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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > sputtering mediumに関連した英語例文

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sputtering mediumの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 409



例文

MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET FOR FORMING PROTECTIVE FILM OF PHASE TRANSITION TYPE OPTICAL DISK, AND OPTICAL RECORDING MEDIUM WITH THE PROTECTIVE FILM OF PHASE TRANSITION TYPE OPTICAL DISK FORMED BY USING THE TARGET MANUFACTURED BY THE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

相変化型光ディスク保護膜形成用スパッタリングターゲットの製造方法及び該製造方法により製造したターゲットを使用して相変化型光ディスク保護膜を形成した光記録媒体 - 特許庁

In the optical recording medium 101, a reflection layer 12 can be optionally formed on the base material 11 and the reflection layer 12 is also composed of a material which can be formed by the sputtering method using the DC power source.例文帳に追加

また、光記録媒体101は、基材11上に任意に反射層12を形成することができ、反射層12も、DC電源を用いたスパッタリング法により形成できる材料からなる。 - 特許庁

A magnetic disk medium 4 has a takeoff area where texture construction is constructed by sputtering at the place where a magnetic head base 2 using the negative pressure type magnetic head slider 1 begins to ride on a ramp road 3.例文帳に追加

磁気ディスク媒体4は、負圧型磁気ヘッドスライダ1を用いた磁気ヘッド支持体2がランプロード3に乗り上げ始める所をスパッタなどを用いてテクスチャー施工されたテイクオフ領域を有する。 - 特許庁

To provide a sputtering target for a reflection layer of an optical medium excellent in surface smoothness which is composed mostly of relatively inexpensive aluminum and does not use rare earth metal, and a method for manufacturing thereof.例文帳に追加

比較的価格の安いアルミを主成分としかつ希土類金属を使用しない、表面平滑性に優れた光メディアの反射層用スパッタリングターゲット、及び、その製造方法を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a sputtering target with reduced generation of abnormal discharge for formation of a protective film for an optical recording medium which performs recording, reproducing, recording and reproducing, and further erasing of information by laser light.例文帳に追加

レーザー光により情報の記録、再生、記録および再生、さらに消去を行う光記録媒体の保護膜を形成するための異常放電発生の少ないスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁


例文

To provide a sputtering target used for forming a dielectric layer which is required for realizing a phase-change type optical recording medium with high storing reliability and adequate recording/playback characteristics.例文帳に追加

保存信頼性が高く、かつ、記録/再生特性が良好な相変化型光記録媒体を実現するために必要とされる誘電体層の形成に用いることのできるスパッタターゲットを提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a Co-type sputtering target material of low magnetic permeability for magnetic recording medium by which the deposition of a high-performance thin film is made possible without deteriorating the magnetic properties of the thin film.例文帳に追加

薄膜の磁気特性を劣化させることなく、高性能な薄膜の作製を可能にした磁気記録媒体用低透磁率スパッタリングCo系ターゲット材の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a sputtering target for forming a protective film of an optical recording medium performing the recording, reproducing, recording-reproducing, and erasing of information by laser light, in which the generation of abnormal discharge is reduced.例文帳に追加

レーザー光により情報の記録、再生、記録および再生、さらに消去を行う光記録媒体の保護膜を形成するための異常放電発生の少ないスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁

To provide a metal oxide-metal composite sputtering target which has no abnormal discharge and cracks and is useful for the formation of a recording layer for an optical information recording medium, comprising a metal oxide and a metal.例文帳に追加

異常放電や割れのない、金属酸化物および金属を含む光情報記録媒体用記録層などの形成に有用な、金属酸化物−金属複合スパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁

例文

A magnetic medium having the coercive force of 20kOe or more is provided by raising a substrate temperature and depositing an alloy thin film on a substrate in a temperature area where atom diffusion is active by a sputtering method.例文帳に追加

基板温度を上昇させて原子拡散の活発な温度領域で基板上に合金薄膜をスパッタ成膜することによって、20kOe以上の保持力を持つ磁気媒体を提供。 - 特許庁

例文

The magnetic recording medium is obtained by forming a magnetite thin film on the base body by the sputtering method and subjecting the magnetite thin film to sputtering treatment successively in a sputtering chamber in an excess oxygen atmosphere to form the maghemite thin film.例文帳に追加

基体と該基体上に形成されたマグヘマイト薄膜とからなる磁気記録媒体において、前記マグヘマイト薄膜の膜厚が7〜50nmであり、その表面の中心線平均粗さRaが0.1〜1.0nmであって、保磁力角型比S^*値が0.50以上である磁気記録媒体は、スパッタ法によって基体上にマグネタイト薄膜を形成した後、引き続きスパッタ室内において該マグネタイト薄膜を酸素過剰雰囲気下でスパッタ処理してマグヘマイト薄膜にして得ることができる。 - 特許庁

By adopting this recording medium cartridge 1, the manufacturing cost of the recording medium cartridge 1 furnished with the antistatic function is satisfactorily reduced since the cartridge is manufactured by the comparatively inexpensive manufacturing equipment such as a screen printer without using expensive and large scaled equipment such as a sputtering device.例文帳に追加

この記録媒体用カートリッジ1によれば、スパッタ装置等の高価で大掛かりな設備を用いずにスクリーン印刷装置等の比較的安価な製造設備で製造することができるため、帯電防止機能を備えた記録媒体用カートリッジ1の製造コストを十分に低減することができる。 - 特許庁

This medium is a magneto-optical recording medium 10 in which at least a dielectric layer 2 and a magnetic layer 11 consisting of a perpendicular magnetic recording film are formed on a light transmittable substrate 1, the magnetic layer 11 is formed by sputtering using Kr gas as process gas.例文帳に追加

光透過性の基板1上に、少なくとも誘電体層2、垂直磁気記録膜よりなる磁性層11が形成されてなる光磁気記録媒体10であって、その磁性層11を、プロセスガスとしてKrガスを用いてスパッタリングにより形成される構成とする。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a magnetic recording medium which can further enhance coercive force Hc or a reverse magnetic domain nucleation magnetic field Hn considering influence of a magnetic field utilized in magnetron sputtering on film-deposition of the magnetic recording medium.例文帳に追加

マグネトロンスパッタリングにおいて利用される磁界が磁気記録媒体の成膜において及ぼす影響を鑑みて、さらに保磁力Hcまたは逆磁区核形成磁界Hnを向上させることが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a sputtering target for forming a magnetic recording film suitable for forming a magnetic recording film applied to a high density magnetic recording medium of a hard disk and the like, especially a magnetic recording film applied to a perpendicular magnetic recording medium and having high leakage magnetic flux density and to provide a method for producing the same.例文帳に追加

ハードディスクの高密度磁気記録媒体等に適用される磁気記録膜、特に垂直磁気記録媒体に適用される磁気記録膜の形成に好適な、漏れ磁束密度の高い磁気記録膜形成用スパッタリングターゲットとその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a CoCrPt-SiO_2 sputtering target with a fine structure for depositing a magnetic recording film applied to a high density magnetic recording medium for a hard disk, particularly, for depositing a CoCrPt-SiO_2 granular magnetic recording film applied to a perpendicular magnetic recording medium.例文帳に追加

ハードディスクの高密度磁気記録媒体に適用される磁気記録膜、特に垂直磁気記録媒体に適用されるCoCrPt−SiO_2グラニュラ磁気記録膜を形成するための微細組織を有するCoCrPt−SiO_2スパッタリングターゲットの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a CoCrPt-SiO_2 sputtering target with a fine structure for depositing a magnetic recording film applied to a high density magnetic recording medium for a hard disk, particularly, for depositing a CoCrPt-SiO_2 granular magnetic recording film applied to a perpendicular magnetic recording medium.例文帳に追加

ハードディスクの高密度磁気記録媒体に適用される磁気記録膜、特に垂直磁気記録媒体に適用されるCoCrPt−SiO_2グラニュラ磁気記録膜を形成するための微細な組織を有するCoCrPt−SiO_2スパッタリングターゲットの製造方法を提供する。 - 特許庁

Disclosed is an Ni-W-B-based sputtering target material for producing an intermediate layer film in a perpendicular magnetic recording medium comprising, by at%, 1 to 20% W and 0.1 to 10% B, and the balance Ni with inevitable impurities.例文帳に追加

at%で、W:1〜20%,B:0.1〜10%を含み、残部Niおよび不可避的不純物からなる垂直磁気記録媒体における中間層膜製造用Ni−W−B系スパッタリングターゲット材。 - 特許庁

The sputtering target for a reflection layer of an optical medium is mainly composed of Al and contains 1-10 at% of one or two species of elements selected from the group consisting of Ta and Nb, and 0.1-10 at% of Ag.例文帳に追加

光メディアの反射層用スパッタリングターゲットは、Alを主成分とし、Ta及びNbからなる群より選択される1又は2種の元素を1〜10at%、及び、Agを0.1〜10at%含む。 - 特許庁

To provide an oxide sputtering target for forming a protective film of an optical recording medium, which can be manufactured through a simplified step without inducing any cracking or elution of In and can achieve high density, and to provide a method for manufacturing the same.例文帳に追加

光記録媒体保護膜形成用として、割れやInの溶出がなく製造工程を簡素化でき、高密度が得られる酸化物スパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The sputtering target material includes a Ni-W-Cr alloy, which is used for the interlayer film in the vertical magnetic recording medium including, by at%, 1-20% of W, 1-20% of Cr, and the balance of Ni.例文帳に追加

at%で、Wを1〜20%、Crを1〜20%含み、残部Niからなる垂直磁気記録媒体における中間層膜に用いるNi−W−Cr合金からなるスパッタリングターゲット材。 - 特許庁

Each of a semi-reflective film or a reflective film for an optical information recording medium and an Ag based alloy sputtering target includes an Ag based alloy containing 0.01 to 10 atomic percent of Li.例文帳に追加

Liを0.01〜10原子%含有するAg基合金であることを特徴とする光情報記録媒体用Ag基合金半透過反射膜、反射膜及び光情報記録媒体用Ag基合金スパッタリングターゲット。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing vertical recording medium for improving distribution in a substrate surface by sputtering deposition without decline of productivity and cost increase and obtaining good magnetic characteristic and electromagnetic characteristic.例文帳に追加

生産性低下やコストアップを生じることなく、スパッタリング成膜による基板面内分布を改善し、もって良好な磁気特性、電磁気特性が得られ垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a reflecting film of an optical recording medium, which has a high reflectivity of light in a range between a short wavelength of 380 nm and a long wavelength of 780 nm, and superior corrosion resistance, and to provide a sputtering target material for manufacturing it.例文帳に追加

380nmの短波長から780nmの長波長まで光の反射率が高く、耐食性に優れた光学記録媒体の反射膜とそれを製造できるスパッタリングターゲット材を提供する。 - 特許庁

Disclosed are a Cr-Mn-B-based sputtering target material for producing a substrate film in a magnetic recording medium comprising, by at%, 5 to 35% Mn and 0.1 to 10% B, and the balance Cr with inevitable impurities, and a method for producing the same.例文帳に追加

at%で、Mn:5〜35%、B:0.1〜10%を含み、残部Crおよび不可避的不純物からなる磁気記録媒体における下地膜製造用Cr−Mn−B系スパッタリングターゲット材およびその製造方法。 - 特許庁

To provide a magnetic recording medium, capable of dealing with a higher recording density, having a higher coercive force, and having a lower noise, a method for manufacturing the same, a sputtering target which is used for the manufacture, and a magnetic recording/reproducing apparatus.例文帳に追加

より高記録密度に対応できる磁気記録媒体で、より高保持力を有してより低ノイズである磁気記録媒体、その製造方法、製造に用いるスパッタリング用ターゲットおよび磁気記録再生装置を提供する。 - 特許庁

To provide an aluminum alloy reflection film for an optical recording medium which has sufficient corrosion resistance, further has excellent surface smoothness, and has reduced surface roughness even in a wet heat environment, and to provide a sputtering target for forming the reflection film.例文帳に追加

十分な耐食性を有すると共に優れた表面平滑性を有し、湿熱環境でも表面粗さが小さい光記録媒体用アルミニウム合金反射膜およびこの反射膜形成のためのスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁

To provide an optical information recording medium having an inorganic recording layer formed by a sputtering or a vapor deposition by solving defects that it is low yield and impossible to tracking in a single sided two-layer DVD-R disk.例文帳に追加

片面2層DVD-Rディスクにおける低歩留まりとトラッキングできない等の欠点を解決し、スパッタリングまたは蒸着によって形成された無機記録層を有する、光情報記録媒体及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

This method consists in forming the magnetic recording medium by introducing a polymer forming gas in such a manner that its partial pressure attains ≤0.3 mTorr and dispersing the CoPT magnetic particles into the polymerized high polymer by a sputtering method.例文帳に追加

重合体生成ガスをその分圧が0.3mTorr以下となるように導入し、スパッタリング法により重合高分子中CoPt磁性粒子を分散させてなる磁気記録媒体を形成することを特徴とする。 - 特許庁

To provide an aluminum alloy reflection film for optical recording medium having sufficient corrosion resistance, excellent surface smoothness, and small surface roughness even in a moist heat environment; and to provide a sputtering target for forming the reflection film.例文帳に追加

十分な耐食性を有すると共に優れた表面平滑性を有し、湿熱環境でも表面粗さが小さい光記録媒体用アルミニウム合金反射膜及びこの反射膜形成のためのスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁

The related invention (Claim 2) is the gas phase etching medium by sputtering. It does not correspond to the "equipment," but it falls under "other products" directly used in working the process for fabrication of the specified invention (Claim 1). 例文帳に追加

(請求項2)は、スパッタリングによるエッチングを行うためのガス状エッチング媒体であり、特定発明(請求項1)の基板の製造方法の実施に直接使用する「装置類」には該当しないが、「その他の物」に該当する。 - 特許庁

To provide an inexpensive magnetic recording medium having high performance, high reliability and high capacity by a manufacturing method and a apparatus by which no sputtering flake is stuck onto a flexible polymer substrate and hanging-down and damage are not generated when the substrate is conveyed.例文帳に追加

可撓性高分子支持体上にスパッタフレークが付着せず、支持体搬送時の垂れ下がりやキズの発生しない製造方法および製造装置により、安価な高性能高信頼性高容量磁気記録媒体を提供する。 - 特許庁

To provide an Ag alloy reflection film and a translucent reflection film of an optical recording medium such as an optical recording disk (CD-RW, DVD-RAM) and to provide an Ag alloy sputtering target for forming these reflection films.例文帳に追加

光記録ディスク(CD−RW,DVD−RAM)などの光記録媒体のAg合金反射膜および半透明反射膜並びにそれら反射膜を形成するための銀合金スパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁

Also, the method for manufacturing the vertical magnetic recording medium characterized by adding Ar gas and oxygen gas to a target containing the SiC in a step of depositing the magnetic layer by the reactive sputtering on the soft magnetic layer is provided.例文帳に追加

また、軟磁性層上に反応性スパッタリングにより磁性層を成膜するステップにおいて、SiCを含有するターゲットに、Arガスと酸素ガスとを添加することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a GaSb-base phase changing type recording film for forming a phase changing recording medium excellent in the storage stability of a recording mark and a sputtering target for forming the GaSb-base phase changing type recording film.例文帳に追加

記録マークの保存安定性に優れた相変化型記録媒体を形成するためのGaSb系相変化型記録膜およびそのGaSb系相変化型記録膜を形成するためのスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁

The sputtering target for recording medium includes a sintered magnetic alloy compact containing at least one element selected from Fe and Co, at least one element selected from Pt and Pd and, if necessary, additive components.例文帳に追加

記録媒体用スパッタリングターゲットは、FeおよびCoから選ばれる少なくとも1種の元素と、PtおよびPdから選ばれる少なくとも1種の元素、さらに必要に応じて添加成分を含む磁性合金の焼結体を具備する。 - 特許庁

To provide a phase transition type optical recording medium which has high maximum recording linear velocity and fewer reproduction errors even when recording is performed in a wide range of a recording linear velocity and a reproduction error especially at an inner peripheral part is improved and to provide a sputtering target for manufacturing the same.例文帳に追加

最高記録線速が速く、広い記録線速範囲で記録する場合でも再生エラーが少なく、特に内周部での再生エラーが改善された相変化型光記録媒体とその製造用スパッタリングターゲットの提供。 - 特許庁

To provide an optical recording medium, wherein adhesion between a transparent resin substrate and a transparent dielectric layer is high, the C/N ratio is increased because of the transparent dielectric layer of a high refractive index, and the danger of firing or the like during film formation by a sputtering method is eliminated.例文帳に追加

透明樹脂基板と透明誘電体層との密着性が高く、高屈折率の透明誘電体層となるためC/N比が向上し、またスパッタリング法によって成膜する際に発火等の危険がないものとする。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a magnetic recording medium having a MgO film with high productivity using a DC sputtering method and simultaneously suppressing oxygen deficiency of the MgO film to obtain a MgO ground layer having high crystallinity.例文帳に追加

DCスパッタ法を用いて、MgO膜を有する磁気記録媒体を高い生産性で製造することができ、同時にMgO膜の酸素欠損を抑制して高い結晶性を有するMgO下地層を与える方法の提供。 - 特許庁

To provide a device and a method for manufacturing an optical information recording medium by which a starting period of time is shortened, the period of time required for a pre-sputtering for preparation is minimized and a stably suficient vapor-deposited film is obtained.例文帳に追加

立ち上がり時間を短縮でき、準備のためのプレスパッタを最少時間で済ませることができ、安定して良好な蒸着膜を有する光情報記録媒体の製造装置及び製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a low permeability Fe-Co-B-based alloy target material having satisfactory sputtering properties for depositing a soft magnetic film used for a perpendicular magnetic recording medium or the like.例文帳に追加

垂直磁気記録媒体等に用いられる軟磁性膜を成膜するためにFe−Co−B系合金ターゲット材に関して、良好なスパッタリング特性を有する低透磁率のFe−Co−B系合金ターゲット材を提供する。 - 特許庁

To provide an optical recording layer for an optical information recording medium and the optical information recording medium, which are excellent in writing/reading characteristics, C/N characteristics, jitter characteristics, recording sensitivity characteristics, reflectivity characteristics and environment-resisting characteristics and can be applied to a next-generation type optical disk, and a sputtering target useful for forming the recording layer.例文帳に追加

書込み・読み取り特性、C/N特性、ジッター特性、記録感度特性、反射率特性、耐環境特性に優れており、次世代型の光ディスクに適用可能な光情報記録媒体用光記録層と光情報記録媒体、並びに該記録層の形成に有用なスパッタリング・ターゲットを提供する。 - 特許庁

A process of manufacturing heat absorbing substrate wherein a large number of holes can be produced employing gas phase etching medium in equal proportion of O2, Ar and CCl2F2, and exposing the medium to the substrate, the substrate is placed near the sputterable component, and effect sputtering, and complete etching are conducted. 例文帳に追加

多数の空孔を生成するように、ガス状エッチング媒体として等比率のO2、Ar、及びCCl2F2を使用し、該ガス状エッチング媒体に基板をさらすことからなる基板の製造方法において、基板をスパッタ可能な組成の近くに置きスパッタをさせ、エッチングすることを特徴とする熱吸収基板の製造方法。 - 特許庁

In the magnetic recording medium of the ferro-magnetic thin film type in which the magnetic thin film made of a metal or an alloy of ferromagnetism is formed on a substrate as a magnetic recording layer by a sputtering method, the magnetic thin film has a magnetization inversion mechanism being akin to a simultaneous rotation model and noise of the magnetic recording medium is lowered.例文帳に追加

基板上に、磁気記録層として強磁性金属もしくは合金からなる磁性薄膜をスパッタ法で形成した、強磁性薄膜型の磁気記録媒体であって、磁性薄膜が一斉回転モデルに近い磁化反転機構を有し、磁気記録媒体ノイズを低減させた磁気記録媒体とする。 - 特許庁

This magnetic recording medium is a magnetic recording medium having at least one layer of base layers adhered between a substrate and a cobalt-based magnetic layer, at least one layer of the base layers comprising an amorphous sputtering film consisting essentially of one or more kind of group Va elements, group VIa elements and group VIII elements and of silicon.例文帳に追加

基板とCo系磁性層との間に少なくとも1層以上の下地層が被着されている磁気記録媒体であって、前記下地層のうち少なくとも1層は、Va族元素、VIa族元素、VIII族元素のいずれか1種または2種以上とシリコンとを主体としたアモルファスのスパッタリング膜である磁気記録媒体である。 - 特許庁

To provide a glass substrate for a magnetic disk wherein the increase of frictional force and adhesion force between a magnetic recording medium and a head in a dynamic pressure floating head type is prevented without reducing an S/N ratio and a magnetic film can be easily formed by a sputtering method, to provide a manufacturing method therefor and to provide a magnetic recording medium using the substrate.例文帳に追加

S/N比を低下させることなく、動圧浮動ヘッド方式における磁気記録媒体とヘッドとの間の摩擦力の増加や吸着力の増大を防ぎ、さらに、スパッタ法により磁性膜の形成が容易な磁気ディスク用ガラス基板およびその製造方法、ならびに該基板を用いた磁気記録媒体の提供。 - 特許庁

This method of manufacturing magnetic recording medium comprises subjecting a ground surface film formed on a substrate to a sputtering treatment under an oxygen excess atmosphere, then to reactive sputtering to form a thin spinel type iron oxide film essentially consisting of magnetite on the ground surface film, then oxidizing the thin spinel type iron oxide film essentially consisting of this magnetite to transform the thin film to the thin maghemite film.例文帳に追加

基体上に形成された下地膜に対して酸素過剰雰囲気下でスパッタ処理した後、反応スパッタすることによって前記下地膜上にマグネタイトを主成分とするスピネル型酸化鉄薄膜を形成し、次いで、当該マグネタイトを主成分とするスピネル型酸化鉄薄膜を酸化してマグヘマイト薄膜に変態させる磁気記録媒体の製造法である。 - 特許庁

The method of manufacturing the optical recording medium 1 having the recording layer 5 on a substrate 2 comprises forming the recording layer 5 by sputtering and controlling the temperature of the substrate contact surface of a substrate holder on which the substrate 2 is held to the temperature within a specified temperature range with respect to the arbitrary set temperature selected from the temperature within a range from 30 to 40°C in sputtering.例文帳に追加

基板2上に記録層5を有する光記録媒体1を製造する方法であって、記録層5をスパッタリングによって形成し、該スパッタリングに際して、基板2が保持される基板ホルダーの基板接触面の温度を、30〜40℃の範囲内から選択される任意の設定温度に対して一定の温度範囲内に制御することを特徴とする、光記録媒体の製造方法。 - 特許庁

In the manufacturing method of the magneto-optical recording medium formed by stacking a plurality of magnetic layers, at least two of magnetic layers are manufactured by sputtering the same target means in the same vacuum tank under a different condition at a sputtering process depending on the respective element composition ratio and/or magnetic characteristics.例文帳に追加

複数の磁性層が積層されてなる光磁気記録媒体の製造方法において、磁性層のうちの少なくとも2層をそれぞれの元素組成比率および/あるいは磁気特性に応じて、スパッタリングプロセス時に異なる条件で同一真空槽内において同一ターゲット手段をスパッタリングすることにより造り分けることが可能となる製造方法を提供する。 - 特許庁

例文

To provide an Fe-Co-based alloy sputtering target material for forming a soft magnetic film used for a vertical magnetic recording medium or the like, which easily achieves amorphousness and the improvement of corrosion resistance, and also has excellent magnetic properties.例文帳に追加

垂直磁気記録媒体等に用いられる軟磁性膜形成用Fe−Co系合金ターゲット材において、アモルファス化と耐食性の向上を容易に実現し、かつ磁気特性に優れたFe−Co系合金組成のスパッタリングターゲット材を提供する。 - 特許庁




  
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