draggle-tailedとは 意味・読み方・使い方

Thus, the occurrence of the draggle-tailed projected part 7 occurring on the bottom of the resist pattern after forming the pattern of the chemically amplified resist 4 is suppressed.例文帳に追加

これにより、化学増幅型レジスト４のレジストパターン形成後パターン底部に発生する裾引き状突起部７の発生が抑えられる。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for mask blanks, etc., for suppressing occurrence of a draggle-tailed projecting part on the bottom of a resist pattern after forming the pattern in the mask blanks on which chemically amplified resist is applied.例文帳に追加

化学増幅型レジストを塗布したマスクブランクスにおいて、レジストパターン形成後パターン底部に発生する裾引き状突起部の発生を抑えるマスクブランクスの製造方法等を提供する。 - 特許庁

To provide mask blanks, etc., onto which chemically amplified resist is coated and in which occurrence of draggle-tailed projected part at the bottom of a resist pattern after forming the pattern is suppressed.例文帳に追加

化学増幅型レジストを塗布したマスクブランクスにおいて、レジストパターン形成後パターン底部に発生する裾引き状突起部の発生を抑えることのできるマスクブランクス等を提供する。 - 特許庁