| 意味 | 例文 |
Mask patternの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 5189件
A pattern-coating material 5, for use in a process of etching a pattern 3B formed on a substrate 1 with use of the pattern as a mask 4, contains a metal compound which can generate hydroxyl groups through hydrolysis.例文帳に追加
基板1の上に形成されたパターン3Bをマスク4としてエッチングをするプロセスに用いられるパターン被覆材料5であって、加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物を含有することを特徴とするパターン被覆材料を用いてパターンを被覆する。 - 特許庁
In the next step, the first removing layer 4 and the exposed part of the second removing layer 8 without the mask of the inorganic material pattern 6 are removed from the transcript 20 to form a spacer including the inorganic material pattern 6 and a part of the second removing layer 8 covered with the pattern.例文帳に追加
その後、転写体20から第1剥離層4を除去し、無機材料パターン6をマスクとして第2剥離層8の露出部分を除去することで、無機材料パターン6とそれにより覆われた第2剥離層部分とを含んでなるスペーサを形成する。 - 特許庁
In the exposure mask M to be used for an exposure apparatus S, a plurality of pattern blocks comprising a pair of a light blocking pattern to block light emitting from the exposure apparatus S and a transmissive pattern to transmit the light are continuously arranged in such a manner that the pitch of the continuous pattern blocks is constant while a ratio of the light blocking pattern to the transmissive pattern is gradually varied.例文帳に追加
本発明は、露光装置Sで用いられ露光用のマスクMにおいて、露光装置Sから出射される光を遮断する遮光パターンと、この光を透過する透過パターンとの対から構成されるパターンブロックが複数連続して配置されているとともに、その連続するパターンブロックのピッチが一定で、しかも遮光パターンと透過パターンとの比率が徐々に変化するよう設けられている。 - 特許庁
To provide a method of forming a fine pattern to form the pattern by covering, with a cover forming agent, a substrate including a photoresist pattern (mask pattern) in which pattern size can be well controlled, a fine pattern satisfying the excellent profile and requested chararacteristic for a semiconductor device can be obtained and moreover generation of particles which can result in contamination of device can be prevented.例文帳に追加
ホトレジストパターン(マスクパターン)を有する基板上に被覆形成剤を被覆してパターン形成を行う微細パターンの形成方法において、パターン寸法の制御性に優れるとともに、良好なプロフィルおよび半導体デバイスにおける要求特性を備えた微細パターンを得ることができ、さらにデバイスの汚染の原因となり得るパーティクルの発生を防止した、微細パターンの形成方法を提供する。 - 特許庁
In addition, there is no need to prepare a conveyance route for the mask M outside the pattern drawing apparatus 1, thereby the work space for the total process flow can be decreased.例文帳に追加
また、パターン描画装置1の外部にマスクMの搬送経路を確保する必要がないため、工程全体の作業スペースを低減させることができる。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a semiconductor device which can form a wiring trench pattern in a hard mask film on an interlayer insulating film in a non-stepped state.例文帳に追加
層間絶縁膜上のハードマスク膜に配線溝パターンを段差のない状態で形成可能な半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a proximity correction mask with high accuracy and no defect in a short period of time while keeping a process margin in a complicated LSI pattern.例文帳に追加
複雑なLSIパターンにおいて、プロセス余裕度を保ちながら欠陥の無い高精度な近接効果補正マスクを短時間で提供することを課題とする。 - 特許庁
The second cap film 37 on the second active region is coated with a second mask pattern, and the second cap film 37 on the first active region is etched and removed.例文帳に追加
第2活性領域上の第2キャップ膜37を第2マスクパターンで覆い、第1活性領域上の第2キャップ膜37をエッチングして除去する。 - 特許庁
To conduct exposure by an EPL without using a complementary segment mask and without conducting double exposure for a pattern requiring the complementary segment.例文帳に追加
相補分割が必要となるパターンについて、相補分割マスクを用いることなく、また二重露光を行うことなくEPLで露光処理を行う。 - 特許庁
A pattern of the gap filling mask is transferred onto the damascene layer to remove IMD at least partially and to form an air gap.例文帳に追加
ギャップ充填マスクのパターンは、一実施態様においては、ダマシン層に転写されて、IMDの少なくとも一部を除去するとともにエアギャップを形成する。 - 特許庁
To provide an image forming apparatus for carrying out multipass printing using a mask pattern by which image-quality deterioration due to paper feeding displacement can be prevented.例文帳に追加
マスクパターンを用いたマルチパス印字を行う画像形成装置において、紙送りずれによる画像品質劣化を防止できる画像形成装置の提供。 - 特許庁
To provide an image processing technology for establishing the high speed operation of a density pattern method and high picture quality equivalent to that of an error diffusion method(or blue noise mask method).例文帳に追加
濃度パターン法の高速化と誤差拡散法(或いはブルーノイズマスク法)並みの高画質を両立させ得る画像処理技術を提供する。 - 特許庁
To provide an etching method which prevents a pattern by ensuring a remaining film after etching of resist, which becomes a mask by making a counter-resist selection ratio high.例文帳に追加
対レジスト選択比を高くすることにより、マスクとなるレジストのエッチング後残膜を確保し、パターンの肩落ちを防ぐエッチング方法を提供する。 - 特許庁
The metal-coating method can also coat the particle with the metal to form, for instance, a belt-shaped pattern thereon, because the method can mask a plurality of portions of the particle by masking the particle with a plurality of the substrates.例文帳に追加
また、複数枚の基板を用いてマスキングすることで、複数箇所のマスキングが可能となり、例えば、帯状パターンの金属コーティングが行える。 - 特許庁
The method for adjusting the landing angle in the charged particle beam exposure system includes a step of disposing a minute point pattern 51 regarded as being substantially a point on a mask stage 11, and a step of disposing a minute first pin hole 61 on the surface of a wafer.例文帳に追加
マスクステージ11上にほぼ点とみなせる微小な点パターン51を配置し、ウェハ面上に微小な第1ピンホール61を配置する。 - 特許庁
Furthermore, the substrate 21 is etched with the resist 35 and mask pattern 37 to form the substrate 21 into the prescribed shape.例文帳に追加
そして、角部保護用レジスト35と成形用マスクパターン37に基づいて、半導体基板21をエッチング加工して該半導体基板21を設定の形状に形作る。 - 特許庁
A material liquid ejector 60 ejects film forming material liquid 70 for patterning in the form of liquid drops 72 being injected into a pattern opening 58 of the mask 50.例文帳に追加
原料液吐出器60は、パタンを形成するための成膜用原料液70を液滴72として吐出し、マスク50のパターン開口58に注入する。 - 特許庁
After inputting required data (S1, S2), an original optical image I_0 is calculated (S4) based on the data of a mask pattern among them and the exposure conditions at the time of sample production.例文帳に追加
必要なデータを入力し(S1,S2)、そのうちマスクパターンのデータとサンプル作製時の露光条件とに基づいて、原光学像I_0を算出する(S4)。 - 特許庁
METHOD OF CALCULATING IRRADIATION ENERGY, METHOD OF CALCULATING PROXIMITY EFFECT, METHOD OF DESIGNING MASK OR RETICLE PATTERN, CHARGED-PARTICLE-BEAM EXPOSURE SYSTEM, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
照射エネルギーの計算方法、近接効果計算方法、マスク又はレチクルパターンの設計方法、荷電粒子線露光装置及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
Then, the frequency of replacing or washing the mask M is decreased, consequently, the production capacity of the pattern drawing device is improved.例文帳に追加
従って、マスクMの交換や洗浄の頻度を低減させることができ、その結果、パターン描画装置の生産能力を向上させることができる。 - 特許庁
The circuit 31 conforming to the main pattern 11 and the mark 32 continued conforming to the auxiliary patterns 13 are formed by photo-etching using the first mask 10.例文帳に追加
第1のマスク10による写真蝕刻を通じ、主パターン11に従う回路部31と、補助パターン13に従って繋がるマーク32とが形成される。 - 特許庁
The second conductive film 109 for wiring is etched with the second via contact 111 as the mask, to form a metal dot pattern 109B.例文帳に追加
第2のビアコンタクト111をマスクとして第2の配線用導電膜109に対してエッチングを行なってメタルドットパターン109Bを形成する。 - 特許庁
To manufacture an organic EL display device which can display multicolored images without using a metal fine mask for pattern deposition of emission layers.例文帳に追加
有機EL表示装置の製造で発光層をパターン成膜するための金属製ファインマスクを使用することなしに多色画像を表示可能とする。 - 特許庁
To provide a metal mask for solder printing featuring that the quantity of a soldering paste to be printed on a land electrode can be made stable despite the pattern of the land electrode.例文帳に追加
ランド電極のパターンにかかわらず、ランド電極に印刷されるはんだペーストの量が安定するはんだ印刷用メタルマスクを提供する。 - 特許庁
In production of the beam structure 144 having the step portion 160 by wet etching, an etching substance 400 is coated with a mask pattern 450.例文帳に追加
ステップ部160を有するはり構造体144をウエットエッチングによって製作するために、被エッチング材400にマスクパターン450をコーティングする。 - 特許庁
To provide a power supply noise reduction package capable of bypassing effectively a noise voltage by a capacitor without increasing a mask pattern and a diffusion step of a semiconductor chip.例文帳に追加
半導体チップのマスクパタン、拡散工程の増加をすることなく、ノイズ電圧をコンデンサにより効率的にバイパスできる電源ノイズ低減パッケージを提供する。 - 特許庁
A projection optical unit PL1 forms an image on a first surface (where a pattern DP formed on a mask is arranged) on a second surface (the upper face of a plate P).例文帳に追加
投影光学ユニットPL1は、第1面(マスクに形成されたパターンDPが配置され面)の像を第2面(プレートPの上面)上に結合させる。 - 特許庁
The amorphous carbon layer and the upper part of the layers to be patterned except at least the layer 43 of the lower part of the layers are etched by using the resist pattern 47 as a mask.例文帳に追加
レジストパターン47をマスクとして、アモルファスカーボン膜と、パターニングすべき膜の少なくとも下層部分43を残して一部上層部分をエッチングする。 - 特許庁
A metal mask 12 and a quartz glass plate 13, provided with holes according to the pattern of the circuit to be formed, are placed over the surface of the organic semiconductor film 11.例文帳に追加
有機半導体膜11の表面に、形成する回路等のパターンに応じた孔を設けたメタルマスク12及び石英ガラス板13を載置する。 - 特許庁
The resist pattern 64 is removed to thereby form an SiO_2 mask for manufacturing a waveguide layer structure having a tilted surface a on InP (e).例文帳に追加
レジストパターン64を除去することにより、InP上に傾斜面aを有する導波層構造を作製するためのSiO_2マスクが形成される(e)。 - 特許庁
To provide an evaluation method for a mask pattern and an evaluation device capable of making lithographic simulation results coincident with the results of actual wafer exposure.例文帳に追加
リソグラフィシミュレーションの結果と実際のウェハ露光の結果を一致させることができるマスクパターン評価方法及び評価装置を提供すること。 - 特許庁
The undercoat of the light shielding layer is subjected to a third etching process by using the light shielding layer and the resist pattern for correction as a mask to correct the excess defect.例文帳に追加
遮光層及び修正用レジストパターンをマスクにして遮光層の下層に対して第3のエッチング処理を施し余剰欠陥箇所を修正する。 - 特許庁
The projections of the light extraction surface can be formed by etching using a dot pattern formed by phase separation of a block copolymer, as a mask.例文帳に追加
この光取り出し面の凸部は、ブロックコポリマーの相分離により形成されるドットパターンをマスクとしてエッチングすることにより形成させることができる。 - 特許庁
Then the resist film 9 is subjected to exposure through a predetermined mask and to heat treatment, and developed to form a resist pattern.例文帳に追加
その後、レジスト膜9に対して、所定のマスクを介しての露光および加熱処理を行った後、現像処理を施すことによってレジストパターンを形成する。 - 特許庁
Phosphorus is doped to a semiconductor layer by using a pattern 107 constituted of a conductive film as a mask so that an N type impurity area can be formed so as to be self-aligned.例文帳に追加
導電膜でなるパターン107をマスクにして半導体層にリンを添加してN型の不純物領域を自己整合的に形成する。 - 特許庁
The shielding part 1c is arranged being overlapped with the rear side of the display part 1b, and therefore the image on the display part 1b can be partially hidden by displaying a mask pattern.例文帳に追加
遮蔽部1cは、表示部1bの裏面に重ねて配置され、マスクパターンを表示することにより表示部1bの画像を部分的に隠すことができる。 - 特許庁
In a second process, trimming treatment narrowing down the pattern width of the mask layer 212 is carried out in parallel, not only etching an anti-reflection coating 210 longitudinally.例文帳に追加
第2工程では,反射防止膜210を縦方向にエッチングするだけでなく,マスク層212のパターン幅を狭めるトリミング処理も並列実施する。 - 特許庁
Consequently, a resist pattern 111 for via hole whose diameter is smaller than a width of the upper groove 110 in size is formed and a via hole 112 is formed using this as a mask.例文帳に追加
次いで、上溝110の幅より径が小さいビアホール形成用のレジストパターン111を形成し、これをマスクにビアホール112を形成する。 - 特許庁
In the laser beam machining method, laser beam is emitted to irradiate a substrate 600 with an image through a pattern formed on a mask 501 and an imaging lens 506.例文帳に追加
本レーザ加工方法では、レーザ光を照射し、マスク501に形成されたパターンを介し、結像レンズ506を経て、基板600上に像を照射する。 - 特許庁
To provide a mask for exposure capable of suppressing shortening corresponding to the environment without increasing the chip area and a method for correcting its pattern.例文帳に追加
チップ面積を増大させることなく、環境に応じたショートニングの抑制を可能とする露光用マスク及びそのパターンの補正方法を提供する。 - 特許庁
Luminescent layers 31 to 33 are formed by forming films from polymer compounds, and hardening them in a given pattern by irradiating light on them through a mask and bridging them.例文帳に追加
高分子化合物を成膜し、マスクを介して光照射して架橋させることにより所定のパターンに硬化させて発光層31〜33を形成する。 - 特許庁
By providing a plurality of sets of the surface acoustic wave devices 20A and 20B on the mask substrate 10, the position of the contamination of the semiconductor circuit pattern 41 can be specified.例文帳に追加
また、弾性表面波素子20A,20Bをマスク基板10上に複数組設ければ、半導体回路パターン41の異物の位置を特定できる。 - 特許庁
To provide an exposure apparatus that prevents a fine dot pattern from being transferred, even upon exposing a substrate larger than a mask whose size is in the trend of enlargement.例文帳に追加
大型化の方向にあるマスクよりも更に大きな基板への露光であっても、微細なドットパターンが転写されることのない露光装置を提供する。 - 特許庁
A wiring trench TRCH is formed so that its bottom surface forms the second low dielectric constant film LOWK2c by using the wiring trench pattern of the mask layer.例文帳に追加
マスク層の配線溝パターンを用いて、底面が第2の低誘電率膜LOWK2cとなるように、配線溝TRCHが形成される。 - 特許庁
The solar cell element 100 includes a substrate 110, a mask pattern 120, a plurality of semiconductor nanorods 130, a first electrode 150, and a second electrode 160.例文帳に追加
太陽電池素子100は、基板110と、マスクパターン120と、半導体ナノロッド130と、第1の電極150と、第2の電極160とを有する。 - 特許庁
The method of manufacturing the levenson type mask includes an opening setting process of defining a same phase opening and reverse phase opening on both sides of a first pattern.例文帳に追加
レベンソン型マスクの製造方法は、第1パターンの両側に、同位相開口部および反転位相開口部を定める開口部設定工程を含む。 - 特許庁
To form a high-definition pattern film by selectively forming a liquid repellent region and a hydrophilic region on a surface of a substrate without using a mask, etc.例文帳に追加
マスク等を用いることなく、基板の表面に撥液化領域と親液化領域を選択的に形成し、高精細なパターン膜を形成する。 - 特許庁
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