導電層を層間分離するための層間絶縁膜(絶縁性バンク)を高いパターン精度で形成する。 - 特許庁
The amount of resin included in the first interlayer resin insulation layer 410 is greater than that of the second interlayer resin insulation layer 420.例文帳に追加
そして、第1の層間樹脂絶縁層410に含まれている樹脂の量は前記第2の層間樹脂絶縁層420に含まれている樹脂の量より多い。 - 特許庁
The interlayer insulation film of the liquid crystal display element is formed from the radiation sensitive composition and the liquid crystal display element has the interlayer insulation film.例文帳に追加
液晶表示素子の層間絶縁膜は上記感放射線性組成物から形成され、液晶表示素子は上記創刊絶縁膜を具備する。 - 特許庁
A wiring layer formed on an interlayer insulation film 4 is electrically connected with the body region via a body contact provided in the interlayer insulation film 4.例文帳に追加
層間絶縁膜4上に形成された配線層は、層間絶縁膜4中に設けられたボディーコンタクトを介してボディー領域と電気的に接続される。 - 特許庁
RADIATION SENSITIVE COMPOSITION FOR FORMING INTERLAYER INSULATION FILM OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY ELEMENT, INTERLAYER INSULATION FILM FORMED THEREFROM AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY ELEMENT例文帳に追加
液晶表示素子の層間絶縁膜を形成するための感放射線性組成物、それから形成された層間絶縁膜、および液晶表示素子 - 特許庁
To provide a technique which can mitigate a stress to be applied to an interlayer insulation film and decrease cracks to occur in the interlayer insulation film.例文帳に追加
層間絶縁膜に加わる応力を緩和することができ、層間絶縁膜に生じるクラックの発生を低減することができる技術を提供する。 - 特許庁
A titanium film 5 is formed on the entire inner wall of a connection hole 4 being formed at an interlayer insulation film 3 on a semiconductor substrate 1 and on an interlayer insulation film 2.例文帳に追加
半導体基板1上の層間絶縁膜3に形成された接続孔4の内壁一面及び層間絶縁膜2上にチタン膜5を成膜する。 - 特許庁
A second interlayer insulation film 107 is formed on the first interlayer insulation film to cover the wiring where the oxidation preventing film is formed at the surface.例文帳に追加
次に、表面に酸化防止膜が形成された配線を覆うように第1の層間絶縁膜上に第2の層間絶縁膜107を形成する。 - 特許庁
An interlayer insulation layer is formed over the entire plane, after the trench region is formed, and the bit lines BL1', BL2' are formed side by side on the interlayer insulation layer.例文帳に追加
トレンチ領域が形成された後全面に層間絶縁層を形成し、層間絶縁層上に複数のビットラインBL1’、BL2’を並ぶように形成する。 - 特許庁
A polishing stop film 20 having polishing speedless than that of an interlayer insulation film 12 is formed between a semiconductor substrate (semiconductor wafer) 11 and the interlayer insulation film 12.例文帳に追加
半導体基板(半導体ウエハ)11と層間絶縁膜12との間に、層間絶縁膜12よりも研磨速度が小さい研磨停止膜20を形成する。 - 特許庁
A recess part 6 is formed by etching the second interlayer insulation film 4 and the first interlayer insulation film 3 by using the photoresist 5 as an etching mask.例文帳に追加
フォトレジスト5をエッチングマスクに用いて第2の層間絶縁膜4及び第1の層間絶縁膜3をエッチングすることにより、凹部6が形成される。 - 特許庁
Semiconductor device is provided with an interlayer insulation film formed on the main surface of a semiconductor substrate and a plurality of contact plugs 22 penetrating the interlayer insulation film.例文帳に追加
半導体装置は、半導体基板の主面上部に形成された層間絶縁膜と、層間絶縁膜を貫通する複数のコンタクトプラグ22とを備える。 - 特許庁
An interlayer insulation film 6 is formed on the gate electrode 4, and a connection hole 6a disposed on the gate electrode 4 is formed on the interlayer insulation film 6.例文帳に追加
そしてゲート電極4上に層間絶縁膜6を形成し、層間絶縁膜6に、ゲート電極4上に位置する接続孔6aを形成する。 - 特許庁
A third interlayer insulation film 13 provided with a via hole 12 is formed on a second interlayer insulation film 9 to cover a third wiring layer 11.例文帳に追加
第2層間絶縁膜9上には、ビアホール12を有する第3層間絶縁膜13が第3配線層11を被覆して形成されている。 - 特許庁
To provide a semiconductor device in which deterioration of an interlayer insulation film due to intrusion of liquid such as chemical into the interlayer insulation film is suppressed, and deterioration of the interlayer insulation film can be recovered by predetermined gas.例文帳に追加
薬液などの液体が層間絶縁膜中に侵入することに起因する層間絶縁膜の劣化を抑制し、かつ、層間絶縁膜の劣化を所定のガス(気体)により回復させることが可能な半導体装置を提供する。 - 特許庁
The second insulation film provided with the second plug and the stopper film has a conductive film pattern and interlayer insulation film formed thereon.例文帳に追加
第2プラグ及びストッパ膜を備える第2絶縁膜上に、導電膜パターン、層間絶縁膜を形成する。 - 特許庁
Following to the formation of an interlayer insulation film 18 and respective electrodes, a silicon nitride film is formed as a protective insulation film 22.例文帳に追加
層間絶縁膜18および各電極を形成後、窒化シリコン膜を形成して保護絶縁膜22とする。 - 特許庁
An interlayer insulation film 18 is formed to cover the dummy structure 16.例文帳に追加
このダミー構造物16を覆うように層間絶縁膜18を形成する。 - 特許庁
RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, INTERLAYER INSULATION FILM AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME例文帳に追加
感放射線性樹脂組成物、および層間絶縁膜とその製造方法 - 特許庁
On the third interlayer insulation film 14, a drain interconnection 15 is formed.例文帳に追加
第3層間絶縁膜14上には、ドレイン配線15が形成されている。 - 特許庁
Then, an interlayer insulation film 7 is formed while being embedded into the second recess.例文帳に追加
ついで、第2凹部の内部に埋め込むように層間絶縁膜7を形成する。 - 特許庁
Subsequently, a second interlayer insulation film and a second conductive layer are formed.例文帳に追加
その後、第2層間絶縁膜と、銅を用いた第2導電層を形成する。 - 特許庁
MATERIAL FOR FORMING INTERLAYER INSULATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND METHOD OF FORMING THE SAME例文帳に追加
半導体装置の層間絶縁膜形成材料及びその形成方法 - 特許庁
INTERLAYER INSULATION FILM, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
層間絶縁膜の製造方法および層間絶縁膜、ならびに半導体装置 - 特許庁
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