To provide a wafer control system capable of avoiding a situation in which whereabouts of a wafer body and information for the wafer are different even if lots are divided or integrated.例文帳に追加

ロットの分割または統合が行なわれても、ウエハ本体とそのウエハの情報の所在が異なるような事態に陥るのを避けるようにすることが可能なウエハ管理システムを提供する。 - 特許庁

The process plan scheduler 103 transmits supply date/supply destination factory instruction data 112 by lots formed by the use of the schedule data 104 by lots and manufacturing plan factory route data by manufacturing form to the lot supply processing part 105 of a wafer manufacturing factory A.例文帳に追加

工程計画スケジューラ１０３は、ロット別・スケジュールデータ１０４と製造形名別・製造計画工場ルートデータとを用いて作成したロット別・供給日／供給先工場指示データ１１２をウェハ製造工場Ａのロット供給処理部１０５に送信する。 - 特許庁

To provide a testing device capable of determining non-defective or defective in high accuracy even when variation among lots and/or variation within a wafer surface exist.例文帳に追加

ロット間のばらつきやウェハ面内のばらつきがある場合でも、高精度で良品／不良品の判定を行なうことが可能な試験装置を提供すること。 - 特許庁

An alarm is provided if the value of the signal is equal to the alarm setting value or above the alarm setting value, the operation of the process tool is stopped after finishing the process, and the number of remaining processable wafer lots is set to Z.例文帳に追加

警告は、前記信号値が警告設定値に等しいか、または警告設定値を超える場合に発せられ、プロセス終了後に処理工具の動作を停止して、残余のプロセスしうるウェハロットの数をＺに設定する。 - 特許庁

To provide a method for obtaining, with good yield, a thin film magnetic head of uniform characteristics having fluctuation prevented in the cutting amount of each thin film magnetic head element between lots or in the same wafer, and having a writing magnetic pole having a uniform width.例文帳に追加

ロット間又は同一ウエハ内における各薄膜磁気ヘッド素子の切削量の変動を防止し、均一な幅の書き込み磁極部を有する均一な特性の薄膜磁気ヘッドを歩留まり良く得る方法を提供する。 - 特許庁

To find failures at an early stage, even when semiconductor wafer lots vary in quality, suppress the occurrence of defective products to minimum, and improve the accuracy of failure detection of a system.例文帳に追加

半導体ウェハのロット間に品質のバラツキがある場合でも、異常を早期発見でき、不良品の発生も最小限に抑えられ、かつ、装置の異常検出の精度が向上できる。 - 特許庁

At an interval between lots, the ghost wafer G in the buffer cassette 131 is collected into a cassette station 2 using respective transfer units 122, 31, 30 and 7 in this order at timing not affecting the treatment of the other wafer.例文帳に追加

そして，ロットとロットの間の切れ目で，他のウェハ処理に影響を与えないタイミングで，バッファカセット１３１内のゴーストウェハＧを，各搬送ユニット１２２，３１，３０，７を順に用いてカセットステーション２に回収する。 - 特許庁

An operation part 13 determines an exposure condition for the target area of another wafer for each type of semiconductor devices and each combination of lots and areas on the basis of the measured values (measured thickness value of an etching target film, measured thickness value of a resist film) in the target area of the wafer, the past exposure conditions, and the measured values.例文帳に追加

演算部１３は、半導体デバイスの品種、ロットおよびエリアの組合せ毎に、新たなウエハの対象エリアへの露光条件を、当該ウエハの対象エリアにおける測定値（被エッチング膜厚測定値、レジスト膜厚測定値）と、過去の露光条件および測定値を基に決定する。 - 特許庁

To provide a method that does not require a step of lowering production efficiency such as rearrangement of a lot comprising a wafer or a plurality of wafers at an inspection device when the lot needs to be inspected again when, after inspection by lots is completed and the lots are collected, it is determined whether inspection is carried out again for inspection results.例文帳に追加

ウェハあるいは複数のウェハにより構成するロット単位での検査を終了し、ロットを回収した後、検査結果に対して再検査要否の判定を行っている場合において、再検査が必要になった際の当該ロットを検査装置への再配置のような生産効率を低下させる工程を必要としない方法の提供。 - 特許庁

The supply stopping function part 106 of the lot supply processing part 105 supplies lots to a company stock area 109 when the wafer supply date of the data 112 is within a set day from the day in question, and stops the lot supply to an assembling company C in other cases to store the lots in a common stock area 108.例文帳に追加

ロット供給処理部１０５の供給ストップ機能部１０６は、データ１１２のウェハ供給日が当日から設定日以内の場合には会社在庫領域１０９にロットを供給し、それ以外の場合には組立会社Ｃへのロット供給はストップされ共通在庫領域１０８にロットを保管する。 - 特許庁

To improve the yield of a product by suppressing variance in characteristics due to leakage currents among lots, between wafers, and in a wafer surface by preventing a surface electrode from coming into contact with a contact layer and an SiO2 film is broken at a step part, to cause generation of leakage current.例文帳に追加

段差部でＳｉＯ_2膜が破れて、表面電極がコンタクト層と接触してリーク電流の原因となるのを防ぎ、ロット間、ウェハ間、ウェハ面内でのリーク電流に起因した特性のばらつきを抑制し、製品の歩留まりを向上する。 - 特許庁

A first warning is provided if the value of the signal is equal to the warning setting value or between the warning setting value and the alarm setting value, the operation of the process tool is stopped after finishing the process, and the number of remaining processable wafer lots is set to X.例文帳に追加

第１予告は、前記信号値が予告設定値に等しいか、または予告設定値と警告設定値との間にある場合に発せられ、プロセス終了後に処理工具の動作を停止して、残余のプロセスしうるウェハロットの数をＸに設定する。 - 特許庁

In a plurality of lots of which one lot is constituted of a plurality of wafers, CMP process is carried out for Δt(n) time to all of a plurality of wafers constituting an n-th lot, and a removal amount ΔToxP(n) of a polishing film on the wafer is obtained.例文帳に追加

１ロットが複数枚のウェーハより構成される複数のロットのうちで、ｎ番目のロットを構成する複数枚のウェーハに対して全てΔｔ（ｎ）時間の間ＣＭＰ工程を行い、前記ウェーハ上の被研磨膜の除去量ΔＴｏｘＰ（ｎ）を求める。 - 特許庁

To provide a field effect transistor (FET), chief of which is diamond, which can accommodate high-frequency operation and an increase in current density and has an excellent controllability for threshold voltage, and has little variation in element characteristics in the plane of a wafer and little variation among lots.例文帳に追加

ダイヤモンドを主材料として有する電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）であって、高周波動作、高電流密度化に好適であると共に、閾値電圧の制御性に優れ、素子特性のウェーハ面内バラツキ、ロット間バラツキが小さいＦＥＴの提供。 - 特許庁

The lot list of each device is prepared so that the arranging order of lot continuation in the list may indicate the process sequence of lots and a weight value is designated to each lot in the list, in such a way that a predetermined positive weight value is designated to the lot of a wafer having the damage mark and a negative weight value is designated to the lot of a wafer having no damage mark.例文帳に追加

各装置のロットリストを作成して、ロットリスト中のロット連続の配列順序がロットのプロセス・シーケンスを表し、ロットリスト中の各リストに対して重量値を指定して、損傷マークを有するウエーハのロットに対して、その重量値は予め決定した正数値で、損傷マークを備えないウエーハのロットに対して、その重量値は負数値である。 - 特許庁

The system comprises a storing device 4 having a means that classifies the test data 2 of an LSI acquired by a semiconductor testing apparatus 1 into lots/wafer/chips/measurement data/categories and a means that organically connects them to store by setting connection information from among classified items; and a displaying device 5 having a means of searching the stored test data and a means of displaying the searched results.例文帳に追加

半導体試験装置１にて収集されたＬＳＩのテストデータ２を、ロット・ウエハ・チップ・測定データ・カテゴリ単位に分類する手段及び分類した項目の中で連結情報を設定することで有機的に結合させて蓄積する手段を有する蓄積装置４と、蓄積されたテストデータを検索する手段及び検索結果を表示する手段を有する表示装置５とからなる。 - 特許庁