アライメント変化の英語

マークごとの変化の影響が低減されたアライメント構成及びアライメント方法を提供する。例文帳に追加

To provide an alignment arrangement and an alignment method which reduce influences of change by marks. - 特許庁

アライメントマークからの散乱光の配向分布が変化することによるアライメントマークの位置検出誤差を検出することができるアライメント誤差検出装置およびアライメント誤差検出方法を提供する。例文帳に追加

To provide an alignment error detection apparatus for detecting a position detection error of an alignment mark due to change of alignment distribution of scattering light from the alignment mark, and to provide an alignment error detection method. - 特許庁

光路の光軸ずれが生じても、基板のアライメントマークとマスクのアライメントマークとのパターン相対位置の変化が生じにくく、アライメント精度が高い露光装置のアライメント装置を提供する。例文帳に追加

To provide an alignment device for exposure equipment which hardly causes a change in a relative position of pattern between the alignment mark of a substrate and the alignment mark of a mask even if the optical axis deviation of an optical path occurs and has high alignment accuracy. - 特許庁

レーザ発振器のアライメント変化或いは、レーザ媒質の利得変化を検出し、最適なアライメント状態を維持する。例文帳に追加

To maintain an optimum alignment state by detecting a change in the alignment of a laser oscillator and changes in the gain of the laser medium. - 特許庁

送信タイミングを制御するためのタイムアライメント量指定値と端末局がタイムアライメント制御するタイミングからタイムアライメント制御による受信タイミングの変化分を検出し、これを基に受信タイミングを変更する。例文帳に追加

A change of the reception timing caused by time alignment control is detected from a time alignment quantity designation value for controlling a transmission timing and a timing for a terminal station to perform time alignment control, and the reception timing is changed on the basis of the detected change. - 特許庁

アライメントカメラに高性能な駆動機構を使用することなく、光照射部とアライメントカメラとの位置関係が変化した場合であっても、基板上の正確な位置に描画を行うことができるパターン描画装置およびアライメント方法を提供する。例文帳に追加

To provide a pattern drawing device and an alignment method by which drawing can be carried out at an accurate position on a substrate even when a positional relation between a light irradiating unit and an alignment camera changes, without using a high-performance driving mechanism for the alignment camera. - 特許庁

自動車のサスペンション挙動に伴う車輪２２のアライメント変化を容易かつ高精度に計測すると共に、車輪２２のアライメント変化を、タイヤ力と同時に計測することが可能な装置を提供する。例文帳に追加

To provide a device easily, accurately measuring the alignment variation of a wheel 22 accompanied by the suspension behavior of an automobile, and simultaneously measure the alignment variation of the wheel 22 with tire force. - 特許庁