sroとは 意味・読み方・使い方

When the storage node electrode SN is formed as a laminated structure of the Ru film 16 and the SRO film 17, contact failures of the SRO film with a tungsten plug 12 can be prevented.例文帳に追加

ストレージノード電極ＳＮをＲｕ膜１６とＳＲＯ膜１７との積層構造とすることにより、ＳＲＯ膜とタングステンのプラグ１２とのコンタクト不良を防止できる。 - 特許庁

An Sr poor SRO film 15 is formed in a barrier metal film side alone by making a film formation temperature in the first half of a film formation process of a SRO film as a lower capacitor electrode than that in the latter half.例文帳に追加

下部キャパシタ電極としてのＳＲＯ膜の成膜工程の前半の成膜温度を後半のそれよりも高くして、バリアメタル膜側でのみＳｒプアーなＳＲＯ膜１５を形成する。 - 特許庁

In manufacture for such a damascene wiring structure, the first SRO layer 4 acts as an etching stopper film, and the second SRO layer 6 acts a stopper film for CMP.例文帳に追加

このようなダマシン配線構造の製造において、第１のＳＲＯ層４がエッチングストッパ膜に、第２のＳＲＯ層６がＣＭＰのストッパ膜になる。 - 特許庁

The inorganic fibers contain SiO_2 of ≥70.0 wt.%, SrO of 0.5 to 15.0 wt.%, SrO of 0.5 to 15.0 wt.%, and CaO of 0.5 to 15.0 wt.%.例文帳に追加

ＳｉＯ_2が７０．０重量％以上であり、ＭｇＯが５．０〜２０．０重量％であり、ＳｒＯが０．５〜１５．０重量％であり、ＣａＯが０．５〜１５．０重量％である。 - 特許庁

SrRuO3 (SRO) is used for at least a part of electrodes 10, 12 of a ferroelectric capacitor C, the Ru/Sr ratio (atomic) of the SRO is set in a range of 1.01-1.10.例文帳に追加

本発明は、強誘電体キャパシタＣの電極１０、１２の少なくとも一部にＳｒＲｕＯ_3 （ＳＲＯ）を用い、このＳＲＯのＲｕ／Ｓｒ比（原子）を１．０１〜１．１０の範囲にする。 - 特許庁

The TiO film and the SrO film are respectively formed to have one or more molecular layers and twenty or less molecular layers, and are alternately and laminarly formed at a temperature ≥150°C and ≤400°C, respectively, and at a pressure of 10 Torr or more and equal to an atmospheric pressure or less.例文帳に追加

TiO膜及びSrO膜は、各々温度１５０℃以上４００℃以下、圧力１０Torr以上大気圧以下で、各々１分子層以上、２０分子層以下で交互に層状に形成させる。 - 特許庁

This dielectric porcelain composition is made up of MgO 61.5 to 65.0 mol % MgO, 30.5 to 32.5 mol % CiO2, 0.1 to 2.0 mol % Al2O3, 1.0 mol 3.0 mol % SrO, and 1.0 mol to 3.0 mol % ZrO2.例文帳に追加

MgOとして61.5mol%以上65.0mol%以下、SiO_2として30.5mol％以上32.5mol％以下、Al_2O_3として0.1mol％以上2.0mol％以下、SrOとして1.0mol％以上3.0mol％以下、ZrO_2として1.0mol％以上3.0mol％以下となる材料組成とする。 - 特許庁

In addition, when the inside wall surface of the cell capacitor is formed as a structure of the SRO film, the BST film and the SRO film, an increase in the number of processes is prevented, and the capacitance of a capacitor can be increased.例文帳に追加

しかも、セルキャパシタの内壁面をＳＲＯ膜／ＢＳＴ膜／ＳＲＯ膜構造とすることにより、工程数の増大を防止してキャパシタ容量を増大できる。 - 特許庁