field defectとは 意味・読み方・使い方

The surface defect detecting method and device is constituted so that whether it is defect or not is discriminated by using an optical system constituted of a belt like light source 1 used for both dark field lighting and bright field lighting and a light receiving element 3 for detecting the defect in the dark field and bright field and comparing the taken image with a prescribed value.例文帳に追加

暗視野照明及び明視野照明を兼用する帯状光源１と、暗視野及び明視野で欠陥を検出する受光素子３とから構成した光学系を用い、取り込んだ画像を所定値と比較して欠陥か否かを判定するようにした表面欠陥検出方法及び装置。 - 特許庁

To provide a method and device for correcting an error in a defect coordinate output from an inspection device to make it easy to select a visual field size for defect search of a defect review device and a defect for fine alignment.例文帳に追加

検査装置から出力された欠陥座標の誤差を補正し、欠陥レビュー装置における欠陥探索用の視野サイズ及びファインアライメント用の欠陥を容易に選定することができる方法及び装置を提供する。 - 特許庁

The visual field size for defect search of the defect review device is set on the basis of the error without any inclination.例文帳に追加

傾向を持たない誤差に基づいて、欠陥レビュー装置における欠陥探索用の視野サイズを設定する。 - 特許庁

Prior to correction of defect, a stage 2 moves a substrate 1 two-dimensionally to a position where the defect are put in the visual field area of an objective 14.例文帳に追加

欠陥の修正が行われる前に、ステージ２は、欠陥が対物レンズ１４の視野領域に入る位置に基板１を二次元移動する。 - 特許庁

To detect a defect in a mask with high sensitivity by acquisition of a dark field image without generating a pseudo defect.例文帳に追加

疑似欠陥を発生させることなく、暗視野像の取得によりマスクの欠陥を高い感度で検出する。 - 特許庁

This defect detection device is constituted by using the dark field illumination device.例文帳に追加

また、このような暗視野照明装置を用いて、欠陥検出装置を構成する。 - 特許庁

To provide a means for inspecting a response to only an OFF stimulus in an inspection of advancing a visual field defect.例文帳に追加

視野欠損の進行の検査において、ＯＦＦ刺激のみに対する応答を検査する手段を提供する。 - 特許庁

A computer 18 determines the existence of the defect of the sample on the basis of acquired magnetic field distribution data.例文帳に追加

コンピュータ１８は、取得された磁場分布データに基づいて、試料の欠陥の有無を判定する。 - 特許庁