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secondary-electron imageの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 124



例文

SECONDARY ELECTRON IMAGE OBSERVATION DEVICE例文帳に追加

二次電子像観察装置 - 特許庁

ALIGNMENT METHOD FOR SECONDARY ELECTRON IMAGE例文帳に追加

二次電子像位置合わせ方法 - 特許庁

ADJUSTING METHOD FOR SECONDARY ELECTRON IMAGE例文帳に追加

二次電子像調整方法 - 特許庁

In the image acquisition section 114, the secondary electron intensity is subjected to brightness modulation for obtaining a secondary electron image.例文帳に追加

画像取得部114では、二次電子強度を輝度変調して二次電子画像を得る。 - 特許庁

例文

The secondary electrons from the sample 4 are detected and converted into an electric signal by a secondary electron detector 5, and displayed on a secondary electron image display means 8.例文帳に追加

試料4からの2次電子は2次電子検出器5により検出され電気信号に変換されて、2次電子像表示手段8に表示される。 - 特許庁


例文

METHOD FOR MANUFACTURING CARBON FIBER, ELECTRON EMITTER, ELECTRON SOURCE, IMAGE FORMING APPARATUS, LIGHT BULB AND SECONDARY BATTERY例文帳に追加

カーボンファイバー、電子放出素子、電子源、画像形成装置、ライトバルブ、二次電池の製造方法 - 特許庁

To improve efficiency in failure analysis of a semiconductor device by a secondary electron image.例文帳に追加

2次電子像による半導体装置の不具合解析の効率化。 - 特許庁

The image of the sample face is formed by the detected secondary electron signal.例文帳に追加

検出した二次電子信号から試料面の画像が形成される。 - 特許庁

To efficiently analyze the trouble of a semiconductor device by a secondary electron image.例文帳に追加

2次電子像による半導体装置の不具合解析の効率化。 - 特許庁

例文

To raise contrast level of the FIB image by increasing the secondary electron collection efficiency of the secondary electron detection system in the focusing ion beam device(FIB).例文帳に追加

集束イオンビーム装置(FIB)における二次電子検出系の二次電子収集効率を高めてFIB画像のコントラストレベルを上げる。 - 特許庁

例文

To realize a scanning electron microscope, in which secondary electrons can be detected even under a low vacuum, and an observation of a secondary electron image can be performed.例文帳に追加

低真空下でも2次電子を検出でき、2次電子像の観察を行うことができる走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

A secondary electron profile 29 only for the foreign matters is obtained from a secondary electron profile 28 of the foreign matters portion in a sample image 26 and a secondary electron profile 27 of the same portion in a reference image 21.例文帳に追加

試料画像26における異物部分の二次電子プロファイル28と参照画像21の同じ部分の二次電子プロファイル27から異物のみの二次電子プロファイル29を得る。 - 特許庁

Secondary electrons are more generated at the edge 15 than at the other region, so that the secondary electron image of the edge 15 becomes brighter on a CRT, and the electron-beam exposure system is focused on the pattern of the reticle 10 at a position where the secondary electron image of the edge 15 becomes brightest.例文帳に追加

エッジ15での二次電子の発生効率が高いため、エッジの部分の二次電子像がCRT上で明るく見え、エッジ15の二次電子像が最も鮮明に見える位置でパターンのフォーカスも合うことになる。 - 特許庁

An electron-beam exposure system is focused while the stepped pattern 11 is irradiated with a drawing electron beam and the secondary-electron image of the edge 15 is observed.例文帳に追加

電子線描画のフォーカス合わせを、段差状パターン11に描画電子ビームを当ててエッジ15の二次電子像を観察しながら行う。 - 特許庁

The region on the sample 4 that should be observed is scanned two-dimensionally with an electron beam from an electron gun 1, and a secondary electron image in the observation is displayed in a display device 34 by a signal based on a secondary electron from the observation region inspected at a secondary electron inspection device 31 by this scanning.例文帳に追加

電子銃1からの電子ビームで試料4上の観察すべき領域を二次元的に走査し、この走査により二次電子検出器31で検出された観察領域からの二次電子に基づく信号により表示装置34に観察領域の二次電子像を表示させる。 - 特許庁

A secondary electron detection signal from a sample 22 is image- integrated by an image integrator 26.例文帳に追加

試料22からの2次電子検出信号は画像積算器26によって画像積算される。 - 特許庁

The surface potential Vs of the photoreceptor sample S is measured by discriminating a boundary (|Vacc|=|Vs|) between a secondary electron image and an inverted electron image.例文帳に追加

2次電子像と反転電子像の境界(|Vacc|=|Vs|)を識別することにより感光体試料Sの表面電位Vsを計測する。 - 特許庁

To provide a high-sensitive X-ray detector capable of suppressing movement of a secondary electron image and distortion of the secondary electron image caused by astigmatism or the like even if bringing the detector close to a sample inside an electron microscope.例文帳に追加

電子顕微鏡内の試料に近接させても2次電子像の移動および非点収差等による2次電子像の歪みの低い,高感度なX線検出器を提供する。 - 特許庁

The extracted and transformed pattern of alignment is made to conform with the pattern 6 of the secondary electron image or secondary ion image.例文帳に追加

上記の抽出・変換した位置合わせパターンを二次電子像または二次イオン像の該当するパターン6に合わせ込む。 - 特許庁

To determine a coordinate position of a pixel without positional deviation in a secondary electron image.例文帳に追加

二次電子イメージにおいてピクセルの座標位置を位置ずれすることなく求める。 - 特許庁

A secondary excellent electron signal image is obtained even by a weak electron beam by applying constant voltage on a surface silicon layer to take secondary electron signal intensity.例文帳に追加

かつ表面シリコン層に一定電圧を加える構成とすることにより二次電子信号強度が大きく取れ微弱電子ビームでも良好な二次電子信号像が得られる。 - 特許庁

The processing progress is monitored by running the electron beam, and detecting secondary electrons generated from the object by a secondary electron detector to acquire an electron microscope image.例文帳に追加

また、電子ビームを走査させ、物体から発生した二次電子を二次電子検出器で検出し電子顕微鏡画像を取得して、加工の進行状況をモニタリングする。 - 特許庁

To obtain an image of high quality by avoiding defective display caused by deflection of electron flux due to electrification of a spacer and emission of secondary electron.例文帳に追加

スペーサの帯電や2次電子放出による電子束の偏向に起因する表示不良を回避して高品質の表示を得る。 - 特許庁

STRUCTURE, ELECTRON EMISSION DEVICE, SECONDARY BATTERY, ELECTRON SOURCE, IMAGE DISPLAY DEVICE, INFORMATION DISPLAY REPRODUCING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING THEM例文帳に追加

構造体、電子放出素子、2次電池、電子源、画像表示装置、情報表示再生装置及びそれらの製造方法 - 特許庁

The secondary-electron detection signal is digitized and transferred to efficiently obtain a high-quality electron-beam image with a high S/N ratio.例文帳に追加

また、二次電子検出信号をデジタル化してから転送し、高効率に高SN比で良質な電子線画像を取得する。 - 特許庁

The electron beam apparatus includes a primary electron optic system irradiating primary electron beams to a sample 11, a secondary electron detection system forming an electronic image by detecting secondary electrons generated from the sample, and an evaluation means evaluating the sample according to data of the electronic image.例文帳に追加

電子線装置は、一次電子線を試料11に照射する一次電子光学系、試料から生じる二次電子を検出し電子画像を形成する二次電子検出系、及び電子画像のデータに基き試料の評価を行う評価手段を含む。 - 特許庁

Then, in synchronization with the scanning of the primary electron beam 102 on the silicon substrate 108 by a polarizer 105 controlled by a primary electron raster section 106, a secondary electron 112 discharged from the silicon substrate 108 by irradiating the primary electron beam 102 is received by a secondary electron detector 113 for giving to an image acquisition section 114 as secondary electron intensity.例文帳に追加

そして、一次電子走査線部106により制御された偏光器105により一次電子線102がシリコン基板108上を走査するのと同期して、一次電子線102の照射を受けてシリコン基板108から放出される二次電子112を二次電子検出器113で受け、二次電子強度として画像取得部114に与える。 - 特許庁

For this apparatus, the surface of the substrate can be tested by comparing an image image formed by the secondary electron beam with the picture image stored beforehand, or by testing the pattern line width of the patterns on the surface of the substrate, based on the secondary electron beam.例文帳に追加

この装置では、2次電子線に基づき形成される画像を予め記憶した画像と比較したり、基板表面のパターンのパターン線幅を2次電子線に基づき検査することにより、基板表面の検査をすることができる。 - 特許庁

In the pattern inspection method, the circuit pattern is partitioned using the brightness of a reflected electron image to correlate an area in the reflected electron image belonging to each partition with an area in a secondary electron image.例文帳に追加

パターン検査方法は、反射電子像の輝度を用いて回路パターンを区分し、各区分に属する反射電子像内の領域と、2次電子像内の領域とを対応付ける。 - 特許庁

A processor part 26 conducts isignal procesing for signals detected with a secondary electron detector 16 and a reflecting electron detector 17, forms an electron image of each signal, and two electron images are superimposed on each other to form a synthetic electron image.例文帳に追加

プロセッサ部26では、二次電子検出器16及び反射電子検出器17で検出されたそれぞれ信号に対して所定の信号処理を施してそれぞれの電子画像を作成し、さらに2つの電子画像の重ね合わせて合成の電子画像を作成する。 - 特許庁

The secondary electron optical system is provided with lens 8 and 12 composing an image forming means forming an image by the secondary electron emitted from the test piece, and provided in a subsequent stage, a Vienna filter 13 compensating spherical aberration of a magnified image and magnifying lens 14 and 15 magnifying the electron beam passed through the Vienna filter.例文帳に追加

2次電子光学系は、試料から放出された2次電子による像を形成する結像手段を構成するレンズ8及び12と、その後段に設けられ、拡大像の球面収差を補正するウィーンフィルタ13と、ウィーンフィルタを経た電子ビームを拡大レンズ14及び15とを備えている。 - 特許庁

To provide a TTL-mode scanning electron microscope capable of giving high resolution to a secondary electron image and effectively providing a reflected electron image with good contrast.例文帳に追加

二次電子像での高分解能化が可能であり、かつTTL方式の走査型電子顕微鏡にてコントラストの良い反射電子像を効果的に得ることが課題である。 - 特許庁

To provide an apparatus of producing a work function image that can convert and produce the work function image on the basis of secondary electron image.例文帳に追加

二次電子像に基づいて仕事関数像を容易に変換生成できるようにした仕事関数像生成装置を提供する。 - 特許庁

In an electron beam device 20 for monitoring the image of a sample 5, according to secondary electrons Z generated by scanning of the sample 5 with primary electrons Y converged by an objective lens, a selecting means 21 for selectively applying the secondary electrons Z, according to energy of the secondary electrons Z, to a secondary electron detector 2 is provided in front of the electron detector 2 for converting the secondary electrons Z into electrical signals.例文帳に追加

対物レンズで収束された1次電子Yによって試料5を走査することにより発生した2次電子Zに基づいて試料5の像観察を行なう電子線装置20において、2次電子Zを電気的信号に変換するための2次電子検出器2の前方に2次電子Zのエネルギーに基づいて2次電子Zを選択的に2次電子検出器2に送るための選択装置21を設けた。 - 特許庁

The insulator inside this assembly is arranged completely out of the route of the secondary electron so as to avoid generation of arc that will give a bad influence on the FIB secondary electron image forming.例文帳に追加

また、この組立体の中の絶縁体を、FIB二次電子画像形成に悪影響を及ぼすアークの発生を避けるように、二次電子の経路から完全に外して配置する。 - 特許庁

The apparatus for analysis of the semiconductor device includes a function of irradiating a charged particle beam on a sample and displaying a secondary electron image according to a detected secondary electron intensity.例文帳に追加

半導体装置の解析装置は、荷電粒子ビームを試料に照射し、検出した2次電子強度に応じた2次電子像を表示する機能を備える。 - 特許庁

A scanning electron microscope 10 generates a microscopic image by emitting electron beams from an electron gun to a sample, and detecting secondary electrons generated from the sample.例文帳に追加

走査電子顕微鏡10は、電子銃から電子線を試料に照射し、試料から発生した二次電子を検出することによって顕微鏡画像を生成する。 - 特許庁

The detected secondary electron beam is A/D converted and is outputted from an image forming circuit 44 as digital image data.例文帳に追加

検出された二次電子線はA/D変換され、デジタル画像データとして画像形成回路44から出力される。 - 特許庁

To eliminate a color fading phenomenon and enable simultaneous observation with a secondary electron image in the observation of a cathode luminescence image of a living thing sample.例文帳に追加

生物試料のカソードルミネッセンス像観察において褪色現象を無くし、2次電子像との同時観察を可能とする。 - 特許庁

Superposition of unnecessary information is prevented and high quality image observation is realized by intermittently irradiating with the electron beam and selecting a secondary electron signal which reflects necessary sample information based on detection time in a transient response of the secondary electron obtained by an intermittent electron beam irradiation, when evaluating structure observation or material characteristics of the sample using the electron beam.例文帳に追加

電子線を用いて試料の構造観察や材料特性を評価するにあたって、断続的に電子線を照射し、断続的な電子線照射下で得られる2次電子の過渡応答の中で、必要な試料情報を反映した2次電子信号を検出時間により選択することで、不要な情報の重畳を防ぎ、高画質な観察を実現する。 - 特許庁

When a secondary electron image of a position recognition pattern 16 is not displayed with a first magnification, a secondary electron image is displayed with a second magnification lower than the first magnification while registered position recognition pattern data 17 are converted with the second magnification, and the secondary electron image with the second magnification is compared with the pattern data 17 obtained by the conversion, thereby recognizing the position of the recognition pattern 16.例文帳に追加

第1の倍率で位置認識パターン16の二次電子画像が表示されないとき、第1の倍率より低い第2の倍率で二次電子画像を表示するとともに、登録された位置認識パターンデータ17を第2の倍率に変換し、第2の倍率の二次電子画像と変換した位置認識パターンデータ17とを比較することによって位置認識パターン16の位置を認識する。 - 特許庁

The number of the secondary electrons that pass through the second electrode 20 is sufficient to obtain the secondary electron image, and the damage received by the fluorescent face 4 is small even though such number of secondary electrons are incident thereon.例文帳に追加

この第2電極20を通過する2次電子の量は、2次電子像を得るのに十分な量であり、このような2次電子が蛍光面4に入射しても、蛍光面の受けるダメージは少ない。 - 特許庁

When the irradiation position with an electron beam in the point focal region on a sample 3 at the time of practice is scanned, an irradiation position recognition part 12 recognizes the irradiation position with an electron beam in the electron image based on the secondary electron generated from the sample 3 to calculate the distance from the center point.例文帳に追加

分析実行時に試料3上の点焦点領域内で電子線の照射位置を走査するとき、照射位置認知部12は試料3から発生する二次電子に基づく電子像において電子線照射位置を認識し、中心点からの距離を求める。 - 特許庁

Although the comparison of pattern is usually effected employing a secondary electron image, the profile of pattern is extracted employing a reflective electron image which is said that it is suitable for the observation and inspection of the solid form of the pattern.例文帳に追加

パターン比較は通常2次電子像を用いて行うが、パターンの立体形状の観察及び検査に適すると言われている反射電子像を用いて、パターンの輪郭を抽出する。 - 特許庁

To make it possible to easily match a rate of enlargement of a secondary electron image and focusing conditions in the case where multi-beams are used in an electron beam system for detecting an image on the surface of a sample.例文帳に追加

試料表面の画像を検出する電子線装置において、マルチビームを用いる場合の二次電子像の拡大率及び合焦条件を容易に合わせることを可能にする。 - 特許庁

When secondary electrons emitted by the irradiation with an electron beam at an accelerating voltage of 3 kV or less are observed, an image whose contrast is satisfactory is obtained.例文帳に追加

加速電圧3kV以下の電子線照射により放出される2次電子を観察することにより、コントラストが良い画像が得られる。 - 特許庁

The aperture diameter of the objective lens diaphragm can be determined based on a signal value of a secondary electron signal of the observation image as well.例文帳に追加

また、観察像の二次電子信号の信号値に基づき、対物レンズ絞りの絞り径を判別することもできる。 - 特許庁

Hereby, the secondary electron image and the X-ray spectrum in the measuring range can be acquired together, when first-time scanning is finished.例文帳に追加

これにより、1回の走査が終了した時点で、測定範囲の二次電子画像とX線スペクトルとを共に得ることができる。 - 特許庁

To provide an adjusting method for a clear secondary electron image by optimizing the focal point control and astigmatism control more quickly.例文帳に追加

より速く焦点制御値及び非点収差制御値を最適化し、明瞭な二次電子像に調整する方法を提供する。 - 特許庁

例文

By the constitution, the energy of the charged particle can be distinguished according to a contrast when observing the conductor 101 by a secondary electron image.例文帳に追加

導体101を二次電子像で観察したときのコントラストによって荷電粒子のエネルギーを判別することが可能である。 - 特許庁

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