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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > 二次ビームの意味・解説 > 二次ビームに関連した英語例文

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二次ビームの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 235



例文

ビームの反射に誤差が生じにくく、光ビームを所望の経路で元的に走査させることができる三元形状造形物の製造装置を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide an apparatus for manufacturing an article with a three-dimensional shape where an error is hardly generated in the reflection of an optical beam, and the optical beam can be scanned in a two-dimensional way on a desired course. - 特許庁

電子ビームの照射領域を確保しつつ、電子ビームの倍率色収差を抑制することができる基板検査装置およびこれを備えた検査システム並びに基板検査装置の制御方法を提供する。例文帳に追加

To provide a board inspection apparatus by which the magnification chromatic aberration of a secondary electron beam can be suppressed, while the irradiation region of a primary electron beam is being ensured, to provide an inspection system provided with the board inspection apparatus, and to provide a control method for the board inspection apparatus. - 特許庁

ウエハ22の表面に電子ビーム39を1回または所定の間隔で複数回照射し、照射した電子ビーム39よりも多くの電子を発生させて、ウエハ22から的に発生するエネルギーの高い電子を検出器16で検出する。例文帳に追加

The secondary electrons, having higher energy which are secondarily generated from a wafer 22, are detected with a detector 16 by having the electron beam 39 irradiated once or a several times in a predetermined interval to the surface of the wafer 22, and then generating an amount of secondary electrons larger than the irradiated secondary beam 39. - 特許庁

電子光学系はマルチビーム生成器、マルチビームを試料上に同時に走査させる走査用偏向器、マルチビームを減速し試料に照射すると共に電子線を加速する対物レンズ、及び対物レンズを通過した複数の電子線を検出系へ偏向させる電子線分離器を含む。例文帳に追加

The primary electron optical system comprises a multi-beam generator, a deflecting system for scanning for scanning multi- beams on the sample at the same time, an objective for decelerating the multi- beams to irradiate the sample and accelerating a secondary electron beam, and a secondary electron beam separator for deflecting a plurality of secondary electron beams passing through the objective to the detecting system. - 特許庁

例文

試料の所望領域を一荷電粒子ビームで走査し、一荷電粒子ビームの照射により領域から的に発生する荷電粒子を電子変換電極33に衝突させた後、電子変換電極33の上記試料側の面に絶縁物を介して固定した第1のE×B偏向器31により発生する電子を検出器34に取り込む。例文帳に追加

After scanning a desired region of a testpiece by a primary charged particle beam and colliding secondary charged particles secondarily generated from the region by irradiation of the primary charged particle beam with secondary electron conversion electrodes 33, secondary electrons generated by a first E×B deflector 31 fixed to the surface on the sample side of the secondary electron conversion electrodes 33 via an insulating material is taken in a detector 34. - 特許庁


例文

電子ビーム照射面13aは、電子ビームBの光軸方向である高さ方向の位置がその面内位置により異なり、また電子ビームBを照射されることにより反射電子及び電子のうちの少なくとも一方を発生する。例文帳に追加

The electron beam irradiation surface 13a is different in a position in the height direction being an optical axis direction of the electron beam B depending on its in-plane direction, and generates at least either of reflection electrons and secondary electrons by being irradiated with the electron beam B. - 特許庁

電子銃11から放出された電子線を複数の電子ビームに形成し、電子ビームで試料S上を走査して照射する光学系10と、電子ビームの照射により試料から放出された電子を検出する複数の検出器21とを備えている。例文帳に追加

This electron beam device is equipped with an optical system 10 forming an electron beam emitted from an electron gun 11 in a plurality of electron beams and scanning the electron beams on a sample S for irradiation; and a plurality of detectors 21 for detecting secondary electrons emitted from the sample by irradiation of the electron beams. - 特許庁

X線検出用導管5内には、X線入射用導管2aを介して入射した一X線ビームを受けてX線ビームを発生し、X線検出用導管5の先端部を経て試料に照射するためのターゲット3が備えられている。例文帳に追加

The inside of the conduit 5 for X-ray detection is provided with a secondary target 3 for receiving a primary X-ray beam incident via a conduit 2a for X-ray incidence, generating a secondary X-ray beam, and irradiating it to the sample via the tip part of the conduit 5 for X-ray detection. - 特許庁

) マスク、半導体素子又は集積回路の製造をすることができるように設計した装置であって、電子ビーム、イオンビーム又はレーザー光を用いた装置のうち、のいずれかに該当するもの例文帳に追加

2. Equipment designed to be capable of manufacturing masks, semiconductor devices or integrated circuits, among those using electron beams, ion beams or laser beams, those that fall under any of the following  - 日本法令外国語訳データベースシステム

例文

試料断面領域近傍に集束イオンビーム1を走査照射してエッチング加工しながら、集束イオンビーム1を照射することにより発生する電子2を検出する。例文帳に追加

While executing etching work by scanning and irradiating the vicinity of a sample cross section region with a focused ion beam 1, secondary ions 2 generated by the irradiation of the focused ion beam 1 are detected. - 特許庁

例文

イオン注入装置は、イオン注入用ビームに対して基板の元走査を行って、ビームが基板上に走査線のラスタを描くようにする。例文帳に追加

An ion implanter carries out two-dimensional scanning of a substrate relative to a beam for ion implantation so that the beam draws a raster of scan line on the substrate. - 特許庁

イオン源2、イオン源2から発生したイオンビームを被加工材料3上に細く集束するための集束レンズ4、及び、イオンビームにより被加工材料3上を元的に走査するための偏向器5等を備える。例文帳に追加

The focused ion beam device comprises the ion source 2, focusing lens 4 to finely focus the ion beam generated from the ion source 2 on the material 3 to be processed, a deflector 5 for secondary scanning on the sample by means of the ion beam and so forth. - 特許庁

ガード電極11の開口は、電子ビーム9及び電子ビーム9の照射により試料7から発生する電子が通過するために十分な面積を確保する。例文帳に追加

The opening of the guard electrode 11 secures an area enough for the electron beams 9 and secondary electrons generated from the sample 7 by irradiation of the electron beams 9 to pass through. - 特許庁

主ミラー136は、受信したビーム142を的ミラー138に向け且つ光送信エネルギ148をテレスコープ102外から送信ビーム142で伝える。例文帳に追加

The main mirror 136 turns a received beam 142 to the secondary mirror 138 and transmits optical transmission energy 148 with the transmission beam 142 from outside the telescope 102. - 特許庁

さらに、電子ビーム源である強誘電体層2の表面に、電子放出能力の高いMgO膜や窒化アルミニウム膜等を積層して、電子ビーム放出密度を高める。例文帳に追加

Furthermore, on the surface of the ferroelectric layer 2 of the electron beam source, MgO films or aluminum nitride films or the like are laminated which have high secondary electron discharge ability, and electron beam discharge density is enhanced. - 特許庁

はじめに、符号化されたデータストリームがつの直交基準ビームに沿って送信されパワーロードされる2ビームフォーマを有する送信装置が述べられる。例文帳に追加

First, it states a transmission device that has a two-dimensional beamformer in which an encoded data stream is transmitted along two of orthogonal reference beams and is power-loaded. - 特許庁

マイクロスケールという特定の試料の電子信号の特長から、ビーム特性に対応する特長量としてのビーム半値幅を日々計測することにより、装置特性の経時変化をモニターする。例文帳に追加

A change of device characteristics with the passage of time is monitored everyday from the feature of a secondary electron signal of a specific specimen such as a micro-scale, by measuring a beam half breadth serving as the quantity of the feature corresponding to beam characteristics. - 特許庁

また、微粒子2に集束イオンビームを照射し、この集束イオンビームの照射により放出されるイオンを検出して微粒子2の成分分析を行う。例文帳に追加

The fine particle 2 is irradiated with a converged ion beam, and secondary ions discharged by the irradiation of the converged ion beam are detected so as to perform the component analysis of the fine particle 2. - 特許庁

光走査光学系20は、光ファイバー10からの光ビームを一定方向に偏向する反射面22と、反射面22からの光ビーム元的に走査する走査ミラー24を含んでいる。例文帳に追加

The system 20 includes a reflection surface 22 deflecting a light beam from the optical fiber 10 in a fixed direction, and a scanning mirror 24 scanning the light beam from the surface 22 two-dimensionally. - 特許庁

複数の検出器で電子群によるマルチビームの各ビームに対応する信号を検出し、試料面上のパターンの評価を行なう。例文帳に追加

Signals corresponding to the respective beams of the multiple beams by the secondary electron group are detected by a plurality of detectors, and the evaluation of the pattern on the test piece face is carried out. - 特許庁

それとともに、結像した光線の元的形状から得られるX方向ビーム径A1またはY方向ビーム径A2が最小値となるときの結像点32を求める(ステップS290)。例文帳に追加

Along with this, an imaging point 32 when an X-direction beam diameter A1 or Y-direction beam diameter A2 obtained from a two-dimensional shape of the imaged light beam becomes a minimum value is obtained (step S290). - 特許庁

この様な観察において、観察領域の電子ビーム像を得る前に、少なくとも観察領域を含む領域に対して帯電が起こらない様に電子ビームでプリ照射する。例文帳に追加

In this kind of observation, before the secondary electron beam image in the observation region is obtained, it is pre-irradiated with the electron beam at least to the region including the observation region so that the electrostatic charge does not occur. - 特許庁

実書込み状態の書込みビーム像を実画像と同様の元画像データとして、取得することのできる光書込み系のビーム測定評価装置を提供する。例文帳に追加

To provide a beam measuring and evaluating device for an optical writing system which can obtain a write beam image in an actual writing state as two-dimensional image data similar to an actual image. - 特許庁

集束イオンビーム(FIB)装置内で電子検出に用いるシンチレーション検出器組立体で電子エネルギーの有効範囲の大部分について電子収集効率ほぼ100パーセントを達成する。例文帳に追加

Secondary electron collection efficiency is achieved nearly 100% for majority part of the effective range of the secondary electron energy by a scintillation detector assembly that is used for detecting secondary electron in the focusing ion beam(FIB). - 特許庁

照射面の元情報を保持したまま高質量数のイオンをパルス化できるガスクラスターイオンビームを用いた飛行時間型イオン質量分析装置を提供する。例文帳に追加

To provide a time-of-flight secondary ion mass spectrometer using a gas cluster ion beam in which secondary ions with a high mass-number can be pulsed while holding the two-dimensional information of the irradiation surface. - 特許庁

ホ 液体ジェット加工をすることができる工作機械、電子ビーム加工機又はレーザー加工機であって、の(一)及び()に該当するもの例文帳に追加

(e) Machine tools capable of liquid jet machining, electron beam machines or laser beam machines that fall under any of the following categories 1. or 2.  - 日本法令外国語訳データベースシステム

粒子の再付着層が形成されても断面観察への影響がほとんどないイオンビーム装置を提供する。例文帳に追加

To provide an ion beam device with little influence on cross section observation even if a reattachment layer of secondary particles is formed. - 特許庁

ボクセルのスライス230中の各ビーム232を読込み、元のセクション境界に達するまで処理を行う。例文帳に追加

Each beam 232 of voxel slices 230 is continuously read up to a two-dimensional section boundary. - 特許庁

イオンビームを照射することによって生成された粒子が加工領域に再付着することを抑制する。例文帳に追加

To restrain secondary particles generated by irradiation of ion beams from adhering again to a processing area. - 特許庁

選択を特に後方散乱電子及び電子に従って容易に行なうことができる検出装置を有する電子ビーム装置を提供すること。例文帳に追加

To provide an electron beam device with a detecting device capable of easily making a selection especially based on the difference between backscattered electrons and secondary electrons. - 特許庁

耐熱性、耐放射線性及び電子放出特性に優れている量子ビームモニタ用電極を提供すること。例文帳に追加

To provide an electrode for a quantum beam monitor superior in heat resistivity, radiation resistivity and secondary electron discharge characteristics. - 特許庁

フォーカストイオンビームが構成体へ付与される場合に発生される電子を検知することによって生の検知器信号を発生する。例文帳に追加

A raw detector signal is generated by detecting secondary electrons generated in case that the focused ion beam is given to the forming body 1720. - 特許庁

レーザ画素11の元アレイは、基板10に直交したレーザ光の画像ビーム13を放出する。例文帳に追加

The two-dimensional array of the laser pixel 11 emits an image beam 13 of a laser beam vertical to the substrate 10. - 特許庁

に、第層膜130の表面にレジスト層140を形成し、レジスト層140の表面に電子ビームAを照射し、露光する。例文帳に追加

Then, a resist layer 140 is formed on the surface of the second layer film 130 and the surface of the resist layer 140 is irradiated with an electron beam A for exposure. - 特許庁

電子線描画のフォーカス合わせを、段差状パターン11に描画電子ビームを当ててエッジ15の電子像を観察しながら行う。例文帳に追加

An electron-beam exposure system is focused while the stepped pattern 11 is irradiated with a drawing electron beam and the secondary-electron image of the edge 15 is observed. - 特許庁

複数本の電子ビーム調整を、効率良く実施することのできる半導体検査装置および欠陥検査方法を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a semiconductor inspection device and a defect inspection method that efficiently adjusts a plurality of secondary electron beams. - 特許庁

ミラーピースの取付け作業及び交換作業が容易なビームダウン型太陽集光装置のミラーを提供する。例文帳に追加

To provide a secondary mirror of a beam down-type solar light condenser, in which attaching work and exchanging work of a mirror piece is easy. - 特許庁

超音波ビーム元走査する場合において、音速制御素子を用いて送信チャンネル数及び受信チャンネル数を削減する。例文帳に追加

To reduce the number of transmitting channels and receiving channels using a sound velocity control element when two-dimensionally scanning an ultrasonic beam. - 特許庁

構成の簡素化と装置の小型化を図りながら、ビーム元方向に円滑に走査できる光走査装置を提供する。例文帳に追加

To provide an optical scanner for simplifying the constitution, reducing the size and smoothly scanning a beam in two-dimensional directions. - 特許庁

簡単な構成でありながら、元配列された光ビームの配列間隔を特定の方向にのみ着目して変換する。例文帳に追加

To transform the arraying intervals of two-dimensionally arrayed light beams in a specific direction in a simple composition. - 特許庁

セルラーの基地局への使用に好適な改良型元スマートアンテナアレイのビームフォーミング方法を提供する。例文帳に追加

To provide a beam forming method for an improved two-dimensional smart antenna array suited for use in a cellular base station. - 特許庁

的ミラー138は、受信したビーム144を受信した光エネルギ146として共用経路108内に更に向ける。例文帳に追加

The secondary mirror 138 turns the received beam 144 to the common path 108 as received optical energy. - 特許庁

集束イオンビーム装置は、検出器からの粒子信号によって生成された原画像を画素補間により拡大し表示する。例文帳に追加

This focused ion-beam device displays an enlarged image of an original image by enlarging it with a pixel-by-pixel interpolation, wherein the original image is generated by second particle signals sent from a detector. - 特許庁

の方法では、セルに対して光を照射した状態で、セルに荷電粒子ビームを照射して、セルから発生する粒子を測定する。例文帳に追加

In the method (2), the cells irradiated with light are irradiated with a charged particle beam and secondary particles generated from the cells are measured. - 特許庁

複数の電子ビームで試料上の複数の箇所を走査する一光学系10と、電子ビームの走査により試料Sから放出された電子を複数の電子に集束して、各々の検出器31に導入する光学系20と、導入された複数の電子をそれぞれ検出する検出系30とを備えている。例文帳に追加

The electron beam device comprises a primary optical system 10 which scans a plurality of locations on the sample by a plurality of electron beams, a secondary optical system 20 which converges the secondary electrons emitted from the sample S by the scanning of electron beams into a plurality of secondary electrons and introduces into each detector 31, and a detection system 30 which detects respectively the plurality of introduced secondary electrons. - 特許庁

また、この方法は、第1の荷電粒子ビーム及び第2の荷電粒子ビームを、それに応答して信号を発生するように構成された検出器で受け取り、その信号に応答して第1領域及び第2領域の像を形成することも含む。例文帳に追加

The method also includes: receiving the first secondary charged particle beam and the second secondary charged particle beam at a detector configured to generate a signal in response to the beams; and forming an image of the first and the second regions in response to the signal. - 特許庁

変換電極6に入射するイオンビームの入射方向と、電子出射口63の中心64とシンチレータ71の中心73とを結ぶ線75とが、鋭角をなすように、イオンビーム輸送部5,変換電極6および電子検出系7は設置されている。例文帳に追加

An ion beam transport part 5, a conversion electrode 6, and a secondary electron detecting system 7 are arranged so that the incident direction of ion beams incoming in the conversion electrode 6 and a line 75 connecting the center 64 of a secondary electron outgoing opening 63 and the center 73 of a scintillator 71 form an acute angle. - 特許庁

イオンビーム欠陥修正装置の通常のイオン像もしくは電子像からのパターンマッチング加工に対する照射領域の補正と同様な補正を行い、AFMで抽出し、位置合わせ用のパターンの合わせ込みで微調整された欠陥領域3bをイオンビーム8で修正する。例文帳に追加

A correction similar to the correction of irradiated region with respect to the pattern matching processing from the usual secondary ion image or secondary electron image of the ion beam defect correcting device is performed and a defect region 3b which is extracted by the AFM and is subjected to fine adjustment by the conformation of the pattern for alignment is corrected by ion beams 8. - 特許庁

イオンビームにより発生したダメージ層の除去加工中に、電子ビーム光学システムで形成された電子ビームを試料に照射することにより発生する透過電子を元検出器で検出し、当該元検出器で得られたディフラクションパターンのぼけ量に基づいてダメージ層の除去加工を終了するタイミングを判定する。例文帳に追加

During work of removing a damaged layer which arises from an ion beam, transmitted electrons are detected with a two-dimensional detector, the transmitted electrons arising by irradiating a sample with an electron beam formed by an electron beam optical system, and the timing of the completion of the work of removing the damaged layer is determined on the basis of the blur amount of a diffraction pattern obtained with the two-dimensional detector. - 特許庁

例文

元フォトニック結晶による半導体レーザにおいて、元フォトニック結晶を構成する格子を矩形領域に円孔を配列させて形成し、この格子形成において矩形領域の外周部分である端部の構成を異ならせることで、出射ビームビーム形状を単峰性ビームとする。例文帳に追加

In the semiconductor laser by the two-dimensional photonic crystal, a lattice constituting the two-dimensional photonic crystal is formed by orienting circular holes in a rectangular region, and a structure of an end part which forms an outer peripheral portion of the rectangular region is made different in forming this lattice, thereby forming the beam shape of the outgoing beam as the unimodal beam. - 特許庁

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※この記事は「日本法令外国語訳データベースシステム」の2010年9月現在の情報を転載しております。
  
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