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soft raysの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 75件
To provide a multilayer-film reflector used for light of wavelengths in the area of X rays (soft X rays in particular) to secure film thickness uniformity in a reflector surface while suppressing surface scattering and to prevent substrate deformation owing to film stress while suppressing the lowering of reflectivity.例文帳に追加
反射鏡面内の膜厚均一性を確保し、表面散乱を抑え、膜応力による基板変形を防ぎ、反射率の低下を抑制することが可能となるX線(特に軟X線)領域の波長を有する光に対して用いられる多層膜反射鏡を提供する。 - 特許庁
The irradiation object is irradiated with X-rays concentrated from multiple directions corresponding to the number of the arrayed X-ray soruces so that the dosage of soft X-rays from the X-ray sources on the skin or on the shallow tissue of the irradiation object is relatively reduced to make sufficient the dosage on the focal point.例文帳に追加
前記X線源が持つ軟X線による皮膚もしくは照射体の浅部組織の線量を相対的に軽減して焦点部分の線量が十分になるように、前記配列したX線源の数に相当する多方向からのX線を照射体に集中して照射する。 - 特許庁
The radiation-sensitive composition for soft X-rays of ≤50 nm wavelength contains (A) a compound which generates an acid by irradiation of active rays or radiation and (B) a resin which contains a repeating unit having a specified group and which is decomposed by an acid to increase solubility with an alkali.例文帳に追加
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び(B)特定の基を有する繰り返し単位を含有する、酸により分解しアルカリに対する溶解性が増加する樹脂を含有することを特徴とする50nm以下の波長を有する軟X線用感放射線性組成物。 - 特許庁
The impact of an electron beam on the target 6 generates X-rays, where the small thickness of the recessed thin portion 6b renders transmitted X-rays full of soft X-ray components, which can produce a high-contrast sharp X-ray image, when a sample with a small thickness and a sample with small X-ray absorption irradiated.例文帳に追加
電子ビームがターゲット6に当たるとX線を発生し、凹部形状の薄部6bは厚さが薄いので透過X線は軟X線成分の多いX線となり、厚さの薄い試料やX線吸収が少ない試料に照射して、コントラストのある鮮明なX線画像を得ることができる。 - 特許庁
When a resist layer is patterned in a prescribed shape by selective exposure with X-rays, vacuum UV, extreme-ultraviolet radiation or soft X-rays, a high molecular material obtained by extending the π electron system of an aromatic ring in an aromatic ring-containing existing resist material is used as a high molecular material constituting the resist layer.例文帳に追加
X線、真空紫外線、極紫外線、軟X線のいずれかでレジスト層を選択的に露光して所定の形状にパターニングするに際し、レジスト層を構成する高分子材料として、芳香族環を含む既存レジスト材料における芳香族環のπ電子系をより拡張した高分子材料を用いる。 - 特許庁
The member for the multilayer-film mirror used in a soft X-ray range is characterized in that the multilayer mirror made of two or more materials whose refractivities are different is formed on a base material of the mirror, and a stress adjustment film for mitigating the deformation under stress is also formed in a part unirradiated with soft X rays.例文帳に追加
軟X線領域で用いられる多層膜ミラー部材において、ミラー母材上に屈折率の異なる2種類以上の材料からなる多層膜ミラーを形成し、更に軟X線の照射を受けない部分に応力変形を緩和する応力調整膜を形成していることを特徴とする多層膜ミラー部材。 - 特許庁
A ceramic member 5 or a glass member is used as an X-ray transmission window member, and X-rays 4 generated at the evaporation target 6 is transmitted through the ceramic member 5, without attenuation of the soft X-ray components.例文帳に追加
X線透過窓基材としてセラミックのセラミック基材5あるいはガラス基材が用いられており、蒸着ターゲット6で発生したX線4は軟X線成分を減弱することなくセラミック基材5を透過する。 - 特許庁
After a fixed mold 15 and a movable mold 16 are opened, an ejector 31 using a robot on which a discharging device 30 is provided between molds 15 and 16 to irradiate a molded substrate 22 with soft X-rays.例文帳に追加
固定側金型15と可動側金型16とを開いた後に、除電装置30を装着したロボットによる取出装置31を金型15,16間に入れ、成形基板22に軟X線を照射する。 - 特許庁
To provide a polychromator which separates a plurality of light rays of desired wavelengths, included in soft X-ray which is made incident to the apparatus in the range of several keVs and focuses on a detector or a photosensitive material face.例文帳に追加
数keVの軟X線領域において装置に入射する軟X線光に含まれる複数の所望の波長の光を分別し検出器または感光物質面に結像させうる多色計(ポリクロメータ)を提供する。 - 特許庁
An apparatus for manufacturing a semiconductor device on a substrate comprises air knives 104, 105, 106 for spraying a gas against the substrate 100, and means 107, 109 for casting soft X-rays on the gas sprayed by the air knives.例文帳に追加
基板上に半導体装置を作製する装置において、前記基板100にガスを吹き付けるエアーナイフ104、105、106と、該エアーナイフの吹き出しガスに、軟X線を照射する手段107、109と、を有する。 - 特許庁
When the clean dry air is fed into a box defined by the wall body and irradiated with soft X-rays, an atmosphere where moisture and chemical substances are reduced extremely is formed in the box thus preventing contamination of a wafer or a glass substrate.例文帳に追加
上記壁体で形成したボックス内にクリ−ンドライエアを流通し、軟X線を照射すると、該ボックス内には、水分やケミカル物質が極めて少ない雰囲気が形成され、ウエ−ハやガラス基板の汚染が防止される。 - 特許庁
In a method for manufacturing a semiconductor device on the substrate, the gas to be sprayed by the air knives 104, 105, 106 against the substrate 100 is applied against the substrate 100 while soft X-rays are directly cast on the gas.例文帳に追加
基板上に半導体装置を作製する方法において、前記基板100にガスを吹き付けるエアーナイフ104、105、106の吹き出しガスに、直接軟X線を照射しながら該ガスを前記基体100に吹き付ける。 - 特許庁
Otherwise, nitrogen or water vapor introduced in the electron beam defect correction device by the gas introducing system 1 is ionized by soft X-rays and the ionized nitrogen or vapor is irradiated on the portion charged up by the irradiation of the electron beams, and destaticizes it.例文帳に追加
またはガス導入系1で電子ビーム欠陥修正装置内に導入した窒素または水蒸気を軟X線で電離し、電離した窒素または水蒸気を、電子ビームの照射でチャージアップした部分4に照射し除電する。 - 特許庁
Ultraviolet rays with energy to reduce or remove viscosity are irradiated to a soft acrylate base material with viscosity for a prescribed time under prescribed illuminance to reform the surface to reduce viscosity.例文帳に追加
粘着性を有する軟性アクリル基材に粘着性を減少又は除去させるためのエネルギーを有する紫外線を所定照度、所定時間にて照射することにより表面改質を行い粘着性を減少させる。 - 特許庁
In an apparatus, a photocatalyst supporting material 1 is constituted by making a titanium oxide film be supported on the surface of soft glass or quartz glass which transmits ultraviolet rays, and the length of the material 1 is adjusted so that the material 1 can be laminated in an apparatus main body 11.例文帳に追加
紫外線を透過する軟質ガラス若しくは石英ガラスの表面に酸化チタン膜を担持して光触媒担持材1を構成し、さらに装置本体内11に積層できる長さに光触媒担持材を構成してある。 - 特許庁
In the method for measuring the structure of the silicon surface, soft X-rays are made incident onto a wafer surface under condition of total reflection, and intervals between peaks in the intensity of diffraction (especially the interval between a maximum peak and the following peak) are measured to identify a step width.例文帳に追加
シリコン表面構造を計測する方法において、軟X線をウェーハ表面に全反射条件で入射し、回折強度のピーク間隔(とくに最大ピークとその次のピークとの間隔)を測定することによりステップ幅を同定する。 - 特許庁
In this ultrahigh vacuum gage, a condition wherein ions do not pass an energy analyzer is set, and a circuit means for measuring and adjusting the offset of the whole measuring system such as a residual current by soft X-rays, an amplifier, a cable and a connector part is provided.例文帳に追加
本発明の超高真空計においては、イオンがエネルギーアナライザーを通過しない条件に設定して軟X線による残留電流、増幅器、ケーブル、コネクター部分等全ての測定系全体のオフセットを計測、調整する回路手段が設けられる。 - 特許庁
Therefore, the tomographic image T of the object to be examined 4 can be obtained easily, without adopting movable mechanisms which move X-ray generators, X-rays image receiving elements and the object to be examined, and the tomographic image T of the soft object to be examined can be surely obtained.例文帳に追加
X線発生器、X線受像素子、あるいは被検体を移動させる可動機構を設けることなく被検体4の断層画像Tを容易に得ることができるとともに、軟質の被検体などに対しても断層画像Tを確実に得ることができる。 - 特許庁
The ozone generation method and apparatus comprise generating ozone by arranging hemimorphic crystals, such as LiNbO_3 and LiTaO_3, into a low gaseous pressure casing and repetitively thermally exciting the crystals with prescribed time cycles, thereby exciting the gaseous raw materials for ozone generation with the soft X-rays generated from the crystals.例文帳に追加
LiNbO_3、LiTaO_3などの異極像結晶体を低気体圧筐体内に配置し、これを所定の時間サイクルをもって繰り返し熱励起することにより、この結晶体から発生する軟X線でオゾン生成用原料ガスを励起してオゾンを発生させることを特徴とするオゾン発生方法および装置。 - 特許庁
A CPU 20 computes the mean value of the soft X rays B transmitted through the gourd A A and compares the mean value with a reference value stored in a comparison information storage device 25 to decide whether or not the gourd A has a cavity Aa inside and the progress state of the cavity Aa.例文帳に追加
CPU20は、放射線検出装置12が出力する透過量に基づいて、ウリAを透過する軟X線Bの平均値を算出すると共に、その平均値と、比較情報記憶装置25に記憶した基準値とを比較して、ウリA内部に空洞Aaが有るか否かと、その空洞Aaの進行具合とを判定する。 - 特許庁
This polyester block copolymer electric wire coating material is prepared by using polybutylene terephthalate mainly as the hard segment, by using an amorphous (or low crystallinity) polyester prepared from aliphatic and/or aromatic dicarboxylic acids and long chain diol of 5 to 12 C as the soft segments and finally crosslinking the bloc copolymer with radioactive rays.例文帳に追加
ハードセグメントはポリブチレンテレフタレートが主成分であり、ソフトセグメントは脂肪族及び/又は芳香族ジカルボン酸と炭素数5〜12の長鎖ジオールからなる非晶性(又は低結晶性)ポリエステルが主成分であるブロック共重合体に、放射線により架橋することを特徴とするポリエステルブロック共重合体電線被覆材。 - 特許庁
In the wafer static elimination method, electrons electrostatically charged in the wafer WEH are eliminated by irradiating the wafer WEH with soft X rays in the presence of an air current using an X-ray ionizer 1' before measuring the substrate current flowing to the wafer WEH by the electron beam irradiation, in a sample chamber in which a vacuum is produced.例文帳に追加
本発明のウェハの除電方法は、電子ビーム照射によりウェハWEHに流れる基板電流を真空中の試料室内で測定する前に、X線イオナイザー1’を用いて軟X線を気流存在の条件下で、ウェハWEHに向けて照射して、ウェハWEHに帯電している電子を除電する。 - 特許庁
The substrate is a soft polyester sheet mainly composed of a copolymerized polyester comprising hard segments and soft segments and is characterized by having an elastic modulus of 1,500 MPa or less, a crystallization index Xc of 5% or more measured through wide-angle X-rays, and a haze of 15% or less (in conversion to the thickness of 100 μm).例文帳に追加
基材上に接着性改質層を積層、あるいは基材を表面改質してなる易接着性柔軟ポリエステルシートであって、前記基材は、ハ−ドセグメントとソフトセグメントからなる共重合ポリエステルを主たる構成成分とする柔軟ポリエステルシートであり、かつ、弾性率が1500MPa以下、広角X線で測定した結晶化指数Xcが5%以上、ヘイズ(厚さ100μm換算)が15%以下であることを特徴とする易接着性柔軟ポリエステルシート。 - 特許庁
Equipment for measuring the wave aberration of an optical system for soft X-rays comprises a light intensity detector for irradiating the optical system with a light having wavelength of 150-300 nm and detecting an interference pattern of a light passed through the optical system and measuring wave aberration of the optical system based on the detection results from the light intensity detector.例文帳に追加
軟X線に用いる光学系の波面収差を測定する装置であって、波長150nm乃至300nmの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞を検出する光強度検出器を有し、該光強度検出器の検出結果に基づいて前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする測定装置を提供する。 - 特許庁
To provide an ion mobility meter and an ion mobility measuring method in which base gas ions are generated using soft X-rays and sample molecule ions are generated by an ion molecular reaction of this base gas ions and sample molecules, thereby contamination of the device, decomposition of the sample, and effect to electric field of an ionization chamber etc. can be suppressed with high safety, and the sample molecules can be ionized efficiently.例文帳に追加
軟X線を用いてベースガスイオンを生成し、このベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応により試料分子イオンを生成することによって、安全性が高く、装置の汚染、試料の分解、及びイオン化室の電界への影響などを抑制でき、試料分子を効率よくイオン化できるイオン移動度計およびイオン移動度計測方法を提供する。 - 特許庁
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