SCINTILLATIONを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 245件
To provide a screen, a rear projector, a projection system, and an image display device which achieve high image quality by surely preventing scintillation caused by projection light thereby avoiding irregularities in display and the glare.例文帳に追加
投射光によるシンチレーションを確実に防止し、表示ムラやぎらつきの発生を回避することによって、高画質化を図ることのできるスクリーン、リアプロジェクタ、プロジェクションシステムおよび画像表示装置を提供する。 - 特許庁
The detector is constituted to have both a feature of an image using the light by gas scintillation and a feature of an image by the ion current detecting method of the conventional technique, by the constitution, to allow an observation at the same time.例文帳に追加
本発明の構成により、ガスシンチレーションによる光を使った画像の特徴と、従来技術のイオン電流検出法の画像の特徴を併せ持った検出器を構成し、同時に観察することを可能にする。 - 特許庁
To easily detect the breakage of the light shield film of a scintillation detector since the accurate dosage of radiation is not measured because of the influence of disturbing light and a wrong measurement result is obtained if the light shield film is broken.例文帳に追加
シンチレーション検出器の遮光膜に破損が生じると、外乱光の影響で正確な放射線量の測定が成されず、誤った測定結果を得ることになるため、遮光膜の破損を容易に検出できるようにする。 - 特許庁
To provide a transmission type screen where, in a rear projection video display apparatus, even if a projection lens with a large pupil diameter is used, a blur does not occur on the screen as a matter of fact, and the reduction of scintillation and high resolution can be achieved.例文帳に追加
背面投写型映像表示装置において、瞳径の大きい投射レンズを用いても、スクリーン上に事実上ボケが発生せず、シンチレーションの低減及び高解像度が実現できる透過型スクリーンを提供する。 - 特許庁
To provide a transmission type screen which does not require an additional device even in the case of using a projection tube having a small projection pupil, restrains the lowering of gain or the lowering of resolution to the minimum and prevents a flickering of video such as scintillation.例文帳に追加
投射瞳の小さい投影管を用いても、付加装置が必要なく、ゲインの低下や解像度の低下を最小限にとどめ、シンチレーション等の映像のちらつきを防止することができる透過型スクリーンを提供する。 - 特許庁
Thus, a light ray incident on the screen 100 temporally changes the scatter distribution of a scattered wave, formed as a result of passing through the first light diffusion layer 1, and phase, and thereby reduces or removes scintillation.例文帳に追加
これにより、スクリーン100に入射した光線は第1の光拡散層1を通過することによって形成される散乱波の散乱分布や位相を時間的に変化させ、シンチレーションを低減ないし除去するものである。 - 特許庁
A threshold of a MADI local motion quantizer is adaptively controlled according to a level of global motion in a video sequence, so that scintillation artifact and feathering artifact are minimized when a field is deinterlaced.例文帳に追加
MADIローカル動き量子化器スレッショルドは、ビデオシーケンス中に存在するグローバル動きの量に従って適応的に調節され、それによってフィールドをデインターレーシングするときに、シンチレーションアーティファクトおよびフェザリングアーティファクトを最小化する。 - 特許庁
To provide a tritium monitor and a method of detecting tritium, capable of continuously monitoring the tritium precisely, without pretreatment of a sample needing a long time such as in liquid scintillation counter, or without generating radioactive wastes.例文帳に追加
本発明の目的は、液体シンチレーションカウンターの様に長時間を要する試料の前処理や放射性廃棄物の発生無しにトリチウムを高感度で連続して監視できるトリチウムモニター及びその検出方法を提供することにある。 - 特許庁
To provide a transmission type screen and a rear projection type screen that hardly cause a deterioration in picture quality due to the occurrence of scintillation, a decease in resolution, a decrease in lightness, etc., even when made lightweight, thin, or high in definition.例文帳に追加
軽量化、薄型化、高精細化を図っても、シンチレーションの発生や解像度の低下、明るさの低下などによる画質劣化を起こしにくくすることができる透過型スクリーンおよび背面投射型ディスプレイを提供する。 - 特許庁
To provide a transmission screen for preventing flickering of a video such as scintillation while minimizing a decrease in gain and resolution without an additive device even when using a projection tube with a small projection pupil.例文帳に追加
投射瞳の小さい投影管を用いる場合であっても、付加装置が必要なく、またゲインの低下や解像度の低下を最小限にとどめたままで、シンチレーション等の映像のちらつきを防止することができる透過型スクリーンを提供する。 - 特許庁
To prevent emission of oscillation to the outside with a simple constitution and to reduce scintillation with respect to a rear projection type display device which magnifies and projects an image formed on a spatial modulation element and makes an observer observe the image from the opposite side.例文帳に追加
空間変調素子上に形成した画像を背面から拡大投射して、その反対側の面から画像を観察する背面投射型ディスプレイにおいて、簡便な構成で外部に振動を放射することが無くシンチレーションを低減させる。 - 特許庁
As an example, the detector assembly includes a scintillator (16) made of a scintillation crystal emitting light under exposure to gamma-rays, a photomultiplier tube (18), and an optical interface (20) located between the scintillator and the photomultiplier tube.例文帳に追加
例示の実施例では、検出器アセンブリは、ガンマ線にさらされると光を発することが可能なシンチレーション結晶を有するシンチレータ(16)、光電子増倍管(18)、及びシンチレータと光電子増倍管との間に配置される光学インタフェース(20)を含む。 - 特許庁
To provide an antiglare film which, when fitted to a display surface, is excellent in glare-proof properties in display reflecting windows and interior lighting fixtures or the like, and can suppress whitening on the display surface and scintillation, and gives no adverse effect on the display, particularly when the antiglare film is used on a high-definition display surface.例文帳に追加
ディスプレイ表面に設けた場合に、窓や室内照明機器等の写りこみによる画面の眩しさを防ぐ性能に優れ、かつ、表面の白化やシンチレーションを抑制することができる防眩フィルムを提供することにある。 - 特許庁
Thus, since the refractive index difference between the scintillator crystal 2 and the first light wavelength conversion layer 4 is sufficiently small, the scintillation light 6, having a specific wavelength, efficiently reaches the photodetector 5, without being reflected by the first light wavelength conversion layer 4.例文帳に追加
このため、シンチレータ結晶2と第一光波長変換層4との屈折率差が十分に小さいため、特定波長のシンチレーション光6が第一光波長変換層4で反射されることなく効率よく光検出器5に到達する。 - 特許庁
More particularly, the rare earth metal oxide is one or more substances selected from europium oxide (Eu_2O_3), gadolinium oxide (Gd_2O_3) and erbium oxide (Er_2O_3), and the radiation counting device is composed of an optical fiber, a light detector and the scintillation material placed at an end of the optical fiber.例文帳に追加
更に詳しくは、希土類酸化物として、ユーロピウム酸化物(Eu_2O_3)、ガドリニウム酸化物(Gd_2O_3)乃至エルビウム酸化物(Er_2O_3)の内一つあるいは複数と、光ファイバーと、光検出器とで構成され、前記光ファイバーの一端に該発光体を配した放射線計測装置である。 - 特許庁
The cylindrical translucent resin hollow capsule is connected to the tip end of an aluminum alloy pipe, and a piezoelectric element making use of the voltage of piezoelectric effect and a light-emitting element are connected thereto are mounted in the capsule for emitting scintillation by applying an impact or vibration on the capsule.例文帳に追加
アルミ合金パイプ先端に円筒型半透明樹脂中空カプセルを接合し、そのカプセル内にピエゾ効果の電圧を利用した圧電素子とそれに接続された発光素子を装着させ、カプセルに衝撃又は振動を与えることにより閃光を発する。 - 特許庁
To obtain a method capable of superior detection of a target, when the target exists distantly and sufficient power cannot be obtained, or when the target has scintillation and background noise such as clutter is large, in a signal processor performing target detection of a radar.例文帳に追加
レーダの目標検出を行う信号処理装置において、目標は遠方に有り十分な電力を得ることができない場合やシンチレーションのある目標やクラッタ等の背景雑音が大きい場合においても良好な目標の検出ができる方法を得る。 - 特許庁
A light detection means 4 which comprises light receiving units corresponding to the respective scintillation cells and which converts the light signal into an electric signal so as to be output, and a signal processing means 10 which processes the electric signal, which discriminates the light receiving units used to receive the light signal, and which discriminates the scintillation cells used to emit the beams of light.例文帳に追加
中性子もしくは電離放射線の入射によりシンチレーション光を生じる複数のシンチレータセルを有するシンチレータ1と、前記シンチレータセルで発生したシンチレーション光を波長変換して光信号として伝送する集光伝送手段2,3と、前記各シンチレータセルとそれぞれ個別に対応する受光単位を有し、前記光信号を電気信号に変換して出力する光検出手段4と、前記電気信号を処理して、前記光信号を受信した受光単位を識別し、発光したシンチレータセルを識別する信号処理手段10とを有する。 - 特許庁
To provide an antiglare film, etc. which makes both the anti-reflection property (securing antiglare property) and haze prevention compatible, and also permits compatibility of glittering (scintillation) prevention, as well as securing of clearness, and even if an antireflection layer (AR layer) is disposed, will not impair the anti-reflection function.例文帳に追加
写り込み防止(防眩性の確保)と白ぼけ防止を両立させると共に、鮮明性の確保とぎらつき(シンチレーション)防止の両立も可能とし、さらには反射防止層(AR層)を設ける場合であってもその反射防止機能を損なうことのない防眩性フィルム等を提供する。 - 特許庁
A correction constant-determining part 72 in which correction constants for correcting response differences dependent on an energy between a scintillation detector 30 and a semiconductor detector 32 are stored delivers the correction constant corresponding to the present energy obtained by the energy-estimating part 70 to a correcting/calculating part 56.例文帳に追加
補正定数決定部72はシンチレーション検出器30及び半導体検出器32相互間のエネルギーに依存したレスポンスの較差を補正する補正定数を格納しており、エネルギー推定部70から得られた現在のエネルギーに対応した補正定数を補正演算部56に渡す。 - 特許庁
To provide a one-centimeter dose equivalent meter-usage scintillation detector which adopts a low-cost configuration, while enhancing its mechanical strength and is improved in detection sensitivity, by making the energy dependence of its response low to low-energy photons in a range of 8 keV to 150 keV.例文帳に追加
安価かつ機械的な強度が高くなるような構成を採用しつつ、さらに、8keV〜150keVという領域の低エネルギー光子に対してエネルギー依存度が小さいレスポンスとなるようにして、検出感度を良好にした1cm線量当量計用シンチレーション検出器を提供する。 - 特許庁
To provide a device 200 for moving dispersion liquid which is improved in mechanical durability to reduce scintillation without requiring a mechanical moving part for movement of light diffusion particles for diffusing projection light, and to provide a display device 100 including a projection part 2 or the like in the device 200.例文帳に追加
投射光を光拡散させる光拡散粒子の移動に機械的な可動部を必要とせず、機械的な耐久性を向上してシンチレーションを低減する分散液移動装置200と、分散液移動装置200に投射部2等を備えた表示装置100とを提供する。 - 特許庁
To provide a light diffusing screen constituted to ease trouble that hot bar or scintillation becomes conspicuous, which is remarkable when the screen is to be thinned, especially, in the case of visually sensing display video light by a high-luminance projector using an LCD or a DMD, and to provide a display device using the screen.例文帳に追加
LCDやDMDを用いた高輝度のプロジェクタによる表示映像光の視覚の際、特にスクリーンの薄型化を試みた場合に顕著となるホットバーやシンチレーションが目立つ問題を緩和する構成の光拡散性スクリーンおよびこのスクリーンを用いた表示装置を提供する。 - 特許庁
In this case, the refractive index of the scintillator crystal 2 is not less than 1.8 and the peak wavelength of the scintillation light 6 is not more than 400 nm, and the space between the scintillator crystal 2 and the photodetector 5 is filled with a first light wavelength conversion layer 4, having a refractive index of not less than 1.62.例文帳に追加
ただし、シンチレータ結晶2は屈折率が1.8以上でシンチレーション光6のピーク波長が400nm以下であり、このシンチレータ結晶2と光検出器5との間隙には屈折率が1.62以上の第一光波長変換層4が充填されている。 - 特許庁
Rather than DC coupling, AC coupling using a capacitor is configured in each of signal paths between the output of the photomultiplier tube 2 and the input of a DC-type waveform shaping amplifier 3, and between an output of the DC-type waveform shaping amplifier 3 and an output terminal 5 of the scintillation detector.例文帳に追加
光電子増倍管2の出力部と直流型波形整形増幅器3の入力部との間、及び、直流型波形整形増幅器3の出力部とシンチレーション検出器出力端5との間の信号経路においては、コンデンサーによる交流結合でなく直流結合とした。 - 特許庁
Furthermore, the rear surface detector 4 collects scintillation light emitted in the direction of normal line C of a rear surface 6b, thereby being capable of taking a rear surface side image Pb without perspectives and properly correcting perspectives of a surface side image Pa by regarding the rear surface side image Pb as a reference image.例文帳に追加
しかも、裏面検出器4は、裏面6bの法線C方向に出射されるシンチレーション光を集光するため、あおりの無い裏面側画像Pbを取得することができ、この裏面側画像Pbを基準画像として表面側画像Paのあおりを適正に補正することができる。 - 特許庁
Incident X-rays 203 of Kα of copper Cu from an X-ray tube 201 are passed through a slit 202, a reflected by a crystal surface (r) of a lumbered quartz crystal 220 at a point of incidence 204, and enter a scintillation counter 214 which is an X-ray detecting part as reflected X-rays 213.例文帳に追加
X線管201からの銅CuのKαの入射X線203はスリット202を通り入射点204でランバード加工水晶220である水晶r面で反射し、反射X線213として、X線検出部であるシンチレーションカウンタ214にはいる。 - 特許庁
When the scintillation fiber 11 emits the fluorescence by receiving the radiation, the emitted fluorescent light is transmitted by the optical fiber 4 to the photoelectric convertor 2 of the after stage, the light is converted into the electric signal by the photoelectric convertor 2, then inputted into the operation device 3 of after stage.例文帳に追加
シンチレーションファイバ11において放射線を受け、蛍光を発すると、その光は後段の光ファイバ4によって伝送され、さらに後段の光電気変換装置2へ入力される、光電気変換装置2において光を電気信号に変換し、その電気信号をさらに後段の演算装置3に入力する。 - 特許庁
An energy application nozzle 100 includes: a lateral wall 106 forming a path 102 in an inside of the system; and a tip wall 108 arranged to close the path 102 at or in the vicinity of an end 104T of the path 102, which includes a scintillator for emitting scintillation light in accordance with transmission of a charged particle.例文帳に追加
本発明のある態様においては、内部に通路102をなす側壁106と、通路102の一端104Tまたはその近傍にて通路102を塞ぐように配置され、荷電粒子の透過に応じてシンチレーション光を発するシンチレーターを含む先端壁108とを備えるエネルギー付与用ノズル100が提供される。 - 特許庁
This optical space transmitter is provided with a low-speed AGC circuit 11, that adjusts a fluctuation component of a level due to the effects of weathering changes, a high-speed AGC circuit 13 that adjusts a fluctuation component of a level due to effects of scintillation, and a detection control circuit 15 that controls the AGC circuits.例文帳に追加
本発明の光空間伝送装置は、天候の変化の影響によるレベルの変動成分を調整する低速AGC回路11と、シンチレーションの影響によるレベルの変動成分を調整する高速AGC回路13と、これらのAGC回路を制御する検波制御回路15とを備える。 - 特許庁
The system includes the MRI device having split type tunnel-shaped magnet devices axially split at the center, and the PET device in a circular form having a scintillation detector multiplying photoelectrons by a semiconductor detector or a photodiode, where the magnet devices of the MRI and the PET device are enclosed in separate containers.例文帳に追加
トンネル型で中央部が軸方向に分離したスプリット型の磁石装置を備えたMRI装置と、半導体検出器もしくはフォトダイオードで光電子を増倍するシンチレーション検出器を備えたリング状のPET装置とを用い、MRIの磁石装置とPET装置とをそれぞれ別の容器内に封入して構成する。 - 特許庁
To provide a surface light-diffusing polyester film having excellent heat resistance, mechanical strength, thickness accuracy and the like, achieving both total light transmittance and light diffusivity, suppressing curling due to heat originating from a bimetal structure, and suppressing generation of moire or scintillation when used for a liquid crystal display.例文帳に追加
優れた耐熱性、機械的強度および厚み精度等を有し、かつ全光線透過率と光拡散性を両立し、さらにバイメタル構造に由来する加熱カールの発生が抑制され、また、液晶ディスプレイに使用したときのモアレやシンチレーションの発生が抑制された表面光拡散性ポリエステルフィルムを提供する。 - 特許庁
To provide a screen with high resolution that shows less flickers on the screen and is gentle for visual sense by configuring that a light diffusing sheet or a Fresnel lens sheet constituting a rear projection type screen absorbs UV rays from a light source and emits visible light, and thereby, the screen emits incoherent light and can suppress scintillation.例文帳に追加
背面投影型スクリーンを構成する光拡散シートもしくはフレネルレンズシートのいずれかが、光源からの紫外線を吸収し、可視光を発光することで、位相が揃ってない光を発光することでシンチレーションを抑制することができ、画面のチラツキが少なく視覚にやさしい、高解像度なスクリーンを提供する事を目的とする。 - 特許庁
To provide an anti-glare film that has excellent anti-glare properties and can sufficiently suppress the occurrence of discoloration and scintillation even when used in a high definition display, and can also sufficiently suppress the formation of cracks during a polarizing element laminating process or a liquid crystal cell assembly process, and changes in anti-glare property with time.例文帳に追加
防眩性に優れるとともに、高精細化ディスプレイに適用した場合であっても、白茶けやシンチレーションの発生を充分に抑制でき、更に、偏光素子との貼合工程や液晶セル組立工程の途上でのクラックの発生や、防眩性の経時変化を充分に抑制することができる防眩性フィルムを提供する。 - 特許庁
To provide a surface light-diffusing polyester film having excellent heat resistance, mechanical strength, thickness accuracy and the like, achieving both total light transmittance and light diffusivity, suppressing curling due to heat originating from a bimetal structure, suppressing the occurrence of moire or scintillation when used for a liquid crystal display, and showing excellent post-processing property.例文帳に追加
優れた耐熱性、機械的強度および厚み精度等を有し、かつ全光線透過率と光拡散性を両立し、さらにバイメタル構造に由来する加熱カールの発生が抑制され、また、液晶ディスプレイに使用したときのモアレやシンチレーションの発生が抑制され、かつ、後加工性にも優れた表面光拡散性ポリエステルフィルムを提供する。 - 特許庁
To provide a photodiffusive sheet which functions by allowing a transmission type projection television to image (and transmit by light diffraction) the projection light from a liquid crystal projector, does not substantially give rise to scintillation, and can provide videos of high luminance, high definition and high grade, a lens array sheet equipped with the photodiffusive sheet, and a transmission type screen.例文帳に追加
本発明は、透過型液晶プロジェクションテレビで、液晶プロジェクターからの投影光を結像(および、光拡散させて透過)させて機能する、シンチレーションが実質上発生せず、高輝度、高解像度、高品位な映像を得ることの可能な光拡散性シート、その光拡散性シートを備えたレンズアレイシートおよび透過型スクリーンを提供することを目的とする。 - 特許庁
Furthermore, the surface detector 3 and the rear surface detector 4 collect scintillation light emitted in the direction of normal lines B, C respectively from an incidence surface 6a and a rear surface 6b, thereby, both detectors can take radiation images without perspectives and calculation between the incidence surface 6a side and the rear surface 6b side can be easily performed.例文帳に追加
しかも、表面検出器3および裏面検出器4は、入射面6aおよび裏面6bからそれぞれ法線B,C方向に出射されるシンチレーション光を集光するため、いずれもあおりがない放射線画像を取得することができ、入射面6a側および裏面6b側の画像間における演算が容易になる。 - 特許庁
In various detectors such as a semiconductor detector, an ionization chamber and a scintillation detector, a scavenging electrode 25 is arranged for impressing negative voltage on the incident part, the radioactive ion existing in the atmopsphere is captured by this scavenging electrode 25, and a radioactive ray such as an α ray emitted by the captured radioactive ray is directly detected by this detector.例文帳に追加
半導体検出器、電離箱、シンチレーション検出器等の各種の検出器において、その入射部に負電圧が印加された捕集電極25を設け、この捕集電極25によって大気中に存在する放射性イオンを捕捉するとともに、捕捉された放射性イオンが放出するα線等の放射線をこの検出器で直接検出する。 - 特許庁
In the scintillation detector comprising a scintillator for generating fluorescence by an incident radiation; a cylindrical member for disposing the scintillator on its front end face; a photoelectron multiplier, disposed consecutively on the back-end face of a cylindrical member, the inner wall surface of the cylindrical member is formed into a roughed surface by a material, at which fluorescence light undergoes irregular reflection.例文帳に追加
少なくとも、入射した放射線により蛍光を発生するシンチレータと、該シンチレータを前端面側に配設した筒状部材と、該筒状部材の後端面側に連設した光電子増倍管とからなるシンチレーション検出器において、前記筒状部材の内壁面を前記蛍光が乱反射する物質により粗面状に形成したこと。 - 特許庁
To easily fit a thin Fresnel lens sheet in which ghost and retardation (a double refraction phase difference) generated therein can be easily reduced to a case, further, to reduce the generation of deformation with the lapse of time or under severe environments such as high temperature-high humidity conditions, so as to increase reliability, and to suppress occurrence of scintillation phenomenon peculiar to an LCD system projection television.例文帳に追加
フレネルレンズシートで発生するゴーストおよびリタデーション(複屈折位相差)を低減させることが容易となる薄いフレネルレンズシートの筐体への取り付けを容易にするとともに、経時変化あるいは高温高湿条件などの過酷な環境下での変形の発生を低減して信頼性を高め、さらに、LCD方式プロジェクションテレビに固有な課題であるシンチレーション発生を抑制する。 - 特許庁
The position of a collimator 30 to the gamma camera 16 is adjusted according to the position of a detection plane 48 of a subject 14, and then gamma rays emitted from the subject 14 are detected by a scintillation detector 44 through the collimator 30 and a scintillator 42, then transferred to an image recomposing part 18 through a signal processing circuit 46 and displayed on a display 22.例文帳に追加
被検体14の検出面48の位置に応じてガンマカメラ16に対するコリメータ30の位置を調節した後、被検体14から放射されるガンマ線をコリメータ30およびシンチレータ42を介してシンチレーション検出器44により検出し、次いで、信号処理回路46を介して画像再構成部18に転送して処理し、ディスプレイ22に表示する。 - 特許庁
This radon concentration measuring device comprises a measuring apparatus main body 1 having a predetermined space 7, a steam separating means 4 provided in a wall part partitioning the space and outside, a scintillator 6 provided in the space, a photomultiplier tube PMT detecting scintillation emitted from the scintillator, and a data collector analyzing the radon concentration on the basis of an output from the photomultiplier tube.例文帳に追加
所定の空間7を有する測定器本体1と、前記空間と外部とを区画する壁部に設けた気水分離手段4と、前記空間内に設けたシンチレータ6と、前記シンチレータが発するシンチレーションを検出する光電子倍増管(PMT)と、前記光電子倍増管からの出力に基づいてラドン濃度を解析するデータ収集装置とからなるラドン濃度測定装置。 - 特許庁
An adhesive rim 58 is arranged around the active part of the detector array, and the dimensions are determined to prevent the scintillation material from entering an area other than the active region to be covered by performing a desired, accurate alignment of the mask for the detector array and forming a sealing means along with a substrate 62 of the detector array and the pallet assembly.例文帳に追加
検出器アレイの活性部分の周囲には接着剤リム(58)が配置されていて、それの寸法は検出器アレイに対するマスクの所望の正確な位置合せを可能にし且つ検出器アレイの基板(52)及びパレット・アセンブリと共に封止手段を形成して被覆すべき活性領域外へのシンチレータ材料の侵入を防止するように定められている。 - 特許庁
The scintillation detector 10 is provided with an entrance window 15; a scintillator 12; and a photomultiplier 13 and flattens energy response when low-energy photons between 10-150 keV are incident by approximating the properties of the transmissivity of the entrance window to energy of 20 keV or less to a curve of conversion factors of 1-cm dose equivalent of 20 keV or less.例文帳に追加
入射窓15と、シンチレータ12と、光電子増倍管13と、を備え、20keV以下におけるエネルギーに対する入射窓の透過率の特性を20keV以下の1cm線量当量換算係数曲線に近似させることで、10keVから150keVまでの低エネルギー光子が入射したときのエネルギーレスポンスの平坦化を図るシンチレーション検出器10とした。 - 特許庁
The ion injection device injecting impure ions into a silicon wafer 2 has a platen 1 supporting the wafer 2, a goniometer moving the platen 1, an X-ray irradiation mechanism 3 irradiating X-rays to the wafer 2 supported by the platen 1, and a scintillation counter 6 detecting a reflected X-ray 5 which is an X-ray 4 irradiated from the mechanism 3 and reflected from the wafer 2.例文帳に追加
本発明に係るイオン注入装置は、シリコンウェーハ2に不純物イオンを注入する装置において、前記ウェーハ2を保持するプラテン1と、プラテン1を動かすゴニオメータと、プラテン1に保持された前記ウェーハ2にX線を照射するX線照射機構3と、機構3によって照射されたX線4が前記ウェーハ2で反射する反射X線5を検出するシンチュレーションカウンター6と、を具備する。 - 特許庁
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