Interlayerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 6425件
INTERLAYER DIELECTRIC INCLUDING AROMATIC POLYCARBOSILANE AND SEMICONDUCTOR USING THIS例文帳に追加
芳香族ポリカルボシランを含む層間絶縁膜及びこれを用いた半導体装置 - 特許庁
THERMOCHROMIC FILM, INTERLAYER FOR LAMINATED GLASS, LAMINATED GLASS AND PASTING FILM例文帳に追加
サーモクロミック性フィルム、合わせガラス用中間膜、合わせガラス及び貼り付け用フィルム - 特許庁
INTERLAYER FOR LAMINATED GLASS, METHOD FOR PRODUCING THE SAME AND LAMINATED GLASS USING THE SAME例文帳に追加
合わせガラス用中間膜、その製造方法およびそれを用いた合わせガラス - 特許庁
MULTILAYER PRINTED BOARD HAVING VIA HOLE FOR INTERLAYER CONNECTION AND ITS METHOD OF MANUFACTURE例文帳に追加
層間接続バイア・ホールを有する多層プリント基板およびその製造方法 - 特許庁
To reuse a polymer interlayer film recovered from waste laminated glass effectively.例文帳に追加
廃合わせガラスから回収した高分子中間膜を有効に再利用する。 - 特許庁
A high-density interlayer vertical bus interconnection section 105 of particulates is used.例文帳に追加
微粒子の高密度層間垂直バス相互接続部(105)が使用されている。 - 特許庁
THERMOSETTING RESIN COMPOSITION, MOLDED ARTICLE AND INTERLAYER INSULATION FILM FOR PRINTED CIRCUIT BOARD例文帳に追加
熱硬化性樹脂組成物、成形体、及びプリント基板用の層間絶縁膜 - 特許庁
This circuit breaker is provided with a body 1 having the interlayer wall 3 for separating the plurality of connection terminals 2 connected respectively to the plurality of poles, and the insulating barrier 7 attached along a direction extended with the interlayer wall 3 from an end part of the interlayer wall 3.例文帳に追加
複数の極にそれぞれ接続された複数の接続端子2を各極毎に隔てる相間壁3を有する本体1と、相間壁3の端部から該相間壁3が延伸する方向に取り付けられた絶縁障壁7を備える。 - 特許庁
A silicon nitride film 7 which has a selection ratio of an interlayer insulating film 6 higher than that of a resist film and which is more hardly polished in a chemical/mechanical polishing method than the interlayer insulating film 6 is formed on the interlayer insulating film 6 under predetermined etching conditions.例文帳に追加
所定のエッチング条件においてレジスト膜よりも層間絶縁膜6に対する選択比が高くかつ層間絶縁膜6よりも化学機械研磨法において研磨され難いシリコン窒化膜7を層間絶縁膜6の上に形成する。 - 特許庁
After an insulating film 202, a first metal layer 203, and a first interlayer insulating film 204 are sequentially formed on a semiconductor substrate 201, an opening part is formed at the first interlayer insulating film 204, while an interlayer connection metal 208 is formed at the opening part.例文帳に追加
半導体基板201の上に、絶縁膜202、第1の金属層203、第1の層間絶縁膜204を順次形成した後、第1の層間絶縁膜204に開口部を形成し、開口部へ層間接続用金属208を形成する。 - 特許庁
The local layer has an interlayer dielectric 3 principally comprising silicon oxide, the intermediate layer has an interlayer dielectric 5 composed of a low-k material, and the global layer has an interlayer dielectric 6 principally comprising silicon oxide.例文帳に追加
ローカル層は酸化シリコンを主成分とする層間絶縁膜3を有しており、中間層はlow−k材料からなる層間絶縁膜5を有しており、グローバル層は酸化シリコンを主成分とする層間絶縁膜6を有している。 - 特許庁
Above a first interlayer insulation film 1 and a first copper wiring layer 3, a diffusion prevention film 4, a second interlayer insulation film 5 and a third interlayer insulation film 11 are formed sequentially followed by formation of a contact hole 6 reaching the first copper wiring layer 3.例文帳に追加
第1の層間絶縁膜1および第1の銅配線層3の上に、拡散防止膜4、第2の層間絶縁膜5および第3の層間絶縁膜11を順に形成し、第1の銅配線層3に至る接続孔6を形成する。 - 特許庁
The third interlayer insulating film 214 is so flattened by a CMP method that the surface of the third interlayer insulating film 214 is in the same plane of the upper surface of the interlayer connection metal 208 and the surface of the first interlyaer insulating film 204.例文帳に追加
第3の層間絶縁膜214の表面が層間接続用金属208の上面および第1の層間絶縁膜204の表面と同一平面になるように、CMP法によって第3の層間絶縁膜214を平坦化する。 - 特許庁
A unit pixel comprises a second conductive layer 110, a first interlayer insulating layer 120 on the second conductive layer 110, a first conductive layer 130 on the first interlayer insulating layer 120, and a second interlayer insulating layer 140 on the first conductive layer 130.例文帳に追加
単位画素は、第2導電層110、第2導電層110上の第1層間絶縁層120、第1層間絶縁層120上の第1導電層130、及び第1導電層130上の第2層間絶縁層140を備える。 - 特許庁
The signal line 12 is embedded in a third interlayer dielectric 29 being an interlayer dielectric for embedding, and an upper face 29a of the third interlayer dielectric 29 and an upper face 12a of the signal line 12 are nearly coplanar and flattened.例文帳に追加
信号線12は、埋め込み用層間絶縁膜である第3の層間絶縁膜29中に埋め込まれるとともに、第3の層間絶縁膜29の上面29aと信号線12の上面12aとが略面一とされて平坦化されている。 - 特許庁
After a lower electrode 21 of the electrostatic capacitor and second layer wiring 22 are formed at the same time on a first interlayer insulating film 17, an opening 34 is formed in a second interlayer insulating film 24 deposited on the first interlayer insulating film 17.例文帳に追加
第1層間絶縁膜17上に静電容量素子の下部電極21と第2層配線22とを同時に形成した後、第1層間絶縁膜17上に堆積した第2層間絶縁膜24に開口部34を形成する。 - 特許庁
To prevent the generation of cracks in an interlayer insulating film even if tensile stress is generated by a barrier metal, and to prevent the occurrence of peeling between the interlayer insulating film and a film which is formed on the interlayer insulating film.例文帳に追加
バリアメタルによって引っ張り応力が発生することがあっても、層間絶縁膜にクラックが発生することを防止すると共に、層間絶縁膜と該層間絶縁膜の上に接して形成された膜との界面に剥離が発生することを防止する。 - 特許庁
To etch a reflection preventing film and an interlayer insulating film by one time of an etching treatment and to prevent the interlayer insulating film from being damaged in a high etching rate upon the dry etching of the interlayer insulating film on the upper surface of which the reflection preventing film is formed.例文帳に追加
上面に反射防止膜を形成した層間絶縁膜をドライエッチングする場合に、一回のエッチング処理で反射防止膜及び層間絶縁膜をエッチングでき、高いエッチングレートで層間絶縁膜にダメージを与えないようにする。 - 特許庁
A first interlayer insulating film 4, an organic polysilcon film 5, and a second interlayer insulating film 6 composed of a material different from that of the first interlayer insulating film 4 are formed in this order on a diffusion prevention film 3 formed on a lower layer interconnect line 2.例文帳に追加
下層配線2上に形成された拡散防止膜3の上に、第1の層間絶縁膜4、有機ポリシリコン膜5、および、第1の層間絶縁膜4とは異なる材料からなる第2の層間絶縁膜6をこの順に形成する。 - 特許庁
To provide a manufacturing method for inexpensively manufacturing a conductor for interlayer connection which improves the connecting reliability of interlayer connection in a multi-layer printed circuit board.例文帳に追加
多層プリント基板において、層間接続の接続信頼性を向上することが可能な層間接続用導電体を安価に製造する製造方法を提供する。 - 特許庁
An interlayer insulating film 3 is formed on a substrate 2, including a conductive layer 1 formed in advance and, in the interlayer insulating film 3, a contact hole 4 is formed, and is filled up with a contact plug 5.例文帳に追加
導電層1が形成された基板2上に層間絶縁膜3を形成し、層間絶縁膜中にコンタクトプラグ5が充填されたコンタクトホール4を形成する。 - 特許庁
A plasma nitride film 15 serving as an etching stopper film and an interlayer insulating film 16 are formed on the substrate, and then a connection hole 17 is bored in the interlayer insulating film 16 without biting into the silicide film 13.例文帳に追加
基板上に、エッチストッパ用のプラズマ窒化膜15と層間絶縁膜16とを形成した後、シリサイド膜にくい込ませずに接続孔17を開口する。 - 特許庁
Copper plating 31 undergoes interlayer connection upon components 11 being accommodated in a board, whereby the board can cope with making an interlayer connection hole 29 smaller in size and in larger aspect ratio.例文帳に追加
部品11を基板内部に収容する場合の層間接続は銅めっき31に担わせることにより、層間接続孔29の小径化、高アスペクト比化に対応できる。 - 特許庁
An interlayer insulating film is deposited on all the surface including the polysilicon film 106.例文帳に追加
ポリシリコン膜106上を含む全面に層間絶縁膜108を堆積する。 - 特許庁
During dry and wet conditions, the bonding strength of the interlayer joined by the adhesives 13a, 13b are greater than the bonding strength of the interlayer in the outer periphery region 1b.例文帳に追加
乾燥時と湿潤時において、接着剤13a、13bで接合されている層間の接合強度が、外周領域1bでの層間の接合強度よりも大きい。 - 特許庁
A first interlayer insulating film 149 and a second interlayer insulating film 150c are provided between the gate electrode and the second wirings 154 and 157, to lessen the semiconductor device in parasitic capacitance.例文帳に追加
また、ゲート電極と第2配線154、157の間には第1層間絶縁膜149及び第2層間絶縁膜150cを設け、寄生容量を低減する。 - 特許庁
An interlayer dielectric film 10 consisting of an organic resin film is deposited, and the unwanted segments of the interlayer dielectric film 10, such as drain contact holes 12 are removed, by using a photolithographic technique.例文帳に追加
有機樹脂膜からなる層間絶縁膜10を成膜し、フォトリソグラフィ技術を用いてドレインコンタクトホール12等の層間絶縁膜10の不要部分を削除する。 - 特許庁
The interlayer short 163 formed in the capacitor CS in the wiring board 1 is repaired.例文帳に追加
配線基板1のキャパシタCSに生じた層間短絡163を修正する。 - 特許庁
The method also includes a step of then forming an interlayer insulating film 10 on a substrate, and a step of then forming a contact plug 11 connected to an n-type source/drain region 9 on the interlayer insulating film 10.例文帳に追加
次に、基板上に層間絶縁膜10を形成した後、層間絶縁膜10にn型ソース・ドレイン領域9と接続されるコンタクトプラグ11を形成する。 - 特許庁
The thickness of the interlayer insulating film positioned in the colored layer of R is set to be thinner than the thickness of the interlayer insulating film positioned in the colored layers of G and B.例文帳に追加
また、Rの着色層に位置する層間絶縁膜の厚さは、G及びBの着色層に位置する層間絶縁膜の厚さより薄く設定されている。 - 特許庁
The distance S1 between the contact holes 9 positioned in the interlayer insulating film 4 is made smaller than a distance S2 between the contact holes 9 in the surface of the interlayer insulating film 4.例文帳に追加
そして、層間絶縁膜4内に位置するコンタクトホール9間の間隔S1を、層間絶縁膜4表面におけるコンタクトホール9間の間隔S2よりも小さくする。 - 特許庁
Even if the thickness of the interlayer insulating layer 4 is thickened by incorporating the mounting component 2 in the interlayer insulating layer 4, the depth of the via hole 3 is formed shallow.例文帳に追加
実装部品2を層間絶縁層4内に内蔵することによって層間絶縁層4の厚みが厚くなっても、ビアホール3の深さは浅く形成されている。 - 特許庁
Then, the interlayer insulation film 11 is dry-etched (Figure 1B) to form a contact hole 12.例文帳に追加
次に、層間絶縁膜11をドライエッチングし(図1B)、コンタクトホール12を形成する。 - 特許庁
The semiconductor device 1000 has the pad 30A on the interlayer insulating layer 20.例文帳に追加
半導体装置1000は、層間絶縁層20上にパッド部30Aを有する。 - 特許庁
To provide a method for leveling an interlayer insulating film which facilitates leveling by excluding an effect of unevenness of the interlayer insulating film caused by a wiring layer.例文帳に追加
配線層による層間絶縁膜の凹凸の影響を排除することで、平坦化を容易とすることができる層間絶縁膜の平坦化方法を提供する。 - 特許庁
The resin layer 5 is provided in an opening region where the interlayer insulating film 4 is etched.例文帳に追加
樹脂層5は、層間絶縁膜4をエッチングした開口領域に設けられる。 - 特許庁
To provide a method of forming a low dielectric constant interlayer insulating film, suppressing peeling during an assembly process and a CMP process, and to provide a semiconductor device using the low dielectric constant interlayer insulating film.例文帳に追加
組み立て工程やCMP工程時における剥離を抑制した、低誘電率層間絶縁膜の製造方法とそれを用いた半導体装置を提供する。 - 特許庁
III-NITRIDE SEMICONDUCTOR STRUCTURES WITH STRAIN-ABSORBING INTERLAYER TRANSITION MODULES例文帳に追加
歪吸収中間層遷移モジュールを有するIII族窒化物半導体構造 - 特許庁
An interlayer insulating film 132 which is the first layer to cover the peripheral circuit 12 is constituted of a film higher in flatness than the interlayer insulating film 131.例文帳に追加
また、周辺回路部12上を覆う第1層目の層間絶縁膜132は、上記層間絶縁膜131よりも平坦性の高い膜で構成されている。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing an interlayer connecting conductor capable of improving the reliability of interlayer connection in a multilayer printed board.例文帳に追加
多層プリント基板において、層間接続の接続信頼性を向上することが可能な層間接続用導電体を製造するための製造方法を提供する。 - 特許庁
A silicon nitride film 7 and an interlayer insulating film 8 are laminated on the upper surface of it.例文帳に追加
上面にシリコン窒化膜7、層間絶縁膜8が積層形成されている。 - 特許庁
The semiconductor device comprises a pad 1, and a first interlayer insulating film 3 and a second interlayer insulating film 4 which are formed under the pad 1 and in which wiring is embedded.例文帳に追加
半導体装置はパッド1と、パッド1の下に形成された、配線が埋め込まれた第1の層間絶縁膜3及び第2の層間絶縁膜4とを備えている。 - 特許庁
A wiring groove 2 is formed in an interlayer insulating film 1 on a wafer W, and then a barrier metal film 3, a seed film 4, and a wiring film 5 are formed on the interlayer insulating film 1.例文帳に追加
ウェハW上の層間絶縁膜1に配線溝2を形成し、その後、層間絶縁膜1上にバリアメタル膜3、シード膜4、及び配線膜5を形成する。 - 特許庁
To suppress the diffusion of metal atoms into a porous interlayer insulating film via the surface of a recessed part such as a wiring groove, a via hole or the like formed in the interlayer insulating film.例文帳に追加
多孔質層間絶縁膜に形成した配線溝やビアホールなどの凹部表面を介した、層間絶縁膜中への金属原子の拡散を抑制する。 - 特許庁
On an insulation film 14 wherein plugs 16 are formed, an interlayer insulation film 17 consisting of a silicon-rich oxide film and an interlayer insulation film 18 consisting of TEOS film are formed.例文帳に追加
プラグ16を形成した絶縁膜14上にシリコンリッチな酸化膜よりなる層間絶縁膜17およびTEOS膜よりなる層間絶縁膜18を形成する。 - 特許庁
A trench for forming wiring, integrated with the second hole is formed by etching the second interlayer insulating film until a top surface of the first interlayer insulating film is exposed.例文帳に追加
第1の層間絶縁膜の上面が露出するまで第2の層間絶縁膜をエッチングすることで、第2のホールと一体とされた配線形成用溝を形成する。 - 特許庁
Then, an interlayer film 6 is formed so as to be in a state of embedding the protruding patterns 4.例文帳に追加
次に、これらの凸パターン4を埋め込む状態で層間膜6を成膜する。 - 特許庁
The wiring pattern 13 is covered with an interlayer insulating film, and then an opening 14 is provided inside the interlayer insulating film so as to make the curved end of the wiring pattern 13 exposed.例文帳に追加
配線パターン13を層間絶縁膜で覆った後、配線パターン13の屈曲した端部が露出するように開口14を層間絶縁膜内に形成する。 - 特許庁
A wiring channel 2 is formed on the surface of an interlayer insulating film 1 through RIE.例文帳に追加
層間絶縁膜1表面にRIEにより配線用溝2を形成する。 - 特許庁
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