「dielectric window」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS, DIELECTRIC WINDOW MEMBER USED THEREFOR, AND MANUFACTURING METHOD OF DIELECTRIC WINDOW MEMBER例文帳に追加

マイクロ波プラズマ処理装置、それに用いる誘電体窓部材および誘電体窓部材の製造方法 - 特許庁

The surface of the projecting part 22c of the dielectric plate 22 is projected outward from the surface of the dielectric window 12 toward the dielectric window 12.例文帳に追加

そして、誘電体板２２の凸部２２ｃの表面を誘電体窓１２の表面から誘電体窓１２に向かって外方に突出させる。 - 特許庁

Dielectric plates 3, 4 are provided parallel to the dielectric window 2 and only propagate the surface waves.例文帳に追加

誘電体板３，４は、誘電体窓２に並設され、表面波の伝播のみを行う。 - 特許庁

A high frequency current passes through a disk-shaped dielectric air- tight window 13 such that the disk-shaped dielectric air-tight window 13 is overheated to high temperature by a dielectric loss.例文帳に追加

円板状誘電体気密窓13には高周波電流が通過するので、円板状誘電体気密窓13を誘電体損により高温に過熱する。 - 特許庁

Since the dielectric plate 22 can be pressed onto the dielectric window 12 and the dielectric plate 22 can be bent to be adjusted to the bending of the dielectric window 12, it is prevented that the gap is formed between the dielectric plate 22 and a slot plate 23, or between the slot plate 23 and the dielectric window 12.例文帳に追加

誘電体板２２を誘電体窓１２に押し付け、誘電体窓１２の撓みに合わせて誘電体板２２を撓ませることができるので、誘電体板２２とスロット板２３との間、又はスロット板２３と誘電体窓１２との間に隙間が発生するのを防止することができる。 - 特許庁

The dielectric 510 is arranged in correspondence with the detection window 16.例文帳に追加

誘電体５１０は、検知窓１６に対応して配置されている。 - 特許庁

At least one of the form of the dielectric plates 3, 4, their thickness and their dielectric constant may also differ from that of the dielectric window 2.例文帳に追加

誘電体板３，４は、形状、厚さおよび誘電率のうち少なくとも１つが誘電体窓２と異なってもよい。 - 特許庁

To provide a plasma treatment device capable of suppressing consumption of a dielectric window, by efficiently cooling the dielectric window while preventing it to be enlarged.例文帳に追加

大型化をおさえて、誘電体窓を効率よく冷却することで、誘電体窓の消耗を抑制できるプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

DIELECTRIC BODY WINDOW PROCESSING OF WIDE BANDWIDTH FOR CONDUCTOR SUSPENSION STRUCTURE例文帳に追加

導体のサスペンション構造用の広帯域幅の誘電体ウィンドウ処理 - 特許庁

At this time, fluid is put to flow in a passage 11 provided inside the dielectric window 5 to control a temperature of the dielectric window 5.例文帳に追加

このとき、誘電体窓５の内部に設けられた流路１１に流体を流すことにより、誘電体窓５の温度を制御することができる。 - 特許庁

The waveguide 21 is formed adjacently to the dielectric window 3 and is for introducing the microwave into the processing container 1 through the dielectric window 3.例文帳に追加

導波管２１は、誘電体窓３に隣接して形成され、誘電体窓３を介してマイクロ波を処理容器１の内部に導入するためのものである。 - 特許庁

While the deformation of a dielectric material window 3 is maintained, the surface of the window directed toward the outside of the chamber 2 is polished to be flat.例文帳に追加

誘電体窓３の撓みを維持させながら、チャンバ２の外側に向かう面を平坦に研磨する。 - 特許庁

The window includes the dielectric window, the channel and the cooling member contacting with the outer surface of the window demarcating the adjoining medium to the channel.例文帳に追加

窓は、誘電体窓、およびチャネルおよびチャネルに隣接した媒体を画定する窓の外表面に接触した冷却部材を含んでいる。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a dielectric material window, the dielectric material window, and a plasma processing apparatus using the dielectric material window which can increase an adhesive force between an antenna and the dielectric material window and also can prevent abnormal electric discharging and stabilize a plasma density distribution according to a magnetic field distribution or a plasma density distribution.例文帳に追加

アンテナと誘電体窓の密着性を向上させ、異常放電を防止し、かつ、誘電体窓内の電磁界分布、したがってプラズマ密度分布を安定させることができる誘電体窓の製造方法、誘電体窓、およびその誘電体窓を用いるプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To suppress thermal stress by preventing occurrence of temperature distribution in a dielectric window 107.例文帳に追加

誘電体窓１０７に温度分布を生じなくして熱応力を小さくする。 - 特許庁

DIELECTRIC WINDOW FOR PLASMA TREATMENT APPARATUS, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR例文帳に追加

プラズマ処理装置用誘電体窓及びプラズマ処理装置用誘電体窓の製造方法 - 特許庁

To provide a dielectric body window processing of wide bandwidth for a conductor suspension structure.例文帳に追加

導体のサスペンション構造用の広帯域幅の誘電体ウィンドウ処理を提供する。 - 特許庁

An antenna 5 is so provided as to face a mounting table 27 via a dielectric window member 3.例文帳に追加

載置台２７と誘電体窓部材３を介して対向するようにアンテナ５を設ける。 - 特許庁

To obtain plasma having a higher density and a high reliability by preventing a damage of a dielectric window.例文帳に追加

誘電体窓の損傷を防ぎ、プラズマのより高密度化及び高信頼性を得る。 - 特許庁

MICROWAVE PLASMA TREATMENT EQUIPMENT, PROCESS FOR FABRICATING DIELECTRIC WINDOW, AND MICROWAVE PLASMA TREATMENT METHOD例文帳に追加

マイクロ波プラズマ処理装置、誘電体窓の製造方法およびマイクロ波プラズマ処理方法 - 特許庁

If the slot plate 23 is brought into direct contact with the dielectric window 12, deviation of the amount of elongation is produced due to a difference in the thermal expansion coefficients of the slot plate 23 and the dielectric window 12.例文帳に追加

スロット板２３を誘電体窓１２に直接接触させると、スロット板２３及び誘電体窓１２の熱膨張係数の差による伸び量のずれが発生する。 - 特許庁

In the dielectrics window 5, the cold warm medium path 11 is formed between dielectric plates by jointing a plurality of dielectric plates.例文帳に追加

誘電体窓５は、複数の誘電板を接合することによって夫々の誘電板間に冷温媒流路１１を形成する。 - 特許庁

The plasma treating apparatus comprises the dielectric window 107 for leading a high frequency power to a plasma treating chamber 101 and partitioning the plasma treating chamber 101, and means 116 for cooling the dielectric window 107 wherein a member 109 for transmitting heat of the dielectric window 107 to the cooling means 116 is provided between the dielectric window 107 and the cooling means 116.例文帳に追加

高周波電力をプラズマ処理室１０１へ誘導すると共にプラズマ処理室１０１の内外を仕切る誘導体窓１０７と、誘導体窓１０７を冷却する冷却手段１１６とを備えたプラズマ処理装置において、誘導体窓１０７と冷却手段１１６との間に、誘導体窓１０７の熱を冷却手段１１６へ伝達する伝達部材１０９を備える。 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus and a dielectric window structure thereof, by which local erosion and wear-out of a dielectric protection cover provided inside a dielectric window can be suppressed, and thus the life of the dielectric protection cover is elongated, leading to the increase in productivity.例文帳に追加

誘電体窓の内側に設けられた誘電体保護カバーが局部的に削られて消耗することを抑制することができ、誘電体保護カバーの長寿命化により生産性の向上を図ることのできるプラズマ処理装置及びその誘電体窓構造を提供する。 - 特許庁

LIQUID-COOLING MICROWAVE PLASMA APPLICATOR FOR MICROWAVE PLASMA SYSTEM AND LIQUID-COOLING DIELECTRIC WINDOW例文帳に追加

マイクロ波プラズマ・システム用の液体冷却マイクロ波プラズマ・アプリケータおよび液体冷却誘電体窓 - 特許庁

A dielectric window which has an annular sleeve on the periphery thereof and wherein the surface shape and the thickness of the central portion thereof are adjusted in plane is used for a dielectric window placed directly above the surface of a substrate.例文帳に追加

基板表面の直上に設けられる誘電体窓として、外周部にリング状のスリーブを有し、さらに、中央部の表面形状や厚さが面内調整されたものを用いる。 - 特許庁

A cylindrical conductor 12 is forcibly cooled by supplying cooling water to a cooling groove 15, the disk-shaped dielectric air-tight window 13 is cooled as well and the thermal destruction of the disk-shaped dielectric air-tight window 13 is prevented.例文帳に追加

冷却溝15に冷却水を供給して円筒導体12を強制的に冷却し、円板状誘電体気密窓13も冷却し、円板状誘電体気密窓13の熱破壊を防止する。 - 特許庁

Moreover, the dielectric antenna 3 is extended toward the rear window 51, thereby inhibiting the dielectric antenna 3 from influenced by a metal-made member.例文帳に追加

また、誘電体アンテナ３を、リアウィンドウ５１側に伸出せしめることで、誘電体アンテナ３が他の金属製部材の影響を受けるのを抑制する。 - 特許庁

A warm air unit 125 is connected to a dielectric window 103 of the plasma processing apparatus and on the basis of a temperature signal generated by measuring the temperature of the dielectric window 103 or a shower plate 102 by a temperature sensor 128, the warm air unit 125 is controlled to perform temperature control over the dielectric window 103 or shower plate 102.例文帳に追加

プラズマ処理装置の誘電体窓１０３に温風ユニット１２５を接続し、誘電体窓１０３あるいはシャワープレート１０２の温度を温度センサー１２８により計測した温度信号を元に、温風ユニット１２５を制御して誘電体窓１０３あるいはシャワープレート１０２の温度制御を行う。 - 特許庁

The processing container 1 has a dielectric window 3 which can transmit a microwave used to generate plasma.例文帳に追加

処理容器１は、プラズマを形成するために用いるマイクロ波が透過可能な誘電体窓３を有する。 - 特許庁

A microwave introduction window 6 is placed below a dielectric line 5 facing to it with a predetermined interval.例文帳に追加

誘電体線路５の下側に所定間隔を有してマイクロ波導入窓６が対向配置されている。 - 特許庁

A plurality of slits 503 are formed in a mask member 50 mounted on the lower side of the dielectric window (a unified body of a window member 25 and a disposable plate 27).例文帳に追加

誘電体窓（窓材２５及び捨て板２７の統合体）の下面に装着されたマスク部材５０には複数のスリット５０３が形成されている。 - 特許庁

The thickness of the portions of the dielectric window subjected to the in-plane adjustment is approx. 1/4 of the wavelength of microwaves in the dielectric, and the portions subjected to the in-plane adjustment are discontinuously formed in the direction of the radius of the dielectric window with a diameter equivalent to an integral multiple of 1/2 the wavelength.例文帳に追加

誘電体窓の面内調整された領域の厚さが、誘電体内のマイクロ波の波長の１／４程度であり、また、面内調整領域が、誘電体窓の径方向に１／２波長の整数倍の直径で不連続に設けられる。 - 特許庁

Thus, even when a deformation is generated in the dielectric material window 3 upon plasma processing, the surface of the window to be contacted with an antenna 4 can be made flat, an adhesive force between the dielectric material window 3 and the antenna 4 can be increased, and abnormal electric discharge can be prevented.例文帳に追加

そのため、プラズマ処理時に、誘電体窓３の撓みが発生した場合であっても、アンテナ４に接する面は平坦とすることができ、誘電体窓３とアンテナ４の密着性を向上させることができ、異常放電を防止することができる。 - 特許庁

A window material 26 is arranged at a side where excimer light irradiated from the dielectric barrier discharge lamp is irradiated.例文帳に追加

誘電体バリア放電ランプから放射されるエキシマ光を照射する側の面に窓材２６を配置する。 - 特許庁

To provide a plasma processing device capable of uniformly cooling a planar antenna or a dielectric window, in the circumferential direction thereof.例文帳に追加

平面アンテナや誘電体窓を周方向に均一に冷却できるプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

A container of the two-dimensional array dielectric barrier discharge lamp has a light taking-out window for taking out excimer light.例文帳に追加

二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの容器には、エキシマー光を取り出すための光取出窓が有る。 - 特許庁

There is negative pressure of a range of 1 to 600 Torr (1.3332×10^2 to 7.9993×10^4 Pa) between the dielectric window 12 and a dielectric plate 22 of the microwave plasma treatment device.例文帳に追加

マイクロ波プラズマ処理装置の誘電体窓１２と誘電体板２２との間を１〜６００Torr（１．３３３２×１０^2〜７．９９９３×１０^4Ｐａ）の範囲の負圧にする。 - 特許庁

A barrier layer (15) isolates the tungsten plug (14) from the surface of a dielectric material (16), and the contact window or the via (11) is formed inside the surface of the dielectric material (16).例文帳に追加

バリア層（１５）は、タングステンプラグ（１４）を誘電材（１６）の表面から分離するが、この誘電材（１６）の表面内にはコンタクト窓或いはバイア（１１）が形成されされる。 - 特許庁

A base end 301 of a rod-shaped dielectric antenna 3 for outputting a received signal to the receiving circuit 20 is positioned in a terminating part of the rear window 51 side of the wiring board 2, and the dielectric antenna 3 is extended toward the rear window 51.例文帳に追加

受信信号を受信回路２０に出力する棒状の誘電体アンテナ３の基端３０１位置を、配線基板２のリアウィンドウ５１側の端縁部に設定し、誘電体アンテナ３をリアウィンドウ５１側に伸出せしめる。 - 特許庁

To provide a microwave plasma treatment device capable of preventing that a gap due to bending or the like of a dielectric window is formed.例文帳に追加

誘電体窓の撓み等に起因した隙間が発生するのを防止できるマイクロ波プラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

As a result of this, a planar antenna 905 or a dielectric window 105 can be cooled uniformly in the circumferential direction thereof.例文帳に追加

このため、平面アンテナ９０５や誘電体窓１０５を周方向に均一に冷却することが可能になる。 - 特許庁

A dielectric window 2 performs three operations of taking out microwaves (1), propagating surface waves (2) and holding air-tightness (3).例文帳に追加

誘電体窓２は、（１）マイクロ波の取り出し、（２）表面波の伝播、および（３）気密の保持の３つの働きをする。 - 特許庁

The antenna is provided with a cooling means and configured such that the thickness and the dielectric constant of an antenna window 5, the spatial distance between the antenna window 5 and the microstrip antenna 3, the spatial dielectric constant and an effective wavelength of an electromagnetic wave from a specific relation.例文帳に追加

アンテナ窓５の厚み及び誘電率、アンテナ窓５とマイクロストリップアンテナ３との空間の距離及び空間の誘電率と、電磁波の実効波長との間で規定の関係式が成り立つ構成とした冷却手段を有するアンテナ装置である。 - 特許庁

In the inductively coupled plasma processor for processing an article by plasma generated by the inductive coupling of electromagnetic waves through a dielectric window, the surface of the dielectric window is covered with a conductor and surrounded by the conductor, a part of the conductor is cut to expose its surface, and the inductive coupling of electromagnetic waves takes place through the exposed dielectric window.例文帳に追加

誘電体窓を介した電磁波の誘導結合によりプラズマを発生させ、被処理物を加工する誘導型プラズマ処理装置に関し、誘電体窓表面が導電体部で被覆されるとともに、導電体部で囲まれ、表面が露出するように導電体部の一部が切り欠かれており、露出する誘電体窓を介して電磁波の誘導結合が行われるように構成した。 - 特許庁