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"drying processing"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 174件
In the method for processing a substrate, including steps of: a liquid chemical processing step of processing a substrate W with a liquid chemical; and then a drying processing step of drying the substrate W, humidity around the substrate W is adjusted depending on type of the liquid chemical used in the liquid chemical processing step.例文帳に追加
薬液を用いて基板Wを処理する薬液処理工程を行った後,基板Wを乾燥させる乾燥処理工程を行う基板処理方法であって,前記薬液処理工程で使用される薬液の種類に応じて,基板Wの周囲の湿度を調節する。 - 特許庁
A substrate processing apparatus 500 comprises an indexer block 9, a processing block 10 for an antireflection film, a processing block 11 for a resist film, a development processing block 12, a processing block 13 for a resist cover film, a resist cover film removal block 14, a cleaning/drying processing block 15, and an interface block 16.例文帳に追加
基板処理装置500は、インデクサブロック9、反射防止膜用処理ブロック10、レジスト膜用処理ブロック11、現像処理ブロック12、レジストカバー膜用処理ブロック13、レジストカバー膜除去ブロック14、洗浄/乾燥処理ブロック15およびインターフェースブロック16を備える。 - 特許庁
To provide a substrate drying method and a substrate drying device which are disposed by avoiding restriction in installing a tubular halogen heater while being longitudinally inclined, instantaneously light the same, reduce electric power by putting off the heater in changing variety, and shorten a time necessary for drying processing.例文帳に追加
管状ハロゲンヒータの長手方向を傾斜して設置する場合の制約を回避して設け、瞬時点灯を可能とし、品種の切り替え時には消灯して電力を低減し、乾燥処理に要する時間を短縮することが可能な基板乾燥方法、基板乾燥装置を提供する。 - 特許庁
That means, the recycled IPA is supplied to the substrate W subjected to rinsing processing to substitute a rinse liquid (DIW) adhering on a substrate surface Wf with the recycled IPA, and then, the unused IPA is supplied to the substrate surface Wf to form a surface state suitable to drying processing.例文帳に追加
つまり、リンス処理を受けた基板Wに対して再利用IPAを供給して基板表面Wfに付着しているリンス液(DIW)を再利用IPAに置換した後に未使用のIPAを基板表面Wfに供給して乾燥処理に適した表面状態を形成している。 - 特許庁
The substrate processing apparatus 500 comprises: an indexer block 9; a processing block 10 for an antireflection film; a processing block 11 for a resist film; a development processing block 12; a processing block 13 for a resist cover film; a resist cover film removing block 14; a cleaning/drying processing block 15; and an interface block 16.例文帳に追加
基板処理装置500は、インデクサブロック9、反射防止膜用処理ブロック10、レジスト膜用処理ブロック11、現像処理ブロック12、レジストカバー膜用処理ブロック13、レジストカバー膜除去ブロック14、洗浄/乾燥処理ブロック15およびインターフェースブロック16を備える。 - 特許庁
The substrate processor 500 comprises an indexer block 8, end-face cleaning processing block 9, anti-reflection film processing block 10, resist film processing block 11, developing processing block 12, resist cover film processing block 13, resist cover film removing block 14, cleaning/drying processing block 15, and interface block 16.例文帳に追加
基板処理装置500は、インデクサブロック8、端面洗浄処理ブロック9、反射防止膜用処理ブロック10、レジスト膜用処理ブロック11、現像処理ブロック12、レジストカバー膜用処理ブロック13、レジストカバー膜除去ブロック14、洗浄/乾燥処理ブロック15およびインターフェースブロック16を備える。 - 特許庁
In the wett waste treatment equipment 1 provided with the cylinder 7a in which wett waste is heated and agitators (8 and 10) for agitating the wett wastes for drying processing, raking-off devices 9 are provided at prescribed intervals on the surface where the inner wall of the cylinder 7a and the agitator 8, 10 comes into contact with each other.例文帳に追加
含水廃棄物が加熱される筒体7aと、含水廃棄物を攪拌するための攪拌機(8、10)とを備え、乾燥処理される含水廃棄物処理装置1であって、筒体7aの内壁と攪拌機8、10とが接する面に、掻取装置9を所定間隔に備える。 - 特許庁
Further, the pre-drying processing is not immediately executed for the substrate W subjected to rinsing processing, but executed after a low-concentration IPA is supplied to the substrate surface Wf to substitute the ringing liquid (DIW) adhering on the substrate surface Wf with IPA.例文帳に追加
しかも、この実施形態では、リンス処理を受けた基板Wに対して乾燥前処理を直ちに行うのではなく、低濃度IPAを基板表面Wfに供給して基板表面Wfに付着しているリンス液(DIW)をIPAに置換した上で乾燥前処理を行っている。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing porous powder by which a manufacturing efficiency is enhanced by drastically saving man-hours for a drying processing, and sludge incineration ash is effectively reused as an excellent humidity controlling material, and to provide the porous powder obtained by the method.例文帳に追加
乾燥処理を大幅に省力化させて製造効率の向上を図り、汚泥焼却灰の有効な再利用を図るとともに、優れた調湿材料として適用することができる多孔質粉体の製造方法及び当該方法により得られた多孔質粉体を提供する。 - 特許庁
The film processor is equipped with a drying control means G of placing a heater 15 and a blower 16 of the drying processing part C in operation for a time corresponding to a drying time inputted using a keyboard 19, if a photointerrupter type presence sensor S using infrared rays can not detect a photographic film sent by a conveying means P.例文帳に追加
搬送手段Pで送られる写真フィルムが赤外線を用いたフォトインタラプト型の存否センサSで検出できない場合には、キーボード19で入力した乾燥時間に対応した時間だけ乾燥処理部Cのヒータ15とブロワ16とを作動させる乾燥制御手段Gを備えた。 - 特許庁
To provide a hot water haul up/drying device where inconvenience that adjacent wafers stick each other, while they are hauled up from hot water without enlarging an installation interval between the support groves of a support member, namely, without lowering drying processing efficiency and the non conformity that the drying effect of the wafers is completely eliminated.例文帳に追加
支持部材の支持溝の設置間隔を広げることなく、即ち乾燥処理効率を低下させることなく、温水からの引上げ途中における隣接するウェーハ同士がくっつき合うという不都合を解消し、ウェーハの乾燥不良が皆無となるようにした温水引上乾燥装置を提供する。 - 特許庁
The substrate processing device includes a conveyance path 34 and an air flow generation portion 110 which generates an air flow in a conveyance direction of the conveyance path 34 or in the opposite direction from the conveyance direction above a substrate G being conveyed in the conveyance path 34 in a state where a surface to be processed is coated with a processing liquid to perform the drying processing on the substrate G with the air flow.例文帳に追加
搬送路34と、被処理面に処理液が塗布処理された状態で搬送路34を搬送されている基板Gの上方で、搬送路34の搬送方向又は搬送方向と逆方向に流れる気流を形成し、気流により基板Gを乾燥処理する気流形成部110とを有する。 - 特許庁
In the drying processing, the substrate W is thus heated while the high-temperature nitrogen gas is supplied to the substrate back surface Wb, so even if many steam components are present at a periphery of the substrate, no drop of water sticks on the substrate surface Wf and the substrate W is securely dried.例文帳に追加
このように乾燥処理の間、基板裏面Wbに高温窒素ガスを供給して基板Wを加熱しているため、仮に基板の周辺に多量の水蒸気成分が存在していたとしても、基板表面Wfに水滴は付着することなく、基板Wを確実に乾燥することができる。 - 特許庁
This constitution enables setting of a heating amount of the heating means 26 and an air supply amount of the blower 25 to obtain maximum drying efficiency according to a kind and a quantity of refuse without exceeding the upper limit value of the internal temperature of the drying processing part 21, and promotes drying efficiency, resulting in shortening of a drying time.例文帳に追加
これによって、生ごみの種類や量に応じて、乾燥処理部21の内部温度の上限値を超えることなく最大の乾燥効率が得られる加熱手段26の加熱量と送風機25の送風量が設定でき、そして乾燥効率が促進されるので乾燥時間の短縮が図れる。 - 特許庁
To provide a drying processing method and a drying furnace in which both a drying carbonization and a high temperature processing for generated gas can be carried out within the same furnace and either vapor generated from items to be processed or bad odor and harmful components in the generated gas can be discharged into atmosphere as discharged gas of non-odor and non-toxic characteristic under a high temperature combustion.例文帳に追加
同一炉内で乾燥炭化と発生ガスの高温処理を可能にし、処理物から発生した蒸気やガス中の臭気および有害成分を高温燃焼により無臭無害の排気ガスとして大気中に排出させることのできる乾燥処理方法および乾燥炉を提供することにある。 - 特許庁
This method of processing a concrete structure removes alkaline components in the concrete structure earlier by repeating, over a predetermined period, a cycle in which a wetting-drying processing is performed to dry the surfaces of the placed concrete structure after wetting the surfaces with a processing water including at least a surfactant.例文帳に追加
コンクリート構造体の処理方法は、打設後のコンクリート構造体の表面を少なくとも界面活性剤を含む処理水で濡らした後乾燥させる湿潤−乾燥処理を1サイクルとして、このサイクルを所定期間にわたって繰り返すことによって、該コンクリート構造体中のアルカリ成分を早期に除去する。 - 特許庁
To enable drying processing by making mutual containers carried from separate farmers mixedly exist, by easily identifying from which farmers the respective containers are carried, in a dehumidifying and drying system for dehumidifying and drying a drying object such as a farm produce and processed food in a green house 1 by blowing air.例文帳に追加
温室1内において農作物や加工食品等の被乾燥物を送風にて除湿・乾燥させる除湿乾燥システムに関して、各コンテナがどの農家から運ばれてきたものかを簡単に識別して、別々の農家から運ばれてきたコンテナ同士を混在させて乾燥処理できるようにする。 - 特許庁
To provide a dehumidification type drying system capable of solving problems on the sticking of dried organic substances generated when a moisture content of a dried object becomes roughly 40% or smaller in drying the dried object in a processing tank, the unsmooth progression of drying processing, and the flying of floating substances in the air of the processing tank when a degree of dryness progresses.例文帳に追加
被乾燥物を処理槽内で乾燥する時、被乾燥物の水分量が略40%以下となった時に発生する被乾燥物有機体が固着し、乾燥処理がスムーズに進まなくなる点や乾燥度が進んだ時に処理槽空気中に浮遊物が舞い上がる点を解決する除湿型乾燥システムを提供する。 - 特許庁
When a second mode in which a substrate G is scan-coated by a resist application unit from a right side G_R to a left side G_L is selected, gas stream control is performed by a vacuum-drying unit (VD)52 such that a gas jetting part 102 on the left is selectively actuated and a gas jetting part 104 on the right is stopped during vacuum-drying processing.例文帳に追加
レジスト塗布ユニットで当該基板Gに対して右辺G_Rから左辺G_Lに向かって塗布走査する第2モードが選択されたときは、減圧乾燥ユニット(VD)52では、減圧乾燥処理中に左側のガス噴出部102を選択的に作動させて右側のガス噴出部104を止めておくような気流制御が行われる。 - 特許庁
This manufacturing method is the manufacturing method of an optical film which includes a process of forming a coating film by coating a polymer solution in which polymers including polyimide are dissolved into a solvent on a substrate and a process of forming a birefringent film by drying the coating film and the manufacturing method is characterized in that the drying process includes at least two stages of drying processing.例文帳に追加
ポリイミドを含むポリマーを溶媒に溶解したポリマー溶液を基材に塗工して塗工膜を形成する工程と、前記塗工膜を乾燥して複屈折フィルムを形成する工程とを含む光学フィルムの製造方法であって、前記乾燥工程が、少なくとも2段階の乾燥処理を含むことを特徴とする製造方法である。 - 特許庁
A transporting roller 122a abutting on the photosensitive surface 1a of the photosensitive material 1 subjected to development processing of the photograph drying device 400, which subjects the photosensitive material 1 to drying processing while transporting the photosensitive material by using plural transporting roller pairs 12 arranged at prescribed intervals, has a roller surface member 506 made of a woven fabric material.例文帳に追加
所定の間隔で配置された複数の搬送ローラ対12を用いて、現像処理された感光材料1を搬送しつつ乾燥処理する写真乾燥装置400において、感光材料1の感光面1aに当接する搬送ローラ122aは織布材料製のローラ表面部材506を有することを特徴とする写真乾燥装置。 - 特許庁
To provide a cleaning device for preventing the attachment of a cleaning liquid to proximal ends being places where drying processing in holding members is hardly performed, during cleaning holding parts by injecting the cleaning liquid to the holding parts of the holding members for holding a substrate, and also to provide a substrate processing system, a cleaning method, a program, and a storage medium.例文帳に追加
基板の保持を行う保持部材の保持部に洗浄液が噴射されることによりこの保持部が洗浄されている間に、保持部材における乾燥処理が困難な箇所である基端部に洗浄液が付着してしまうことを防止することができる洗浄装置、基板処理システム、洗浄方法、プログラムおよび記憶媒体を提供する。 - 特許庁
The method for regenerating the base holder configured to continuously perform liquid honing of SUS beads as blasting, a high pressure jet cleaning means as fine powder removal processing, warm air drying as drying processing, and tacky adhesive roller processing as deposited material removal processing is used and the apparatus for regenerating the base holder is configured in such a manner that the processing in such processing means can be continuously performed.例文帳に追加
ブラスト処理としてSUSビーズの液体ホーニング、微紛除去処理として、高圧ジェット洗浄手段、乾燥処理として温風乾燥、付着物除去処理として粘着ローラー処理を連続的に行うようにした基体ホルダーの再生方法を用い、またそのような処理手段を連続的に処理できるように構成した基体ホルダーの再生装置。 - 特許庁
Since the manufacturing method includes: a step of paper-making a fiber material 402 and a thermosetting resin 403; and a step of curing the thermosetting resin 403 with heating drying processing to manufacture the diaphragm for the electroacoustic transducer of a prescribed shape, the diaphragm for the electroacoustic transducer with the comparatively high moisture resistance can be manufactured with the simple manufacturing method.例文帳に追加
繊維材料402及び熱硬化性樹脂403を抄紙する工程と、加熱乾燥処理により熱硬化性樹脂403を硬化させて所定形状の電気音響変換器用振動板4を作製する工程とを有するので、簡単な製造方法により比較的高い耐湿性や剛性を備える電気音響変換器用振動板を作製することができる。 - 特許庁
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