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"electromagnetic lens"を含む例文一覧と使い方

該当件数 : 40



例文

ELECTROMAGNETIC LENS例文帳に追加

電磁レンズ - 特許庁

ELECTROMAGNETIC LENS DRIVE DEVICE例文帳に追加

電磁式レンズ駆動装置 - 特許庁

CONTROLLING METHOD OF ELECTROMAGNETIC LENS AND ION IMPLANTING APPARATUS例文帳に追加

電磁界レンズの制御方法およびイオン注入装置 - 特許庁

ELECTRON BEAM DEVICE PROVIDED WITH ELECTROMAGNETIC LENS HAVING NO REMNANT MAGNETIZM例文帳に追加

残留磁気のない電磁レンズを備えた電子線装置 - 特許庁

例文

ELECTROMAGNETIC LENS ANTENNA APPARATUS, AND POINTING MAP FOR THE SAME APPARATUS例文帳に追加

電波レンズアンテナ装置及び同装置用ポインティングマップ - 特許庁


例文

POLE LENGTH TAPERING HIGH-PRECISION METHOD FOR TETRODE ELECTROMAGNETIC LENS例文帳に追加

磁極長テーパによる四極電磁石レンズの高精度化方法 - 特許庁

No new electromagnetic lens needs to be added in this optical system.例文帳に追加

本光学系では新たな電磁レンズの追加は不必要である。 - 特許庁

CHARGED PARTICLE BEAM DEFLECTOR, AND ELECTROMAGNETIC LENS WITH THE DEFLECTOR BUILT THEREIN例文帳に追加

荷電粒子線偏向器及びそれを内蔵する電磁レンズ - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SPHERICAL ABERRATION IN ELECTROMAGNETIC LENS例文帳に追加

電磁レンズの球面収差測定方法及び球面収差測定装置 - 特許庁

例文

In this material evaluating apparatus, the center position of the positron radiation source is present outside the magnetic field of the electromagnetic lens and set within the range from the upper end of the magnetic field of the electromagnetic lens to the distance 1.5 times the effective caliber of the electromagnetic lens.例文帳に追加

陽電子線源の中心位置が、電磁レンズの磁場の外にあり、電磁レンズ磁場の上端から電磁レンズの有効口径の1.5倍の距離までの範囲内である上記の材料評価装置。 - 特許庁

例文

CHROMATIC ABERRATION COEFFICIENT MEASURING METHOD IN ELECTROMAGNETIC LENS AND SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加

電磁レンズにおける色収差係数測定方法及び走査透過電子顕微鏡 - 特許庁

To enable to efficiently detect emitted electrons in an electromagnetic lens.例文帳に追加

電磁界レンズにおいて放出電子を効率よく検出できるようにすること。 - 特許庁

The partition plate 29 is made movable any time in regard to the optical axis of the electron gun and the electromagnetic lens.例文帳に追加

仕切り板29は、電子銃と電磁レンズの光軸に対して随時移動可能とする。 - 特許庁

To provide a measurement method and a measuring device of the spherical aberration of an electromagnetic lens capable of precisely measuring the spherical aberration coefficient of the actual electromagnetic lens.例文帳に追加

実際の電磁レンズの球面収差係数を高精度に測定することができる電磁レンズの球面収差測定方法及び球面収差測定装置を提供する。 - 特許庁

The tetrode electromagnetic lens is formed so as to have a taper in the cross section of lens axis derection and, a polar length of magnet pole in a diameter direction is optimized, a high-precision method of a tetrode electromagnetic lens is processed by a tapered magnet pole length.例文帳に追加

四極電磁石レンズ軸に対する縦方向断面形状にテーパを付け、径方向での磁極長を最適化することからなる、磁極長テーパによる四極電磁石レンズの高精度化方法。 - 特許庁

ASTIGMATISM MEASURING METHOD FOR ELECTROMAGNETIC LENS, ASTIGMATISM MEASURING APPARATUS, ASTIGMATISM CORRECTING METHOD, AND ELECTRON BEAM APPARATUS例文帳に追加

電磁レンズの非点収差測定方法、非点収差測定装置、非点収差補正方法及び電子線装置 - 特許庁

A partition plate 29 to partition an electron gun compartment 1 and an electromagnetic lens part 2 under it to make a vacuum is provided.例文帳に追加

電子銃室1とその下方の電磁レンズ部2を真空的に仕切るための仕切り板29を設ける。 - 特許庁

MOTOR DRIVING DEVICE FOR SENSOR FOR TRANSCEIVER WITH SPHERICAL ELECTROMAGNETIC LENS AND TRANSCEIVER EQUIPPED WITH THE SAME DEVICE例文帳に追加

球状電磁レンズを有する送受信装置用のセンサ用モータ駆動装置と当該装置を具備する送受信装置 - 特許庁

ELECTROMAGNETIC LENS, MAGNETIC-FIELD SUPERPOSITION TYPE ELECTRON GUN AND CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS WITH MAGNETIC-FIELD SUPERPOSITION TYPE ELECTRON GUN例文帳に追加

電磁レンズ,磁界重畳型電子銃および当該磁界重畳型電子銃を備えた荷電粒子線装置 - 特許庁

To provide a high-precision method of a tetrode electromagnetic lens used widely for convergence of particle beam in a particle accelerator.例文帳に追加

粒子加速器において粒子ビームの収束に広く使われている4極電磁石レンズの高精度化方法。 - 特許庁

Further, the direction of the electron beam diffraction image is changed with an action of an electromagnetic lens, for instance, by changing current conducted to a plurality of projection lenses.例文帳に追加

また、例えば、複数の投射レンズに通電する電流を変化させ、電磁レンズの作用によって電子線回折像の方向を変化させる。 - 特許庁

As the converging guard ring 15, an electrostatic lens 50 or an assembly of the electrostatic lens 50 and an electromagnetic lens 51 are used.例文帳に追加

収束ガードリング15として、静電レンズ50、または静電レンズ50と磁界レンズ51の組合せを用いる。 - 特許庁

While disposing a microwave accelerator 3 consisting of microwave cavities in an incident side of a pair of objective lenses (an objective forward electromagnetic lens 2a and an objective backward electromagnetic lens 2b) consisting of electromagnetic lenses, a microwave decelerator 4 consisting of microwave cavities are disposed in an emission side.例文帳に追加

電磁レンズからなる1対の対物レンズ(対物前方電磁レンズ2a,対物後方電磁レンズ2b)の入射側に、マイクロ波空洞からなるマイクロ波加速器3を配設すると共に、出射側にマイクロ波空洞からなるマイクロ波減速器4を配設する。 - 特許庁

To achieve an electromagnetic lens which corrects the drift amount and the defocus amount or the like to the threshold value or less by carrying out correction according to necessity by keeping the drift amount small by instantly making a calorific value constant even if an acceleration voltage is changed regarding the electromagnetic lens that focuses a charged particle beam.例文帳に追加

荷電粒子線ビームを集束させる電磁レンズに関し、加速電圧を変えても即時に発熱量を一定にしてドリフト量を小さく保持しかつ必要に応じて補正を行ってドリフト量、デフォーカス量などを閾値以下に補正する電磁レンズを実現する。 - 特許庁

This material evaluating apparatus has a mechanism consisting of a positron radiation source, an electromagnetic lens, a positron detector and a γ-ray measuring device and capable of fixing the positron radiation source and the electromagnetic lens so as to arbitrarily change the distance between them and capable of holding at least the positron flight route from the positron radiation source to a material to be measured under vacuum.例文帳に追加

陽電子線源、電磁レンズ、陽電子検出器、γ線測定器からなり、陽電子線源と電磁レンズとの距離を任意に変えて固定できる機構を有し、かつ少なくとも陽電子線源から被測定材料までの陽電子飛翔経路は、真空に保持できる材料評価装置。 - 特許庁

In order to put the electromagnetic lens 3 near the electron source 1 and decrease the focal distance of the electromagnetic lens 3, pole distance between a bottom magnetic pole and a top magnetic pole is reduced, and the magnetic poles and electrodes are formed separately each other so that distance between the electrodes can be larger than that between the magnetic poles.例文帳に追加

電子源1近傍に磁界レンズ3を配置して、磁界レンズ3を短焦点化するために、下磁極と上磁極との磁極間隔を短くする構成とし、磁極と電極とはそれぞれ分離した構造として、磁極間隔より電極間隔が大きくなるような構成とする。 - 特許庁

The object lens 9 is an electromagnetic lens having a magnetic pole gap 14 on the sample 10 side, and a control electrode 15 is disposed between the object lens 9 and the sample 10.例文帳に追加

対物レンズ9は、磁極間隙14を試料10の側に有する電磁レンズであり、対物レンズ9と試料10との間に制御電極15が配置される。 - 特許庁

Microwaves can be guided in the water by a wave guide, diffusion of the microwaves can be prevented by an electromagnetic lens, and high temperature heating of the magnetic body can be instantaneously obtained in liquid.例文帳に追加

マイクロ波を導波管によって水中に誘導ができ、且つ電波レンズによってマイクロ波の拡散が防止され、瞬時に磁性体の高温加熱が液体のなかで得ることが可能になった。 - 特許庁

Since the ceramic cylinder is an insulator and does not block a high-frequency alternating field, it does not interfere with effects of an electromagnetic lens or electromagnetic deflector disposed outside the liner tube.例文帳に追加

セラミックス製の筒体は絶縁体であって高周波の交番磁界を遮蔽することがないため、ライナーチューブ外側の電磁レンズや電磁偏向器の作用を妨害しない。 - 特許庁

To obtain an interference microscope image of a multi-stage electron beam biprism by an electromagnetic lens system with the same number as the one-stage electron beam biprism without drop of operation flexibility of the multi-stage electron beam biprism.例文帳に追加

多段電子線バイプリズムの操作自由度を落とすことなく、1段電子線バイプリズムと同数の電磁レンズ系によって、多段電子線バイプリズムの干渉顕微鏡像を得る。 - 特許庁

A motor driving device moves the sensor at the periphery of a spherical electromagnetic lens of a transmission and reception system using a Ljungberg type lens and each module has at least one piezoelectric driving device fixed thereto.例文帳に追加

リュンベルグ方のレンズを使用した送受信システムの球状の電磁レンズの周囲をセンサを移動させるモータ駆動装置であって、各モジュールが、モジュールに固定された少なくとも1つの圧電駆動装置を有する。 - 特許庁

Electron beams through an objective lens (electromagnetic lens) 16 are allowed to enter a single-crystal sample 20 whose lattice constant is known, and the image data of a Ronchigram is acquired by an imaging device 18.例文帳に追加

対物レンズ(電磁レンズ)16を透過した電子線を格子定数が既知の単結晶試料20に入射し、撮像素子18によりロンチグラムの画像データを取得する。 - 特許庁

The object lens is composed of a flat plate-shaped electrode 10c having a hole with an optical axis as a center arranged in parallel with the sample face, and an electromagnetic lens 10a having a gap 10b at sample side.例文帳に追加

対物レンズは、試料面に平行で光軸を中心とする穴あき平板状電極10cと、ギャップ10cが試料側に形成される電磁レンズ10aとから形成される。 - 特許庁

To provide an electromagnetic lens antenna apparatus, where the flexibility of the selection of its installation place is made high, and it can be so provided compactly on a wall surface, etc., as to relax its spatial disposal restriction.例文帳に追加

設置場所の選択の自由度が高く、壁面などにコンパクトに設置でき、スペース面での設置規制が緩和される電波レンズアンテナ装置を提供する。 - 特許庁

The electromagnetic lens has an upper magnetic pole piece 1104, having a prescribed opening and a lower magnetic pole piece 1105, and converges the charged-particle beam on a wafer W that is loaded between the upper magnetic pole piece 1104 and the lower magnetic pole piece 1105.例文帳に追加

磁界レンズは、所定の開口を有する上方の磁極片1104と、下方の磁極片1105を有し、該上方の磁極片1104と該下方の磁極片1105との間に配置される基板Wに荷電粒子線を収斂させる。 - 特許庁

In the electromagnetic lens antenna apparatus, a semi-spherical Luneberg lens 2 is attached to a reflection plate 1, and further, a primary radiator 4 is so provided by the support of a holding tool 3 as to combine them integrally with each other, and moreover, attaching portions 5 for attaching the reflection plate 1 nearly vertically to such a providing portion as a wall surface are provided.例文帳に追加

反射板1上に半球状ルーネベルグレンズ2を取付け、さらに一次放射器4を保持具3で支持して設け、これ等を一体的に組合わせ、反射板1に、その反射板1を略垂直にして壁面等の設置部に取付ける取付部5を設けた。 - 特許庁

Thereby, the baking time of an entire corpuscular beam device is shorten to make it efficient, and noise contamination caused by deterioration in the degree of vacuum in the electromagnetic lens compartment and instability of the electron beam is prevented, in order to obtain a scanning image with an excellent S/N ratio.例文帳に追加

これにより、従来長時間かかっていた粒子線装置全体のベーキング時間を短縮し、効率化するとともに、電磁レンズ室の真空度劣化に伴うノイズ混入や電子ビームの不安定を防止し、S/Nのよい走査像を得る。 - 特許庁

This exposure system comprises a stage pedestal composed of a magnetic material, a stage 1002 on which a wafer is loaded and which moves on the stage pedestal in a vacuum environment, fluid bearings 1027 that float the stage 1002 from the stage pedestal by pressurized fluid, magnet units 1028 that apply attractive forces between the stage pedestal and the stage 1002, and an electromagnetic lens.例文帳に追加

この露光装置は、磁性体からなるステージ定盤と、基板を載置しステージ定盤に沿って真空内を移動するステージ1002と、ステージ定盤からステージ1002を加圧流体により浮上させる流体軸受け1027と、ステージ定盤とステージ1002との間に吸引力を作用させる磁石ユニット1028と、磁界レンズとを備える。 - 特許庁

To provide a means to erase the remnant magnetizm of a yoke is erased by applying an opposite magnetic field, and which is not troublesome to switch the coil current of the electromagnetic lens, without burning the relay contact by the counter electromotive force or without noise switching noise of the relay in an electron beam device.例文帳に追加

本発明の課題は、電子線装置において、電磁レンズ作動の際とは逆方向の磁場を発生させることによりヨークの残留磁気を消去するものであって、電磁レンズのコイルの電流切替えに厄介な手間がかからず、逆起電力によるリレー接点の焼損やリレー切替えに伴う騒音も無い手段を提供することにある。 - 特許庁

例文

An SEM image formed by signals obtained by scanning electrons on a sample is obtained by an electrooptical system composed of an electron source for generating the electrons on a silicon substrate with a part of a semiconductor integrated circuit formed thereon, and an electromagnetic lens or electrostatic lens; a reference image is obtained by averaging a plurality of images or by automatic generation from design data; and shape dispersion and superposition accuracy of a pattern are statistically calculated by comparing them.例文帳に追加

半導体集積回路の一部が形成されたシリコン基板上で、電子を発生させる電子源と電磁レンズあるいは静電レンズからなる電子光学系により試料上で上記電子を走査して得られる信号により構成したSEM画像を取得して、複数の画像を平均化あるいは設計データから自動生成によって参照画像をもとめ、比較して、パターンの形状ばらつきや重ねあわせ精度を統計的に算出する。 - 特許庁

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