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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > 二次ビームの意味・解説 > 二次ビームに関連した英語例文

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二次ビームの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 235



例文

基板検査装置1は、荷電粒子ビームを基板上で元的に走査させて得られる走査画像に基づいて基板検査を行う基板検査装置において、走査画像から基板上の検査対象領域の特定部位の座標データを取得する座標データ取得手段7を備える。例文帳に追加

This substrate inspection apparatus 1 which inspects a substrate based on a scanned image obtained by two-dimensionally scanning a charged particle beam on the substrate is provided with a coordinate data acquiring means 7 for acquiring coordinate data of a specific portion in a region to be inspected on the substrate from the scanned image. - 特許庁

さらに、第陽極4と第一収束レンズ6の間には、相異なる複数の開口径の絞りを持った絞り機構34が配置され、この絞りによって、第一収束レンズ6方向へ進行する一電子ビーム3のプローブ電流Ipの最大値が決定される。例文帳に追加

A restricting mechanism 34 having a throttle having a plurality of different opening diameters is arranged between a second anode 4 and a first focusing lens 6, and the maximum value of probe current Ip of the primary electron beam 3 advancing toward the first focusing lens 6 is determined by the throttle. - 特許庁

一方で、荷電粒子ビームの電流値および照射エネルギー、被検査基板表面での電場、電子および後方散乱電子の放出効率等を考慮し、検査画像と一致させるように電気抵抗や電気容量を決定する。例文帳に追加

The current value and the irradiation energy of the charged particle beams, the electric field on the surface of the substrate to be inspected, the emission efficiency of the secondary electrons and back scattered electrons, etc., all taken into consideration, the electrical resistance and the electrical capacity are determined so as to match with those of the inspection image. - 特許庁

半導体ウエハ等の被検査基板9に荷電粒子ビーム19を照射することによって、発生した電子や後方散乱電子を検出器20に取り込み、取り込んだ電子数に比例した信号を発生させ、その信号をもとに検査画像を形成させる。例文帳に追加

Secondary electrons or back scattering electrons, produced by irradiating a semiconductor wafer 9 as an object of check with a charged particle beam, are introduced into a detector 20 to generate signals proportional to the number of the introduced electrons, and a check image is formed on the basis of these signals. - 特許庁

例文

試料観察時、倍率制御回路12は偏向制御回路10に倍率コントロール信号を送り、制御装置26はテーブル26から観察倍率に応じた飛び越し走査線数を呼び出して、偏向制御回路10に供給し、電子ビームで試料上を元的に飛び越し走査させる。例文帳に追加

At the observation of the sample, a magnification control circuit 12 sends a magnification control signal to a deflection control circuit 10 and the control device 26 calls the interlaced scanning line number corresponding to the observation magnification from the table 26 and supplies it to the deflection control circuit 10, and makes interlaced scanning two-dimensionally on the sample by electron beam. - 特許庁


例文

フライングスポット電子光学読取装置における移動レーザビームの作動環境は、目標物の元画像を捕捉する前に、発光ダイオードにより生成された可視線のオン・オフすることにより、半導体センサベース画像化読取装置においてシミュレートされる。例文帳に追加

The operating environment of a moving laser beam in a flying spot electrooptical reader is simulated in a semiconductor sensor-based imaging reader by turning a visible line produced by a light emitting diode on and off before capturing the two-dimensional image of a target. - 特許庁

光源からのビームをミラーで反射させて走査対象物を元的に走査し、反射光及び透過光を検出して前記走査対象物の画像を作製する方法で、走査時間と解析時間の短縮化を達成する。例文帳に追加

To provide a method for producing an image of an object to be scanned which two-dimensionally scans the object to be scanned by reflecting beams from a light source by a mirror to detect a reflected light and a transmitted light, thereby attaining a shortening of a scanning time and an analysis time. - 特許庁

光走査装置では、コリメータレンズ22が、複数の発光部が光源面に元的に配列されたレーザ光源から出射されるレーザビームの光軸に対する傾きが第1チルト方向T1及び第2チルト方向T2に沿ってそれぞれ独立に調整可能とされている。例文帳に追加

The optical scanner is provided in which the tilt of a collimator lens 22 with respect to the optical axis of laser beams is independently adjustable in a first tilt direction T1 and a second tilt direction T2, respectively, the laser beams being emitted from the laser light source in which the plurality of light emitting parts are two-dimensionally arranged on the light source surface. - 特許庁

2つのビーム11b,11cが互いに近づいたり離れたりする元的な弾性変形が可能にされた平板状のコンタクト11を、絶縁ハウジング10のコンタクト支持部10aに揺動できるように保持してフローティング構造とする。例文帳に追加

A tabular contact 11, in which two-dimensional elastic deformation is possible with which two beams 11b, 11c mutually approach or separate, is held swingingly by a contact support part 10a of an insulating housing 10 to form a floating structure. - 特許庁

例文

一方で、荷電粒子ビームの電流値および照射エネルギー、被検査基板表面での電場、電子および後方散乱電子の放出効率等を考慮し、検査画像と一致させるように電気抵抗や電気容量を決定する。例文帳に追加

The electrical resistance and capacitance of the surface of the wafer 9 are determined so as to agree with a check image, taking the current value and irradiation energy of the charged particle beam, an electric field, and the emission efficiencies of secondary electrons and back-scattered electrons on the surface of the wafer 9 into consideration. - 特許庁

例文

マイクロミラー6自体の回転方向18と、ガルバニックミラーの回転方向15とが結合された2軸回転運動をするため、光源1から出射されたビームは光学系2を通過してマイクロミラー6によって反射され、直ちに元領域をラスタースキャンする。例文帳に追加

Due to biaxial rotary movement in which a rotary direction 18 of a micro mirror 6 itself and a rotary direction 15 of the galvanic mirror are combined, a beam emitted from the light source 1 is reflected by the micro mirror 6 through the optical system 2, raster-scanning a two-dimensional area immediately. - 特許庁

さらに、第陽極4と第一収束レンズ6の間には、相異なる複数の開口径の絞りを持った絞り機構34が配置され、この絞りによって、第一収束レンズ6方向へ進行する一電子ビーム3のプローブ電流I_pの最大値が決定される。例文帳に追加

In addition, a throttle mechanism 34 having throttles with a plurality of different opening diameters is disposed between a second anode 4 and a first focus lens 6, and the maximum value of the probe current I_p of the primary electron beam 3 travelling toward a first focus lens 6 is determined by this throttle. - 特許庁

電池は、正極金属箔同士および正極箔密着積層部と積層部密着部とを、積層方向、積層部密着部側から箔密着積層部側に進むエネルギビームEBを、その照射部位L1を移動させつつ照射して、溶接してなる。例文帳に追加

The secondary battery is formed by welding the positive electrode metal foils to each other and the positive electrode foil-adhered and laminated portion and the laminated portion-adhered portions to each other while irradiating their irradiation sites L1 being moved with the energy beams EB entering from the laminated portion-adhered portions to the foil adhered and laminated portion in the laminating direction. - 特許庁

試料表面の観察領域を電子ビームを照射で走査し、観察領域の斜め上方に配置された検出器99aによる電子の検出信号に基づいて画像(SEM画像)を取得し、その画像に現れるパターン82の影の長さLを検出する。例文帳に追加

An observation area of the surface of a sample is scanned by irradiating an electronic beam, an image (SEM image) is acquired based on a detection signal of a secondary electron by a detector 99a arranged at a diagonal upper part of the observation area, and length L of a shadow of a pattern 82 which appears on the image is detected. - 特許庁

このリチウム電池用電極の製造方法は、Li_2OとCoとを組み合わせる工程と、電子ビーム加熱真空蒸着装置1を用いて、集電体7上にLi−Co−O層を含む正極活物質層を形成する工程とを備える。例文帳に追加

The method for manufacturing the electrode for the lithium secondary battery includes a process where Li_2O is coupled with Co, and a process where a positive pole active material layer containing an Li-Co-O layer is formed on a collector 7 using an electron beam heating vacuum vapor- deposition apparatus 1. - 特許庁

半導体ウエハ等の被検査基板9に荷電粒子ビーム19を照射して、発生した電子や後方散乱電子を検出器20に取り込み、取り込んだ電子数に比例した信号を発生させ、その信号をもとに検査画像を形成させる。例文帳に追加

A substrate to be inspected 9 such as a semiconductor wafer etc. is irradiated with charged particle beams 19, generated secondary electrons or back scattered electrons are captured into a detector 20, signals in proportion to the number of taken-in electrons are caused to occur, and an inspection image is formed on the basis of the signals. - 特許庁

試料10の表面が所定の電気抵抗値を有する抵抗膜42により被覆され、荷電粒子ビーム2が試料10に照射され、試料表面から発生される荷電粒子等が検出部18により検出される。例文帳に追加

The surface of the sample 10 is covered with a resistance film 42 having a prescribed electric resistance value, the sample 10 is irradiated with the charged particle beam 2, and secondary charged particles or the like generated from the surface of the sample are detected by the detection part 18. - 特許庁

抵抗特性を測定すべき被検試料10aに陽イオンビームを照射して帯電させた後、被検試料10aを走査イオン顕微鏡にて観察し、被検試料10aから生じる電子による電子像(電子像)のコントラストから、電気抵抗値がその他の領域とは異なる箇所(低抵抗箇所)6を検出する。例文帳に追加

After the sample 10a to measure the resistance characteristics is irradiated with cation beams and charged, the sample 10a is observed with a scanning ion microscope, and the part (low resistance part) 6 where the electric resistance is different from the other area is detected from the contrast of electronic images (secondary electronic images) by a secondary electron from the sample 10a to be tested. - 特許庁

ガラス基板上22の遮光膜21に被加工領域25以外の場所にあらかじめイオンビームで形成しておいた微細な参照穴23を含む領域24を走査するときに、下地膜に含まれる原子種のイオン信号を検出するのではなく、基板に注入された入射イオンと同じ原子種のイオン信号を検出し、穴の位置23を記憶しておく。例文帳に追加

When a region 24 including a minute reference hole 23 previously formed by an ion beam in a place other than a machining region 25 in a shading film 21 on a glass substrate 22, the position 23 of the hole is memorized by detecting a secondary ion signal of the same atomic species as entered ions injected into the substrate instead of detecting the secondary ion signal of atomic species included in a base film. - 特許庁

低真空SEMにおける試料周辺の残留ガス分子による電子増幅法と吸収電流を利用して画像を形成する方式に於いて、比較的少ない部品数で電極が作用する電界や1電子ビームの散乱を考慮した設計によって、低真空における高分解能・良好な像質での観察を可能とする。例文帳に追加

In a method that an image is formed by utilizing a secondary electron amplification by residual gas around a sample in a low vacuum scanning electron microscope(SEM) and an absorption current, the observation with high resolution and good image quality is enabled by an electric field in which an electrode acts with the comparatively reduced number of parts and a design taking scattering of a first electron beam into consideration. - 特許庁

鉄化合物からなる基板ないしは鉄化合が形成されてなる基板に、任意の位置、任意の形状に電子ビームを照射し、照射条件、照射時間をコントロールすることによって、任意の鉄酸素組成比の鉄酸化物をドット状、線状、元形状あるいは三元構造に生成させることを特徴とする、前記(4)項に記載の鉄酸化物の製造方法。例文帳に追加

In the method of manufacturing iron oxide, iron oxide having an optional iron/oxygen composition ratio is formed into dot-like, line-like, two dimensional shaped or three dimensional structure by irradiating a substrate which is composed of an iron compound or on which the iron compound is formed, at an optional position and in an optional shape, with an electron beam while controlling the irradiation condition and the irradiation time. - 特許庁

元情報を有する情報光1をフォトリフラクティブ媒質13に入力すると共に、フォトリフラクティブ媒質13にビームファニング・スペックル6を発生させるスペックル発生光9を入力し、ビームファニング・スペックル6と情報光1とをフォトリフラクティブ媒質13内で交差させることによりフォトリフラクティブ媒質13に干渉縞を形成してホログラムを記録する。例文帳に追加

A hologram is recorded by allowing information light 1 having two-dimensional information to enter a photorefractive medium 13, while allowing speckle generating light 9 which generates beam-fanning speckles 6 to enter the photorefractive medium 13, and allowing the beam-fanning speckles 6 and the information light 1 to intersect with each other in the photorefractive medium 13 to produce interference fringes in the medium 13. - 特許庁

透明なプラスチック袋10の表面に黒いインクで帯状の印刷面4を形成し、ここにレーザマーカーでレーザビームを瞬間的に照射してインク膜6を部分的に昇華させて除去し、この部分を白いセル2bとし、黒いインク膜6が残った部分を黒いセル2aとした元コード1を形成したものである。例文帳に追加

On the surface of a transparent plastic bag 10, a beltlike printing surface 4 is formed using black ink, on which a laser beam is momentarily radiated with a laser marker to partially sublimate the ink film 6 to remove it, leaving the part as a white cell 2b and the part left with the ink film 6 as a black cell 2a to form the two-dimensional code 1. - 特許庁

光学的コード読取装置とデジタルカメラとを含む、目標画像を記録するために半導体センサを使用する電子光学画像化システムにおいて、線形センサ及び元センサベースの手持式バーコード読取装置において特に有用である、点滅するレーザビームの様子をシミュレートする装置及び方法を提供する。例文帳に追加

To provide an apparatus and a method for simulating the state of a flickering laser beam which is especially useful in a hand-held bar code reader of a linear sensor-based and a two-dimensional sensor in an electrooptical imaging system which includes an optical code reader and a digital camera and uses a semiconductor sensor in order to record a target image. - 特許庁

黒色の酸化イットリウム溶射皮膜の表面を、酸素ガスやオゾンガス、亜酸化窒素ガスなどの強酸化性ガスによってシールした状態でレーザビーム照射することによって、黒色の皮膜を白色化するとともに、皮膜の表面を構成する酸化イットリウム粒子を溶融一体化させて再結晶層を生成させる。例文帳に追加

A black yttrium oxide thermal-sprayed film is changed into white by irradiating the surface of the film with a laser beam in a sealed state with a highly oxidative gas such as oxygen gas, ozone gas and nitrous oxide gas, as well as yttrium oxide particles constituting the surface of the film are fused to integrate to produce a secondary recrystallized layer. - 特許庁

四辺形のプラテン上で四辺形のスライダ部を2元方向に位置制御するXYステージにおいて、 前記スライダ部の四辺の少なくとも三辺に設けられたバーミラーと、 前記プラテンの四辺の少なくとも辺に沿って固定配置され、前記バーミラーに照射したレーザビームの反射光を受光する複数個のレーザ干渉計と、を備える。例文帳に追加

This XY stage for two-dimensionally position-controlling the quadrilateral slider parts on the quadrilateral platen, is equipped with the bar mirrors provided on at least three sides out of the four sides of each of the slider parts and a plurality of laser interferometers fixedly disposed along at least two sides out of the four sides of the platen for receiving reflected light of laser beams applied to the bar mirrors. - 特許庁

ルツボ内の蒸着原材料を電子ビームにより加熱するときに発生する電子もしくは反射電子が、プラスチックフィルム基材に到達するのを極力抑えることで、フィルム帯電による悪影響を未然に防ぐことができる蒸着薄膜の製造方法を提供することにある。例文帳に追加

To provide a method for producing a vapor-deposited thin film by which the arrival of secondary electrons or reflection electrons occurring in the heating of a vapor depositing raw material in a crucible by an electron beam at a plastic film base material can be suppressed as possible, so that an adverse effect caused by the electrification of the film can be prevented beforehand. - 特許庁

検出装置は、大気と異なる異環境内に置かれた試料に照射ビームを照射する手段、センサー、試料から生じる放射線をセンサーへ案内する手段、センサーから出力された検出信号を処理する処理器、及びセンサーから処理器へ検出信号を伝達する伝達手段を含む。例文帳に追加

This detecting unit is equipped with a means for irradiating a sample placed in a dissimilar environment other than an atmosphere with a radiation beam, a sensor, a means guiding a secondary radiation emitted from the sample to the sensor, a processor which processes detection signals outputted from the sensor, and a transfer means which transfers the detection signals from the sensor to the processor. - 特許庁

液晶基板検査装置1は、荷電粒子ビームを液晶基板上で元的に走査させて得られる走査画像に基づいて基板検査を行う液晶基板検査装置であり、液晶基板10に検査信号を供給するプローバフレーム2aと、液晶基板を加熱する加熱機構3と、プローバフレーム2aとの接触によってプローバフレーム2aを冷却する冷却機構4とを備える。例文帳に追加

The liquid crystal substrate inspection device 1 inspects the substrate based on a scan image obtained by two-dimensionally scanning a charged particle beam on a liquid crystal substrate, and comprises the prober frame 2a for supplying an inspection signal to the liquid crystal substrate 10, a heating mechanism 3 for heating the liquid crystal substrate, and the cooling mechanism 4 for cooling the prober frame 2a by contact with the prober frame 2a. - 特許庁

電子ビームB2によって測定面S1を走査し、測定面S1内の各ピクセルに関して、検出部6による電子線後方散乱回折パターンの検出、及び、データ処理部9によるデータD1の解析を行うことにより、測定面S1に関する結晶方位の元分布データK1が得られる。例文帳に追加

A measuring surface S1 is scanned by an electron beam B2 and the detection of an electron beam back scattering diffraction pattern by a detection part 6 and the analysis of data D1 by a data processing part 9 are performed in relation to the respective pixels in the measuring surface S1 to obtain the two-dimensional distribution data K1 of a crystal orientation related to the measuring surface S1. - 特許庁

この電池用負極は、ターゲット材及び基材を反応室内に配置し、反応室にヘリウムを導入しながら、ターゲット材にビーム光を照射することにより励起し、脱離したターゲット材に含まれる物質をヘリウムで凝縮・成長させて、柱状構造が配列した構造を有する金属化合物ナノ構造体として前記基材上に堆積する。例文帳に追加

A target material and a base material are disposed in a reaction chamber, beam light is irradiated on the target material to excite it while introducing helium into the reaction chamber, a substance contained in the desorbed target material is condensed by helium to grow it, and thereby the electrode for the secondary battery is deposited on the base material as the metal compound nanostructure having the structure in which the columnar structures are arranged. - 特許庁

電子を放出するエミッタが複数設けられた電子源アレイと、前記電子源アレイから放出された電子ビームにより所定の動作を行う光電変換膜と、前記電子源アレイと前記光電変換膜との間に内壁表面が電子放射物質の膜で被覆された複数の貫通孔を持つ電極と、を備えた電界放出型電子源装置。例文帳に追加

The field emission type electron source device includes: an electron source array in which a plurality of emitters for emitting electrons are provided; a photoelectric conversion film in which a predetermined operation is performed by electron beams emitted from the electron source array; and an electrode having a plurality of through holes each of which inner wall surface is covered with a film of a secondary electron radiating material between the electron source array and the photoelectric conversion film. - 特許庁

不揮発性であるイオン液体とは別に、揮発性を有する別の液体をも、エレクトロスプレー用細管(キャピラリー)に供給し、両成分からなるイオンビームを生成することにより、真空容器中に蓄積するイオン液体の総量を低下させることができ、また、イオン生成量も増大できる。例文帳に追加

In addition to a non-volatile ionic liquid, another liquid with volatility is supplied to a fine pipe for electro-spray (capillary) to produce ion beams composed of both components, so that the total amount of the ionic liquid stored in a vacuum vessel can be reduced and the generation amount of secondary ion can be increased. - 特許庁

レーザビーム照射装置121及び元電子撮像素子122は記録媒体10上のデータCGH12をその配列方向に沿って走査してデータCGH12のピッチより短い周期で画面毎に読み取り、制御、演算部1は読み取られた画面毎の光量に基づいてデータCGH12の略中心を撮像した画面を選択する。例文帳に追加

A laser beam irradiation part and a two-dimensional electronic image pickup element 122 read out data CGHs on a recording medium for every screen at cycles shorter than the pitch of the data CGHs by scanning the data CGHs along the direction of their arrangements and a control and arithmetic part 1 selects screens in which roughly the center parts of the data CGHs are photographed on the basis of light quantities for every read out screen. - 特許庁

例文

シャドウマスク及びこのシャドウマスクを固定するマスクフレームで発生する熱膨張に伴う電子ビームのランディングずれを、マスクフレームとフェースパネルに設けたスタッドピン間に介在する弾性支持体によって補正していたが、この弾性支持体のみではランディングずれを十分に補正するのが難しく、このために蛍光体スクリーン裏面側にアンチドーミングスプレーを施してカーボン層を設けていたが、このカーボン層を設けることにより蛍光面欠点や電子銃の耐電圧特性の劣化が発生するという的な弊害が発生しており、本発明ではこのような弊害を起こすカーボン層を設けることなく色純度の劣化を効果的に低減させたカラー受像管を提供する。例文帳に追加

To provide a color picture tube in which deterioration of color purity has been effectively reduced by providing a carbon layer. - 特許庁

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