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substrate solutionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2912件
The polishing method of a semiconductor device continuously polishes using a single polishing solution a barrier metal film formed over the entire surface of a substrate, having recesses or an interlayer insulating film and a conductive film made of copper or a copper alloy, formed on the surface of the barrier metal film, such that the recessed parts are embedded.例文帳に追加
凹部を有する基板或いは層間絶縁膜の表面に一面に形成されたバリア金属膜と、該バリア金属膜の表面に前記凹部が埋まるように形成された銅又は銅合金からなる導体膜とを連続的に一つの研磨液で研磨する半導体デバイスの研磨方法であって、上記研磨液が、下記一般式(I)で表わされるバリア金属膜研磨速度調整剤、アミノ酸、酸化剤および研磨粒子を含有することを特徴とする半導体デバイスの研磨方法。 - 特許庁
A planographic printing original plate with a photosensitive composition layer containing at least a phohothermal conversion material which absorbs light and converts it to heat and an alkali-soluble organic high-molecular substance on the substrate is produced by following steps, (a) imagewise exposure, (b) developing with an alkaline developing solution and (c) washing with water containing a chelate forming material.例文帳に追加
支持体上に、光を吸収して熱に変換する光熱変換物質、およびアルカリ可溶性有機高分子物質を少なくとも含有する感光性組成物層を具備する平版印刷版の製版方法において、前記製版方法が少なくとも(a) 画像様露光工程、(b) アルカリ性現像液を用いた現像工程及び、(c) 水洗工程を含み、かつ、前記水洗工程で用いる水洗水がキレート形成性物質を含有することを特徴とする平版印刷版の製版方法。 - 特許庁
In the production of the electrophotographic photoreceptor with at least a photosensitive layer and a resin layer on the electrically conductive substrate, the resin layer is formed by adding colloidal silica previously dispersed in a dispersion medium selected form water, alcoholic solvents or ketone solvents to a coating solution containing a compound having electric charge transferring performance and a siloxane resin or its monomer and carrying out coating and heat curing.例文帳に追加
導電性支持体上に少なくとも感光層、樹脂層を有する電子写真感光体の製造方法において、該樹脂層を、電荷輸送性能を有する化合物を含み、且つシロキサン系樹脂又はシロキサン系樹脂モノマーを含有する塗布液に、水またはアルコール系溶媒またはケトン系溶媒から選択された分散媒に予め分散したコロイダルシリカを添加し、塗布後加熱硬化により形成させることを特徴とする電子写真感光体の製造方法。 - 特許庁
To provide a radiation sensitive material superior in sensitivity, developability, etching endurance, heat resistance, and adhesion to a substrate and developable with an aqueous alkaline developing solution and usable for a positive resist for manufacturing the semiconductor integrated circuit and the like by using a copolymer composed essentially of repeating units derived from specified monomers.例文帳に追加
半導体集積回路、液晶表示素子用TFT回路等の回路製造用のポジ型レジストとして、アルカリ水溶液からなる現像液によって現像でき、感度、現像性、残膜率、耐熱性、基板との密着性等に優れた感放射線性材料、さらに層間絶縁膜、カラーフィルター保護膜、回路保護膜等の永久膜として、耐熱性、基板との密着性、可視光領域における透明性、耐薬品性、寸法安定性等に優れた感放射線性材料を提供する。 - 特許庁
The manufacturing method of an optical semiconductor element comprises the steps of forming a substantially stripe-shaped protruded structure by selectively dry etching an InGaAlP layer formed on a substrate up to the middle of its thickness, forming a protective film on the upper surface and both side surfaces of the protruded structure, and forming the ridge including the protruded structure by etching the InGaAlP layer around the protruded structure with a solution containing fluorinated acid.例文帳に追加
基板上に形成されたInGaAlP層をその厚みの途中まで選択的にドライエッチングして略ストライプ状の凸状体を形成する工程と、前記凸状体の上面と両側面とに保護膜を形成する工程と、前記凸状体の周囲の前記InGaAlP層をフッ酸を含有する溶液でエッチングすることにより、前記凸状体を含むリッジを形成する工程と、を備えたことを特徴とする光半導体素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
The method of cleaning reflective photomask blanks 10 in which the conductive film is formed on one surface of a glass substrate and attractively held by the electrostatic chuck using the organic dielectric for the attractive holding surface is characterized in installing the mask blanks 10 in a spin cleaning apparatus 20 with the conductive film up and in cleaning the surface of the conductive film by supplying a 0.1 to 5 normal alkali metal hydroxide aqueous solution from a cleaning discharge port 23.例文帳に追加
ガラス基板の一方の面に導電膜が形成され、吸着保持面に有機系の誘電体を用いた静電チャックにより、該導電膜が吸着保持される反射型マスクブランクス10の洗浄方法であって、マスクブランクス10を導電膜を上にしてスピン式洗浄装置20に設置し、洗浄吐出口23より、0.1〜5規定のアルカリ金属水酸化物水溶液を供給して前記導電膜表面を洗浄することを特徴とする反射型マスクブランクスの洗浄方法。 - 特許庁
When a silver halide photographic sensitive material having at least one photosensitive silver halide photographic emulsion layer on the substrate is developed, fixed, stabilized and dried with an automatic processing machine having a developing tank, a fixing tank, a stabilizing tank and a drying part, a stabilizing solution not substantially containing aldehydes is used, the stabilizing tank is divided into two or more tanks and heat drum drying is carried out.例文帳に追加
支持体上に少なくとも一層の感光性ハロゲン化銀写真乳剤層を有するハロゲン化銀写真感光材料を現像槽、定着槽、安定化槽及び乾燥部を有する自動現像機を用いて現像、定着、安定化及び乾燥処理するハロゲン化銀写真感光材料の処理方法において、実質的にアルデヒド類を含有しない安定化液を用い、安定化槽を2槽以上とし、かつ乾燥処理をヒートドラム乾燥とすることを特徴とするハロゲン化銀写真感光材料の処理方法。 - 特許庁
In the method of manufacturing the polymer electrolyte membrane by coating a solvent solution containing a polymer electrolyte on a substrate and then removing the solvent, a mixture of a first solvent comprising at least one selected from lower alcohols and ether alcohols and a second solvent comprising non-alcoholic organic solvent selected from haloalkans, ethers, ketones, nitriles, and aprotic polar solvents, having lower boiling point than the first solvent is used.例文帳に追加
高分子電解質を含む溶媒溶液を、基材に流延塗付し、溶媒を除去することによる高分子電解質膜の製造方法において、溶媒として、低級アルコール及びエーテルアルコール類から選ばれる少なくとも1種からなる第一の溶媒と、第一の溶媒よりも沸点の低い、ハロアルカン類、エーテル類、ケトン類、ニトリル類及び非プロトン性極性溶媒から選ばれる非アルコール系有機溶媒からなる第二の溶媒とを含有する混合溶媒を用いる製造法によって得られた高分子電解質膜。 - 特許庁
In order to locate the particles 30 at the intersections, a solution with the particles 30 dispersed in a solvent is discharged as drips from a supply port with a potential applied toward a row line formed surface of the first substrate 10, or a column line formed surface of the second substrate 20 before the first and second substrates are located to face each other.例文帳に追加
平行配置された複数本の行線11が設けられた第1の基板10と、平行配置された複数本の列線21が設けられ、該列線21が行線11と交差するように第1の基板10と間隙を介して対向配置された第2の基板20と、行線11と列線21との各交差部に選択的に配置され、且つ対向する行線11と列線21間及び隣接する交差部間で移動可能な粒子30とを備えた記憶装置の製造方法であって、粒子30を交差部に配置するために、第1及び第2の基板を対向配置する前に、第1の基板10の行線形成面又は第2の基板20の列線形成面に向けて、粒子30を溶媒に分散させた状態の溶液を、電界が印加された供給口から液滴として吐出させる。 - 特許庁
The wiring formation method includes: a process for forming a coating layer 3 having a dispersed solution including conductive fine particles, on a resin substrate 1; a process for forming a conductive fine wiring 4 by consecutively irradiating a specific area of the coating layer 3 with a laser beam 6; and a process for removing material in the area other than the conductive fine wiring 4.例文帳に追加
樹脂基板1上に、導電性微粒子を含有する分散溶液の塗布層3を形成する工程と、レーザ光6を塗布層3の特定領域に連続的に照射していくことで、導電性微細配線4を形成する工程と、導電性微細配線4以外の領域の材料を除去する工程とを備え、塗布層3の厚さをd、塗布層3の光吸収係数をα、レーザ光6の入射光強度をI_0、樹脂基板1上に到達するレーザ光6の透過光強度をI_1とするとき、以下の関係式から成り立つことを特徴とする。 - 特許庁
A resist solution is applied on a substrate and dried and the formed resist film is patternwise exposed and developed to form a pattern.例文帳に追加
基板上にレジスト溶液を塗布し、乾燥した後、形成されたレジスト膜をパターン状に露光し、次いで、現像する工程を含むパターン形成方法において、基板上にレジスト溶液を塗布した後、乾燥する前に、基板表面の端部に過剰に存在するレジスト溶液(a) 、レジスト溶液の塗布時に基板側面から裏面に回り込んで付着したレジスト溶液(b) 、または、これらのレジスト溶液(a) 及び(b) の両方を、プロピレングリコールモノメチルエーテル60〜95重量%と酢酸ブチル5〜40重量%との混合物からなる洗浄液を用いて洗浄し除去する工程を配置することを特徴とするパターン形成方法。 - 特許庁
This manufacturing method includes steps of forming, after the formation of the gate insulating film, an amorphous semiconductor layer on the substrate and also selectively forming a crystalline semiconductor layer to the amorphous semiconductor layer and etching the amorphous semiconductor layer by making the crystalline semiconductor layer remain using an alkali etching solution (etchant) of the amine system.例文帳に追加
同一の基板上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、結晶質と非晶質の積層の半導体層、ソース電極およびドレイン電極を順次形成した第1の薄膜トランジスタと、ゲート電極、ゲート絶縁膜、非晶質の半導体層、ソース電極およびドレイン電極を順次形成した第2の薄膜トランジスタを備える表示装置の製造方法にあって、 前記ゲート絶縁膜の形成後に、前記基板上に非晶質の半導体層を形成し、該非晶質の半導体層に選択的に前記結晶質の半導体層を形成する工程と、 アルカリ性のアミン系のエッチング液を用いて前記結晶質の半導体層を残存させて前記非晶質の半導体層をエッチングする工程とを備える。 - 特許庁
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