「prealignment」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

WAFER PREALIGNMENT DEVICE AND ITS WAFER PRESENCE-AND- ABSENCE JUDGMENT METHOD, AND WAFER EDGE POSITION DETECTION METHOD例文帳に追加

ウエハプリアライメント装置とそのウエハ有無判定方法およびウエハエッジ位置検出方法 - 特許庁

A wafer 50 is automatically conveyed from a wafer carrier 541 to a prealignment section 520, and eccentricity errors (ΔX and ΔY) in the wafer 50 are detected by the prealignment section 520 for storing in a storage circuit.例文帳に追加

ウエハ５０をウエハキャリア５４１からプリアライメント部５２０へ自動搬送し、このプリアライメント部５２０でウエハ５０の偏心誤差（ΔＸ，ΔＹ）を検出し、記憶回路に記憶する。 - 特許庁

The appearance of especially prealignment mark on a wafer varies according to the increased density of a semiconductor.例文帳に追加

ウエハ上の特にプリアライメントマークの見えは半導体の高密度化に伴って多様となっている。 - 特許庁

The substrate transfer mechanism 20 is equipped with a substrate prealignment mechanism 50, which is provided in a substrate carry-in region IA and performs prealignment of the substrate W waiting in the substrate carry-in region IA.例文帳に追加

基板搬送機構２０は、基板搬入側領域ＩＡに設けられ、基板搬入側領域ＩＡで待機される基板Ｗのプリアライメントを行う基板プリアライメント機構５０を備える。 - 特許庁

A substrate 90, preliminarily aligned on a prealignment stage, is mounted on a bed 105 of an alignment unit 101.例文帳に追加

プレアライメントステージにおいてプレアライメントされた基板９０は、アライメントユニット１０１の台１０５上に載置される。 - 特許庁

To provide a prealignment device for an exposure apparatus which can reduce the footprint of the exposure apparatus as a whole.例文帳に追加

露光用の装置全体のフットプリントを小さくすることができる露光装置用プリアライメント装置を提供する。 - 特許庁

TRANSPARENT SUBSTRATE POSITION MEASURING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS PROVIDED WITH THE POSITION MEASURING APPARATUS, SUBSTRATE MEASURING METHOD, AND PREALIGNMENT APPARATUS例文帳に追加

透明基板の位置測定装置、該位置測定装置を備える露光装置及び基板製造方法並びにプリアライメント装置 - 特許庁

To provide a die bonder or a bonding method capable of picking up a die from a prealignment stage reliably in a short time.例文帳に追加

本本発明は、短時間で確実にダイをプリスアライメントテージからピックアップできるダイボンダ及びボンディング方法を提供することである。 - 特許庁

Processing order of prealignment final shot and global alignment first shot is determined such that the stage step driving time from the final processing shot of prealignment to the first processing shot of global alignment ends within the driving time of an object being driven in parallel.例文帳に追加

プリアライメントの最後に処理するショットからグローバルアライメントで最初に処理するショットへのステージステップ駆動時間が、並行して駆動している駆動物の駆動時間内に終るように、プリアライメント最終ショットとグローバルアライメント第１ショットのサンプルショットの処理順番を決定する。 - 特許庁

The wafer W can be extracted with the robot arm 23 from the wafer cassette 20 and is then carried to a load rock chamber 27 after the prealignment for the purpose of evacuation.例文帳に追加

ウエハＷは、ロボットアーム２３により、ウエハカセット２０から取り出され、プリアライメントの後、ロードロック室２７に搬送されて、真空引きされる。 - 特許庁

The wafer W is taken out of the wafer cassette 20 with the aid of the robot arm 23, and is conveyed to a load lock chamber 27 for evacuation, after prealignment.例文帳に追加

ウェハＷは、ロボットアーム２３により、ウェハカセット２０から取り出され、プリアライメントの後、ロードロック室２７に搬送されて、真空引きされる。 - 特許庁

By re-elevating the transfer pins 43a, 43b and 43c, the handling arm lifts the semiconductor wafer 1 (Fig (c)), and then feeds it to a prealignment part.例文帳に追加

受け渡しピン４３ａ，４３ｂ，４３ｃが再び上昇し、ハンドリングアームがクリーニング用の半導体ウェーハ１を持ち上げ（図１（ｃ））、プリアライメント部へ搬送する。 - 特許庁

To provide a method of handling a wafer that its prealignment is impossible in a simple operation without using an expensive conveyer while the throughput is not decreased.例文帳に追加

高価なウェハ搬送装置を使用せず、簡単な操作により、スループットを低下させることなく、プリアライメントが不能となったウェハをハンドリングする方法を提供する。 - 特許庁

This device replaces the mask between the first robot 30 and the second robot 40 or between the second robot 40 and the mask holder, a prealignment unit can detect the position of the mask.例文帳に追加

第１のロボットと第２のロボットの間で、および第２のロボットとマスク・ホルダの間でマスクを交換する時に、プリアライメント・ユニットがマスクの位置を検出することができる。 - 特許庁

For a substrate W transported to a substrate stage 2 from a prealignment device 50 and retained on the substrate stage 2, a deviated quantity from the center of a field in an alignment camera 30 of an alignment mark 40 printed by a first exposure on the substrate W is found to compensate the position of a next substrate W on the prealignment 50 side based on the deviated quantity.例文帳に追加

プリアライメント装置５０から基板ステージ２に搬送されて該基板ステージ２上に保持された基板Ｗについて、該基板Ｗに一層目の露光で焼き付けられたアライメントマーク４０のアライメントカメラ３０の視野中心からのずれ量を求め、該ずれ量に基づいてプリアライメント装置５０側で次回の基板Ｗの位置を補正する。 - 特許庁

Prealignment is performed on the circuit board in a process separate from a hole machining process by using an alignment device to make position data for indicating a position of the hole machining in a pattern in the circuit board.例文帳に追加

予め回路基板にアライメント装置を用いて孔加工工程とは別工程でプリアライメントを行い、回路基板内のパターンにおける孔加工の位置を示す位置データを作成する。 - 特許庁

To obtain an apparatus and a method for fabricating a semiconductor device in which prealignment is performed before a wafer enters a processing chamber and the wafer is carried into the processing chamber after dust is removed.例文帳に追加

ウェハが処理室に入室する前にプリアライメントを行う半導体装置の製造装置および半導体製造方法において、裏面のゴミを除去してからウェハを処理室に搬送する。 - 特許庁

The alignment mark has a first mark that can be utilized in global alignment measurement regarding a scribe line direction, and a second mark that can be utilized in prealignment measurement regarding the direction that orthogonally crosses the scribe line direction.例文帳に追加

アライメントマークは、スクライブライン方向に関してグローバルアライメント計測に利用可能な第１マークと、スクライブライン方向に直交する方向に関してプリアライメント計測に利用可能な第２マークを有する。 - 特許庁

To provide a substrate transfer mechanism for an exposure apparatus, the mechanism saving a space as well as capable of transferring a substrate into an exposure region while keeping the positional accuracy by prealignment, and to provide a substrate position adjustment method using the mechanism.例文帳に追加

省スペース化が図られると共に、プリアライメントによる位置精度を維持したまま基板を露光領域に搬送できる露光装置用基板搬送機構及びそれを用いた基板位置調整方法を提供する。 - 特許庁

To provide a vacuum deposition system with masking, in which film deposition can be repeatedly performed by shifting the same mask with the same micropattern on by prealignment in air without an alignment operation in vacuum.例文帳に追加

本発明は、上記のような真空中でのアライメント作業をなくし、大気中でのプリアライメントのみで、同一マスクを用い、同一微細パターンをずらせながら、繰り返し成膜することができる真空マスク装置を提供する。 - 特許庁

To position a substrate in such a manner that two edges orthogonal each other of the substrate mounted on chucks of an exposure device having a plurality of chucks do not deviated from the detection range of a sensor for prealignment provided in each chuck.例文帳に追加

複数のチャックを有する露光装置の各チャックに搭載された基板の直交する二辺の縁が、チャック毎に設けたプリアライメント用のセンサーの検出範囲から外れない様に、基板を位置決めする。 - 特許庁

The semiconductor wafer 1 is, after rotated at the prealignment part (Fig (d)), fed to an inspection part again, and transferred to the transfer pins 43a, 43b and 43c (Fig (e)), and then mounted on the inspection stage chuck 42 (Fig (f)).例文帳に追加

クリーニング用の半導体ウェーハ１は、プリアライメント部で回転された後（図１（ｄ））、再び検査部へ搬送されて受け渡しピン４３ａ，４３ｂ，４３ｃへ受け渡され（図１（ｅ））、検査ステージチャック４２上に搭載される（図１（ｆ））。 - 特許庁

When the eccentricity does not fall within the tolerance, the wafer is rotated in a prealignment unit so that the direction of the wafer eccentricity when the wafer is returned to a wafer carrier by using a wafer conveyer matches the direction in which the wafer carrier withdraws the wafer (5).例文帳に追加

偏芯量が許容範囲に収まらなかった場合には、プリアライメント部でウェハを回転させ、ウェハ搬送装置を使用してウェハをウェハキャリアに戻したときのウェハの偏芯している方向が、ウェハキャリアのウェハの引き出し方向に一致するようにする（ ）。 - 特許庁

The mounting position of the die on the prealignment stage 31s is the same or substantially same level as the bonding position to the substrate and the tip end of the component recognition camera 42 or is lowered relatively therefrom, and located above the die supply section.例文帳に追加

また、プリアライメントステージ３１ｓに前記ダイを載置する載置位置は、前記基板へのボンディング位置及び前記部品認識カメラ４２の先端面の同じかほぼ同一レベルより相対的に下げ、ダイ供給部の上面より上側に設けることを第２の特徴とする。 - 特許庁

To employ a serial-transmission encoder for a rotation detection unit that provides rotation information of a wafer mounting stage that rotates while holding a wafer, to thereby allow a notch to be positioned highly precisely even when the rotation information is provided only intermittently, in a wafer prealignment apparatus.例文帳に追加

ウェハプリアライメント装置において、ウェハを保持して回転するウェハ搭載ステージの回転情報を与える回転検出部に、シリアル伝送タイプのエンコーダを採用して、回転情報を間欠的にしか得ることができなくても、ノッチ位置を高精度に位置決めさせる。 - 特許庁

The prealignment mechanism 50 includes reference pins 51, 52 placed near one side of opposing sides of the substrate W and capable of advancing and retreating in a vertical direction and push pins 53, 54 placed near the other side of the opposing sides and capable of advancing and retreating in a vertical direction and movable in a direction toward the substrate W.例文帳に追加

プリアライメント機構５０は、基板Ｗの対向辺の一側近傍に配置される、上下方向に進退可能な基準ピン５１，５２と、対向辺の他側近傍に配置され、上下方向に進退可能、且つ、基板Ｗに向かう方向に移動可能な押し当てピン５３，５４とを有する。 - 特許庁