interlayerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 6425件
An interlayer insulation film formed with a material different from the side wall spacers of the first and second MISFETs in an etching resistant coats these MISFETs.例文帳に追加
第1及び第2のMISFETのサイドウォールスペーサとはエッチング耐性の異なる材料で形成された層間絶縁膜が、これらMISFETを覆う。 - 特許庁
A light-irradiating device 3 has a pulse-like spot beam irradiated in a unit region positioned on a contact surface, where an interlayer film 2 is formed on a substrate 1.例文帳に追加
光照射装置3は、基板1上に層間膜2を形成してなるコンタクト表面上に位置する単位領域に、パルス状のスポット光を照射する。 - 特許庁
A portion, having an internal angle of 180° or smaller, is formed in a part of a step part formed in the interlayer insulating film along both sides in the width direction of the scanning line 11.例文帳に追加
走査線11の幅方向の両側に沿って層間絶縁膜に形成される段差部の一部に内角180度以下の部分ができる。 - 特許庁
To provide a semiconductor device, which uses an organic insulation film as an interlayer insulation film and has opening portions therein for forming wirings by etching with oxygen containing gas plasma, and to provide its fabrication method, in which the degradation of the electrical characteristics of an interlayer insulation film and the failure of wiring structures do not occur.例文帳に追加
層間絶縁膜に有機絶縁膜を使用し、酸素を含有するガスのプラズマによってエッチングして配線形成用の開口部を形成する半導体装置において、層間絶縁膜の電気特性の劣化や、配線構造の不良を招くことがない、半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
This capacitive element has a lower electrode 22 formed on a substrate 10 through an interlayer insulation film 12, an upper electrode 24 opposed to the lower electrode 22 through the interlayer insulation film 12, and a lower wiring layer 14 that is formed between the substrate 10 and the lower electrode 22 and electrically connected with the upper electrode 24.例文帳に追加
基板10上に層間絶縁膜12を介して形成された下層電極22と、下層電極22に対して層間絶縁膜12を介して対向する上層電極24と、基板10と下層電極22の間に形成され、上層電極24に電気的に接続された下部配線層14とを有する。 - 特許庁
After depositing an interlayer insulating film 16 which covers a capacitor on the insulating film 11, the capacitor covered with the interlayer insulating film 16 is subjected to annealing at a temperature at which the ferroelectric film constituting the capacity insulating film 14A is crystallized for forming a crystallized ferroelectric film 14B.例文帳に追加
絶縁膜11の上に容量素子を覆う層間絶縁膜16を堆積した後、層間絶縁膜16に覆われている容量素子に対して、容量絶縁膜14Aを構成する強誘電体膜が結晶化する温度でアニールを行なって、結晶化した強誘電体膜14Bを形成する。 - 特許庁
To provide an economical interlayer adhesive preventing excessive migration of the interlayer adhesive sprayed or coated between sheet plies into the sheet plies even when receiving strong water squeezing actions such as suction in a pressing step or thereafter after forming a multiply sheet when papermaking of a combination paperboard having a multiply structure or the like is carried out.例文帳に追加
多層構造を有する抄き合わせ板紙などの抄造に際して、多層シート形成後のプレス工程以降におけるサクションなどの強い搾水作用を受けた場合でも、シート層間へ噴霧、塗布された層間接着剤のシート層内への過度の移行を防ぐ経済的な層間接着剤を提供する。 - 特許庁
A field oxide film 3 is formed on the surface of a wafer 1, a trimming fuse 7 is formed thereon, an interlayer insulating film 9 is formed on the trimming fuse 7, and a silicon nitride film is formed as an etching block film 13 on the interlayer insulating film 9 in the area, with which the formation of a trimming window opening part is planned, including the trimming fuse 7.例文帳に追加
半導体基板1表面にフィールド酸化膜3を形成し、その上にトリミングヒューズ7を形成し、トリミングヒューズ7上に層間絶縁膜9を形成し、トリミングヒューズ7を含むトリミング窓開口部形成予定領域の層間絶縁膜9上にエッチング阻止膜13としてのシリコン窒化膜を形成する。 - 特許庁
A connecting electrode 7 is covered by an interlayer insulating layer 8 to insulate a first wiring 10 and a second wiring 6 and the first wiring 10 laminated on the interlayer insulating layer 8 so that the connecting electrode 7 to connect one 4 of the pair of electrodes, and the first wiring 10 may not be exposed on the surface.例文帳に追加
一対の電極の一方4と第1配線10とを接続する接続電極7が表面に露出しないように、第1配線10と第2配線6とを絶縁する層間絶縁層8と、該層間絶縁層8上に積層される第1配線10によって該接続配線7を覆う。 - 特許庁
In addition, a first interlayer insulating film having a thickness that makes the distance between the semiconductor substrate and magnetic film optimum is formed between the substrate and the magnetic film, and a second interlayer insulating film having a thickness that makes the distance between the magnetic film and inductor appropriate is formed between the magnetic film and the inductor.例文帳に追加
そして、半導体基板と磁性膜との間には、該半導体基板と磁性膜との距離が最適となる厚さを有する第1の層間絶縁膜を形成し、また、磁性膜とインダクタとの間には、該磁性膜とインダクタとの距離が適切となる厚さを有する第2の層間絶縁膜を形成する。 - 特許庁
Upon manufacturing the element substrate 10 of the electro-optic device, thin film transistors 80, 90 are formed, a first interlayer insulating film 4, consisting of silicon oxide film, and a second interlayer insulating film 7, consisting of silicon nitride film, are formed and then, hydrogen ion and phosphorus ion are introduced through ion shower doping method under this condition.例文帳に追加
電気光学装置の素子基板10を製造するにあたって、薄膜トランジスタ80、90を形成した後、シリコン酸化膜からなる第1層間絶縁膜4、およびシリコン窒化膜からなる第2層間絶縁膜7を形成し、この状態で、イオンシャワードーピング法により、水素イオンおよびリンイオンを導入する。 - 特許庁
The polishing pad includes a laminated body of a polishing layer, an interlayer adhesive layer, a support layer and a surface plate adhesive layer, wherein the polishing layer is a fabric having mesh opening of 10-150 μm, and an aperture ratio of 5-50%, and the interlayer adhesive layer is formed of a double-sided tape containing a silicone-based adhesive as a composition.例文帳に追加
本発明の研磨パッドは、研磨層および層間粘着層および支持層および定盤粘着層の積層体からなり、研磨層が目開き10〜150μm、開孔率5〜50%の織物であり、層間粘着層がシリコーン系粘着剤を組成とする両面テープからなるものである。 - 特許庁
The method includes steps of: forming a line 105b having an upper surface and a side face covered with the silicon oxide film; then forming a sacrifice interlayer film 132a made of an organic application film for covering the line and not containing silicon on an entire surface; and etching the sacrifice interlayer film and a lower layer insulation film sequentially to form a contact hole 108, thereby forming the contact plug.例文帳に追加
上面及び側面が酸化シリコン膜で覆われた配線105bを形成した後、配線を覆って全面にシリコンを含有しない有機塗布膜からなる犠牲層間膜132aを形成し、犠牲層間膜および下層絶縁膜を順次にエッチングしてコンタクトホール108を形成し、コンタクトプラグを形成する。 - 特許庁
A resin composition for a plating resist is used as a part of an interlayer insulation layer of a multilayer printed wiring board comprising the interlayer insulation layer and a conductive layer which are alternately laminated, and includes 30-90 mass% of a titanium oxide relative to a resin solid content.例文帳に追加
層間絶縁層と導体層とが交互に積層されてなる多層プリント配線板の層間絶縁層の一部として用いられるめっきレジスト用樹脂組成物であって、樹脂固形分に対して30〜90質量%の酸化チタンを含むことを特徴とするめっきレジスト用樹脂組成物である。 - 特許庁
A first interlayer dielectric is formed on a semiconductor substrate having a semiconductor element formed thereon, and a tantalum nitride film is formed on the first interlayer dielectric by first sputtering at a substrate temperature from a normal temperature to 400°C with a nitride gas partial pressure ratio of 3-10% in a reaction gas.例文帳に追加
半導体素子が形成された半導体基板上に第1層間絶縁膜を形成し、基板温度を常温から400℃までの温度に設定し、反応ガス中の窒素ガス分圧比を3乃至10%として、第1スパッタリングにより、前記第1層間絶縁膜上に窒化タンタル膜を形成する。 - 特許庁
A method of fabricating a multi-level memory device comprises forming peripheral circuitry 120 on a substrate 105; covering the peripheral circuitry 120 and the substrate 105 with an interlayer dielectric layer 145; and forming a stack 110 of more than one level of memory array on the interlayer dielectric layer 145.例文帳に追加
マルチレベルメモリデバイスを製造する方法であって、基板105上に周辺回路120を形成することと、周辺回路120および基板105を層間誘電層145で覆うことと、層間誘電層145上に1レベル以上のメモリアレイのスタック110を形成することと、を含む製造方法。 - 特許庁
To provide an interlayer insulating resin film suitable for manufacturing a printed wiring board that has conductor circuits made high in density without making a wiring width small and also has superior inter-line and interlayer insulation and connection reliability between the conductor circuits in order to provide the printed wiring board having the conductor circuits made high in density.例文帳に追加
導体回路の高密度化されたプリント配線板を提供するために、配線幅を小さくすることなく導体回路を高密度化し、かつ線間と層間での導体回路間の絶縁性および接続信頼性に優れたプリント配線板の製造に適した層間絶縁樹脂フィルムを提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a configuration for achieving a uniform polishing rate without thickening of interlayer insulation films to be polished in a liquid crystal panel substrate having a layered film structure of the interlayer insulation films and metal layers alternately formed on a semiconductor substrate provided with a transistor element region for pixel selection thereon.例文帳に追加
画素選択用トランジタの素子領域を作り込んだ半導体基板の上に層間絶縁膜とメタル層を交互に繰り返して成膜した積層膜構造を有する液晶パネル用基板において、被研磨膜に係る層間絶縁膜を厚膜化せずに、研磨レートの均一化を達成できる構造を実現する。 - 特許庁
To enable avoidance of deterioration of an adhesion between an interlayer insulating film and a barrier metal or wiring layer, when a wiring groove is made in a silicon oxide film containing fluorine as the interlayer insulating film and the wiring layer is formed in the groove through a barrier metal of Ti, etc.例文帳に追加
層間絶縁膜としてのフッ素含有シリコン酸化膜に配線用溝を形成し、その溝にTiなどのバリア・メタルを介して配線層を形成するときに、前記層間絶縁膜と、バリア・メタルまたは配線層との密着性が損なわれることのない、半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
An interlayer (104: adhesive layer or photo-polymer with evenly adjusted thickness ) where thickness variation is controlled to be a predetermined value or below (the thickness variation in the interlayer is 2 μmp-p or ±1 μm, or below during one rotation in any radius position) between a first recording part (L0) and a second recording part (L1).例文帳に追加
第1記録部(L0)と第2記録部(L1)との間に、厚み変動が所定値以下(任意の半径位置においてディスクを1周する間の中間層厚み変動が2μmp−pあるいは±1μm以下)に管理された中間層(104:厚みを均一に調整した接着層あるいはフォトポリマ)を設ける。 - 特許庁
A cylinder hole is formed in a layer becoming the beam such as a sacrificial interlayer dielectric 24 interposed with a carbon film 86, a lower electrode 51 of the capacitor is formed in the cylinder hole, and then, after the sacrificial interlayer dielectric 24 is selectively removed by wet etching, the carbon film 86 is selectively removed on a dry condition.例文帳に追加
梁となる層、例えばカーボン膜86を介装した犠牲層間絶縁膜24にシリンダホールを形成し、シリンダ孔内にキャパシタの下部電極51を形成し、続いて、犠牲層間絶縁膜24をウェットエッチングにて選択的に除去した後、カーボン膜86をドライ条件で選択的に除去する。 - 特許庁
To provide a thermosetting resin composition which has sufficient adhesion with a conductor, high heat resistance, flame retardancy, low dielectric constant, low dielectric loss tangent, and can form an interlayer insulating resin layer with low water absorption, and to provide a thermosetting adhesive film and multilayer printed circuit board in which an interlayer insulating resin layer is formed using them.例文帳に追加
導体との充分な密着性を有し、高耐熱性、難燃性、低誘電率、低誘電正接、低吸水率の層間絶縁樹脂層を形成できる熱硬化性樹脂組成物、熱硬化性接着フィルム及びそれらを用いて層間絶縁樹脂層が形成された多層プリント基板を提供する。 - 特許庁
An overlap display control unit 12, when a start layer with interlayer wiring started therefrom through input of a VIA and a termination layer as a termination of the interlayer wiring through the VIA are selected, displays a wiring image of at least one of layers ranging from the start layer to the termination layer so as to overlap on a wiring image of the start layer.例文帳に追加
重ね表示制御部12は、VIAの入力により層間配線が開始される開始層と、VIAを介する層間配線の終端とする終端層とが選択された場合に、開始層から終端層までの層のうち少なくとも1つの層の配線画像を開始層の配線画像に重ねて表示させる。 - 特許庁
The interlayer insulation films 47 are formed by screen printing in a fine line shape after forming a high surface free energy region on the wettability changing layer by irradiating a region where the interlayer insulation films 47 are formed in the terminal part 40 with DeepUV rays at a wavelength 254 nm through a photomask with a pattern drawn thereon.例文帳に追加
層間絶縁膜47は、端子部40の層間絶縁膜47を形成する領域にパターンが描画されたフォトマスク越しに波長254nmのDeepUV光を照射し、濡れ性変化層上に高表面自由エネルギー領域を形成した後、微細なライン形状でスクリーン印刷法によって形成する。 - 特許庁
The semiconductor device includes a first interlayer insulating film (first insulating film), formed on the upper part of a silicon substrate (semiconductor substrate) 1 and a capacitor 20, formed on the first interlayer insulating film 11 and having a lower electrode 16a, a dielectric film 17a, and an upper electrode 18a.例文帳に追加
シリコン基板(半導体基板)1の上方に形成された第1の層間絶縁膜(第1絶縁膜)と、第1の層間絶縁膜11上に形成され且つ下部電極16a、誘電体膜17a及び上部電極18aを有するキャパシタ20とを有することを特徴とする半導体装置による。 - 特許庁
After having formed a first interlayer insulating film 106 on a laminated layer 105 for wiring, a first opening for plugs is formed by selectively etching the first interlayer insulating film 106, and a first contact plug 110 is formed subsequently by burying a first conductive film in the first opening for plugs.例文帳に追加
配線用積層膜105の上に第1の層間絶縁膜106を形成した後、該第1の層間絶縁膜106に対して選択的にエッチングを行なって第1のプラグ用開口を形成し、その後、第1のプラグ用開口に第1の導電膜を埋め込んで第1の接続プラグ110を形成する。 - 特許庁
Corrosion-proof close-contact type dummy patterns 511 to 531 for assuring close contact of the embedded layer dummy patterns 611 to 631 to the total range to the interlayer insulation film 43 of the upper most layer from the semiconductor substrate 2 in the connection hole dummy patterns 4101 to 4301 are formed in the interlayer insulation film isolating band 12 as the barrier with respect to moisture.例文帳に追加
層間絶縁膜分離帯12に、半導体基板2から最上層の層間絶縁膜43に到る全範囲に、埋め込み層ダミーパターン611〜631を接続孔ダミーパターン4101〜4301内に密着せしめる耐蝕性の密着層ダミーパターン511〜531を形成し、水分に対するバリアとする。 - 特許庁
An interlayer dielectric 11 with the copper wire 14 filled in is formed on the semiconductor base material with an electronic component including a transistor and a magnetic tunnel junction element formed on the semiconductor substrate, and a silicon nitride film having a film density of not less than 2.5 g/cm^3 as the liner film 15 is formed on the interlayer dielectric 11.例文帳に追加
半導体基板上にトランジスタと磁気トンネル接合素子とを含む電子部品を形成した半導体基材上に、銅配線14を埋め込んだ層間絶縁膜11を形成し、この層間絶縁膜11上にライナ膜15として2.5g/cm^3以上の膜密度を有するシリコン窒化膜を形成する。 - 特許庁
To provide a forming method of a contact hole/interlayer insulating film, etc. which form the contact hole/interlayer insulating film, shorten and simplify the entire manufacturing process, reduce a cost, and use a dispersant or solvent which does not damage during the usage of organic semiconductor material without limiting a selection of insulating film material.例文帳に追加
コンタクトホール/層間絶縁膜を形成・製造する工程全体の短縮化、簡素化、コストダウンを図れ、また絶縁膜材料の選定が限定されることなく有機半導体材料を使用しても損傷を与えない溶剤・溶媒を用いることが可能なコンタクトホール/層間絶縁膜の形成方法等を提供する。 - 特許庁
The rigid/flexible printed circuit board (R/FPC) is formed by adhering the RPC to both surfaces of the FPC produced by adhering the CCL and CL, with an interlayer adhesive sheet in-between, and the interlayer adhesive sheet is added with an alkaline metallic compound of 5-50 mass% as an acid acceptor.例文帳に追加
CCLとCLとを貼り合わせてなるFPCの両面に層間接着シートを介してRPCを接着したR・FPCであって、前記層間接着シート中には、受酸剤としてアルカリ性金属化合物が5〜50質量%添加されているR・FPCとすることによって、解決される。 - 特許庁
A chrome band 24 is buried between a scanning signal line 9 and an interlayer insulating film 14, and an undercut portion 25 composed of a gap substantially equal to the thickness of the chrome band is disposed between the scanning signal line 9 and the interlayer insulating film 14 continuously from one side wall of the chrome band 24 toward the outside.例文帳に追加
走査信号配線9と層間絶縁膜14間にクロム帯24を埋設し、このクロム帯24の一方の側壁から外側方向に向かって連続してこのクロム帯厚さに略等しい間隙からなるアンダーカット部25を前記走査信号配線9と前記層間絶縁膜間14に配置した。 - 特許庁
An underlayer with etching selectivity with respect to the interlayer insulating layer is formed, and a portion of the interlayer insulating layer containing impurities in contact with the wiring layer has been removed at the edge of the semiconductor substrate.例文帳に追加
素子領域の形成された半導体基板表面に、層間絶縁膜と外部取り出し用の配線層とを備えた半導体装置であって、前記半導体基板端縁部で、前記配線層下に、前記層間絶縁膜に対してエッチング選択性のある下地層が形成され、不純物を含む層間絶縁膜が選択的に除去されている。 - 特許庁
The word line pattern is formed by patterning a floating gate pattern 57a covering the first active region 53a, a first gate interlayer insulating film 64a formed on the whole surface of a cell array region having the floating gate pattern and a second conducting film 69 formed on the first gate interlayer insulating film 64a.例文帳に追加
ワードラインパターンは第1活性領域53aを覆う浮遊ゲートパターン57a、浮遊ゲートパターンを有するセルアレイ領域の全面に形成された第1ゲート層間絶縁膜64a及び第1ゲート層間絶縁膜64aの上に形成された第2導電膜69をパターニングして形成する。 - 特許庁
To provide a configuration for achieving a uniform polishing rate without thickening of an interlayer insulation film to be polished in a liquid crystal panel substrate having a stacked film structure consisting of interlayer insulation films and metal layers alternately formed on a semiconductor substrate provided with a transistor region for pixel selection thereon.例文帳に追加
画素選択用トランジタの素子領域を作り込んだ半導体基板の上に層間絶縁膜とメタル層を交互に繰り返して成膜した積層膜構造を有する液晶パネル用基板において、被研磨膜に係る層間絶縁膜を厚膜化せずに、研磨レートの均一化を達成できる構造を実現する。 - 特許庁
To provide a configuration capable of achieving a uniform polishing rate without thickening of interlayer insulation films to be polished in a liquid crystal panel substrate having a layered film structure of the interlayer insulation films and metal layers alternately formed on a semiconductor substrate provided with a transistor element region for pixel selection thereon.例文帳に追加
画素選択用トランジタの素子領域を作り込んだ半導体基板の上に層間絶縁膜とメタル層を交互に繰り返して成膜した積層膜構造を有する液晶パネル用基板において、被研磨膜に係る層間絶縁膜を厚膜化せずに、研磨レートの均一化を達成できる構造を実現する。 - 特許庁
The material coated with the thermal barrier coating is excellent in corrosion resistance and heat resistance and has an undercoat comprising a heat-resistant alloy containing aluminum on the surface of a substrate, a Cr_2O_3 layer as an interlayer on the undercoat and the topcoat comprising a ZrO_2 ceramic on the interlayer.例文帳に追加
基材の表面に、アルミニウムを含む耐熱合金からなるアンダーコートを有し、このアンダーコートの上に中間層としてCr_2O_3層を有し、さらにこの中間層の上にZrO_2系セラミックスからなるトップコートを有することを特徴とする耐食性および耐熱性に優れる熱遮蔽皮膜被覆材。 - 特許庁
After a wiring pattern arranged on an interlayer dielectric film and the wiring layout and hole layout of a hole pattern embedded in the interlayer dielectric film are obtained, the hole pattern is extracted, which is connected with the wiring pattern from the hole layout in a pattern processing region where the wiring pattern is arranged in the same wiring layer.例文帳に追加
層間絶縁膜に設けられる配線パターン、及び層間絶縁膜に埋め込まれるホールパターンの配線レイアウト及びホールレイアウトを取得して、同一配線層内で配線パターンを配置するパターン処理領域においてホールレイアウトの中から配線パターンに接続されるホールパターンを抽出する。 - 特許庁
A field insulation layer 12A, an interlayer insulation film lower layer 14a formed by a spattering, and an interlayer insulation film upper layer 14b formed by application are stacked among the upper electrode 13, the connection electrode 15 and the lower electrode 11 to insulate the lower electrode 11 from the upper electrode 13 (the upper electrode power feed line 16).例文帳に追加
上部電極13および接続電極15と下部電極11の間にはフィールド絶縁層12Aとスパッタで成膜された層間絶縁膜下層14aと塗布成膜された層間絶縁膜上層14bとが積層され、下部電極11と上部電極13(上部電極給電線16)とを絶縁する。 - 特許庁
A wiring groove 16a and a dummy wiring groove 16b are formed on the surface of a first interlayer dielectric 12 covering a first wiring layer 10, and the coarseness and fineness of distribution for which the surface of the wiring groove 16a and the surface of the dummy wiring groove 16b are joined on the surface of the first interlayer dielectric 12 are reduced.例文帳に追加
第1配線層10を被覆している第1層間絶縁膜12表面に配線溝16a及びダミー配線溝16bを形成し、第1層間絶縁膜12表面における配線溝16a表面とダミー配線溝16b表面とを合わせた分布の粗密を低減化する。 - 特許庁
The semiconductor device 100 includes an interlayer insulating film 104 formed on a substrate (not shown) and having a wide wiring groove 106 formed at the surface, and wide wiring 120 formed by filling the wide wiring groove 106 of the interlayer insulating film 104 and composed of a barrier metal film 110 and a copper film 116.例文帳に追加
半導体装置100は、基板(不図示)上に形成され、太幅配線溝106が表面に形成された層間絶縁膜104と、層間絶縁膜104の太幅配線溝106を埋め込んで形成され、バリアメタル膜110および銅膜116により構成された太幅配線120とを含む。 - 特許庁
To provide a method of forming contact plug of a semiconductor element which can suppress formation of voids in a metal layer forming process subsequent to a contact plug forming process by selectively etching a subsequent interlayer insulation film formation of a contact plug so that the surface of the uppermost portion of the contact plug is higher than the surface of the uppermost portion of the interlayer insulation film.例文帳に追加
コンタクトプラグの形成後、コンタクトプラグの最上部の表面が層間絶縁膜の最上部の表面より高くなるように層間絶縁膜を選択的にエッチングすることにより、後続の金属層形成工程の際にボイドの生成を抑制する、半導体素子のコンタクトプラグ形成方法を提供すること。 - 特許庁
Interconnection trenches 112 are made in the second interlayer insulation film 106 by etching through the use of a hard mask 107B transferred with the openings for interconnection trenches and contact holes 111 are made in the first interlayer insulation film 104 by etching through the use of the etching stopper film 105A transferred with the opening for contact holes.例文帳に追加
第2の層間絶縁膜106に対して配線溝用開口部が転写されたハードマスク107Bを用いてエッチングして配線溝112を形成すると共に、第1の層間絶縁膜104に対して接続孔用開口部が転写されたエッチングストッパー膜105Aを用いてエッチングして接続孔111を形成する。 - 特許庁
Thus, a barrier layer 15 which is chemically stable even in a high-temperature usage environment at a temperature exceeding 200°C and effectively works as a barrier layer can be interposed between Cu interconnections 18 and the interlayer insulation film 12, and thereby diffusion of Cu, which is a material of the interconnections, into the interlayer insulation film 12 can be prevented.例文帳に追加
これにより、200℃を超える高温使用環境においても化学的に安定であり、バリア層として効果的に作用するバリア層15をCu配線18と層間絶縁膜12との間に介在させることができるので、配線材料たるCuの層間絶縁膜12への拡散を防止することができる。 - 特許庁
In the method of manufacturing a wiring substrate manufactured through a mounting process, a curing process, and a built-in process, a capacitor 10 is mounted on a resin interlayer insulating layer 81 in an uncured state and a portion of the resin interlayer insulating layer 81 is allowed to get in a through-hole 111, in the mounting process.例文帳に追加
搭載工程、硬化工程及び内蔵工程を経て製造される配線基板の製造方法において、搭載工程では、コンデンサ10を未硬化状態の樹脂層間絶縁層81上に搭載するとともに、樹脂層間絶縁層81の一部を貫通孔111内に入り込ませる。 - 特許庁
After that, a second interlayer insulating film 147 is deposited on the substrate; and the metal pad 152 for relaxing the stress, a second plug 170n on the N-type diffusion layer reaching a first plug 160p on a P-type diffusion layer, and a second plug 170p on the P-type diffusion layer are formed through the second interlayer insulating film 147.例文帳に追加
その後、基板上に第2の層間絶縁膜147を堆積し、第2の層間絶縁膜147を貫通して応力緩和用金属パッド152,P型拡散層上第1プラグ160pに到達するN型拡散層上第2プラグ170n,P型拡散層上第2プラグ170pを形成する。 - 特許庁
An interlayer insulating material 12 formed on a core substrate 1 is softened, and a mold 20 having protrusions corresponding to the respective recessed part for wiring pattern formation and recessed part for viahole formation is fitted with pressure to the softened interlayer insulating layer, thereby imprinting a trench 14 for wiring pattern formation and a trench 16 for viahole formation.例文帳に追加
コア基板1上に形成された層間絶縁材12を軟化させ、次いで、配線パターン形成用の凹部およびバイアホール形成用の凹部にそれぞれ相当する凸部を有するモールド20を軟化した層間絶縁層に圧入して、配線パターン形成用の溝14およびバイアホール形成用の溝16を転写する。 - 特許庁
The polishing stop film 20 remains on the semiconductor substrate 11 as a stopper of polishing (stop index) even if the interlayer insulation film 12 is removed by polishing using a CMP method when forming a conductive plug 13 in the interlayer insulation film 12 at the peripheral region of the semiconductor 11.例文帳に追加
この研磨停止膜20は、半導体基板11の周縁領域において、層間絶縁膜12が当該層間絶縁膜12内に導電性プラグ13を形成する際のCMP法による研磨によって除去された場合においても、当該研磨のストッパー(停止指標)となって半導体基板11上に残る。 - 特許庁
In the electrophotographic photoreceptor having an interlayer and a photosensitive layer on an electroconductive substrate, the interlayer comprises a resin having heat of fusion of 0-40 J/g and a water absorption of ≤5 mass% and an N-type semiconductive particle containing 100 ppm to 2.0 mass% of a transition metal.例文帳に追加
導電性支持体上に中間層、感光層とを有する電子写真感光体において、該中間層が融解熱0〜40J/gで、且つ吸水率5質量%以下の樹脂及び遷移金属を100ppm〜2.0質量%含有したN形半導性粒子を含有することを特徴とする電子写真感光体。 - 特許庁
Next by feeding a source gas consisting of, for example, PET(pentaethoxy tantalum) gas and reacting with the water vapor, an interlayer 50 consisting of the tantalum oxide film with a very thin and uniform film thickness is formed, and continuously in addition to the source gas, oxygen is made to flow and an original tantalum oxide film is deposited on the interlayer.例文帳に追加
次に、例えばPET(ペンタエトキシタンタル)ガスよりなる原料ガスを供給して上記水蒸気と反応させることにより、非常に薄い膜厚が均一なタンタル酸化膜よりなる界面層50を形成し、引き続いて原料ガスに加えて酸素を流して本来のタンタル酸化膜を界面層上に堆積させる。 - 特許庁
The method for manufacturing the element includes a process, in which a plurality of ferroelectric capacitors are formed on the semiconductor substrate on which the lower-part interlayer film has been formed, and after the hydrogen preventing spacer is formed on the side wall of the ferroelectric capacitor, the upper-part interlayer film and a plurality of plate lines are formed on the resultant structure.例文帳に追加
この素子の製造方法は下部層間絶縁膜が形成された半導体基板上に複数の強誘電体キャパシタを形成し、強誘電体キャパシタの側壁に水素防止スペーサを形成した後に、その結果物上に上部層間絶縁膜及び複数のプレートラインを形成する段階を含む。 - 特許庁
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