TMIとは 意味・読み方・使い方

The particle suppression processing is performed by continuously supplying a material other than TMI (material of group III element other than TMI, and ammonia gas) and nitrogen gas after the supply of TMI is stopped.例文帳に追加

パーティクル抑制処理は、ＴＭＩの供給を停止した後に、ＴＭＩ以外の原料（ＴＭＩ以外のIII族元素の原料及びアンモニアガス）及び窒素ガスの供給を継続することにより行う。 - 特許庁

Also, the particle suppression processing may be performed by continuously supplying the ammonia gas and the nitrogen gas while continuously heating the substrate, after the supply of TMI and the material of group III element other than TMI is stopped.例文帳に追加

又は、ＴＭＩ及びＴＭＩ以外のIII族元素の原料の供給を停止した後に、基板の加熱を継続しながらアンモニアガス及び窒素ガスの供給を継続することにより行ってもよい。 - 特許庁

Further, the particle suppression processing may be performed by continuously supplying the ammonia gas, after the supply of TMI, the material of group III element other than TMI, and the nitrogen gas is stopped and then the supply of hydrogen gas is started.例文帳に追加

ＴＭＩ、ＴＭＩ以外のIII族元素の原料及び窒素ガスの供給を停止し水素ガスの供給を開始した後にアンモニアガスの供給を継続することにより行ってもよい。 - 特許庁

The torque of the inertial torque TMi discharged from the engine 1 is subtracted from the target motor torque TMtr, thereby, the inertial torque TMi can be attenuated, and a shift shock can be relaxed.例文帳に追加

目標モータトルクＴMtrからはエンジン１から放出されるイナーシャトルクＴMi分のトルクが減算されているため、イナーシャトルクＴMiが減衰されて変速ショックが緩和される。 - 特許庁

When a driver sets the shift mode of a transmission 7 to a manual shift mode, and then performs an upshift operation, a driving force control part 14 obtains inertial torque TMi from an engine 1 which acts on an input shaft 7a of the transmission 7, and sets target motor torque TMtr by subtracting the inertial torque TMi from a motor torque instruction value TM distributed in a prescribed manner.例文帳に追加

運転者が変速機７の変速モードを手動変速モードにセットした後、アップシフト操作を行うと、駆動力制御ユニット１４は、変速機７の入力軸７ａに作用するエンジン１からのイナーシャトルクＴMiを求め、このイナーシャトルクＴMiを所定に配分されたモータトルク指示値ＴMから減算して目標モータトルクＴMtrを設定する。 - 特許庁

Since one side rubber elastic modulus TMI is set larger than the other rubber elastic modulus TMO for the rubber elastic modulus of the tread section 16 in a shoulder area 36, the distribution of the ground contact pressure of the shoulder area 36 becomes asymmetric and the lateral force F from the side having a tread rubber of the rubber elastic modulus TMO toward the side having the tread rubber of the rubber elastic modulus TMI is generated.例文帳に追加

ショルダー領域３６におけるトレッド部１６のゴム弾性率について、一方のゴム弾性率ＴＭＩを他方のゴム弾性率ＴＭＯよりも大きく設定しているので、ショルダー領域３６の接地圧分布が非対称となり、直進時にゴム弾性率ＴＭＯのトレッドゴムを有する側からゴム弾性率ＴＭＩのトレッドゴムを有する側へ向かう横力Ｆが生ずる。 - 特許庁

Thereafter, the carrier gas is switched from a hydrogen gas to an argon gas that is one of noble gases and a semiconductor layer 14 made of InGaN with a film thickness of 100 nm is formed on the upper surface of the underlying layer 13 by providing the TMG and TMI for one hour with the TMI/TMG gas phase ratio of 0.9 and V/III compound supplying mole ratio of 10,000.例文帳に追加

その後、キャリアガスを水素ガスから希ガスであるアルゴンガスに切り替え、ＴＭＧとＴＭＩとをＴＭＩのＴＭＧに対する気相比が０．９で、Ｖ族／III 族供給モル比が１００００として１時間供給することにより、下地層１３の上面にＩｎＧａＮからなり、膜厚が１００ｎｍの半導体層１４を成長させる。 - 特許庁