「電子加速電圧」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

低加速電圧で高分解能な電子線装置を実現する。例文帳に追加

To provide an electron ray apparatus with high resolution and low acceleration voltage. - 特許庁

低加速電圧の電子ビームを用いて簡便に試料観察を行う。例文帳に追加

To simply observe a specimen by using an electron beam having a low accelerating voltage. - 特許庁

超高電圧電子顕微鏡では、高電圧が多段式加速電極に印加される。例文帳に追加

In a UHV-TEM, a high voltage is applied to a cascade of the acceleration electrode.  - 科学技術論文動詞集

また、この検査において、電子線を用いたアライメントを行う際には、電子線アライメントにおける電子線の加速電圧と、パターン検査における電子線の加速電圧とを、異なる電圧に設定することができるようにする。例文帳に追加

When alignment is performed using an electron beam in the test, the acceleration voltage of the electron beam in the electron beam alignment and the acceleration voltage in the pattern test can be set at different voltages. - 特許庁

走査型電子顕微鏡及び走査型電子顕微鏡における加速電圧最適化方法例文帳に追加

SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND ACCELERATION VOLTAGE OPTIMIZATION METHOD IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE - 特許庁

入射電子が可変層に到達するよう適切な入射電子加速電圧を選択する。例文帳に追加

A proper incident electron acceleration voltage is selected so that incident electrons reach the variable layer. - 特許庁

描画方法、描画装置及び電子ビーム描画における電子ビームの加速電圧値取得方法例文帳に追加

DRAWING METHOD AND DRAWING DEVICE, AND METHOD FOR ACQUIRING ACCELERATION VOLTAGE VALUE OF ELECTRON BEAM IN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY - 特許庁

低い加速電圧で大きな電子線電流が得られる電子銃を提供する。例文帳に追加

To provide an electron gun capable of obtaining a large electron beam current at a low accelerating voltage. - 特許庁

その後、最適加速加速電圧により加速された電子ビーム１２を試料１６に照射して、実パターンの寸法測定を行う。例文帳に追加

Afterwards, the electron beams 12 accelerated by the optimally accelerated accelerating voltage is irradiated on the sample 16 to carry out dimensional measurement of an actual pattern. - 特許庁

加速電圧の降下を終了する除電終了電圧は、予め複数の試料で二次電子放出効率が１となる加速電圧を比較し、最小加速電圧以下とする。例文帳に追加

The neutralization terminating voltage for terminating the lowering of the accelerating voltage, is determined to be less than a minimum accelerating voltage as a result of the comparison of the accelerating voltages to achieve the secondary electron emitting efficiency of 1 on the plurality of samples in advance. - 特許庁

対物レンズ８の電子ビーム通路に加速円筒９を配置し、一次電子ビームの後段加速電圧１０を印加する。例文帳に追加

An accelerating tube 9 is arranged in an electron beam passage of an object lens 8 and rear stage accelerating voltage 10 of a primary electron beam is applied thereto. - 特許庁

ベータトロン加速器で電子を加速するＸ線発生装置において、加速電圧を制御するコイルに過渡現象を含まない電圧を与えることにより、電子ビーム軌道の変更を正確に行えるようにする。例文帳に追加

To enable changes in an electron beam orbit to be accurately carried out by imparting a voltage not including a transient phenomenon to a coil for controlling an accelerating voltage in an X-ray generator to accelerate electrons by a betatron accelerator. - 特許庁

これにより、電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）と加速電圧電源９の出力電圧Ｖａを加算した電圧が実際の電子銃に印加される所望の加速電圧となるので、加速電圧に電圧降下の影響を及ぼすことなくエミッション電流を正しく計測できる。例文帳に追加

As a result, since the voltage obtained by adding the potential difference (Ie×Re) and the output voltage Va of the acceleration voltage power source 9 becomes the actually intended acceleration voltage to be impressed on the electron gun, the emission current can be measured correctly, without exerting effects of the voltage drop on the acceleration voltage. - 特許庁

電子銃に印加する加速電圧を制御する電子銃制御において、加速電圧源が出力する加速電圧により生成されるエミッション電流を放電電流制限抵抗により電流制限するとともに、放電電流制限抵抗による電圧降下分を補正して、電子銃に印加する加速電圧をエミッション電流の変化に因らず一定に保持する。例文帳に追加

In the electron gun controller controlling the acceleration voltage applied to the electron gun, the emission current generated by the acceleration voltage outputted by an acceleration voltage source is limited by a discharge current limiting resistance and voltage drop by the discharge current limiting resistance is corrected so that the acceleration voltage applied to the electron gun is held constant regardless of change of the emission current. - 特許庁

光電子顕微鏡として用いられる場合、レンズ鏡筒２には正の加速電圧が印加される。例文帳に追加

When the device is used as a photo-electron microscope, a positive acceleration voltage is applied to the lens barrel 2. - 特許庁

低加速電圧を用いた高精度な三次元解析を行える走査型電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

To provide a scanning electron microscope conducting highly precise three-dimensional analysis using low acceleration voltage. - 特許庁

図１で、加速電圧5kVでの電子レンズは、補助コンデンサレンズ３を外した構成になっている。例文帳に追加

In Fig.1, as for the electron lens at an acceleration voltage 5 kV, an auxiliary condensing lens 3 is detached. - 特許庁

電子線照射装置において加速電圧変更、装置停止に掛かる時間を削減すること。例文帳に追加

To reduce time taken for changing acceleration voltage and stopping a device in an electron beam irradiation device. - 特許庁

一次電子１５は、この陽極電圧VAによって加速され、陽極膜１４を照射する。例文帳に追加

The primary electron 15 is accelerated by this positive electrode voltage VA, and subjects the positive electrode film 14 to irradiation. - 特許庁

これにより、空隙に発生する高周波電圧より高いエネルギに電子の加速を行う。例文帳に追加

As a result, the electrons are accelerated with higher energy than high frequency voltage generated in the cavity. - 特許庁

電子銃から放出された電子ビームは、カソード−アース間電圧印加電源７でさらに加速され、電子線露光転写等に使用される。例文帳に追加

The electron beam emitted from the electron gun is accelerated by a cathode-earth voltage impressing power source 7 to use the electron beam for electron beam exposure transfer and the like. - 特許庁

一次電子ビームの加速電圧が低くても、雑音の混入なく高感度で電子の検出ができる電子検出装置を実現する。例文帳に追加

To provide an electron detector capable of detecting an electron at high sensitivity with no mixing of noise even when accelerating voltage of primary electron beam is low. - 特許庁

走査型電子顕微鏡は電界放射型の走査型電子顕微鏡が好ましく、電子線加速電圧は２ｋＶ以下が好ましい。例文帳に追加

A field emission scanning electron miscroscope is preferably employed and the electron beam acceleration voltage is preferably set ≤2 kV. - 特許庁

電子線加速器に加速電圧を供給する直流高圧電源装置の負荷が急激に軽くなったときの加速電圧の上昇を小さく抑える。例文帳に追加

To suppress small the rise of an acceleration voltage when a load on a direct-current high voltage power supply device for supplying an electron beam accelerator with the acceleration voltage is suddenly reduced. - 特許庁

電子放出素子１は、電極基板２と薄膜電極３との間に電圧を印加すると、電子加速層４で電子を加速させて、薄膜電極３から電子を放出する。例文帳に追加

The electron emitting element 1 emits an electron from the thin-film electrode 3 by accelerating the electron in the electron acceleration layer 4 when applying voltage between the electrode base board 2 and the thin-film electrode 3. - 特許庁

電子ビームを発生する電子銃と、前記電子銃の加速電圧を検出する加速電圧検出回路と、前記電子銃のエミッション電流を検出するエミッション電流検出回路と、加速電圧検出信号とエミッション電流検出信号に基づいて前記電子銃の放電を判定する判定回路と、を備えたことを特徴とした電子ビーム発生装置。例文帳に追加

The electron beam generating device is provided with an electron gun generating electron beams, an accelerating voltage detecting circuit detecting an accelerating voltage of the electron gun, an emission current detecting circuit detecting an emission current of the electron gun, and a determination circuit determining discharge of the electron gun based on an accelerating voltage detecting signal and an emission current detecting signal. - 特許庁

そして、一の走査ラインに沿って第１の加速電圧で電子ビームを照射し、一の走査ライン上の画像情報を取得する前に、少なくともその一の走査ライン上に第２の加速電圧で電子ビームを照射しておく。例文帳に追加

Electron beams are irradiated at the first acceleration voltage along one scanning line, and electron beams are irradiated at the second acceleration voltage on at least one scanning line before image information on one scanning line is obtained. - 特許庁

そして、対物レンズの励磁電流ΔIobjを試料に入射する電子ビームの加速電圧ΔＶに換算し、試料に入射する電子ビームの加速電圧をΔＶだけ変更する。例文帳に追加

The excitation current ΔIobj of the objective lens is converted into an acceleration voltage ΔV of an electron beam getting incident upon the sample, and the acceleration voltage of the electron beam getting incident upon the sample is changed by the acceleration voltage ΔV. - 特許庁

走査型電子線照射装置を定格の電圧より低い加速電圧で運転する場合、一つの加速電極だけを大地と短絡していたが、それより下位の電極に散乱ビームがあたり電界分布が乱れ電子線状態が不安定になる。例文帳に追加

To provide an accelerating tube structure of an electron irradiation device, which is enabled to keep a stable potential without potential misalignment of a low potential electrode from a ground potential even by dispersion beams. - 特許庁

このバイアス電圧の値は、電子銃２の加速電圧が３ｋＶである場合、２ｋＶ、あるいは２．５ｋＶに設定される。例文帳に追加

The value of this bias voltage is set to 2 kV or 2.5 kV, when the acceleration voltage of an electron gun 2 is 3 kV. - 特許庁

高電圧発生回路１０の出力側は、直列にされた出力抵抗Ｒ０を介して、電子銃１２の加速電圧Ｖ１として用いられる。例文帳に追加

An output side of a high voltage generating circuit 10 is used as an acceleration voltage V1 of an electron gun 12 via an output resistor R0 placed in series. - 特許庁

電圧補正回路１０は、電子銃（フィラメント７）に印加する加速電圧をエミッション電流の変化に因らず一定に保持する。例文帳に追加

The voltage correcting circuit 10 holds the acceleration voltage applied to the electron gun (filament 7) constant regardless of the change of the emission current. - 特許庁

入射電子の加速電圧Ｖａｃｃを固定して試料Ｓの下面の印加電圧Ｖｓｕｂを変えていく。例文帳に追加

An acceleration voltage Vacc of incident electrons is fixed, and an application voltage Vsub to the under surface of the sample S is changed. - 特許庁

電子線照射装置の電子線の加速電圧が１５０ｋＶ未満であることを特徴とする上記レンチキュラーレンズ。例文帳に追加

The acceleration voltage of the electron beam of the electron beam irradiation device is <150 kV. - 特許庁

電子顕微鏡の加速電圧のノイズを小さくして高分解能電子顕微鏡像の分解能を向上させる。例文帳に追加

To improve the resolution of a high resolution electron microscope by making the noise of an acceleration voltage of the microscope smaller. - 特許庁

１台の高電圧電源を用いて複数の加速管に複数の電子ビームを効率的に発生させることができる電子線照射装置を提供する。例文帳に追加

To provide an electron beam irradiation system which can efficiently emit electron beams to acceleration tubes, using a single high-voltage power source. - 特許庁

加速電圧３ｋＶ以下の電子線照射により放出される２次電子を観察することにより、コントラストが良い画像が得られる。例文帳に追加

When secondary electrons emitted by the irradiation with an electron beam at an accelerating voltage of 3 kV or less are observed, an image whose contrast is satisfactory is obtained. - 特許庁

電子線１１０は、加速電圧１ｋＶ、照射量が１×１０^17個／ｃｍ^2（１．６×１０^-2Ｃ／ｃｍ^2）の収束電子線である。例文帳に追加

The electron beam 110 is a focusing electron beam having an acceleration voltage of 1 kV and an exposure of 1×10^17/cm^2 (1.6×10^-2 C/cm^2). - 特許庁

他の発明は、電子ビームの加速電圧が１０ｋＶ以上であることを特徴とする請求項１記載の電子放出源である。例文帳に追加

In this electron emitting source, the acceleration voltage of an electron beam is 10 kV or higher. - 特許庁

さらに、高加速電圧の電子ビーム描画機で電子ビーム描画し、現像等のパターニング処理を施してフォトマスクを作製する。例文帳に追加

Further, a pattern is drawn with electron beams by using a high acceleration voltage electron beam drawing machine, and then treated for patterning such as by developing to produce a photomask. - 特許庁

高い加速電圧で加速された電子線又はこれと同等のエネルギーを有する反射電子を、簡単な構造にて高感度で応答性よく検出する半導体電子線検出器を提供する。例文帳に追加

To provide a semiconductor electron beam detector with a simple structure sensitively and responsively detecting an electron beam accelerated by high acceleration voltage or reflected electron having energy similar to the electrons of the beam. - 特許庁

電子が放出される間、高電圧を印加して放出された電子が加速されるようにし、加速された電子が陽極電極の上部面に塗布された蛍光体を発光させる。例文帳に追加

While electrons are emitted, the emitted electrons are accelerated by applying a high voltage and the accelerated electrons make a phosphor coated on an upper face of an anode electrode emit light. - 特許庁

走査型又は透過型電子顕微鏡、オージェ電子分光装置等の表面分析装置、電子線露光機、特に、電子ビームの加速電圧が１ｋＶ以下の低加速で用いられる走査型電子顕微鏡、ＣＤ ＳＥＭ、ＤＲＳＥＭ等の半導体ウェハ検査装置に用いられる電子源を提供する。例文帳に追加

To provide an electron source which is used for a semiconductor wafer inspection device such as a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer like an Auger electron spectroscopic analyzer, an electron beam exposure apparatus, especially a scanning electron microscope using an electron beam accelerated with low voltage of 1 kV or less, a CD SEM, or a DRSEM. - 特許庁

検出管と、該検出管を作動するために必要な加速電圧を供給するための加速電圧供給ユニットとを有する光電子増倍システムにおいて、前記検出管（１）と前記加速電圧供給ユニット（２）は、熱的分離要素（３）の異なる側に配されることを特徴とする。例文帳に追加

This photoelectron multiplication system including a detection tube, and an acceleration voltage supply unit for supplying an acceleration voltage necessary for operating the detection tube is characterized by arranging the detection tube 1 and the acceleration voltage supply unit 2 on the sides different from each other of a thermal separation element 3. - 特許庁

背面電子衝撃加熱装置は、加熱プレート２の背後に設けられたフィラメント９と、このフィラメント９を加熱する加熱電源１２と、このフィラメント９に加速電圧を印加する加速電源１１と、前記フィラメント９から放出され、加速電源１１による加速電圧で加速された電子を加熱プレート２に向けて反射するリフレクタ３とを有する。例文帳に追加

The back-face electron impact heating device comprises a filament 9 provided on the back of a heating plate 2, a heating power supply 12 which heats the filament 9, an acceleration power supply 11 which applies an acceleration voltage to the filament 9, and a reflector 3 which reflects electrons which are emitted from the filament 9 and accelerated by the acceleration voltage applied from the acceleration power supply 11 toward the heating plate 2. - 特許庁