蒸気はボイラ缶２２から配管２４を介してユースポイントへ送られる。例文帳に追加

Steam is distributed to an use point from a boiler can 22 through piping 24. - 特許庁

オゾン水のオゾン濃度を、ユースポイントで所定濃度に制御できるようにする。例文帳に追加

To enable control of the concentration of an ozone water to have a predetermined level at a use point. - 特許庁

上記硝酸イオンとナノバブルを含有した超純水は、各ユースポイント１３へ供給される。例文帳に追加

The ultrapure water containing nitrate ions and nanobubbles is supplied to respective use points 13. - 特許庁

ユースポイントに分配するための水の最終的な浄化のためのポリシングカートリッジ例文帳に追加

POLISHING CARTRIDGE FOR FINAL CLEANING OF WATER FOR DISTRIBUTION TO POINT OF USE - 特許庁

ユースポイント情報とガス基地情報とガス配送情報とをネットワーク化し、得られた情報に基づいて仮想的配管を介してユースポイントにガスを納入するガス納入システムである。例文帳に追加

This gas delivery system sends and receives use point information, gas base information, and gas delivery information through a network and delivers gas to a use point through the virtual piping according to obtained information. - 特許庁

ミキサー５で高濃度ジボランガスと水素ガスを混合し、バッファ容器３を経由してユースポイントへ供給する。例文帳に追加

High density diborane gas is mixed with hydrogen gas by the mixer 5 and fed via a buffer container 3 to a use point. - 特許庁

ユースポイントでオゾン水使用量の変動が生じてもオゾン水濃度を一定に保持し、なおかつ、水の無駄を大幅に抑えること。例文帳に追加

To constantly retain an ozone water concentration even if the fluctuation of an ozone water consumption arises in a use point, and to suppress the uselessness of water greatly. - 特許庁

好適実施例においては、アンプルは、処理チャンバに隣接して位置し、液体前駆物質の気化のユースポイントを与える。例文帳に追加

In a preferred embodiment, the ampoule is located adjacent to the processing chamber to provide a point of use vaporization of the liquid precursor. - 特許庁

供給途中でのオゾンの自己分解に基づくユースポイント側での濃度のバラツキを解消することができる。例文帳に追加

Variations in the concentration at the use point side caused by the self breakdown of ozone during supply thereof can be eliminated. - 特許庁

ユースポイントに供給する研磨液の流量調整を正確かつ簡単に行うことを可能にする。例文帳に追加

To accurately and simply make a flow volume adjustment for a polishing liquid supplied to a use point. - 特許庁

ユースポイントへ不純物濃度の著しく低い超純水を供給することができる超純水供給設備を提供する。例文帳に追加

To provide ultra-pure water supply equipment capable of supplying ultra-pure water markedly low in the concentration of impurities to a use point. - 特許庁

ユースポイントへの微量の過酸化水素の混入をもなくするようにした超純水製造装置を提供すること。例文帳に追加

To provide an ultrapure water making apparatus constituted so as to eliminate the mixing with even a very small amount of hydrogen peroxide at a use point. - 特許庁

塩化水素ガスを減圧気化してユースポイントへ供給する減圧器１０の凍結防止を図る。例文帳に追加

To prevent freezing of a pressure reduction device for depressurizing and gasifying hydrogen chloric gas to supply the gas to a use point. - 特許庁

高濃度のガス溶解水を効率よく製造し、ユースポイントに循環供給することができるガス溶解水供給システムを提供する。例文帳に追加

To provide a gas-dissolved water supply system which can efficiently produce gas-dissolved water of a high concentration and can circulate and supply the water to a use point. - 特許庁

立ち上げ期間の短縮の可能な温超純水製造装置のユースポイント配管の立上洗浄方法を提供する。例文帳に追加

To provide a startup cleaning method for the use-point piping of a warm ultrapure water producing apparatus in which a startup period can be reduced. - 特許庁

薬液が添加されたガス溶解水中の薬剤濃度が薬剤濃度センサ１０で検知された後、ユースポイントに送られる。例文帳に追加

After agent concentration in the gas dissolved water with the added chemicals is detected by an agent concentration sensor 10, the gas dissolved water is sent to a use point. - 特許庁

ユースポイント４０からの返送超純水の一部を一次純水製造装置１０に返送して水温制御する。例文帳に追加

A part of the return ultrapure water from a use point 40 is returned to the primary pure water making apparatus 10 to be controlled in its temperature. - 特許庁

その後、ガス溶解装置７でガスが溶解され、薬品が添加され、ユースポイントに供給される。例文帳に追加

Thereafter, gas is dissolved into the water by a gas dissolving device 7, chemical is added thereto and, thereafter, the water is fed to a use point. - 特許庁

ユースポイントに分配するための水の最終的な浄化のためのポリシングカートリッジを提供する。例文帳に追加

To provide a polishing cartridge for final cleaning of water for distribution to a point of use. - 特許庁

超純水製造装置、超純水のユースポイント、並びに前記超純水製造装置とユースポイントとを接続する超純水流路からなる超純水製造システムの少なくとも一部を、還元性物質を溶解した水溶液で洗浄することを特徴とする。例文帳に追加

At least a part of the ultra-pure water making system, which comprises an ultra-pure water making apparatus, a use point for ultra-pure water and an ultra-pure water flow channel for connecting the ultra-pure water making apparatus and the use point, is washed with an aqueous solution having a reductive substance dissolved therein. - 特許庁

電子材料などのウェット洗浄に用いられるガス溶解水をユースポイントに供給し、ユースポイントで使用されなかった余剰のガス溶解水を貯留タンクに返送し、ガス溶解水のガス濃度に変動を生ずることなく、ガス溶解水を循環使用することができるガス溶解水供給装置を提供する。例文帳に追加

To provide a gas-dissolved water supply device which supplies gas- dissolved water used for wet cleaning an electronic material to a use point and returns the surplus water not used at the use point to a storage tank and uses the water in a circulating manner without causing any change in the gas concentration of the water. - 特許庁

循環配管を施した水供給設備において、ユースポイントでの水使用量の増減により、前記課題の状況が生じるので、その変動を自動制御システムにより制御し、送り側送水圧力と送水量を粗一定に保つ様に調節する事により、各ユースポイントでの圧力を一定に保ち、又水処理機器４に過負荷が掛らない様にする。例文帳に追加

Since the above overloading problem occurs due to the fluctuation of water consumption at the use point in the water supply facility with circulation piping, the fluctuation is controlled by an automatic control system to keep roughly constant the pressure at each use point without excessively overloading the water treating instrument 4. - 特許庁

超純水製造装置、超純水のユースポイント、並びに前記超純水製造装置と前記ユースポイントとを接続する超純水の流路からなる超純水製造システムの少なくとも一部を、塩基性化合物を含む洗浄液で洗浄した後、該塩基性化合物の少なくとも一部が残存する状態で洗浄液中に過酸化水素を注入する。例文帳に追加

At least a part of the extrapure water manufacturing system comprising an extrapure water manufacturing apparatus, a use point of extrapure water, and an extrapure water flow channel connecting the extrapure water manufacturing apparatus and the use point, is washed with a cleaning liquid containing a basic compound, and then hydrogen peroxide is poured into the cleaning liquid in a state where at least a part of the basic compound remains in the liquid. - 特許庁

超純水製造装置、超純水のユースポイント、並びに前記超純水製造装置と前記ユースポイントとを接続する超純水の流路からなる超純水製造システムの少なくとも一部を洗浄する際に、前記超純水との接触面に付着した微粒子の表面電位を変化させることにより、前記微粒子を除去する。例文帳に追加

When at least some of an ultrapure water production system comprising the ultrapure water production apparatus, a use point of the ultrapure water, and a flow path of the ultrapure water which connects the above ultrapure water production apparatus and the above use point is washed, the fine particles are removed by changing the surface electric potential of the above fine particles stuck to a contacting surface with the above ultrapure water. - 特許庁

用水を受け入れ、排水を排出する複数のユースポイントを有する水を使用するシステムにおいて、ユースポイントからの排水を用水として再利用するにあたり、用水の要求水質と排水の水質が近接した用水及び排水を選定し、水質が近接した用水及び排水の選定と、該排水同士の混合あるいは新水の混合等により排水を再利用する。例文帳に追加

In a water using system having plural points of use for receiving service water and discharging waste water, when the waste water from the points of use is reutilized as the service water, the waste water and the service water with the quality close to the required quality of the service water is selected, the waste water is mixed with another waste water or fresh water, and the waste water is reutilized. - 特許庁

過酸化水素モニターが所定の濃度の過酸化水素を検出したときに過酸化水素を含む超純水を排出して過酸化水素を含む超純水がユースポイントに行かないようにすることかできる。例文帳に追加

When hydrogen peroxide with a predetermined concentration is detected by the hydrogen peroxide monitor, ultrapure water containing hydrogen peroxide is discharged so as not to go to the use point. - 特許庁

温超純水製造装置のユースポイント配管の立上洗浄方法は、サブシシテム３に供給された一次純水Ｗ１をサブシステム３の超純水加熱装置７で加熱する。例文帳に追加

In the startup cleaning method for the use-point piping of the warm ultrapure water producing apparatus, primary purified water W1 supplied to a subsystem 3 is heated by an ultrapure water heating device 7 of the subsystem 3. - 特許庁

上記超純水製造工程において、留出水は、紫外線酸化処理装置２０３、イオン交換樹脂装置２０４、フィルター装置２０５で順次処理され、ユースポイント２０６に供給される。例文帳に追加

In the process for manufacturing ultrapure water, the distilled water is successively treated by a UV light oxidation treatment apparatus 203, an ion-exchange resin apparatus 204 and a filter apparatus 205 and then is supplied to a use point 206. - 特許庁

純度や清浄度を高度に維持・管理された流体を各ユースポイントに安定して供給することができる流体供給システム、とくに超臨界流体供給システムを提供する。例文帳に追加

To provide a fluid supply system capable of stably supplying a fluid kept and controlled to a high purity and cleanness, to individual using points, in particular, a supercritical fluid supply system. - 特許庁

ユースポイントに移送される超純水中に僅かに混入する微粒子とイオン成分の両方を除去し、モジュールの交換頻度を著しく低減する超純水製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide an ultrapure water producing apparatus which removes both fine particles and ion components slightly mixed in ultrapure water transferred to a use point to remarkably reduce the exchange frequency of a module. - 特許庁

高純度液体のユースポイントへの移送配管を組むことなく配管部材内壁からの微粒子発生傾向を推定することができる微粒子発生の評価方法を提供する。例文帳に追加

To provide a particulate generation evaluation method which estimates the trend of the generation of particulates from the inner walls of a piping member without assembling transfer piping of a high-purity liquid to a point of use. - 特許庁

簡略化された配管構成で、異なるユースポイントに所定の水質を満たす水を供給し、各水質の水の使用料金を容易に求めることができる水供給システムを提供する。例文帳に追加

To provide a water supply system which has simplified piping constitution and which can supply water of prescribed water quality to different use points and can easily calculate use charge of water of each water quality. - 特許庁

夜間、休日等におけるユースポイントでの処理水の非使用時においては、該冷媒供給手段４０により、ＵＦ加熱器１８ｅに冷媒を供給する。例文帳に追加

When the treated water is not used at a use point in the night or a holiday, the cooling medium is supplied to the UF heater 18e by the cooling medium supply means 40. - 特許庁

このガスが、気体透過膜１１ａを透過し、液相室１１ｂ内の原水に溶解することで、ガス溶解水となり、ガス溶解水配管２３を経由してユースポイントに供給される。例文帳に追加

The gas permeates a gas permeation membrane 11a and is dissolved in the raw water in the liquid phase room 11b to give the gas dissolved water, which is supplied to a use point through a gas-dissolved water pipe 23. - 特許庁

複数のユースポイントへの液体の分配供給を可能とする液体供給システムにおいて、構成の煩雑化を回避しつつ、液体圧力を望み通りに適正に制御する。例文帳に追加

To provide a fluid supply system capable of distributing and supplying fluid to a plurality of use points, in which fluid pressure is properly controlled as desired while avoiding complication of the configuration of the system. - 特許庁

ユースポイントにおける純水の総使用量が変動した場合でも送水ポンプの負荷を軽減して消費エネルギーを削減可能な純水供給システムの制御方法および純水供給システムを提供すること。例文帳に追加

To provide a method of controlling a pure water supply system, by which even if total consumption of pure water varies at a use point, a load of a water supply pump is reduced, with energy consumption curtailed, and to provide a pure water supply system. - 特許庁

複数のユースポイントへの液体の分配供給を可能とする液体供給システムにおいて、構成の煩雑化を回避しつつ、液体圧力を望み通りに適正に制御する。例文帳に追加

To properly control a liquid pressure as desired without complicating configuration in a liquid supplying system capable of distributing/supplying a liquid to a plurality of use points. - 特許庁

純水製造装置の施工期間及び立上げ期間を短縮させてユースポイントへの純水供給を可及的速やかに行うことができる純水製造装置の施工方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a construction method for a water purifying apparatus, which enables purified water to be as rapidly supplied as possible to a use point by shortening the construction period and start-up period of the water purifying apparatus. - 特許庁

或いは、前処理部は除濁装置、活性炭吸着装置及びＲＯ膜装置を備え、超純水製造部はタンク、脱気装置、電気脱イオン装置及び濾過膜装置を備え、ユースポイントからの余剰の超純水はタンクに戻される。例文帳に追加

The excess ultrapure-water returned from the terminal piping part is introduced into the tank. - 特許庁

ユースポイントでの処理水の非使用時である循環運転時に、処理水がＵＦ加熱器１８ｅを通過することによって冷却されるため、循環運転時における処理水の温度上昇を抑制できる。例文帳に追加

Since the treated water is cooled by the passage through the UF heater 18e at the time of circulating operation being the non-use time of the treated water at the use point, the temperature rise of the treated water at the time of circulating operation can be suppressed. - 特許庁

従って、エネルギ損失を極力抑えつつユースポイントに応じた形態の容器１００を用いて溶融アルミニウムを配送することが可能となる。例文帳に追加

Therefore, the molten aluminum can be transported by using the vessel 100 having the form according to the use point while restraining the energy loss as much as possible. - 特許庁

超純水製造装置の起動時又は再起動時における超純水の水質の低下を防止して、ユースポイントに高水質の超純水を安定に供給する。例文帳に追加

To stably supply high-quality ultrapure water to a use point by preventing ultrapure water from being deteriorated in quality in starting or restarting an ultrapure water production apparatus. - 特許庁

水供給システム１は、複数の水処理ユニット２０ａ〜２０ｃと、これらの水処理ユニット２０ａ〜２０ｃを複数のユースポイント３１、３２、３３にそれぞれ接続する複数の送り配管２１ａ〜２１ｃと、を備える。例文帳に追加

The water supply system 1 is provided with a plurality of water treating units 20a to 20c and a plurality of supply pipes 21a to 21c which respectively connect these water treating units 20a to 20c with a plurality of use points 31, 32, 33. - 特許庁

ユースポイントでのシャワー又は蛇口用の取外し可能で取り替え可能な排出口、フィルタ装置、及び方法、並びに、排出口及び／又はフィルタ装置を備えるシステムを提供すること。例文帳に追加

To provide a removable and replaceable outlet for a shower or a faucet at a use point, a filter device, a method, and a system including the outlet and/or the filter device. - 特許庁