複数開口をもつ絞りを使用することにより、収差の補正状態をSEM画像から判定して、収差補正手段の調整にフィードバックする。例文帳に追加

An aperture with a plurality of openings is used to determine correction condition of aberration from a SEM images and feed back to adjust the aberration correction device. - 特許庁

開口数が大きく、視野全体に亘って諸収差、特に色収差が良好に補正された対物レンズを提供する。例文帳に追加

To provide an objective lens having a large numerical aperture and excellently corrected in various aberrations over the whole field of view, particularly in color aberration. - 特許庁

走査型電子顕微鏡または走査透過型電子顕微鏡における色収差および開口収差を除去する。例文帳に追加

To provide a correction device in which a chromatic aberration and an aperture aberration in a scanning electron microscope or a scanning transmission type electron microscope are removed. - 特許庁

これにより、色収差が除去された高開口数の光学レンズを提供できる。例文帳に追加

By doing this, an optical lens with high numerical aperture whose chromatic aberration is removed can be provided. - 特許庁

球面収差制限では、不足焦点の半円開口が、鋭く、平坦なエッジを提供する。例文帳に追加

In the spherical aberration limit, under-focused semicircular apertures provide a sharp, flat edge. - 特許庁

１よりも大きな開口数を有し且つ収差が良好に補正された対物光学系。例文帳に追加

To obtain an objective optical system which has a numerical aperture larger than 1 and whose aberration is satisfactorily corrected. - 特許庁

開口数が０．７５以上で、軸上収差、軸外収差と面間の偏芯収差にすぐれた、両面非球面の単レンズによる光ディスクの対物レンズを提供する。例文帳に追加

To provide an objective lens for an optical disk having a numerical aperture of ≥0.75, superior in on-axis aberration, off-axis aberration and eccentric aberration between surfaces and constituted of a bi-aspherical single lens. - 特許庁

開口数が０．７５以上で、軸上収差、軸外収差と面間の偏芯収差にすぐれた、両面非球面の単レンズによる光ディスク用対物レンズを提供する。例文帳に追加

To provide an objective lens for an optical disk, constituted of a single lens having a numerical aperture of 0.75 or higher, excellent on-axis aberration, out-of-axis aberration and eccentric aberration between surfaces, and aspherical on both surfaces. - 特許庁

開口数が０．７５以上で、軸上収差、軸外収差と面間の偏芯収差にすぐれた、両面非球面の単レンズによる光ディスクの対物レンズを提供する。例文帳に追加

To provide an objective lens for an optical disk having a numerical aperture of ≥0.75, superior in terms of on-axis aberration, off-axis aberration and eccentric aberration between surfaces, and constituted of a bi-aspherical single lens. - 特許庁

位相シフタ面５０２により、光記録媒体１１７の収差補正と開口を切替えて良好なスポットを形成する。例文帳に追加

The phase shifter surface 502 enables the aberration correction of the optical recording medium 117 and the aperture switching to form a good spot. - 特許庁

電子ビーム通過孔の孔径を過度に広げることなく、開口収差を低減したインライン型電子銃を得る。例文帳に追加

To provide an inline-type electron gun which reduces an aperture aberration without excessively widening a hole diameter of an electron beam through hole. - 特許庁

回折面５０２は、ＨＤ，ＤＶＤ，ＣＤ系に対して、収差を補正し、かつ開口を切り替えスポットを形成する。例文帳に追加

A diffraction surface 502 compensates the aberration with respect to the HD, DVD and CD system and switches apertures to form spots. - 特許庁

これにより、高い開口数を持ちつつレンズ面の形状の屈曲や収差の屈曲の小さいレンズを提供する。例文帳に追加

Accordingly, there is provided the lens which has a high numerical aperture and also has the small flexure on the lens surface or aberration. - 特許庁

本発明は、開口数ＮＡの大きい対物レンズを使用しても検出信号を変動させることができ、かつ収差を減少させることができる。例文帳に追加

To change a detected signal even if an objective lens having a large numerical aperture NA, and to reduce aberration. - 特許庁

収差を良好に補正し且つ光学調整の感度を小さく抑えつつ、例えば１．１よりも大きな開口数を有する対物光学系。例文帳に追加

To provide an objective optical system which has the number of apertures, for example, larger than 1.1, while satisfactorily correcting aberration and keeping sensitivity in optical adjustment small. - 特許庁

これにより必要開口数（ＮＡ）で収束し、光利用効率の損失なく球面収差を補正し記録，再生できる。例文帳に追加

Thereby, convergence is performed with required numerical aperture (NA), spherical aberration is corrected, recorded, and reproduced without loss of the efficiency of using light. - 特許庁

開口数ＮＡを大きくしても球面収差を抑えることができる記録・再生装置及び光学ヘッドを提供する。例文帳に追加

To provide a recording and reproducing device that can to suppress spherical aberration even if the numerical aperture(NA) is enlarged and also to provide an optical head. - 特許庁

第２，第３の光束の収差補正と開口を切り替え、ＤＶＤ，ＣＤに良好なスポットを形成する。例文帳に追加

The aberration correction and opening of the second and third luminous flux are switched to form an improved spot on DVDs and CDs. - 特許庁

小型・軽量で、大きな開口数および大きな投影視野を有し、且つ諸収差が良好に補正された投影光学系。例文帳に追加

To provide a small and light-weight projection optical system which has a large numerical aperture and a large projection visual field, and in which various aberrations are corrected properly. - 特許庁

色収差補正能力を有しつつ、大きな開口数を持つコンパクトで性能劣化が少ない対物レンズを提供する。例文帳に追加

To provide a compact objective lens which has a capability for correcting chromatic aberration, a large numerical aperture and less degradation of performance. - 特許庁

開口数ＮＡを大きくしても、ディスク間の厚みバラツキによる球面収差を充分に小さくすることができるようにする。例文帳に追加

To sufficiently reduce the spherical aberration caused by the variance of thickness between disks, even though a numerical aperture NA is enlarged. - 特許庁

開口数が０．８５程度とされる光学系において、温度変化により生じる球面収差を抑制することを目的とする。例文帳に追加

To suppress spherical aberration caused by a change in the temperature of an optical system having a numerical aperture of about 0.85. - 特許庁

開口数が大きく収差の少ない収束光を提供する光収束用の光学素子を実現する。例文帳に追加

To achieve an optical device for optical convergence which has a large numerical aperture and provides convergence light with few aberrations. - 特許庁

色収差が除去された、小型軽量、かつ、高開口数のハイブリッドレンズハイブリッドレンズを提供する。例文帳に追加

To provide a hybrid lens whose chromatic aberration is removed, which is made small in size and light in weight and which has high numerical aperture. - 特許庁

本発明の目的は、高い開口数を持ちつつレンズ面の形状の屈曲や収差の屈曲の小さいレンズを提供することにある。例文帳に追加

To provide an object lens which has a high numerical aperture and also has a small flexure on a lens surface or aberration. - 特許庁

屈折レンズ部は、第２の開口数の範囲では、２つの光ディスクの中間の基板厚に対してＲＭＳ波面収差量が極小となるように設計され、第２の開口数の外側の領域では、光ディスク３６の基板厚に対してＲＭＳ波面収差が０．０５λ以下である。例文帳に追加

The refractive lens part is designed so that, in a range of the second numeric aperture, RMS wavefront aberration becomes minimum with respect to an intermediate substrate thickness between the two optical disks, and, in a region outside the second numeric aperture, the RMS wavefront aberration becomes less than 0.05 λ with respect to a substrate thickness of the optical disk 36. - 特許庁

十分に大きな開口数を有し、たとえばＡｒＦエキシマレーザー光に対して色収差および単色収差が良好に補正された投影光学系。例文帳に追加

To provide a projection optical system which has a sufficiently large numerical aperture and whose chromatic aberration and monochromatic aberration are satisfactorily corrected with respect to ArF excimer laser beams or the like. - 特許庁

単色収差および色収差を補正することにより、半導体ウエハ上に高品質な像を投影できる高開口数投影システムを提供すること。例文帳に追加

To provide a high numerical aperture projecting system for projecting a high quality image on a semiconductor wafer by correcting monochromatic aberration and chromatic aberration. - 特許庁

このカップリングレンズ３（補正レンズ）は、実使用上の開口数ＮＡ２＝０．４５付近を境として球面収差の発生量を変化させることで、対物レンズ１のシフトによるコマ収差を補正する。例文帳に追加

This lens 3 compensates the coma aberration caused by the shift of the lens 1 by changing the generated amount of spherical aberration while making the vicinity of numerical aperture NA2=0.45 actually used a boundary. - 特許庁

本発明の顕微鏡用コンデンサレンズは、視野の収差と瞳の収差とを抑えつつ、高開口数（０．７５以上）かつ比較的長い作動距離（０．４ｆ以上）を確保する。例文帳に追加

To provide a condenser lens for a microscope which secure a high numerical aperture (≥0.75) and a relatively long working distance (≥0.4f), while suppressing the aberrations of the visual field and aberrations of pupil. - 特許庁

特殊なオイルを使用せず標準的オイルを用いて、ＮＡ１．４を超える高開口数で、球面収差、色収差、像面湾曲が良好に補正されたアポクロマート液浸系顕微鏡対物レンズを実現する。例文帳に追加

To realize an apochromat liquid immersion system microscopic objective lens which has a high numerical aperture exceeding NA 1.4 and is well corrected of spherical aberrations, chromatic aberrations and curvature of image by using a standard oil without using special oils. - 特許庁

このため、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ１１は、２次収差、３次の開口収差までを消去できるような電場Ｅと磁場Ｂを発生することができるようになった。例文帳に追加

Therefore, this Wien filter type energy analyzer can generate an electric field E and a magnetic field B capable of erasing aberration from secondary aberration up to tertiary aperture aberration. - 特許庁

望ましい特定のビーム・スポットに応じて、球面収差が優勢な環境および色収差が優勢な環境において、脱焦、開口偏心、および無非点収差調整を含む技法の組合せを使用して所望の応用例のために望ましいビームを実現することができる。例文帳に追加

Depending on the particular beam spot that is desired, combinations of techniques including defocusing, aperture offsetting, and stigmation adjustment, can be used in both spherical aberration dominant and chromatic aberration dominant environments, to achieve a desired beam for the desired application. - 特許庁

この対物レンズ１６は、最大開口数で正弦条件を満足するとともに、最大開口数で所定範囲の５次コマ収差を位置基準部に対して特定方向に有する。例文帳に追加

The objective lens 16 satisfies a sine condition at the maximum numerical aperture, and also, the lens is provided with the 5th order coma aberration within a prescribed extent at the maximum numerical aperture in a specific direction with reference to a position reference part. - 特許庁

無収差光学結像システムは、同一平面上の入口開口部１２を有する二次ミラー１４と、頂点と同一平面上の出口開口部１６を含む一次ミラー２０とのうちの少なくとも１つを含み得る。例文帳に追加

The aplanatic optical imaging system may include at least one of the secondary mirror 14 with a co-planar entrance aperture 12 and the primary mirror 20 with an exit aperture 16 which is co-planar with the vertex. - 特許庁

開口数が０．８以上の高開口数の対物レンズを備え、光学記録媒体及びレンズの製造誤差による球面収差を補正し、また、短波長半導体レーザーを用いる場合においても色収差を充分に補正し、さらに、異なる波長の光に対して同じ光学系を使用する時に生じる球面収差も補正する。例文帳に追加

To correct the spherical aberrations by the production errors of optical recording media and lenses, to sufficiently correct chromatic aberrations even when a short wavelength semiconductor laser is used and to also correct the spherical aberrations which occur when using the same optical system for light of different wavelengths by providing the above head with an objective lens having a high numerical aperture of ≥0.8. - 特許庁

たとえば２００ｎｍ以下の波長光に対して色収差などの諸収差が良好に補正されて優れた結像性能を有し、高解像に必要な大きな像側開口数を確保することのできる反射屈折型の投影光学系。例文帳に追加

To obtain a reflection refraction type projection optical system in which various aberrations such as color aberration are satisfactorily corrected to a light of ≤200nm wavelength, for example, and thereby, which has excellent imaging performance and can assure large image side numerical aperture required for high resolution. - 特許庁

色収差や像面湾曲などの諸収差が良好に補正されて優れた結像性能を有し、光学面での反射損失を良好に抑えて大きな実効的な像側開口数を確保することのできる比較的小型の投影光学系に関する。例文帳に追加

To provide a relatively small projection optical system in which various kinds of aberrations such as chromatic aberration and curvature of field are preferably calibrated so as to achieve an excellent imaging performance, and reflection loss at an optical plane is excellently suppressed so as to secure a large effective image side numerical apertures. - 特許庁

各較正用ピンホールパターン像ＰＨＩ’の受光結果から波面センサの測定用光学系における波面の分布を算出し、測定用開口４６の全面を照明した状態でのＣＣＤの受光結果から求めた波面収差を補正して、波面収差測定装置を較正する。例文帳に追加

Wave front distribution in the measurement optical system of the wave front sensor is calculated from the light reception results of each calibration pinhole pattern image PHI' and then the wave front aberration determined from light reception results of the CCD under a state where the entire surface of the measurement opening 46 is illuminated is corrected thus calibrating the wave front aberration measuring equipment. - 特許庁

対物レンズの高開口数化に対応した高性能な対物レンズ、軸上色収差を補正可能な簡易で安価な構成のカップリングレンズ、更に、各光学面で発生する球面収差の変動を効果的に補正できる集光光学系及び光ピックアップ装置を提供する。例文帳に追加

To provide a high-performance objective lens coping with making the numerical aperture of the objective lens high, a coupling lens having simple and inexpensive constitution capable of compensating axial chromatic aberration, and further a condensing optical system and an optical pickup device capable of effectively compensating the fluctuation of spherical aberration caused on an optical surface. - 特許庁

色収差や像面湾曲などの諸収差が良好に補正されて優れた結像性能を有し、光学面での反射損失を良好に抑えて大きな実効的な像側開口数を確保することのできる比較的小型の投影光学系。例文帳に追加

To provide a relatively compact projection optical system that has an improved imaging performance while aberrations, such as chromatic aberration and curvature of field, are appropriately corrected, and secures a large number of effective image-side numerical apertures by properly suppressing reflection loss on an optical surface. - 特許庁

本願発明は、色収差補正光学システムにおいて、数値開口が大きい高密度記録媒体の色収差を補正すると同時に、少なくとも一つの低密度記録媒体の光の入射に対する互換性確保にも影響を与えない光学システムを提供する。例文帳に追加

To provide a chromatic aberration-correcting optical system which corrects chromatic aberration for a high-density recording medium employing a large numerical aperture and at the same time does not affect securing compatibility with incidence of light to at least one low-density recording medium. - 特許庁

高開口数（０．７以上）及び長作動距離（コンデンサレンズ全系の焦点距離をｆとしたとき、０．６×ｆｍｍ以上）を確保しつつ、瞳の色収差（特に倍率色収差）が十分に補正された顕微鏡用コンデンサレンズ及び顕微鏡装置を提供する。例文帳に追加

To provide a microscope condenser lens in which the color aberration (in particular, magnification color aberration) of a pupil is sufficiently corrected while high numerical aperture (0.7 or greater) and a long operating distance (0.6×fmm or greater where the focal distance of the entire system of the condenser lens is represented by f) is ensured, and to provide a microscope apparatus. - 特許庁

対物レンズ１０の高NA専用領域REに形成された回折レンズ構造は、短波長のレーザー光を光ディスクＤ1に集光させる際には球面収差を良好に補正するため開口数が大きくなり、長波長のレーザー光を光ディスクＤ2に集光させる際には球面収差を発生させるため開口数が小さくなる。例文帳に追加

A diffraction lens structure formed on the high NA dedicated region RE of the objective lens 10 becomes the large numerical aperture, for the purpose of properly compensating the spherical aberration, when the laser beam with a short wavelength is converged on the optical disk D1, and becomes the small numerical aperture, for the purpose of producing the spherical aberration, when the laser beam with a long wavelength is converged on the optical disk D2. - 特許庁