「measuring microscope」に関連した英語例文の一覧と使い方(11ページ目) - Weblio英語例文検索

This electronic microscope having an electron source, an electronic lens and an electron beam deflecting unit, further comprises an electron beam pulsing means and an acoustic wave measuring means, the energy of electrons entering into the sample is 1000 eV or less, and the measurement and examination of the inside of the sample are performed on the basis of the scanning information of the electron beam and the information of the detected sound.例文帳に追加

電子源、電子レンズ、電子線偏向器を有してなる電子顕微鏡装置において、さらに電子線パルス化手段、音波測定手段を備え、試料中に入射する電子のエネルギを１０００ｅＶ以下とし、電子線の走査情報と検出音の情報から試料内部の計測・検査をおこなう。 - 特許庁

The optical radiation pressure measuring device, the resonance frequency regulating method, the aperture diameter inspection device and the near field microscope provided with the aperture diameter inspection device utilize that a frequency characteristic of the resonance body is changed by the optical radiation pressure P when incident light 18 is irradiated on a reflecting means 64 provided on the resonance body.例文帳に追加

共振体に設けられた反射手段６４に入射光１８を照射したときの光放射圧Ｐにより共振体の周波数特性が変化することを利用した光放射圧測定装置、共振周波数調整方法、開口径検査装置及びそれを備えた近接場光学顕微鏡 - 特許庁

This is an electrostatic charge measuring method and a focus adjustment method, or a scanning electron microscope to measure the charge amount or to control an impressing voltage on the test piece by moving the scanning place of the electron beams on the test piece, and changing the impressing voltage on an energy filter.例文帳に追加

上記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、試料上の電子ビームの走査個所を移動しつつ、エネルギーフィルタへの印加電圧を変化させることで、帯電量を測定、或いは試料への印加電圧を制御する帯電測定方法、焦点調整方法、或いは走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

The texture 13 of a low frequency component obtained by measuring a 10 μm square range by an atomic force microscope has 10 to 200 nm width W, 2 to 10 nm height H and the ratio (Rp/RMS) of the maximum height Rp to root-mean-square roughness RMS of not more than 15.例文帳に追加

原子間力顕微鏡で１０μｍ四方の範囲を測定して得られる低周波成分のテクスチャー１３の幅Ｗは１０〜２００ｎｍ、テクスチャー１３の高さＨは２〜１０ｎｍ、テクスチャー１３の自乗平均粗さＲＭＳに対する最大山高さＲｐの比（Ｒｐ／ＲＭＳ）は１５以下である。 - 特許庁

To provide a standard template with a standard mark as the standard point for producing an displacement-modified image for observing an image of a sample three-dimensionally correctly and precisely by appropriately processing stereo detection data obtained from an electronic microscope and for measuring the three-dimensional shape of the sample.例文帳に追加

電子顕微鏡から得られたステレオの検出データを適切に処理して、試料像を正確に精度よく立体観察すると共に、試料の三次元形状計測を行う為に、偏位修正画像を作成するために基準点となる基準マークを有する基準テンプレート及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

A system for correcting electron energy-loss spectral images of the electron microscope provided with an electron spectrometer corrects spectra of electron energy-loss spectral images of a sample to be analyzed at each measuring position on the basis of differences between spectra at a reference position included in a reference spectral image and spectra except the reference position.例文帳に追加

電子分光器を備えた電子顕微鏡の電子エネルギー損失スペクトル像の補正システムであって、基準スペクトル像に含まれる基準位置のスペクトル及び基準位置以外のスペクトルの相違点に基き、分析対象試料のエネルギー損失スペクトル像の各測定位置のスペクトルを補正することを特徴とする補正システム。 - 特許庁

This method is applied for a scanning type probe microscope having a measuring part for scanning a sample 12 by a probe 25 to measure a physical quantity about the sample surface, and constituted to be provided with an XY fine moving mechanism 24 for moving the probe finely, and an XY stage 51 for moving the sample roughly.例文帳に追加

この測定方法は、探針２５で試料１２を走査して試料表面に関する物理的量を測定する測定部を有し、かつ探針を微動させるＸＹ微動機構２４と試料を粗動させるＸＹステージ５１を備えるように構成された走査型プローブ顕微鏡に適用される。 - 特許庁

The immersion microscope objective lens is a lens for observing or measuring a sample (the refractive index nd is 1.33 to 1.5) represented by the living cells, the living tissues or the living body solid and is designed so that the immersion liquid used is a synthetic oil having a refractive index of 1.34 to 1.5.例文帳に追加

生体細胞または生体組織または生体の固体に代表されるような試料（屈折率ｎｄが１．３３〜１．５）を観察するまたは計測するための液浸用顕微鏡対物レンズであって、使用される液浸液が、屈折率が１．３４〜１．５の合成オイルであるとして設計されている。 - 特許庁

To provide a method to easily measure phase difference by using a scanning atomic force microscope(AFM) without peeling a resist 1 during manufacturing a Levenson type phase shift mask, and to provide a method for manufacturing phase shift mask such that the manufacture process of a Levenson phase shift mask can be significantly reduced by using the above method for measuring the phase difference.例文帳に追加

レベンソン位相シフトマスクの製造途中にレジスト１を剥離せずに、走査型原子間力顕微鏡(AFM)を用いて簡便に位相差を測定する方法を提供し、この位相差測定方法を用いてレベンソン位相シフトマスクの製造プロセスを大幅に短縮することが可能になる位相シフトマスク製造方法を提供する。 - 特許庁

The optical microscope 100 comprises a laser light source 10, a Y scanning device 40 for performing scanning of light beams in a Y direction, an objective lens 23, an X scanning device 20 for performing scanning of light beams in an X direction, the spectrograph 31 for measuring spectra, and a line CCD camera 50.例文帳に追加

第１の態様にかかる光学顕微鏡１００は、レーザ光源１０と、光ビームをＹ方向に走査するＹ走査装置４０と、対物レンズ２３と、光ビームをＸ方向に走査するＸ走査装置２０と、スペクトルを測定するための分光器３１と、ラインＣＣＤカメラ５０が設けられている。 - 特許庁

This scanning electron microscope is provided with the function of computing corrected precision after coordinates compensation to be displayed by using a vector 39, the function of automatically determining scale factor during search in automatic detection of foreign materials/defects after coordinates compensation from acquired information, and the function of computing appearance ratio of foreign materials/defects and time required from search scale factor and measuring conditions.例文帳に追加

座標補正後の補正精度を算出し、ベクトル３９を用いて表示する機能、得られた情報から座標補正後異物／欠陥を自動検出する際の探索時の倍率を自動で決定する機能、また探索倍率と測定条件から異物／欠陥の出現率とかかる時間を算出する機能を設けた。 - 特許庁

In this measuring microscope apparatus, the interior of a support part 25, as a main body provided on the right side of the column 30, is provided with a signal operation display part 36 for operating a signal from a detecting part for detecting the travel of the XY stage 27 and the Z stage 28 and displaying the operational result.例文帳に追加

そして、この測定顕微鏡装置に於いて、コラム３０の右側に設けられた本体としての支持部３５の内部には、上記ＸＹステージ２７及びＺステージ２８の移動量を検出する検出部からの信号を演算して、この演算結果を表示する信号演算表示部３６を有している。 - 特許庁

This scanning probe microscope equipped with a probe arranged oppositely to the sample, a Z-direction scanner driven in the Z-direction, an X, Y-direction scanner for scanning in the X, Y directions, and a measuring head for detecting displacement of the probe, is also equipped with a Z-direction correction means for correcting the macro Z-direction fluctuation portion from the reference height.例文帳に追加

試料と対向配置するプローブと、Ｚ方向に駆動するＺ方向スキャナーと、Ｘ，Ｙ方向に走査するＸ，Ｙ方向スキャナーと、プローブの変位を検出する測定ヘッドを具備する走査型プローブ顕微鏡において、基準高さからのマクロなＺ方向変動分を補正するＺ方向補正手段を備える。 - 特許庁

This microscope where observation data are acquired by irradiating an observation object with the deep ultraviolet light has a control part measuring the line width of a pattern provided at the prescribed position of the observation object and stopping the irradiation of the observation object with the deep ultraviolet light when the line width of the pattern attains a prescribed limiting value.例文帳に追加

観察対象に深紫外光を照射して観察データを取得する顕微鏡において、該観察対象の所定の位置に設けられたパターンの線幅を測定し、該パターンの線幅が所定の制限値に達した場合に、該観察対象への深紫外光の照射を停止する制御部を有することを特徴とする。 - 特許庁

In this probe microscope having a probe, an electrode arranged through a sample and a measuring instrument which applies voltage across the probe and the electrode to detect the current flowing to the sample between the probe and the electrode, voltage is applied across two desired points in the sample to detect the produced migration to thereby determine the insulating failure.例文帳に追加

探針と試料を介して配置される電極と、探針と電極間に電圧を印加して探針と電極間の試料に流れる電流を検出する測定装置を有するプローブ顕微鏡において、試料内における所望の二点間に電圧を印加することにより、発生するマイグレーションを検知して絶縁不良を判定するプローブ顕微鏡にある。 - 特許庁

Upon using a scanning electron microscope which is loaded with a spin-polarized electron source having a laser 201 and a semiconductor 202, a chirality structure and magnetized vector of polymer inside a testpiece 208 can be visualized by measuring intensity and the degree of spin-polarization of reflected electrons 209 from the testpiece 208 which is irradiated by a spin-polarized electron beam 203 by using a reflected electron detector 210.例文帳に追加

レーザー201と半導体202を備えたスピン偏極電子源等を搭載した走査電子顕微鏡を用いて、スピン偏極電子線203を照射した試料208からの反射電子209の強度やスピン偏極度を反射電子検出器210などを用いて測定することにより、試料208内部の高分子のカイラリティ構造や磁化ベクトルを可視化することができる。 - 特許庁

The scanning probe microscope comprises: the cantilever 14 provided with prove 13; the moving mechanisms 11 and 17 for relatively moving the position of the probe to the sample 10; the detection means for detecting the specific physical amount; the measurement means for measuring the surface of the sample; and the measurement control means 60 for controlling the operation of the moving mechanisms and the measurement means.例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡は、探針１３を有するカンチレバー１４と、試料１０に対する探針の位置を相対的に変化させる移動機構１１，１７と、所定物理量を検出する検出手段と、試料表面を測定する測定手段と、移動機構と測定手段の動作を制御する測定制御手段６０を備える。 - 特許庁

The method comprises: condensing and irradiating pulse laser beams from beneath of a solution with an objective lens 5 of a microscope, thereby generating plasma emission at the upper portion of the solution surface; and condensing the emission spectrum with an objective lens 9 at the upper portion of the solution and measuring it with a spectrometer 12, thereby analyzing a metallic element contained in the solution.例文帳に追加

顕微鏡を使用して溶液の下からパルスレーザー光線を対物レンズ５で集光して照射ことより、溶液表面上部でプラズマ発光が発生する、その発光スペクトルを溶液上部の対物レンズ９で集光して分光装置１２で測定して、溶液に含まれる金属元素を分析することを特徴とする。 - 特許庁

In this lubricant degradation measuring method, a photon image generated in a slide contact point of a disk mounted with a semi-spherical pin and the lubricant is detected through an optical microscope constituted of an ultraviolet ray transmitting lens, and the presence of the generation of triboplasma in the vicinity of a lubricating point of the lubricant is determined based on the presence of a UV image.例文帳に追加

半球ピンと潤滑剤を載せたディスクの摺動接触点で発生する光子像を、紫外線透過レンズで構成された光学顕微鏡を通して検出し、UV像の発生の有無により、トライボプラズマが潤滑剤の潤滑点の近傍に発生しているかどうかを判定することからなる潤滑剤の劣化測定方法。 - 特許庁

In the microscopic surface temperature distribution measuring device 100, a material having a predetermined relationship with temperature dependency of a resonance frequency is used as the cantilever 1 in the scanning probe microscope, temperature change of the cantilever 1 is measured as change of the resonance frequency, and a temperature is measured by converting the change into temperature on the basis of the predetermined relationship.例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡におけるカンチレバー１として、共振周波数の温度依存性に所定の関係を有する材料を用い、前記カンチレバー１の温度変化を前記共振周波数の変化として測定し、前記所定の関係により温度に換算して測温する微小表面温度分布測定装置１００とする。 - 特許庁

The observation is performed by a scanning transmission electron microscope observation equipment equipped with a field emission electron gun, a convergence means to converge an electron ray emitted from the field emission electron gun onto a sample, a deflecting means to scan a convergence electron ray irradiating the sample, a projecting means to project a sample image, and a measuring means for a sample thickness.例文帳に追加

電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃から放射された電子線を試料に収束する収束手段と、試料を照射する収束電子線を走査する偏向手段と、試料像を投影する投影手段と、試料厚さ測定手段とを備える走査透過型電子顕微鏡観察装置を用いて観察を行う。 - 特許庁

In a scanning probe microscope 10 for making a probe 16 provided for one end of the cantilever 15 scan along the surface of a sample 30 and measuring the height and a distribution of the physical state of the sample 30, the resonance frequency of the cantilever 15 is detected before and after the measurement of the sample 30 to detect the presence or absence of the adhesion of foreign matter to the tip of the probe 16.例文帳に追加

カンチレバー１５の一端に設けられたプローブ１６を試料３０の表面に沿って走査させて試料３０の高さ及び物理状態の分布を測定する走査プローブ顕微鏡１０において、試料３０の測定の前後にカンチレバー１５の共振周波数を検出してプローブ１６の尖端への異物の付着の有無を検知する。 - 特許庁

The measuring microscope A is configured by installing a specimen imaging camera 2 with an optical system lens 5 mounted thereon in order to image a specimen B placed on a stage 1, and a periphery imaging camera 4 which captures an image including the periphery of the specimen B, and outputs an image captured by the specimen imaging camera 2 in an image captured by the periphery imaging camera 4.例文帳に追加

本発明は、ステージ１上に載置された被検物Ｂを撮影するために光学系レンズ５を装着した被検物撮影カメラ２と、前記被検物Ｂ周辺を含んで撮影する周辺撮影カメラ４とを設置し、前記周辺撮影カメラ４で撮影した映像内に前記被検物撮影カメラ２で撮影した映像を出力した測定顕微鏡Ａである。 - 特許庁

To provide a method for quantitatively measuring the surface potential distribution of a solid, especially a semiconductor with high space dissolving capacity using a scanning type tunnel microscope by solving the conventional technical problem that the distance between a probe and the surface of a sample and the thickness of the depleted layer of the surface of the sample are unclear and the measurement in the depleted layer region is difficult, and an apparatus therefor.例文帳に追加

探針／試料表面距離が不明、試料表面の空乏層 厚が不明、空乏層領域での計測が困難、という従来技術の問題点を解決し、固体表面、特に半導体表面の表面電位分布を、走査型トンネル顕微鏡を用いて高い空間分解能で定量的に計測する方法とそのための装置を提供する。 - 特許庁

To provide a near-field light detection method and a device therefor having excellent spatial resolution and detection sensitivity of a near field, measuring a space distribution of near-field light by examining an electric potential distribution of surface plasmon excited by the near-field light by a Kelvin force microscope having spatial resolution of an atom to a nanometer order.例文帳に追加

本発明は、原子〜ナノメートルの空間分解能を持つケルビンフォース顕微鏡により、このこの近接場光により励起される表面プラズモンの電位分布を調べることにより、近接場光の空間分布を計測するものであり、空間分解能と近接場の検出感度に優れる近接場光検出方法およびその装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

A cantilever provided with a spherical member in a tip part of a probe is used in this scanning probe microscope for measuring the sample surface properties, comprising the cantilever having the fine probe in its tip part, a means for detecting a displacement of the cantilever, a means for oscillating the cantilever or the sample at a fixed cycle by a desirable amplitude quantity, and a sample moving means for moving the sample.例文帳に追加

先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位を検出する手段とカンチレバーまたは試料を一定周期で所望の振幅量で振動させる手段と試料を移動させる試料移動手段からなり、試料の表面物性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、探針の端部に球状のものを設けたカンチレバーを使用することにした。 - 特許庁

The work function measuring instrument 100A is constituted so as to calculate the work function of the probe 2A of a conductive cantilever 1A from the known work function value of each region of a standard sample 3A calculated by photoelectron spectroscopy and the surface potential value of each region of the standard sample 3A measured by a scanning Kelvin force microscope having the conductive cantilever 1A.例文帳に追加

仕事関数測定装置１００Ａは、光電子分光法により求められた標準試料３Ａの各領域の既知の仕事関数値と、導電性カンチレバー１Ａを有する走査型ケルビンフォース顕微鏡により計測された標準試料３Ａの各領域の表面電位値とから、導電性カンチレバー１Ａの深針２Ａの仕事関数を算出する。 - 特許庁

The amount of scanning and the amount of interval control are controlled in such a way that the relative velocity between the probe and the sample in the direction of the surface of the sample may be constant in the probe scanning control device, scanning probe microscope, working device, probe scanning control method, measuring method, and working method for detecting information on the sample by relatively scanning the sample with the probe.例文帳に追加

探針を試料に対し相対走査して該試料上の情報を検出するプローブの走査制御装置、走査型プローブ顕微鏡、加工装置、およびプローブの走査制御方法、測定方法、加工方法において、前記試料表面方向において探針と試料とのなす相対速度が一定となるように、走査量と間隔制御量を制御するように構成する。 - 特許庁

This autocollimetor for irradiating an object to be measured with parallel light, and for measuring the inclination of the object to be measured by confirming reflected light thereof has a collimator lens for collimating the light to irradiate the object to be measured into the parallel light, and a microscope lens provided to be put in and out freely between the collimator lens and the object to be measured to converge the parallel light by the collimator lens.例文帳に追加

被測定物に対して平行光を照射し、その反射光を確認することにより被測定物の傾きを測定するオートコリメータであって、前記被測定物への照射光を平行光とするためのコリメートレンズと、前記コリメートレンズと前記被測定物との間に出し入れ自在に設けられ、前記コリメートレンズによる平行光を集光する顕微鏡レンズとを有する。 - 特許庁

The toner for electrostatic image development includes at least a binder resin, a colorant and a charge control agent, wherein the surface potential of an arbitrary surface of the toner particles for electrostatic image development after contact charging measured by a surface potential measuring mode of a scanning probe microscope varies from the surface potential before the contact charging by ≥±1,000 mV.例文帳に追加

少なくともバインダー樹脂、着色剤、荷電制御樹脂を含む静電荷像現像用トナーであって、走査型プローブ顕微鏡の表面電位測定モードで測定した接触帯電処理後の該静電荷像現像用トナー粒子の任意の表面の表面電位が、該接触帯電処理前の表面電位に対し正又は負に１，０００ｍＶ以上変化することを特徴とする静電荷像現像用トナー。 - 特許庁

This system comprises a camera 9 for photographing a medium under cell culture via a microscope, multivaluating means 3 and 5 for multivaluating two-dimensional image data photographed by the camera 9, and run length measuring means 3 and 5 for determining the run length of an image data portion corresponding or not corresponding to cells in a straight measurement line crossing the two-dimensional image data multivaluated by the means 3 and 5.例文帳に追加

顕微鏡を介して細胞培養している培地を撮影するカメラ９と、カメラ９で撮影した２次元画像データを多値化する多値化手段３、５と、多値化手段３、５で多値化した２次元画像データを横切る直線状の計測ラインにおける細胞に対応する画像データ部分のランレングス、または、細胞に対応していない画像データ部分のランレングスを求めるランレングス計測手段３、５とを備えた構成とする。 - 特許庁

To provide a capturing device capable of efficiently capturing a floating particulate matter in the atmosphere, facilitating the observation of the captured particles with a microscope and the extraction and supply of independent particles to various analyzing equipments, and a method capable of measuring the particle size distribution of the floating particulate matter captured by the capturing device with high resolution in a wide particle size range.例文帳に追加

大気中の浮遊粒子状物質を効率的に捕集し、その捕集した粒子を容易に顕微鏡で観察することができ、かつ、容易に個別の粒子を抽出して各種分析機器に供することのできる捕集装置と、その捕集装置により捕集した浮遊粒子状物質を、広い粒径範囲において高い分解能のもとに粒度分布を測定することのできる方法を提供する。 - 特許庁

This new topograph measuring method and its device are characterized by detecting the electrostatic force working between the cantilever and the sample, and feeding back a cantilever bias potential at which the electrostatic force becomes minimum to the cantilever, in the noncontact type atomic force microscope for scanning the sample surface by the cantilever to execute measurement, while maintaining an attraction gradient between the cantilever and the sample constant.例文帳に追加

本発明による新トポグラフ測定方法およびその装置は、カンチレバーと試料間の引力勾配を一定に維持しながらカンチレバーで試料表面を走査することにより計測する非接触型原子間力顕微鏡において、カンチレバーと試料間に作用する静電気力を検出し、該静電気力が最小となるカンチレバーバイアス電位をカンチレバーにフィードバックすることを特徴とする。 - 特許庁

A surface area ratio ▵S^50 obtained from three-dimension data obtained by 512×512 point-measuring the 50 μm SQUARE of a surface by using an atomic force microscope and a steepness degree (a)45^50(0.2-2)例文帳に追加

原子間力顕微鏡を用いて、表面の５０μｍ□を５１２×５１２点測定して求められる３次元データより得られる表面積比ΔＳ^５０と、同じく表面の５０μｍ□を５１２×５１２点測定して求められる３次元データより波長０．２μｍ以上２μｍ以下の成分を抽出して得られる急峻度ａ４５^５０（０．２−２） とが、次の関係式［１］を満たすことを特徴とする平版印刷版用支持体。 - 特許庁

To detect, in a method detecting particles containing infinitesimal fission materials contained in a collected swipe sample by the fission track method, the particles containing the fission materials in a short time and easily by eliminating sophisticated measuring techniques using special apparatus such as an atomic force microscope and eliminating effects in which the shape of the core of a fission track depends on the surface shape of the particles.例文帳に追加

採取したスワイプ試料中に含まれる極微量核分裂性物質を含む粒子をフィッショントラック法によって検出する手法において、原子間力顕微鏡のような特殊な装置を用いた高度な測定技術を必要とせず、また、フィッショントラックのコアの形状が粒子の表面形状に依存する影響をなくして、短時間で容易に核分裂性物質を含む粒子を濃縮度別に検出する。 - 特許庁

When the surface of the semiconductor which is a measuring target is observed by a scanning tunnel microscope (STM), the STM image of the surface of the semiconductor by applying positive voltage to the semiconductor on the basis of a probe is compared with the STM image of the surface of the semiconductor obtained by applying negative voltage to the semiconductor on the basis of the probe to detect the impurity atom in the semiconductor.例文帳に追加

被測定対象物である半導体表面を走査型トンネル顕微鏡(STM)で観察する際に、探針を基準として半導体に正の電圧を印加して得られた半導体表面のSTM像と、探針を基準として半導体に負の電圧を印加して得られた半導体表面のSTM像とを比較することにより、半導体中の不純物原子を検出することを特徴とする半導体不純物原子検出方法である。 - 特許庁

The method of operating laser scanning microscope comprises: lighting a sample through at least one scanner 2; imaging the sample; measuring temperature at the scanner 2 and/or a scanner driving part; starting a cooling device 6 when limit temperature is reached; advantageously interrupting the imaging operation once the cooling device 6 is switched on; and making a display device perform optical display or acoustic display when the limit temperature is reached.例文帳に追加

本発明によるレーザ走査型顕微鏡の動作方法では、試料は少なくとも１つのスキャナ２を通じて照明され、撮像が行われ、スキャナ２および／またはスキャナ駆動部において温度測定が行われ、限界温度に達すると冷却装置６が始動され、また有利なことに、冷却装置６のスイッチがオンに入ると撮像が中断され、または限界温度に達すると表示装置が光学的表示または音響的表示を行う。 - 特許庁

To provide a technique capable of measuring accurately a topograph relative to even the sample surface whose accurate surface topograph measurement is difficult by a conventional method, by overcoming a defect that the accurate surface topograph can not be measured because an attraction detected by a cantilever tip includes both an interatomic force and an electrostatic force when executing the surface topograph measurement by a conventional noncontact type atomic force microscope.例文帳に追加

本発明は、従来の非接触型原子間力顕微鏡による表面トポグラフ計測の際に、カンチレバー先端で検出される引力には原子間力と静電気力の両方が含まれるために正確な表面トポグラフを計測できないという欠点を克服し、従来法では正確な表面トポグラフ計測が困難であった試料表面に対しても、そのトポグラフを正確に計測する技術を提供するものである。 - 特許庁

The present invention relates to a film thickness evaluation method for measuring the distribution of film thickness of an insulation thin film by using an atomic force microscope which applies a variable DC voltage between a sample and a probe held by a cantilever.例文帳に追加

試料と、カンチレバーに保持された探針との間に可変直流電圧を印加する原子間力顕微鏡を用いて、絶縁性薄膜の膜厚分布を測定する膜厚評価方法で、試料の測定領域に電圧を変化させて印加するとともに、発生電流および絶縁破壊電圧を測定し、前記測定領域のうち任意の１点の膜厚を基準値として、各測定点の絶縁破壊電圧および（１）式の関係に基づいて、前記測定領域内の相対膜厚の分布を求めることとする。 - 特許庁