「a sem」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

In an SEM, the electron probe is scanned in a raster over a region of the specimen. 例文帳に追加

SEMでは、電子プローブは試料のある領域にわたってラスタ走査される。 - 科学技術論文動詞集

The SEM image and an initial SEM image are displayed on a monitor 7.例文帳に追加

そして、このＳＥＭ像と初期ＳＥＭ像をモニタ７に表示する。 - 特許庁

To provide a pretreatment method and a device thereof for performing SEM observation of a microbial sample.例文帳に追加

微生物試料のSEM観察のための前処理方法及びその装置の提供。 - 特許庁

An SEM image is then generated using the third-order electron, and the SEM image allows for an observation of a condition of the processing by an ion beam.例文帳に追加

そして、この三次電子を用いてSEM像を生成し、そのSEM像によって、イオンビームによる加工の状態を観察することが可能なようになっている。 - 特許庁

To provide a method for obtaining an SEM image and SEM equipment used for this.例文帳に追加

ＳＥＭ画像を得る方法及びこれに用いられるＳＥＭ装置を提供する。 - 特許庁

To provide a technique to enable an SEM observation on a real time basis without degrading a processing efficiency in an FIB processing.例文帳に追加

FIB加工における加工効率を低下させずにリアルタイムでSEM観察を可能にする技術を提供する。 - 特許庁

This reference image preparing method uses a pattern recognizing device 1 and acquires an SEM image representing a pattern on a wafer 41 by a SEM 10.例文帳に追加

パターン認識装置１を用い、ＳＥＭ１０によりウェーハ４１上のパターンを表すＳＥＭ画像を取得する。 - 特許庁

To prevent resolution degradation of a scanning electron microscope.例文帳に追加

走査電子顕微鏡(SEM)の分解能劣化を防止する。 - 特許庁

Furthermore, the SEM image corresponding to a detected position is registered again as a template, and the matching process is carried out.例文帳に追加

さらに検出された位置に対応したSEM画像をテンプレートとして再登録しなおしマッチング処理を行う。 - 特許庁

To provide an in-column back-scattered electron detector placed in a combined electrostatic/magnetic objective lens for a SEM.例文帳に追加

本発明は、SEM用の複合静電/磁気対物レンズ内に設けられた鏡筒内後方散乱電子検出器に関する。 - 特許庁

To provide a method of measuring a SEM shrink amount and a SEM distance measurement system capable of measuring the precise SEM shrink amount even though a base film is a film tends to accumulate charges.例文帳に追加

下地膜がたとえ電荷のたまりやすい膜であっても、正確なＳＥＭシュリンク量を計測することができるＳＥＭシュリンク量測定方法および測長ＳＥＭ装置を提供する。 - 特許庁

In a SEM, the conductivity which is induced by the electron beam can be investigated by applying a potential across the specimen. 例文帳に追加

SEMでは、電子ビームにより誘起された導電度は、試料を横断して電位を印加することによって調べることができる。 - 科学技術論文動詞集

To acquire an SEM image of a high resolution while suppressing damage to a sample caused by electron beam irradiation accompanied by SEM imaging, regarding the acquisition of an image of a semiconductor pattern using SEM.例文帳に追加

ＳＥＭを用いた半導体パターンの画像の取得に関して、ＳＥＭの撮像に伴う電子線照射による試料へのダメージを抑えつつ、高分解能なＳＥＭ画像を取得することである。 - 特許庁

The variation of shape is compensated using information of the edge in every direction and a smoothing method in the case a matching process between design data and a SEM image is carried out.例文帳に追加

また、設計データとSEM画像のマッチング処理を行う場合に方向別のエッジ情報とその平滑化により形状変化分を補う。 - 特許庁

To inspect target defects without fail in a review SEM.例文帳に追加

レビューＳＥＭにおいて、目標とする欠陥を間違いなく検査する。 - 特許庁

In SEM, secondary electrons can traverse only short distances through a material because they have little energy. 例文帳に追加

SEMでは、二次電子は、物質の中の短い距離しか進めない(ジグザグに); なぜなら、二次電子は僅かなエネルギーしか持たないからである。 - 科学技術論文動詞集

An instrument that combines an FE-SEM and a nanomanipulator system surpasses the limitation of manipulation with conventional optical microscopes. 例文帳に追加

FE-SEMとナノマニュピレータ(操作)システムを結合した装置は、従来(通常)の光学顕微鏡によるマニュピレーション(操作)の限界を越えている。 - 科学技術論文動詞集

The surface observation device 1 includes a shroud 11 and a SEM unit 13.例文帳に追加

表面観察装置１は、シュラウド１１及びＳＥＭユニット１３を有している。 - 特許庁

An upper layer pattern and a lower layer pattern are subjected to pattern matching between SEM (Scanning Electron Microscope) images, to thereby generate an upper layer correlation map and a lower layer correlation map.例文帳に追加

上層パターンと下層パターンをそれぞれSEM画像の間でパターン・マッチングを行ない、上層相関マップと下層相関マップを生成する。 - 特許庁

To provide an SEM and its measuring method capable of quantitatively expressing quality of a sample image and improving measurement accuracy.例文帳に追加

サンプル画像の良否を定量的に表すことができ、測定精度を向上することができるSEM及びその測定方法を提供する。 - 特許庁

The spatial resolution of X-ray microanalysis in a SEM is degraded more significantly than are secondary and backscattered electron images. 例文帳に追加

SEMにおけるX線微小分析の空間分解能は、二次電子および反射電子像の空間分解能よりも著しく低下させられる。 - 科学技術論文動詞集

In an SEM, it is necessary to place a permanent magnet in front of an EDS detector to deflect the backscattered electrons for electron energies above 25 keV. 例文帳に追加

SEMの中では、25keVより大きなエネルギーの後方散乱電子を偏向させるため、EDS検出器の前に永久磁石を置く必要がある。 - 科学技術論文動詞集

An aperture with a plurality of openings is used to determine correction condition of aberration from a SEM images and feed back to adjust the aberration correction device.例文帳に追加

複数開口をもつ絞りを使用することにより、収差の補正状態をSEM画像から判定して、収差補正手段の調整にフィードバックする。 - 特許庁

To provide a space-saving, inexpensive and high-response secondary electron detector, capable of acquiring TV-Scan rate images for VP-SEM which uses gas amplification in a low-vacuum sample chamber and a positive induced current detection system.例文帳に追加

低真空試料室内で起こるガス増幅を利用し、正の誘導電流検出方式を用いたVP-SEMにおいて、省スペースで安価でかつTV-Scanレート画像の取得が可能な高速応答のVP-SEM用二次電子検出器を提供する。 - 特許庁

A SEM 8 is arranged inside of the chamber 3, and this SEM 8 scans the wafer 2 with the electron beam, and observes a secondary electronic image emitted from a surface of the wafer 2, and generates an image (SEM image) of the surface of the wafer 2.例文帳に追加

チャンバー３内にはＳＥＭ８が配設され、このＳＥＭ８は、ウェハ２上に電子ビームを走査させ、その時にウェハ２の表面から放出される２次電子像を観察し、ウェハ２表面の画像（ＳＥＭ画像）を生成する。 - 特許庁

To simplify steps through collecting a sample piece for a TEM or SEM observation from an original sample up to molding it and setting an observation holder, and carry out the steps consistently in a sample treatment chamber.例文帳に追加

元試料から、TEMまたはSEM観察のための試料片の採取、成形および観察ホルダ設置までの工程を簡素化し、試料処理室において一貫して行なう。 - 特許庁

A moving means 204 in an SEM device 400 moves a substrate 202 by a stage 210.例文帳に追加

ＳＥＭ装置４００において移動手段２０４は、ステージ２１０により基板２０２を移動させる。 - 特許庁

Data of edge roughness are acquired over a sufficiently long area, and components corresponding to a spatial frequency range set by an operator on a power spectrum are integrated and displayed on a length measuring SEM.例文帳に追加

エッジラフネスのデータは十分長い領域に渡って取得し、パワースペクトル上で操作者が設定した空間周波数領域に対応する成分を積算し、測長SEM上で表示する。 - 特許庁

The charged particle beam device includes means for obtaining a plurality of SEM images in which the focus is changed in accordance with a depth of focus, means for determining the SEM image having the maximum image sharpness in a partial region including a dimension measurement region from among the obtained SEM images, and means for measuring the dimension of a predetermined region in the SEM image having the maximum image sharpness.例文帳に追加

焦点深度に対応してフォーカスを変化させた複数のＳＥＭ像を取得する手段と、取得したＳＥＭ像から寸法測定領域を含む部分領域の画像鮮鋭度が最大となるＳＥＭ像を決定する手段と、画像鮮鋭度が最大のＳＥＭ像から所定領域の寸法を測定する手段を備えた。 - 特許庁

In the pattern inspection method, a SEM image in a prescribed area of the substrate surface is obtained, and thereafter the pattern density (coarseness and minuteness) in the SEM image is judged.例文帳に追加

本発明のパターン検査方法では、まず、基板表面の所定領域のＳＥＭ画像を取得した後、そのＳＥＭ画像内のパターン密度（疎密）の判定を行なう。 - 特許庁

With this, the mass analysis of a fine organic foreign body can be performed without extracting the foreign body observed in the SEM from a vacuum chamber of the SEM.例文帳に追加

こうすることにより、ＳＥＭ中で観察した異物をＳＥＭの真空チャンバから取り出すことなく、そのまま微小有機異物の質量分析が可能となる。 - 特許庁

Information (offset information) about distribution of a coordinate system offset between a defect inspection apparatus and a SEM apparatus at an observation location on a wafer is registered in the SEM apparatus as a defect observation apparatus.例文帳に追加

欠陥観察装置であるＳＥＭ装置には、欠陥検査装置と当該ＳＥＭ装置との間の座標系のずれの、ウェハ上の観察位置に対する分布に関する情報（ずれ情報）が登録される。 - 特許庁

Data of the edge roughness are acquired over a sufficiently long area, and a component, which corresponds to a spatial frequency range set by an operator on a power spectrum, is integrated and displayed on a length measurement SEM.例文帳に追加

エッジラフネスのデータは十分長い領域に渡って取得し、パワースペクトル上で操作者が設定した空間周波数領域に対応する成分を積算し、測長SEM上で表示する。 - 特許庁

The control device 6 displays a lattice grid in a superposed manner on these SEM images.例文帳に追加

このとき制御装置６は、これらの両ＳＥＭ像に対して格子グリッドを重畳表示する。 - 特許庁

To provide an observation method for identifying a fine particle set to which a heterogeneous element has been added using: a method of determining observation conditions of SEM reflection electron measurement capable of giving a maximum luminance contrast and performing measurement with high reproducibility with respect to the kind and thickness of a film-like element; and a method of predicting a combination of element kinds that can be identified by SEM reflection electron measurement.例文帳に追加

薄膜状元素の種類と厚さに対して、輝度コントラストが最大となり且つ再現性よく計測することができるSEM反射電子計測の観測条件を決定する方法および、SEM反射電子計測により識別することが可能な元素種類組み合わせを予測する方法を用いて異種元素が付加された微粒子セットを識別する観察方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a system with an FIB tube and a SEM tube, wherein influence of a secondary electron excited by an FIB does not come out as noise in a SEM image, when performing SEM observation of FIB processing on a real time basis.例文帳に追加

本発明が解決しようとする課題は、ＦＩＢ鏡筒とＳＥＭ鏡筒を備えたシステムにおいて、ＦＩＢ加工をリアルタイムでＳＥＭ観察する際に、ＦＩＢによる励起二次電子の影響がＳＥＭ画像中でノイズとして出ないようなシステムを提供することにある。 - 特許庁

To provide a dark field detection system of a scanning electron microscope (SEM) having a polar angle identification function of scattered electrons.例文帳に追加

散乱電子の極角識別機能を有するＳＥＭ暗視野検出システムを提供すること。 - 特許庁

To simplify the processes including the collection and molding of a sample piece for a transmission electron microscope(TEM) or scanning electron microscope(SEM) observation from an original sample and the installation of an observation holder and to consistently conduct the processes in a sample processing chamber.例文帳に追加

元試料から、TEMまたはSEM観察のための試料片の採取、成形および観察ホルダ設置までの工程を簡素化し、試料処理室において一貫して行なう。 - 特許庁

A first coordinate data 20 measured by a general-purpose particle counter, and a second coordinate data 22 measured by an SEM or an equivalent high accurate measuring device concerning particles on the same wafer, are input (S11 and S12).例文帳に追加

同じウェーハ上の粒子につき、汎用パーティクルカウンタで測定した第１座標データ２０と、SEMまたは相応の高精度測定機で測定した第２座標データ２２とを入力する（S11、S12）。 - 特許庁

To provide a stencil mask that facilitates backside observation by SEM.例文帳に追加

ＳＥＭによる裏面観察を容易に行なう事が出来るステンシルマスクを提供すること。 - 特許庁

When a desired image is selected and designated from among the SEM images, the electronic optical system or the like is set to the simulated conditions and such an SEM image can be actually observed.例文帳に追加

該ＳＥＭ像の中から所望の像を選択し指定すると、電子光学系等がシミュレーションした条件に設定されてそのようなＳＥＭ像が実観察できる。 - 特許庁

After the observation face 106 is observed by the SEM 107, the observation face 106 is removed so as to be sliced, and a new observation face is observed by the SEM 107.例文帳に追加

観察面１０６をＳＥＭ１０７で観察した後、観察面１０６をスライスするように除去し、再びＳＥＭ１０７により新たな観察面の観察を行なう。 - 特許庁

In a SEM, electrons which are emitted or backscattered from the specimen are collected to provide topological information, and atomic number or orientation information. 例文帳に追加

SEMでは、試料から放出または後方散乱される電子が集められ、表面凹凸の(地形図的な)情報および、原子番号または方位の情報を提供する。 - 科学技術論文動詞集

To provide a charged particle beam device of a critical-dimension measuring scanning electron microscope (CD-SEM) or the like, measuring accurately a pattern dimension on a photomask for nanoimprint by a retarding voltage application system.例文帳に追加

リターディング電圧印加方式によってナノインプリント用フォトマスク上のパターン寸法を正確に測定することができる微小寸法測定走査電子顕微鏡（CD-SEM）等の荷電粒子線装置を提供することにある。 - 特許庁

To accurately calculate a coordinate data conversion/correction formula for a short time so as to effectively search particles on a wafer from their data that are measured by a particle counter, by a scanning electron microscope (SEM).例文帳に追加

パーティクルカウンタで測定したウェーハ上の粒子の座標データに対し走査型電子顕微鏡（SEM）で当該粒子の探索を効果的に行うための、座標データ変換・補正式を短時間で精度良く算出する。 - 特許庁