「ダイアフラム圧力センサ」に関連した英語例文の一覧と使い方(3ページ目) - Weblio英語例文検索

メタルダイアフラムと一体にされるリングウェルドをハウジングに抵抗溶接によって接合する場合において、抵抗溶接時に発生したバリが圧力センサの組み付け相手側に落ちることを防止できる構造を提供する。例文帳に追加

To prevent a flash generated during resistance welding from falling into a device on which a pressure sensor is mounted when a ring weld which is unified with a metal diaphragm is molded to a housing by resistance welding. - 特許庁

したがって、測定対象となる圧力の大きさに応じてセンサチップ２０を取り付ける側面１０ｂを変更することにより、ダイアフラム１１として用いる側壁部を変えることが可能となり、共通の部品を用いて複数の感度の圧力センサＳ１を製造することが可能となる。例文帳に追加

The side wall part used as the diaphragm 11 is changeable by changing the side face 10b for attaching a sensor chip in response to a level of pressure of a measuring object, and the pressure sensor S1 with the plurality of sensitivities is manufactured using a common component. - 特許庁

主表面が（１００）面である半導体基板を用いたダイアフラム式の半導体圧力センサにおいて、検出圧力の微圧化を図った場合でも、金属配線のクリープ応力によるセンサ出力の変動を抑制できるようにする。例文帳に追加

To suppress the variation of an output of as diaphragm type semiconductor pressure sensor using a semiconductor substrate having a main surface to be the (100) face due to the creep stress of metal wirings even when the detectable pressure is intended to be very low. - 特許庁

圧力センサに於いて、光分波・合波手段３により光を２つの偏光成分に分波した光を圧力測定対象の圧力を受けた受圧ダイアフラム５の突出変形面の複数箇所に照射し、その各反射する光強度比から圧力を検知する。例文帳に追加

In the pressure sensor, light that is split into two polarization components by a light splitting/coupling means 3 is applied to a plurality of locations on the projection deformation surface of a pressure reception diaphragm 5 that has received pressure that is to be measured, and pressure is detected according to each reflected light intensity ratio. - 特許庁

半導体基板１１の一部分として形成されたダイアフラム１５と、絶縁性部材１３上にダイアフラムと対向して設けられた電極膜１７との間の静電容量変化を検出する静電容量型圧力センサであって、半導体基板にそれぞれ離間して設けられた第１及び第２拡散配線層２１及び２３を具える。例文帳に追加

The capacitive pressure sensor detects the variation of capacitance between a diaphragm 15 formed as a part of a semiconductor substrate 11 and an electrode film 17 formed on an insulating member 13 so as to be disposed opposite the diaphragm, and includes first and second diffusion wiring layers 21 and 23 separately provided on the semiconductor substrate. - 特許庁

キャビティ１１を有する基体１２と、キャビティ１１内に収容されるセンサ素子３２を含む第１のセンサ部と、前記センサ素子の収容された空間を封止し且つ少なくとも一部が導電性を有する蓋体２２と、蓋体２２と対向した状態でキャビティ１１内に配置される固定電極２４とでダイアフラム圧力センサを構成する第２のセンサ部と、を備えたセンサモジュール１０を提供する。例文帳に追加

The sensor module 10 includes: a base body 12 provided with a cavity 11; a first sensor part including a sensor element 32 accommodated in the cavity 11; and a second sensor part in which a lid 22 for sealing a space accommodating the sensor element and at least partially conductive and fixed electrodes 24 arranged in the cavity 11 while opposing to the lid 22 constitute a diaphragm pressure sensor. - 特許庁

絶対圧力センサ１は、ダイアフラム１１の周縁に複数のピエゾ抵抗１２・１２子を形成し、該ピエゾ抵抗１２・１２の形成面とは反対側の面にキャビティ１３を形成したセンサ基板１０に、キャビティ１３を閉じるようにキャップ基板２０を接合してなる。例文帳に追加

An absolute pressure sensor 1 includes a sensor substrate 10 in which a plurality of piezoresistances 12 and 12 are formed on the periphery of a diaphragm 11, and a cavity 13 is formed on the side opposite to the one to form the piezoresistances 12 and 12; a cap substrate 20 that is joined to the sensor substrate 10 so as to close the cavity 13. - 特許庁

センサチップのキャビティ部とダイアフラム部をエッチングにより形成する工程において、シリコンエッチングレートの変動を減少させることにより、感度特性のばらつきが少なく、信頼性の高い静電容量型圧力センサを高い良品率で安定的に製造し、提供すること。例文帳に追加

To stably manufacture a highly reliable capacitive pressure sensor with less dispersion of sensitivity characteristic at a high non-defective rate by reducing the fluctuation of silicon etching rate in the process of forming the cavity part and diaphragm part of a sensor chip by etching. - 特許庁

センサ本体３７内に塑性変形を生じることのない台板３１を設け、この台板３１に半導体歪みゲージ３４を備えた半導体ダイアフラム部３３を設け、且つ、流体圧を台板３１に作用せしめるための圧力導入部をセンサ本体３７に設ける。例文帳に追加

A base plate 31 which causes plastic deformation is provided in a sensor body 37 and provided with a semiconductor diaphragm part 33 equipped with a semiconductor strain gauge 34, and the sensor body 37 is provided with a pressure introduction part which makes fluid pressure operate on the base plate 31. - 特許庁

圧力検出用のダイアフラムを有するハウジングに信号取り出し用のコネクタケースを組み付けてなる圧力センサにおいて、バネ部材やフレキシブルプリント基板を用いることなく、コネクタケース側と検出部側とを接続する。例文帳に追加

To connect a connecter case side and a detection part side in a pressure sensor assembling a connecter case for a signal detection to a housing having a diaphragm for pressure detection, without using a spring member or a flexible printed board. - 特許庁

主表面が（１１０）面である半導体基板に圧力検出用のダイアフラムおよび歪みゲージ抵抗とを形成してなる半導体圧力センサにおいて、センターゲージとサイドゲージに加わる熱応力の差を極力小さくする。例文帳に追加

To reduce the difference of thermal stress exerted onto a center gage and a side gage in a semiconductor pressure sensor in which a diaphragm for pressure detection and a distortion gage resistor are formed on a semiconductor substrate having a plane (110) as a main surface. - 特許庁

ダイアフラムによって圧力伝達媒体としてのオイルが封入されてなる検出室を有する圧力センサにおいて、検出室の内圧ばらつきを抑制し、出力信号のばらつきを低減可能な製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a manufacturing method capable of suppressing dispersion of the inner pressure of a detection chamber, and thereby reducing dispersion of an output signal, concerning a pressure sensor having the detection chamber formed by enclosing oil as a pressure transfer medium by a diaphragm. - 特許庁

互いに対して固定的に配置された複数のコヒーレント光源１２と、イメージセンサ３０と、圧力チャンバー２０内の圧力変化に応じて曲がるように構成され、且つコヒーレント光源１２の各々が発した光線をイメージセンサ３０へ反射するように動作可能な弾性ダイアフラム１８を有する圧力チャンバー２０で、非侵襲圧力検知装置１０を構成する。例文帳に追加

A non-invastive pressure detector 10 is constituted of a plurality of coherent light sources 12 arranged fixedly each other, an image sensor 30, and a pressure chamber 20 having an elastic diaphragm 18 constituted to be bent in response to a pressure change inside the pressure chamber, and operable to reflect beams emitted from the respective coherent light sources 12 toward the image sensor 30. - 特許庁

圧力ポートに接着されたダイアフラムがＯリングを介してケースに押し当てられることにより当該ケースの圧力検出室が封止されてなる圧力センサにおいて、高温に曝されたときにＯリングからの応力によって圧力ポートが変形し、センサ特性が変動するのを極力防止する。例文帳に追加

To prevent to the utmost a pressure port from being deformed by a stress from an O-ring, when exposed to a high temperature, to fluctuate a sensor characteristic, in a pressure sensor with a pressure detecting chamber of a case sealed by pressing to the case a diaphragm bonded to the pressure port via the O-ring. - 特許庁

本発明の圧力センサ３０は、開口部１ａを有する第１半導体層１と、第１半導体層１上に形成され、ダイアフラム４となる凹部１２を有する第２半導体層３と、を有するセンサチップ１０と、開口部１ａに連通する圧力導入孔１７を有し、センサチップ１０に接合される台座１１と、を備える。例文帳に追加

The pressure sensor 30 includes: a sensor chip 10 which has a first semiconductor layer 1 having an opening portion 1a, and a second semiconductor layer 3 formed on the first semiconductor layer 1 and having a recessed portion 12 serving as a diaphragm 4; and a base 11 having a pressure inlet hole 17 connected to the opening portion 1a, and joined to the sensor chip 10. - 特許庁

メサ厚を基板厚と独立して設計でき、基板厚依存性を解消できるメサ構造を簡便、高精度、且つ再現性良く作成することができるメサ構造の形成方法並びにこれを用いたメサ構造、及びこれを用いたメサ型ダイアフラム並びに圧力センサを提供すること。例文帳に追加

To simply and accurately form mesa structure that can design the thickness of a mesa independently of the thickness of a substrate, and can cancel the dependency on the thickness of the substrate with improved reproducibility. - 特許庁

主表面が（１１０）面である半導体基板にダイアフラムおよび歪みゲージ抵抗とを形成してなる半導体圧力センサにおいて、センターゲージとサイドゲージに加わる熱応力に差があっても、両者の抵抗変化量が極力等しくなるゲージ構造を実現する。例文帳に追加

To realize a structure; in which the difference in the incremental resistance between center gauges and side gauges receiving thermal stress is equalized, as much as possible, even a different thermal stress is imparted on the center gauges and the side gauges, in a semiconductor pressure sensor provided with a diaphragm and strain gauge resistances on a semiconductor substrate of (110) face. - 特許庁

圧力センサー１の枠部１０８とダイアフラム層２０とは第１接合材４０で接合され、感圧素子層１０の一対の基部１６ｂと一対の支持部２１０とは、第１接合材４０の融点よりも高い融点を有する第２接合材５０で接合されている。例文帳に追加

A frame part 108 of a pressure sensor 1 and a diaphragm layer 20 are joined together using a first joint material 40, and a pair of base parts 16b of a pressure sensitive element layer 10 and a pair of support parts 210 are joined together using a second joint material 50 having a melting point higher than the melting point of the first joint material 40. - 特許庁

圧力センサー１のハウジングを構成する基板３にダイアフラムを覆う保護板７を補強材として固着するものにおいて、基板３に対して保護板７はその周縁部に沿って円弧状に溶接された複数の溶接部７Ｄで固着されている。例文帳に追加

A protection plate 7 covering a diaphragm is fixed to a substrate 3 constituting a housing of the pressure sensor 1 as a reinforcing member, and the protection plate 7 is fixed to the substrate 3 with a plurality of welded parts 7D which are welded in a circular arc shape along its peripheral edge part. - 特許庁

ケースの一面側と他面側とにダイアフラムによってオイルが封止されてなる圧力検出室を設け、この両圧力検出室の内圧の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、両圧力検出室内のオイルの温度差により生じる検出誤差を極力低減する。例文帳に追加

To reduce a detection error caused by a temperature difference between oils in both pressure detecting chambers, to the utmost, in a pressure sensor provided with the pressure detecting chambers with oils sealed in one face side and the other face side of a case by diaphragms, and for detecting pressure based on internal pressures of the both pressure detecting chambers. - 特許庁

測定圧が印加されるダイアフラムに設けられ、固有振動で発振する梁状の振動子と、前記振動子を覆うように形成されたシェル部とを備えた振動式圧力センサにおいて、前記シェル部は、前記振動子側に凸形に形成されたシェル部突起を備えたことを特徴とする振動式圧力センサ。例文帳に追加

This oscillation type pressure sensor is provided with a beam-like oscillator provided in a diaphragm applied with measuring pressure and oscillated with natural vibration, and a shell part formed to cover the oscillator, wherein the shell part is provided with a shell part protrusion formed into a shape protruded to an oscillator side. - 特許庁

ダイアフラムを形成するエッチング工程において、エッチング溶液の攪拌機構（スターラ）８と循環機構（ポンプ）７を有するエッチング装置を用い、また、温水による洗浄を実施することにより、ダイヤフラム部の厚みのばらつきを小さくし、センサ感度特性のばらつきの小さい静電容量型圧力センサを得る。例文帳に追加

In an etching process for forming a diaphragm, an etching device having an etching solution stirring mechanism (stirrer) 8 and a circulating mechanism (pump) 7 is used, and cleaning of the diaphragm using warm water is executed, whereby dispersion in the thicknesses of the diaphragm is lessened and an electrostatic capacity type pressure sensor, which has little dispersion in its sensor sensitivity characteristics, is obtained. - 特許庁

流体の圧力を受けて撓むダイアフラム１０が立体成形回路基板からなるボディ１に一体に設けられているので、従来例のようにセンサチップと台座の接合箇所あるいは台座とボディとの接着箇所から流体が漏れるというようなことがなく、流体の漏れによって圧力検出に支障を来すことがない。例文帳に追加

Since the diaphragm 10 bending under the pressure of the fluid is provided integrally with the body 1 made up of the circuit board, the fluid is kept from leaking out of a joint part of a sensor chip and a seat, or a joint part of a seat and the body as in hitherto-known examples, keeping pressure detection from being hindered by the leakage of the fluid. - 特許庁

ダイアフラムと、可動電極板と、固定電極板とを備え、流液の圧力を静電容量に変換する圧力センサと、その静電容量を周波数に変換する周波数変換器と、その周波数から液体の流量を測定する処理器とにより、液体処理用フィルタの使用量検知装置を構成した。例文帳に追加

The sensing device is provided with a diaphragm, a movable electrode plate and a fixed electrode plate, and constituted of a pressure sensor for converting the pressure of flowing liquid into the capacitance, a frequency converter for converting the capacitance into the frequency and a treater for measuring the flow rate of liquid from the frequency. - 特許庁

差圧伝送器において、一部が同一液体抵抗の液体配管にそれぞれ充填されると共にセンタダイアフラムで区分された同一液量の封入液を介して印加される２つの圧力を伝える差圧調整部と、前記差圧調整部から伝わる２つの前記圧力の差圧を測定する差圧センサとを備える。例文帳に追加

This differential pressure transmitter is provided with a differential pressure adjusting section 8 for transmitting two pressures applied through sealed liquids in the same amounts of which the parts are respectively installed in liquid conduits having the same liquid resistance and divided by a center diaphragm 10, and the pressure sensor 9 for measuring the differential pressure between the two pressures transmitted from the differential pressure adjusting section. - 特許庁

インジェクタ２は、アクチュエータボデー（インジェクタボデー）１５１とは別体形成されるとともに当該アクチュエータボデー１５１に対して取替え可能に一体的に固定されるとともに、内部にダイアフラム部１８ｎと圧力センサチップ１８ｆなどからなる圧力検出部８０を有するヘッドボデー９０を備える。例文帳に追加

An injector 2 includes a head body 90 formed separately from an actuator body (injector body) 151, replaceably integrally fixed relative to the actuator body 151 and having a pressure detection part 80 comprising a diaphragm part 18n and a pressure sensor chip 18f at the inside. - 特許庁

第１の基板１０に形成される固定電極１６と第２の基板１１のダイアフラム部１３に形成された多層構造の絶縁膜Ａ２８及び絶縁膜Ｂ３１が、キャビティ部１４を介して対向するように接合され、かつ、固定電極１６がシールド層３０の上に形成された静電容量型圧力センサ。例文帳に追加

In this capacitance type pressure sensor, an insulating film A28 and an insulating film B31 of a multilayer structure formed on a fixed electrode 16 formed on a first base board 10 and a diaphragm part 13 of a second base board 11 are oppositely joined via a cavity part 14, and the fixed electrode 16 is formed on a shield layer 30. - 特許庁

ＢＧ圧力センサは、力を受け変位するセンシング部６（ダイアフラム61）と、このセンシング部６の変位箇所に設置される光導波路１の一部に形成された変位検出用ＢＧ３と、センシング部６の変位影響の少ない箇所で変位検出用ＢＧ３の近傍領域に設置される補償用ＢＧ４と、を備えて構成される。例文帳に追加

This BG pressure sensor has a sensing part 6 (a diaphragm 61) displaced by receiving a force, a displacement detecting BG 3 partially formed in a light guide 1 mounted on a displacement position of the sensing part 6, and a compensating BG 4 mounted near the displacement detecting BG 3 in a position where a large influence of the displacement of the sensing part 6 does not reach. - 特許庁

本センサは、一方の面に圧力検出素子を有し、他方の面に凹部を形成してダイアフラム及び支持部が設けられる半導体基板と、この半導体基板の他方の面の支持部に接合され、この接合される接合部の外周の形状が円形である支持体基板とを有することを特徴とするものである。例文帳に追加

The sensor has the pressure detection element on its one surface and, on the other surface, the semiconductor substrate having the diaphragm and a support section obtained by forming a recessed part and having a support body substrate that is joined to the support section on the other surface of the semiconductor substrate and where the outer peripheral shape of the joined part is a circle. - 特許庁