「beam-current」に関連した英語例文の一覧と使い方(2ページ目) - Weblio英語例文検索

MULTIPLE ELECTRON BEAM SYSTEM, AND MULTIPLE ELECTRON BEAM CURRENT MEASURING AND DISPLAYING METHOD USED THEREWITH例文帳に追加

マルチ電子ビーム装置およびそれに用いられるマルチ電子ビーム電流の計測・表示方法 - 特許庁

In the detection step, a beam shape, which is a cross-sectional shape of an ion beam applied to the semiconductor substrate, and a beam current of the ion beam are detected.例文帳に追加

検出工程では、半導体基板へ照射されるイオンビームの断面形状であるビーム形状および前記イオンビームのビーム電流を検出する。 - 特許庁

This ion implanter is characterized by controlling dynamic variation with time of the beam current value by feeding back the beam current measured by a beam current value measurement means.例文帳に追加

イオン注入装置において、経時的に動的なビーム電流値の変化をビーム電流値測定手段によって測定されるビーム電流値を帰還して制御することを特徴とするイオン注入装置。 - 特許庁

A current of the primary beam for charge control, and an interval between the primary beam of the charge control and the primary beam for inspection are controlled.例文帳に追加

また、帯電制御用一次ビームの電流や、帯電制御用一次ビームと検査用一次ビームの間隔を制御する。 - 特許庁

CURRENT MEASURING METHOD OF ELECTRON BEAM IN VARIABLE AREA ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM AND VARIABLE AREA ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM例文帳に追加

可変面積型電子ビーム描画装置における電子ビームの電流測定方法および可変面積型電子ビーム描画装置 - 特許庁

METHOD FOR QUICKLY SWITCHING LARGE CURRENT MODE AND SMALL CURRENT MODE IN CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM例文帳に追加

荷電粒子ビーム・システムにおいて大電流モードと小電流モードとを高速に切り替える方法 - 特許庁

The laser diode 31 emits a laser beam when a current exceeding a threshold current Ith is applied.例文帳に追加

レーザダイオード３１はしきい値電流Ｉthを超える電流が流れるとレーザ光を出射する。 - 特許庁

Furthermore, the ion beam irradiation device includes beam current density distribution adjustment mechanisms 70a, 70b for respectively adjusting beam current density distributions in the vicinity of an end of ion beams 54a, 54b.例文帳に追加

更に、イオンビーム５４ａ、５４ｂの一端付近のビーム電流密度分布をそれぞれ調整するビーム電流密度分布調整機構７０ａ、７０ｂを備えている。 - 特許庁

This sterilizer is composed of a duct 2 passing a liquid current and an electronic beam generator 3 introducing the electronic beam stream in the liquid current in the duct 2 through an electronic beam transmission window 5.例文帳に追加

液流を通すダクト２と、ダクト２の中の液流に電子線透過窓５を介して電子線流を導入する電子線生成器３とから構成されている。 - 特許庁

On a beam line before an incident into a beam scanner 36, there is arranged, in a takeout/takein manner, an injector flag Faraday cut 32 for measuring a total beam volume of an ion beam and detecting a beam current.例文帳に追加

ビームスキャナ３６への入射前のビームライン上に、イオンビームの全ビーム量を計測してビーム電流を検出するインジェクタフラグファラデーカップ３２が入れ出し可能に配置される。 - 特許庁

The quadrupole lens array splits the incident solid electron beam into multiple sub-beam, allowing out-going beam radiation to be different from incident beam radiation while total current of beam does not change.例文帳に追加

四重極レンズ・アレイは、入射するソリッド電子ビームを多数のサブビームに分割し、それによって出射ビーム放射が入射ビーム放射と異なり、一方、ビーム総電流は変化しない。 - 特許庁

To provide a beam space charge neutralization device capable of increasing a beam current by suppressing the divergence of an ion beam neutralizing beam space charge for improving beam transport efficiency.例文帳に追加

ビーム空間電荷を中和してイオンビームの発散を抑え、ビーム輸送効率を向上させてビーム電流を増大させることができるようなビーム空間電荷中和装置を提供する。 - 特許庁

To realize enlargement of an ion beam current of gas cluster ion beams.例文帳に追加

ガスクラスターイオンビームのイオンビーム電流の大電流化を実現する。 - 特許庁

Thereby, a pulse ion beam having an ion beam current lower than a current value corresponding to the lowest power P_C for igniting discharge is obtained.例文帳に追加

これによって、最低放電点弧可能パワーＰ_Ｃ に対応する電流値よりも低いイオンビーム電流のパルスイオンビームが得られる。 - 特許庁

Thereby, a pulse ion beam having an ion beam current lower than a current value corresponding to the lowest power P_C capable of igniting discharge is obtained.例文帳に追加

これによって、最低放電点弧可能パワーＰ_C に対応する電流値よりも低いイオンビーム電流のパルスイオンビームが得られる。 - 特許庁

In this electron beam generating device 1 which emits the electron beam from the filament by thermionic emission, filament current control means 4, 5 to control a filment current flowing in the filament 3 are provided, and the beam current is controlled to the constant value by detecting the beam current of the electron beam and feeding back the detected value to the filament current control means.例文帳に追加

熱電子放出によりフィラメントから電子ビームを放出する電子ビーム発生装置１において、フィラメント３を流れるフィラメント電流を制御するフィラメント電流制御手段４，５を備え、電子ビームのビーム電流を検出し、その検出値をフィラメント電流制御手段にフィードバックすることによってビーム電流を一定値に制御する。 - 特許庁

The depletion of the beam is detected by measuring a beam current flowing through each head and comparing the present beam current IB with a beam depletion threshold JB to a beam control signal S at that time, the voltages of a common power source is maintained to maintain a filament current of normal heads and that of an abnormal head which causes the drop in the beam current is interrupted.例文帳に追加

各々のヘッドに流れるビーム電流を計測し、ビーム切れを現在のビーム電流Ｉ_Ｂとそのときのビーム制御信号Ｓに対するビーム切れ閾値Ｊ_Ｂとを比較することによって検出し、共通の電源電圧を維持し正常ヘッドのフィラメント電流は維持し、ビーム電流低下を起こした異常ヘッドのフィラメント電流を遮断する。 - 特許庁

By implanting operation of an ion beam, an amount of wear of the ion beam current detecting plate is integrated in an integrating circuit 11 from ion beam current amount converted into a parameter signal in an arithmetic circuit 9, time when the ion beam current detecting plate receives the ion beam, an accelerating voltage value of the ion beam and an atomic mass number of ion.例文帳に追加

イオンビーム１の注入動作により、演算回路にてパラメータ信号に変換したイオンビーム電流量、イオンビーム電流検出板２がイオンビーム１を受けた時間、イオンビーム１の加速電圧値およびイオンの質量数から、積算回路１１にてイオンビーム電流検出板２の削れ量を積算する。 - 特許庁

A current for adjusting the beam landing place flows from a bigger one of the inductance.例文帳に追加

ビームランディング位置補正電流はインダクタンスの大きい方から流れる。 - 特許庁

The ion-beam current measurement device 30 is equipped with a beam current detector 32, and a first suppression electrode 34, as well as, a second suppression electrode 36.例文帳に追加

イオンビーム電流測定装置３０は、ビーム電流検出器３２、第１抑制電極３４および第２抑制電極３６を備えている。 - 特許庁

A beam current detection unit 5 detects luminance of an image projected on a screen 10 through a beam current J flowing inside a CRT 1.例文帳に追加

ビーム電流検出部５は、ＣＲＴ１の内部を流れるビーム電流Ｊを通じて、画面１０に映出される画像の輝度を検出する。 - 特許庁

PARTICLE SOURCE HAVING SELECTABLE BEAM CURRENT AND EXPANSION OF ENERGY例文帳に追加

選択可能なビーム電流及びエネルギーの広がりを備えた粒子源 - 特許庁

Thus, the measurement error of the ion beam current measuring part 4 itself is corrected.例文帳に追加

イオンビーム電流計測部４それ自体の測定誤差が補正される。 - 特許庁

An amount of wear of an ion beam current detecting plate at a replacement time for the ion beam current detecting plate is preliminarily set and inputted to a set value input circuit 10 of an ion beam current detecting plate wear monitor 8.例文帳に追加

あらかじめイオンビーム電流検出板削れモニタ８の設定値入力回路１０に、イオンビーム電流検出板２の交換時期のイオンビーム電流検出板２の削れ量を設定入力する。 - 特許庁

To decrease costs by reducing the number of current signal lines of a current monitor for a multi-beam laser.例文帳に追加

マルチビームレーザの電流モニタ電流信号線数を減らすことでコストダウンを図ることを目的とする。 - 特許庁

Current detecting circuits 61L and 61R detect beam currents corresponding to the current detection signals.例文帳に追加

電流検出回路６１Ｌ，６１Ｒは、電流検出用信号に対応するビーム電流を検出する。 - 特許庁

The electron beam lithography system using a variably shaped beam is equipped with electron beam detectors 130 and 131 used for measuring the amount of current of the variable shaped beam, and the current values measured corresponding to the beam sizes of the variably shaped beam are fed back to the exposure time of an electron beam so as to solve the problem.例文帳に追加

可変成形ビームを用いる電子ビーム描画装置において、可変成形ビームの電流量を計測するための複数の電子ビーム検出器１３０、１３１を有し、可変成形ビームの複数のビームサイズに応じて計測された電流値を、電子ビームの露光時間にフィードバックすることにより解決する。 - 特許庁

To provide a multi-wire beam profile monitor capable of precisely monitoring the beam current without being affected by the unstable electrostatic capacity of the capacitor for storing the beam current.例文帳に追加

ビーム電流蓄積用コンデンサの静電容量のばらつきの影響を受けることなくビーム電流を正確にモニタすることができるようにしたマルチワイヤ型ビームプロファイルモニタを提供する。 - 特許庁

A current source leads a current via the anchors and the buckle beam parts and transfers the thermal expansion of the buckle beam parts, i.e., a bending motion of the buckle beam parts to the outside surface of the base board.例文帳に追加

電流源は、アンカーを介し、熱バックルビーム部を介して電流を導き、熱バックルビーム部の熱膨張を、したがって基板の面外へのそれらの湾曲運動を伝える。 - 特許庁

To provide a charged particle beam device capable of getting sufficient resolution even at large current or with a large-diameter beam by correcting chromatic aberration of a beam separator.例文帳に追加

ビーム分離器の色収差を補正して大電流や大口径ビームでも十分な解像度が得られる荷電粒子ビームデバイスを実現する。 - 特許庁

To provide an ion beam implantation device capable of preventing damage of an ion beam current detection means and exactly implanting ion beam.例文帳に追加

本発明は、イオンビーム電流検出手段の損傷を防止して正確にイオンビームを注入できるイオンビーム注入装置を提供する。 - 特許庁

Furthermore, a change in the beam current condition is checked from the log data to determine a bad beam (512).例文帳に追加

さらに、履歴データからビーム電流条件の変化をチェックすることで、不良ビームの判定を行う５１２。 - 特許庁

To provide a dual beam system capable of operating an ion beam while feeding a current into a scanning electron microscope (SEM) lens.例文帳に追加

ＳＥＭレンズに電流を流しながらイオン・ビームを操作することのできる二重ビーム装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a double beam apparatus for operating an ion beam while feeding a current into a scanning electron microscope (SEM) lens.例文帳に追加

ＳＥＭレンズに電流を流しながらイオン・ビームを操作することができる二重ビーム装置を提供すること。 - 特許庁

A beam current detection section 5 of the display device 101 detects the luminance of an image displayed on a screen 10 through a beam current J flowing through the inside of a CRT 1.例文帳に追加

ビーム電流検出部５は、ＣＲＴ１の内部を流れるビーム電流Ｊを通じて、画面１０に映出される画像の輝度を検出する。 - 特許庁

When it is determined that the beam current has periodic variation, the rotating speed of the wafer disk is updated to the number of revolutions that does not synchronize with the periodic variation of the beam current.例文帳に追加

周期変動が存在すると判定されたとき、ウェーハディスクの回転速度が、ビーム電流の周期変動と同期しない回転数に更新される。 - 特許庁

FILAMENT CURRENT VALUE SETTING METHOD AND ELECTRON BEAM GENERATOR USING SAME例文帳に追加

フィラメント電流値設定方法及びこれを用いた電子線発生装置 - 特許庁

MAGNET FOR ION ANALYSIS AND METHOD TO MEASURE ION BEAM CURRENT WITH IT例文帳に追加

イオン分析マグネット及び該マグネットを用いたイオンビーム電流測定方法 - 特許庁

To lessen noise generated in a sample current in an electron beam system.例文帳に追加

電子線装置において、試料電流に発生する雑音を小さくする。 - 特許庁

In a TEM, a thin specimen is illuminated with an electron beam of uniform current density. 例文帳に追加

TEMでは、薄い試料が均一な電流密度の電子ビームで照らされる。 - 科学技術論文動詞集

In advance, the correlation between the deposition rate of the thin film and ion beam current value or the like are data-tabled by an experiment, an integrated ion beam current value is calculated from the data, the type of the target and the film thickness, the calculated result is set, the ion beam current value is monitored, and, while performing subtracting from the integrated ion beam current value, the emission of an ion beam is performed.例文帳に追加

予め実験によって、薄膜の堆積速度とイオンビーム電流値との相関関係等をデータテーブル化しておき、そのデータと前記ターゲット種類、膜厚とから積算イオンビーム電流値を算出し、その算出結果を設定して、イオンビーム電流値をモニタして、積算イオンビーム電流値から減算しながらイオンビームの照射を行う。 - 特許庁

The filament current control means 5 more effectively control the beam current of the electron beam to the constant value by feeding back the detected value of the beam current irradiated toward the TFT array substrate 10 from the filament 3.例文帳に追加

フィラメント電流制御手段５は、フィラメント３からＴＦＴアレイ基板１０に向けて照射されるビーム電流の検出値をフィードバックすることによって、電子ビームのビーム電流の一定値制御をより有効に行う。 - 特許庁

As the working ion beam, two kinds of the focusing ion beam 11 having a high image resolution and the edge working ion beam 12 to be used for the large current beam and capable of sharply working a cross sectional edge part are prepared, and the high working position accuracy is realized even in the case of the large current ion beam.例文帳に追加

加工用のイオンビームとして、像分解能が高い集束イオンビーム１１と、大電流ビームに用いる断面エッジ部がシャープに加工できるエッジ加工用イオンビーム１２の２種類用意し、大電流イオンビームでも高加工位置精度を実現する。 - 特許庁

To stabilize a beam current, a switch part 6a of the switching mode provided to the discharge power supply 6 is directly ON-OFF-controlled according to a discharge current control signal from a comparator 7c comparing the beam current detected value of the beam power supply 7a detected by a detector 7b and a beam current set value from an arrow 72.例文帳に追加

ビーム電流を安定化させるため、検出器７ｂで検出したビーム電源７ａのビーム電流検出値と、矢線７２からのビーム電流設定値とを比較する比較器７ｃからの放電電流制御信号によって、放電電源６に備わるスイッチング方式のスイッチ部６ａが直接にオンオフ制御される。 - 特許庁

In an ion implantation process of irradiating a plurality of wafers with the ion beam while rotating a wafer disk where the plurality of wafers are loaded, the beam current of the ion beam is measured to determine whether the beam current has periodic variation.例文帳に追加

複数のウェーハを装填したウェーハディスクを回転させながら、該複数のウェーハにイオンビームを照射するイオン注入工程において、イオンビームのビーム電流が測定され、ビーム電流に周期変動が存在するかが判定される。 - 特許庁