透過型および走査透過型電子顕微鏡例文帳に追加

TRANSMISSION TYPE AN SCAN TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE - 特許庁

透過電子顕微鏡又は走査型透過電子顕微鏡を用いた試料の分析方法及び分析装置例文帳に追加

METHOD AND APPARATUS FOR ANALYZING SAMPLE USING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE OR SCANNING TYPE TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE - 特許庁

走査透過像と透過像の倍率・回転補正方法及び走査透過型電子顕微鏡例文帳に追加

SCANNING TRANSMITTED IMAGE AND MAGNIFICATION OF TRANSMITTED IMAGE/ROTATION CORRECTION METHOD AND SCANNING TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE - 特許庁

走査型透過電子顕微鏡の収差補正装置及び収差補正方法例文帳に追加

ABERRATION CORRECTION DEVICE AND ABERRATION CORRECTION METHOD OF SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE - 特許庁

走査透過型電子顕微鏡に依る観察方法及び観察装置例文帳に追加

OBSERVATION METHOD AND OBSERVATION EQUIPMENT BY SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE - 特許庁

パターン寸法計測方法及び走査型透過荷電粒子顕微鏡例文帳に追加

PATTERN DIMENSION MEASURING METHOD, AND SCANNING TRANSMISSION CHARGED PARTICLE MICROSCOPE - 特許庁

走査型電子顕微鏡または走査透過型電子顕微鏡における色収差および開口収差を除去する。例文帳に追加

To provide a correction device in which a chromatic aberration and an aperture aberration in a scanning electron microscope or a scanning transmission type electron microscope are removed. - 特許庁

透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査透過型電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、集束イオン・ビーム（ＦＩＢ）システムなどの集束粒子ビーム・システム用の荷電粒子源を提供すること。例文帳に追加

To provide a charged particle source for a focused particle beam system such as a transmission electron microscope (TEM), scanning transmission electron microscope (STEM), scanning electron microscope (SEM), or focused ion beam (FIB) system. - 特許庁

走査型電子顕微鏡と集束イオンビーム装置との共用試料ホルダー及び透過型電子顕微鏡用の試料作製方法例文帳に追加

COMMON SAMPLE HOLDER FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND FOCUSED-ION BEAM DEVICE, AND SAMPLE-PREPARATION METHOD FOR TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE - 特許庁

当該マイクロリアクターは、走査型透過電子顕微鏡での検査、250-300eV範囲での軟X線での検査等のため、光学顕微鏡と併用されて良い。例文帳に追加

The microreactor may be combined with an optical microscope in order to inspect by a scanning transmission type electron microscope and inspect by a soft X-ray in the range of 250-300 eV. - 特許庁

元素マッピング装置，走査透過型電子顕微鏡および元素マッピング方法例文帳に追加

ELEMENT MAPPING DEVICE, SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE, AND ELEMENT MAPPING METHOD - 特許庁

元素分析装置及び走査透過型電子顕微鏡並びに元素分析方法例文帳に追加

ELEMENT ANALYZING APPARATUS AND SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE AND ELEMENT ANALYZING METHOD - 特許庁

元素マッピング装置、走査透過型電子顕微鏡及び元素マッピング方法例文帳に追加

ELEMENT-MAPPING DEVICE, SCANNING TRANSMISSION ELECTRONIC MICROSCOPE AND ELEMENT-MAPPING METHOD - 特許庁

共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び３次元断層像観察方法例文帳に追加

CONFOCAL SCANNING TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE DEVICE AND THREE-DIMENSIONAL TOMOGRAPHIC OBSERVATION METHOD - 特許庁

絶縁物等の試料表面上のチャージアップを有効に中和させることができる走査電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡等の電子顕微鏡を実現する。例文帳に追加

To provide an electron microscope such as a scanning electron microscope and a transmission type electron microscope capable of effectively neutralizing charge-up on a sample surface such as an insulator. - 特許庁

走査透過型電子顕微鏡装置で分析対象物（５）を透過した電子線は元素マッピング装置に入射する。例文帳に追加

An electron beam transmitting through an object 5 to be analyzed in this scanning transmission electron microscope enters the element mapping device. - 特許庁

リソグラフィ装置、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）などの電子ビーム利用装置のための熱陰極の寿命を延ばすとともに電子光学的性能を改善する。例文帳に追加

To elongate life of and improve electrooptic performance of a thermionic cathode for a device using electron beams such as a lithography device, a scanning electron microscope (SEM), and a transmission electron microscope (TEM). - 特許庁

光学顕微鏡で観測した平均繊維長（Ｌ１）が１０μｍ以上４０μｍ以下であって、透過型電子顕微鏡によるフィラー端面観察においてグラフェンシートが閉じており、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平坦であるピッチ系炭素短繊維フィラー。例文帳に追加

The pitch-based carbon short fiber filler has >10 to ≤40 μm average fiber diameter (L1) observed under an optical microscope, a closed graphene sheet in observation of a filler end face under a transmission type electron microscope, and a substantially flat surface observed under a scanning electron microscope. - 特許庁

光学顕微鏡で観測した平均繊維長（Ｌ１）が４０μｍ以上８０μｍ未満であって、透過型電子顕微鏡によるフィラー端面観察においてグラフェンシートが閉じており、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平坦であるピッチ系炭素短繊維フィラー。例文帳に追加

The pitch-based carbon short fiber filler has a mean fiber length (L1) of 40 μm or more but less than 80 μm observed with an optical microscope, a closed graphene sheet by filler end face observation with a transmission electron microscope, and a substantially flat surface observed with a scanning electron microscope. - 特許庁

高い倍率で安定して再現性の良い鮮明な走査透過型電子顕微鏡像の観察を可能にする。例文帳に追加

To provide a scanning transmission type electron microscope capable of stably observing a clear image which is reproducible at high magnification. - 特許庁

走査透過型電子顕微鏡を用いて簡易に歪の分布解析を行う結晶材料の格子歪評価方法、評価システムを提供する。例文帳に追加

To provide a lattice strain evaluation method of a crystal material for easily performing strain distribution analysis by using a scanning transmission electron microscope, and an evaluation system. - 特許庁

エネルギーアナライザを備える走査透過型の電子顕微鏡であって、アニュラ検出器を備えるものを提供する。例文帳に追加

To provide a scanning transmission electron microscope comprising an energy analyzer, which is provided with an annular detector. - 特許庁

走査型又は透過型電子顕微鏡、オージェ電子分光装置等の表面分析装置、電子線露光機、特に、電子ビームの加速電圧が１ｋＶ以下の低加速で用いられる走査型電子顕微鏡、ＣＤ ＳＥＭ、ＤＲＳＥＭ等の半導体ウェハ検査装置に用いられる電子源を提供する。例文帳に追加

To provide an electron source which is used for a semiconductor wafer inspection device such as a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer like an Auger electron spectroscopic analyzer, an electron beam exposure apparatus, especially a scanning electron microscope using an electron beam accelerated with low voltage of 1 kV or less, a CD SEM, or a DRSEM. - 特許庁

電子ビームを試料上で傾斜させて走査した場合でも、主ビームが常に円環状の暗視野走査像検出器の中心を通るようにすることができる走査像観察機能を有した透過型電子顕微鏡を実現する。例文帳に追加

To provide a transmission electron microscope having a scan image observation function for always passing a main beam through the center of an annular dark-field scan image detector even when scanning is carried out by a tilted electron beam on a sample. - 特許庁

透過型電子顕微鏡によるフィラー端面観察においてグラフェンシートが閉じており、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平坦であるピッチ系炭素短繊維フィラーであり、個数平均繊維長が８０μｍ以上５００μｍ以下であることをピッチ系炭素短繊維フィラー。例文帳に追加

In the pitch-based carbon short fiber filler, a graphene sheet is closed at a filler end face when observed by a transmission electron microscope, while a surface observed by a scanning electron microscope is substantially flat, and the number average fiber length is 80 to 500 μm. - 特許庁

更に、半導体デバイスの特定箇所の断面を走査型顕微鏡で観察した後、同一観察断面を透過型電子顕微鏡で観察すべく作製される観察試料において、前記観察断面上に非晶質構造の保護膜を有することを特徴とする。例文帳に追加

Furthermore, after the cross section of the specific place of the semiconductor device is observed by the scanning microscope, the protective film of the amorphous structure is provided on the observation cross section in an observation sample formed in order to observe the same observation cross section by the transmission electron microscope. - 特許庁

走査型又は透過型電子顕微鏡、オージェ電子分光装置等の表面分析装置、電子線露光機、特に、電子ビームの加速電圧が１ｋＶ以下の低加速で用いられる走査型電子顕微鏡、ＣＤ ＳＥＭ、ＤＲＳＥＭ等の半導体ウェハ検査装置に用いられる電子源を提供する。例文帳に追加

To provide an electron source used for a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer such as an Auger electron spectroscope, an electron beam exposure machine, in particular, a scanning electron microscope used at low acceleration where an acceleration voltage of an electron beam is not higer than 1kV, or a semiconductor wafer inspection device such as a CD SEM or a DRSEM. - 特許庁

走査透過型の電子顕微鏡に電子線エネルギー分析装置（エネルギーフィルタ）１１を備え、電子線エネルギー損失スペクトルや元素分布像を観察する。例文帳に追加

An electron beam energy analyzer (energy filter) 11 is installed to a scanning transmission type electron microscope to observe an electron beam energy loss spectrum and an element distribution image. - 特許庁

高導電性および高光透過性を有するとともに、高いプラズモン発光効率を得ることのできる、新しい走査型トンネル顕微鏡用探針およびその作製方法を提供する。例文帳に追加

To provide a new probe for a scanning tunneling microscope and a method of fabrication having high conductivity and high optical transmission, and capable of obtaining high plasmon luminous efficiency. - 特許庁

デフォーカス及び非点収差を観察中に補正可能で、且つ原子分解能が得られる走査型透過電子顕微鏡の収差補正装置及び収差補正方法を提供する。例文帳に追加

To provide an aberration correction device of a scanning transmission electron microscope, which can correct defocus and astigmatism during observation and can obtain atomic resolution; and to provide an aberration correction method thereof. - 特許庁

共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び３次元断層像観察方法に関し、薄層状試料における異なった深さにおける原子配列を一画像で観察可能にする。例文帳に追加

To provide a confocal scanning transmission type electron microscope device and a three-dimensional tomographic observation method such that atom arrays of a thin-layer sample at different depths are observed through one image. - 特許庁

試料が傾斜した状態で、共焦点暗視野STEM像、3次元断層像を得られる試料ホルダおよび走査型透過電子顕微鏡を提供することを提供することを課題とする。例文帳に追加

To provide a sample holder capable of obtaining a confocal dark field STEM image and a three-dimensional tomogram, and to provide a scanning transmission electron microscope. - 特許庁

試料を傾斜させて得られた透過像から３次元像を構築する透過型および走査透過型電子顕微鏡において、試料の厚さの変化情報を維持したまま、取得した画像の明るさ補正を行い、画像の明るさに含まれる情報の劣化の少ないトモグラフィ像を取得する。例文帳に追加

To enable achievement of a tomographic image having little deteriorated image contained in brightness of an achieved image by correcting the brightness of the image with keeping variation information of the thickness of a sample in a transmission type and scan transmission type electron microscope for constructing a three-dimensional image from a transmission image achieved by inclining the sample. - 特許庁

該分析方法は、透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、電子プローブマイクロアナリシス、オージエ電子分光、２次イオン質量分析、アトムプローブ、赤外分光、レーザーラマン分光、誘導結合プラズマ、液体クロマトグラフ、ガスクロマトグラフからなる群より選択される少なくとも一つの方法である。例文帳に追加

The analysis method is at least one method selected from the group consisting of transmission electron microscope, scanning electron microscope, electron probe microanalysis, Auger electron spectroscopy, atom probe, infrared spectroscopy, laser Raman spectroscopy, inductive coupled plasma spectroscopy, liquid chromatography, and gas chromatography. - 特許庁

電子顕微鏡用試料ホルダ２０においては、走査型電子顕微鏡の試料台に本体部２１が取り付けられた状態で、グリッド２８によって支持された試料Ｓを透過し且つ絞り部材３１を通過した電子線が２次電子発生面３２に照射され、それにより、２次電子発生面３２から２次電子が発生させられる。例文帳に追加

On a sample holder 20 for an electron microscope, the electron beam that transmits through a sample S supported by a grid 28 and passes through an aperture member 31 with a main body portion 21 attached to a sample stand of a scanning electron microscope is irradiated on a secondary electron generating surface 32, resulting in a secondary electron being generated from the secondary electron generating surface 32. - 特許庁

走査透過型電子顕微鏡１２を用い、収束した電子線を試料に入射させ、試料についての収束電子回折像を取得するステップと、取得された収束電子回折像に基づいて、試料における格子歪み量を算出するステップと、算出された格子歪み量を、試料の電子顕微鏡像に対応させて表示するステップとを有している。例文帳に追加

This method has a step for allowing focused electron beams to enter a sample and acquiring a convergent electron diffraction image on the sample by using a scanning transmission electron microscope 12, a step for calculating the lattice strain quantity in the sample based on the acquired convergent electron diffraction image, and a step for displaying the calculated lattice strain quantity corresponding to an electron microscope image of the sample. - 特許庁

また、半導体デバイスの断面を観察する観察方法において、前記半導体デバイスの特定箇所の断面を走査型顕微鏡で観察する工程と；前記断面に非晶質構造の保護膜を形成し、当該保護膜を透して透過型電子顕微鏡によって前記断面を更に観察する工程とを含むことを特徴とする。例文帳に追加

Further, the observation method for observing the cross section of the semiconductor device includes a process for observing the cross section of the specific place of the semiconductor device by a scanning microscope and a process for forming the protective film of an amorphous structure to the cross section and further observing the cross section by the transmission type electron microscope through the protective film. - 特許庁

走査透過型電子顕微鏡に依る観察方法及び観察装置に関し、ＳＴＥＭに於ける焦点ずれ量の最適化や虚像の消去を可能にする計算手段を実現し、そして、計算像を得る為の時間を大幅に短縮して電子顕微鏡像を観察直後に計算像と比較して条件をフィードバックできるようにする。例文帳に追加

To realize a computing means which can optimize an amount of focal gap in STEM and which can erase a virtual image and receive a feedback of a condition by substantially shortening the period of time to obtain a computed image and by comparing an image of an electron microscope to the computed image right after observation in an observation method and an observation equipment by a scanning transmission electron microscope. - 特許庁

電子銃窓３５に加速電子を透過し大気に耐える金属膜、炭素膜、ダイヤモンド膜、ダイヤモンドライクカーボン膜を設け、密封容器３３内が真空に保たれる電子銃２を備える走査型電子顕微鏡装置１とする。例文帳に追加

The scanning electron microscope 1 is provided with an electron gun 2 in which a metal film, a carbon film, a diamond film, and a diamond-like carbon film which transmit accelerating electrons and can endure the atmosphere are provided at the electron gun window 35, and a sealed container 33 is maintained in vacuum. - 特許庁

電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃から放射された電子線を試料に収束する収束手段と、試料を照射する収束電子線を走査する偏向手段と、試料像を投影する投影手段と、試料厚さ測定手段とを備える走査透過型電子顕微鏡観察装置を用いて観察を行う。例文帳に追加

The observation is performed by a scanning transmission electron microscope observation equipment equipped with a field emission electron gun, a convergence means to converge an electron ray emitted from the field emission electron gun onto a sample, a deflecting means to scan a convergence electron ray irradiating the sample, a projecting means to project a sample image, and a measuring means for a sample thickness. - 特許庁

走査透過型電子顕微鏡像をデジタル化しコンピュータに取り込み、デジタル２次元フーリエ変換をすることによって回折パターンを形成し、回折パターン中の一又は複数の回折スポット位置を求め、理想的な結晶構造の場合の回折点の位置と比較することで、結晶格子の歪みを検出する。例文帳に追加

Scanning transmission type electronography is digitalized to be taken in a computer and subjected to digital two-dimensional Fourier transform to form a diffraction pattern and one or a plurality of diffraction spot positions in the diffraction pattern are calculated to be compared with the position of a diffraction point in the case of an ideal crystal structure to detect the strain of a crystal lattice. - 特許庁