「MINI ENVIRONMENT」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

FAN FILTER UNIT, MINI-ENVIRONMENT USING THE FAN FILTER, AND CLEAN ROOM HAVING THE MINI-ENVIRONMENT例文帳に追加

ファンフィルターユニット、このファンフィルターユニットを用いたミニエンバイロメント、及びこのミニエンバイロメントを備えたクリーンルーム - 特許庁

The eBay Developers Program Sandbox is a test environment that represents a "mini" eBay site. 例文帳に追加

eBay Developers Program Sandbox は、"ミニ" eBay サイトとでもいうべきテスト用環境です。 - PEAR

VACUUM INTERFACE BETWEEN MINI-ENVIRONMENT POD AND APPARATUS例文帳に追加

ミニエンバイロメントポッドと装置との間の真空インタフェース - 特許庁

MINI ENVIRONMENT DEVICE, AND CLEAN ROOM EQUIPMENT USING SAME例文帳に追加

ミニエンバイロメント装置及びそれを用いたクリーンルーム設備 - 特許庁

JOINT STRUCTURE OF MULTI-JOINT ROBOT ARM AND MINI-ENVIRONMENT DEVICE例文帳に追加

多関節ロボットアームの関節部構造、及びミニエンバイロメント装置 - 特許庁

STATION FOR CONTROLLING AND PURGING MINI-ENVIRONMENT例文帳に追加

ミニエンバイロンメントの制御およびパージを行うためのステーション - 特許庁

METHOD OF EVALUATING PARTICLE CONCENTRATION IN ATMOSPHERE OF CLEAN ROOM OR MINI-ENVIRONMENT例文帳に追加

クリーンルーム又はミニエンバイロメントの雰囲気中の粒子濃度評価方法 - 特許庁

MINI-ENVIRONMENT DEVICE, INSPECTION DEVICE, MANUFACTURING DEVICE, AND SPACE CLEANING METHOD例文帳に追加

ミニエンバイロメント装置、検査装置、製造装置、及び空間の清浄化方法 - 特許庁

MINI-ENVIRONMENT SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE, LOAD PORT AND METHOD OF ELIMINATING ELECTRICITY IN SUBSTRATE WITHIN TRANSPORT CONTAINER例文帳に追加

ミニエンバイロメント基板搬送装置、ロードポートおよび搬送容器内基板の除電方法 - 特許庁

LOAD PORT DEVICE EQUIPPED WITH DUST PROTECTION FUNCTION, AND MINI ENVIRONMENT SYSTEM例文帳に追加

防塵機能を備えたロードポート装置及びミニエンバイロンメントシステム - 特許庁

To reduce the power consumption of a fan in an FFU to form a mini-environment.例文帳に追加

ミニエンバイロンメントを作り出すためのＦＦＵにおけるファンの消費電力を低減する。 - 特許庁

An SMIF type mini-environment 1 can be connected to a purge station 2.例文帳に追加

ＳＭＩＦ型ミニエンバイロンメント１をパージステーション２に接続できる。 - 特許庁

An original WEB API adaptive to the united hybrid cloud environment is developed and processing requests from a tablet are executed by the mini server.例文帳に追加

一元化するハイブリッドクラウド環境に対応する独自WEB APIを開発しタブレットからの処理要求がミニサーバにて実行される。 - 特許庁

POD CLAMP UNIT, LOAD PORT WITH THE POD CLAMP UNIT, MINI ENVIRONMENT SYSTEM WITH THE POD AND LOAD PORT例文帳に追加

ポッドクランプユニット、ポッドクランプユニットを有するロードポート、ポッド及びロードポートを有するミニエンバイロンメントシステム - 特許庁

To set a load port to a predetermined position even when attachment to and detachment from mini environment are repeated.例文帳に追加

ミニエンに対する着脱が繰返されてもロードポートが規定位置に設定されることを目的とする。 - 特許庁

A transfer robot 20 provided with the joint structure of the multi-joint robot arm 20b is installed on the mini-environment device.例文帳に追加

このような多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を具備する搬送ロボット２０を、ミニエンバイロメント装置に備える。 - 特許庁

To provide an FIMS system preventing dust or the like adhering to the lid or the like of a pod from being carried in a mini-environment, in an FIMS system.例文帳に追加

FIMSシステムにおいてポッドの蓋等に付着する塵等のミニエンバイロンメント内への持込を抑制するFIMSシステムを提供する。 - 特許庁

To provide a mini environment device, in which an optical system is protected without fail and further running cost and initial cost are surely reduced.例文帳に追加

光学系を確実に保護できると共にランニングコストおよびイニシャルコストを確実に削減できるミニエンバイロメント装置を提供する。 - 特許庁

A storage box capable of housing a plurality of photomasks is provided differently from a load port on a conveying device of a mini-environment system.例文帳に追加

ミニエンバイラメント方式の搬送装置に、ロードポートとは別に、複数のフォトマスクを収納することができる保管庫を設ける。 - 特許庁

To provide a high performance and high reliability fan filter unit, having high durability against temperature as pollution by out gas is prevented from occurring, and to provide mini-environment using the fan filter unit and a clean room having the mini-environment.例文帳に追加

アウトガスによる汚染を防止しつつ、温度に対する高い耐久性を有する高性能、高信頼性のファンフィルターユニット、このファンフィルターユニットを用いたミニエンバイロメント、及びこのミニエンバイロメントを備えたクリーンルームを提供すること。 - 特許庁

A clean air outlet 23 is made in a barrier wall where the load port 20 of a mini-environment 16 is provided so that clean air in the mini- environment is blown from the air outlet toward the upper surface 20a of the enclosure of the load port.例文帳に追加

ミニエンバイロメント１６のロードポート２０が設置される隔壁に清浄空気吹出し口２３を備え、該吹出し口から前記ロードポートの密閉容器の上面２０ａ上に向けて前記ミニエンバイロメント内の清浄空気を吹き付けるようにした。 - 特許庁

To provide a method in which power consumption in high cleanliness is reduced and the running cost is further decreased, in processes of transferring and manufacturing a semiconductor wafer by use of a locally clean environment (mini-environment) system.例文帳に追加

局所的クリーン環境（ミニエンバイロメント）方式を用いる半導体ウエハの移送、製造工程において、高清浄度における消費電力を小さくし、さらなるランニングコストを低減した方法を提供する。 - 特許庁

The purge station is provided with a leaktight purge compartment 2b whose top face includes a closable transfer passage 2c facing the bottom face 1b of the mini-environment pod 1.例文帳に追加

パージステーションは、その上面が、ミニエンバイロンメントポッド１の底面１ｂに面する閉鎖可能移送路２ｃを含むリークタイトパージ室２ｂを備える。 - 特許庁

To prevent dust from entering a mini-environment type semiconductor manufacturing apparatus from an entrance exit of a wafer of FOUP and an opening of a loading section.例文帳に追加

ミニエンバイラメント方式の半導体製造装置において、ＦＯＵＰのウエハの出入口とローディング部の開口部からダクトが侵入するのを防止する。 - 特許庁

To provide a clean room facility in which intrusion of dust from a clean room into a mini-environment is prevented and thereby diffusion of dust into the apparatus room is prevented surely.例文帳に追加

クリーンルームからのミニエンバイロメント内への塵埃の侵入を防ぎ、それによって装置室内への塵埃の拡散を確実に防止したクリーンルーム設備を提供すること。 - 特許庁

To reduce contaminated source which exists in a mini-environment pod through a process of manufacturing a microelectronic component or a microelectronic machine system.例文帳に追加

微小電子コンポーネントまたは微小電気機械システムを製造する過程を通じて、ミニエンバイロンメントポッドに存在する汚染源を減少させる。 - 特許庁

To reduce the adhesion of fine foreign matter to a processing workpiece held inside a cassette by improving the controllability of flow velocity of a local air flow within a casing of a mini environment device.例文帳に追加

ミニエンバイロメント装置の筺体の内部における局所的な気流の流速の制御性を向上させ、カセットの内部に保持された処理ワークへの微小異物の付着を抑制する。 - 特許庁

To provide a pod clamp unit, a load port corresponding to clamp unit, and its mini environment system, capable of surely maintaining fixation to a placement bench of a pod.例文帳に追加

ポットの載置台に対する固定を確実に維持できるポッドクランプユニット、クランプユニットに対応したロードポート及びそのミニエンバイロンメントシステムを提供する。 - 特許庁

To provide a sample measuring apparatus for preventing contamination from reaching a sample inside a keeping case even when a pressure inside a mini environment declines.例文帳に追加

本発明は、ミニエン内の圧力低下が発生したとしても、保管ケース内の試料への汚染の到達を抑制する試料計測装置の提供を目的とする。 - 特許庁

To provide a joint structure of a multi-joint robot arm capable of improving durability of a cable and reducing dust, and a mini-environment device.例文帳に追加

ケーブルの耐久性を向上し、発塵の量も軽減できる、多関節ロボットアームの関節部構造と、ミニエンバイロメント装置を提供することを課題とする。 - 特許庁

The stack 3 of the substrate wafers is then purged inside the leaktight purge compartment 2b of the purge station 2, while simultaneously purging the mini-environment pod 1.例文帳に追加

基板ウェハの積層体３をパージステーション２のリークタイトパージ室２ｂの内部でパージすると同時に、ミニエンバイロンメントポッド１をパージする。 - 特許庁

To provide a conveying device of a mini-environment system efficiently conveying a sample to a scanning electron microscope for critical dimension measuring, even when an SMIF-pod (standard mechanical interface-pod) housing only one piece of photomask is used.例文帳に追加

１枚のフォトマスクしか収納することはできないスミフポッドを使用する場合でも、効率的に、試料を微小寸法測定走査電子顕微鏡に搬送することができるミニエンバイラメント方式の搬送装置を提供する。 - 特許庁

To provide a mini environment device capable of reducing a load for a chemical filter, capable of coping with a chemical component generated in an inside, and requiring no cooler.例文帳に追加

ケミカルフィルタの負荷を低減し、内部発生したケミカル成分にも対応でき、冷却器を必要としないミニエンバイロメント装置を提供する。 - 特許庁

The device for transporting the substrate 3 is movable and is provided with a mini environment sealed container 1 that can be connected to an adjusting station 22.例文帳に追加

基板３を輸送するための本発明の装置は、移動可能であり、調整ステーション２２に結合されうるミニエンバイロンメント密封容器１を備える。 - 特許庁

To provide a pod for suppressing diffusion of very minute dust etc., attached on a cover of the pod, into a mini-environment, in an FIMS (Front-Opening Interface Mechanical Standard) system, and also to provide an FIMS system corresponding to the pod.例文帳に追加

FIMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。 - 特許庁

To provide a wafer transport device capable of preventing occurrence of trouble wherein the operation of a wafer transport system in a mini-environment facility is resultantly stopped by keeping transport accuracy of a wafer transport robot.例文帳に追加

本発明の目的は、ウェーハ搬送ロボットの搬送精度を維持してミニエンのウェーハ搬送システムが運転停止に至る不具合の発生を回避し得るウェーハ搬送装置を提供する。 - 特許庁

A fan 21 is in standby operation at normal time in a mini- environment, and only when a semiconductor wafer C is taken out from a pod P, the fan is rotated at a high speed.例文帳に追加

ミニエンバイロンメントにおいて通常時はファン２１を待機運転させ、ポッドＰから半導体ウエハＣを取り出したときのみファンを高速回転させる。 - 特許庁

To realize efficient works of a wafer while beforehand preventing damage of the wafer during extraction, transportation and processing of the wafer in a closed pod of a mini-environment system.例文帳に追加

ミニエンバイロメント方式の密閉型ポッドに於けるウエハの取出し、搬送及び処理に際し、ウエハの破損を未然に防止しながら効率の良い作業の遂行を図る。 - 特許庁

To provide a mini-environment device capable of keeping target cleanliness of a specific space by restraining influence of cleanliness of the outside world, and to provide an inspection device, a manufacturing device, and a space cleaning method.例文帳に追加

外界の清浄度の影響を抑制し特定の空間の目標の清浄度を保つことができるミニエンバイロメント装置、検査装置、製造装置、及び空間の清浄化方法を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus of holding cleanliness when goods are delivered by a local clean conveyer that can prevent an external environmental gas with low cleanliness from being taken in a local clean area when a mini-environment method is adopted.例文帳に追加

所謂ミニエンバイロメント方式を採用する際に、清浄度の低い外部環境のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制することができる局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置を提供する。 - 特許庁

To provide a substrate carrying device where the measures for pinched foreign objects are provided, a substrate carrying method, a container supplying device, a semiconductor manufacturing device, and a semiconductor device producing method using it regarding the transportation of substrate by the mini environment system.例文帳に追加

ミニエンバイラメント方式による基板搬送に関して、異物の挟み込み対策が施された基板搬送装置、基板搬送方法、容器供給装置、半導体製造装置及びそれを用いた半導体デバイス生産方法を提供することにある。 - 特許庁

An elevator 4 is suitable for vertically displacing the bottom wall 1b of the mini-environment pod 1 when coupled thereto, simultaneously moving a stack 3 of substrate wafers carried out by the bottom wall 1c so as to introduce them together into the leaktight purge compartment 2b.例文帳に追加

エレベータ４は、ミニエンバイロンメントポッド１の底壁１ｂに結合されると、それを垂直方向に変位させ、それと同時に、底壁１ｃによって担持される基板ウェハの積層体３を、まとめてリークタイトパージ室２ｂに導入するために移動させるのに適する。 - 特許庁

To prevent dust from attaching to a wafer inside a hermetically closed container owing to entrance of ambient air through a clearance between an opening of a semiconductor manufacturing device and a mouth for a wafer in the hermetically closed container in a mini-environment type semiconductor manufacturing device.例文帳に追加

ミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、半導体製造装置の開口部と、密閉容器のウェハの出入口との隙間から外気が侵入して、前記密閉容器内のウェハにダストが付着するのを防止する。 - 特許庁

To provide a substrate transferring method and a semiconductor manufacturing apparatus for it, wherein a plurality of load ports are provided while the foot print of an apparatus is suppressed to a minimum and the substrate surface during transportation is kept clean by an air flow mechanism, while the idea of a 'mini environment' is introduced to a semiconductor manufacturing factory.例文帳に追加

半導体製造工場へミニエンバイラメントの思想を導入した際に、装置のフットプリントを最小限に押さえながらロードポートを複数設けることと、搬送中の基板表面をエアフロー機構により清浄に保つことを可能にした、基板搬送方法およびそれを行う半導体製造装置を提供する。 - 特許庁

Using an upper wall surface 45, a lower wall surface 46, and an EFEM door 43, a mini-environment 40 is partitioned into the prescribed space, which is adjacent to the opening surface 101, and the gas in this prescribed space is exhausted from an exhaust port 48 and the inert gas or drying air is supplied from a gas supply port 47 into the prescribed space, for purging the wafer carrier.例文帳に追加

上部壁面４５、下部壁面４６およびＥＦＥＭドア４３によりミニエンバイロンメント４０を開放面１０１に隣接する所定の空間に仕切り、この所定の空間内の気体を排出口４８から排出するとともに、ガス供給口４７から所定の空間に不活性ガス又はドライエアを供給することでパージを行う。 - 特許庁