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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > patterned substrateに関連した英語例文

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patterned substrateの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 910



例文

A lithographic apparatus has a means of moving a patterned projection beam incident on the substrate in synchronism with the substrate, which provides a means of correcting movement of the substrate in the lithographic apparatus during duration of a pulse of radiation.例文帳に追加

基板と同期させて基板上に入射するパターン化された投影ビームを移動するための手段を供給することにより、放射線の1回のパルスの持続時間中にリソグラフィ装置内での基板の移動を補正するための手段。 - 特許庁

The semiconductor substrate comprises an SiGe layer SG formed on an Si substrate 1 and a region 1a having a higher impurity concentration than other region is patterned on the surface of the Si substrate.例文帳に追加

Si基板1上にSiGe層SGを備えた半導体基板であって、前記Si基板表面に、他の領域よりも不純物濃度を高くした高濃度領域1aをパターン状に形成した領域を備えている。 - 特許庁

Consequently, a member for manufacturing which has the linear structure body 4 formed on the base material 5 is pressed to the plastics substrate to collectively form holes of the patterned media substrate because the linear structure body 4 holes the plastics substrate.例文帳に追加

従って、基材5に線状構造体4が形成された製造用部材をプラスチック基板に押し付けることにより、線状構造体4がプラスチック基板に穴をあけるので、パターンドメディア基板の穴を一括形成することができる。 - 特許庁

This lithographic apparatus has a plurality of columns 25 comprising an illumination system, an array of individually controllable elements for imparting a pattern to the cross section of each beam, a substrate table for supporting a substrate, and a projection system for projecting the patterned beams onto the substrate.例文帳に追加

リソグラフィ装置は、照明システムと、各ビームの断面にパターンを付与する個々に制御可能な素子のアレイと、基板を支持する基板テーブルと、基板にパターン化されたビームを投影する投影システムからなる複数のカラム25を備える。 - 特許庁

例文

A lithographic apparatus comprises an illumination system for providing a projection radiation beam, a support structure for supporting a patterned device that functions to give a pattern on the sectional face of the projection beam, a substrate table for holding a substrate, and a projector for projecting a patterned beam on the target of the substrate.例文帳に追加

リソグラフィ装置は、投影放射ビームを提供するための照明システムと、投影ビーム中の放射を透過若しくは反射させ、投影ビームの断面にパターンを付与するように機能するパターン化デバイスを支持するための支持構造と、基板を保持するための基板テーブルと、パターン化されたビームを基板の目標部分に投射するための投影装置とを備えている。 - 特許庁


例文

The substrate processing apparatus also includes a substrate supply arranged to output at least one unbroken length of substrate, and a substrate conveying system arranged to convey each outputted unbroken length of substrate from the substrate supply and past the projection system such that the projection system is able to project the patterned beam onto a series of target portions along each unbroken length of substrate.例文帳に追加

また、基板処理装置は、少なくとも1つの完全な長さの基板を送り出すようになされた基板サプライと、投影システムがパターン化されたビームを個々の完全な長さの基板に沿った一連の目標部分に投射することができるよう、基板サプライから送り出される個々の完全な長さの基板を投影システムの先へ搬送するようになされた基板搬送システムとを備えている。 - 特許庁

The lithographic equipment comprises a substrate table for holding a substrate, a projection system which is arranged to project a radiation beam patterned on the substrate, a liquid supplying system prepared to supply liquid to a space between the projection system, the substrate and the substrate table, and a ring placed to cover a gap between the substrate and the substrate table and made contact with both of them.例文帳に追加

基板を保持する基板テーブルと、基板上にパターン形成された放射ビームを投影するように構成された投影システムと、投影システムと基板と基板テーブルとの間の空間に液体を提供するように構成された液体供給システムと、基板と基板テーブルとの間のギャップを覆うように設けられ、基板および基板テーブルと接触するリングとを含むリソグラフィ装置。 - 特許庁

This sensor has a first substrate having a first driving pattern and a first pickup pattern on its upper and lower surfaces respectively, and magnetic bodies laminated upon the upper and lower surfaces of the first substrate and patterned in prescribed forms.例文帳に追加

上下両面に第1ドライビングパターン及び第1ピックアップパターンが形成された第1基板と、該第1基板の上下両面に積層され、所定の形態にパターン化された磁性体が形成される。 - 特許庁

A plurality of circuit components 3, 4 are mounted on the dielectric substrate 2, and connected by using many transmission lines 5 different in length which are patterned and formed on the substrate 2.例文帳に追加

誘電体基板2に複数の回路部品3,4を実装するとともに、これらが誘電体基板2にパターン形成された線路長を異にする多数の伝送線路5によって接続されてなる。 - 特許庁

例文

After bonding, the sapphire growth substrate is removed by the substrate removing technology, and the InAlGaN layer is patterned and etched and a current injection type light emitting element is completed.例文帳に追加

ボンディングの後、サファイア成長基板(30)は、基板除去技術を使って除去され、その後それらのInAlGaN層がパターニング及びエッチングされて電流注入型発光素子が完成する。 - 特許庁

例文

Furthermore, the apparatus includes an actuator 14 that introduces a reticle or the substrate into a conditioned chamber 20, and an alignment system 8 which matches the reticle or the substrate with the patterned and projected beam of radiation.例文帳に追加

さらに本装置は、レチクルまたは基板を調整室20に導入するアクチュエータ14と、レチクルまたは基板をパターン付与された放射投影ビームに整合させる位置合わせ装置8とを含む。 - 特許庁

After forming a gate insulation film 5 on a semiconductor substrate 1, a conductor film 6 containing a metal element as a constituent element and a silicon film are formed on the semiconductor substrate 1 and then are patterned.例文帳に追加

半導体基板1上にゲート絶縁膜5を形成してから、半導体基板1上に金属元素を構成元素として含む導体膜6およびシリコン膜を形成し、それらをパターニングする。 - 特許庁

The chucks is independently movable, and therefore, while one substrate is moved between the loading system and the projecting system, the other substrate can pass through the measuring system and the patterned beam.例文帳に追加

チャックは独立に可動であり、そのため、1つの基板がローディング・システムと投影システムの間を移動される間に、もう1つの基板は計測システム及びパターン形成されたビームを通過することができる。 - 特許庁

A projection system 108 comprises an array of lenses located at a spacing from a substrate 114 such that each lens in the array focuses a respective part of a patterned beam onto the substrate 114.例文帳に追加

投影システム108は、アレイ内の各レンズが、基板114上にパターン化したビームの各部分の焦点を結ぶように、基板114からある間隔のところに位置するレンズのアレイを備える。 - 特許庁

It is possible to remove particles on the substrate by discharging a mist on the patterned substrate by use of a two-fluid nozzle that mixes a pressured gas and a medical fluid to thereby form a mist.例文帳に追加

加圧された気体と薬液を混合し、ミストを形成する2流体ノズルを用いて、パターン形成された基板にミストを吐出する処理を行うことで、基板上のパーティクルを除去することができる。 - 特許庁

To provide a defect correction device and a defect correction method capable of reliably correcting defects, and also to provide a method for manufacturing patterned substrate by using the method.例文帳に追加

確実に欠陥を修正することができる欠陥修正装置、欠陥修正方法及びそれを用いたパターン基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an electrode substrate having a low specific resistance, capable of being patterned and converted into a transparent conductive film having the low specific resistance with heat treatment after an etching process.例文帳に追加

パターニングが容易で、エッチング工程後の熱処理にて低比抵抗の透明導電膜に転化でき、比抵抗の小さい電極基板を提供する。 - 特許庁

In this dial, a thin film patterned by fine shapes is formed on a translucent substrate, and the color is varied along the view direction.例文帳に追加

透光性基板上に微細な形状でパターン化された薄膜が形成されており、且つ色彩が視る方向によって変化することを特徴としている。 - 特許庁

A patterned medium 1 has a bit pattern 6 consisting of convex parts 4 of a magnetic material at one side plane or both planes of a non-magnetic substrate 2 having a center hole 3.例文帳に追加

パターンドメディア1は、中央穴3を有する非磁性基板2の片面あるいは両面に、磁性体の凸部4からなるビットパターン6を有する。 - 特許庁

The transparent substrate 13 is patterned and printed with a sealing material S' for forming a space for sealing liquid crystals by hermetically sealing the circumferences of the two transparent substrates.例文帳に追加

透明基板13にはまた、2枚の透明基板の周囲を密封して液晶を封入するための空間を形成するシール材S’がパターン印刷される。 - 特許庁

An element isolating trench 6 is formed in the silicon substrate 1 with the now-patterned laminated film serving as the mask, and a silicon oxide film 7 is buried in the element isolating trench 6.例文帳に追加

パターニングされた積層膜をマスクとしてシリコン基板1内に素子分離溝6を形成し、この素子分離溝6内にシリコン酸化膜7を埋め込む。 - 特許庁

A silicon film 110 is formed on a substrate 100 and the silicon film 110 is patterned using a photosensitive film pattern 120 formed by an exposure apparatus of a photosensitive film.例文帳に追加

基板100上にシリコン膜110を形成し、感光膜の露光装備で形成した感光膜パターン120を用いてシリコン膜110をパターニングする。 - 特許庁

The film thickness measurement system has a conductive thin film on a substrate 61, which film is patterned to form a measuring coil part 64 and a conductive ring 68 surrounding it.例文帳に追加

基板61上に導電性薄膜を形成し、パターニングして測定用コイル部64と、それを取り囲む導電性リング68を形成する。 - 特許庁

To form a flattened protective film on a patterned recording layer in a recording medium and the like wherein a magnetic body recording layer is formed on a substrate.例文帳に追加

本件は、基板上に磁性体記録層が形成された記録媒体等に関し、パターン化された記録層の上に平坦化された保護膜を形成する。 - 特許庁

In a stage (c), baking is carried out to substantially burn the polymer composition coating out and a patterned ferroelectric thin film 6 is obtained on the substrate 2.例文帳に追加

(c)工程:次いで、焼成を行い、ポリマー組成物被覆を実質的に焼失させて、基板上にパターニングされた強誘電体薄膜6を得る。 - 特許庁

In this manufacturing method, a pat oxide film 2, an amorphous silicon or polycrystalline silicon film 17 and an oxidation preventing film 3 are deposited on a silicon substrate 1, and these films are patterned ((a) to (f)).例文帳に追加

シリコン基板1上に、パット酸化膜2、アモルファスシリコンまたは多結晶シリコン膜17、酸化防止膜3を堆積し、パターニングする((a)〜(f))。 - 特許庁

Further the dielectric 12 on the glass substrate 11 is subjected to patterning by etching by using the patterned mask layer 13 and then the mask layer 13 is removed (Fig.1(h)).例文帳に追加

次に、パターニングされたマスク層13によりガラス基板11上の誘電体(12)をエッチングによりパターニングした後、マスク層13を除去する(図1(h))。 - 特許庁

For example, when a pixel is patterned on a flexible substrate to manufacture a display device, this method is suitably applicable to pixel patterning.例文帳に追加

例えば、可撓性基板上に画素をパターニングして表示装置を製造する場合、画素のパターニングに上記の方法を好適に適用することができる。 - 特許庁

To provide a lithographic apparatus and a method for projecting a patterned beam onto a substrate, using a microlens array system capable of adjusting the magnification.例文帳に追加

倍率調整が可能なマイクロレンズアレイ系を用いて、パターンが付与されたビームを基板上へ投影するためのリソグラフィ装置及び方法を提供する。 - 特許庁

SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR FORMING PATTERNED CONDUCTIVE LAYER ON SUBSTRATE, AND TREATMENT METHOD AND TREATED PRODUCT OF WAFER例文帳に追加

半導体デバイス、半導体基板上にパタ—ン化された導電性層を作成する方法、半導体製造におけるウェハ—基板の処理方法及び処理された製品 - 特許庁

Furthermore, after forming a patterned second electrode 21 on opposing faces of a second substrate 20, the remaining light-emitting function layer 22 of the organic layer is formed.例文帳に追加

また、第2の基板20の対向面上には第2電極21をパターニングして形成した後、その上に有機層の残りの発光機能層22を成膜する。 - 特許庁

A plurality of driving electrodes 12 defining the transportation path of the micro moving object 14 are patterned inside an insulating layer 8 under the surface of the substrate 2.例文帳に追加

上記基板2の表面下の絶縁層8内に上記微小移動体14の輸送経路を規定する複数の駆動電極12をパターニングする。 - 特許庁

An illumination system supplies a series of beams of radiation that are patterned by an array of individually controllable elements and projects the beams through arrays of lenses onto target portions of a substrate.例文帳に追加

照明システムは、個別制御可能の要素のアレイでパターン形成したビームを供給し、ビームをレンズアレイに通して基板の目標部分へ投影する。 - 特許庁

Nitride semiconductor layers are grown on the substrate having the recess regions, and the nitride semiconductor layers are patterned to form light emitting cells separated from one another.例文帳に追加

リセス領域を有する基板上に窒化物半導体層が成長され、窒化物半導体層をパターニングし、互いに分離された発光セルが形成される。 - 特許庁

The end 7 of a pad electrode 4 formed on a semiconductor substrate 1 including a patterned interlayer insulation film 3 is covered by a plated layer 5 without leaving any space in-between.例文帳に追加

パターニングされた層間絶縁膜3を含む半導体基板1上に形成されるパッド電極4の端部7をメッキ層5で隙間なく被覆する。 - 特許庁

The covering layer prevents contamination from entering the projection system, while allowing patterned EUV radiation to pass from the projection system onto a substrate.例文帳に追加

被覆層は、汚染が投影システムに入ることを防止する一方、パターン付きEUV放射が投影システムから基板上に移ることを可能とする。 - 特許庁

A photoresist film 12 is applied to the surface of a silicon substrate 10 of Fig (a) as shown by Fig (b) and patterned in a photolithographic process to form a resist mask 12 as shown by Fig (c).例文帳に追加

図1(a)のシリコン基板10の表面に、(b)のようにフォトレジスト膜12を塗布し、フォトリソグラフィ工程によりレジストマスク12をパターニングする(c)。 - 特許庁

To provide a continuous and highly uniform silica meso-structure thin film having a uniaxially oriented pore structure patterned on an arbitrary position on a substrate.例文帳に追加

基板上の任意の位置に一軸配向性の細孔構造を有する連続性、均一性の高いパターニングされたシリカメソ構造体薄膜を提供する。 - 特許庁

To provide a step difference measuring instrument and a step difference measuring method for measuring a step difference easily and precisely, as to a substrate patterned with a light transmitting mask.例文帳に追加

光を透過するマスクがパターンニングされた基板について、簡易に精度よく段差を測定する段差測定装置および段差測定方法を提供する。 - 特許庁

The apparatus can be configured so as to rinse the immersion space 10 substantially and continuously until the patterned radiation beam is projected onto the substrate.例文帳に追加

基板に対してパターンの付いた放射ビームを投影するまで実質的に継続して液浸スペース10をリンスするよう構成することができる。 - 特許庁

A multilayer mask including a lithographically patterned photoresist and an unpatterned organic antireflection coating (BARC) is formed on a substrate layer to be etched.例文帳に追加

リソグラフィーによりパターン化されたフォトレジストとパターン化されていない有機反射コーティング(BARC)を含む多層マスクが、エッチングされる基板層上に形成される。 - 特許庁

A conductive thin film 14 is deposited on a semiconductor substrate 11 and is patterned after a predetermined figure, then a first interlayer insulating film 13 is deposited on the thin film 14.例文帳に追加

半導体基板11上に導電性薄膜14を堆積し、所定形状にパターニングした後、第1層間絶縁膜13を堆積する。 - 特許庁

Subsequently, a YBCO film 4 is deposited over the entire surface of the substrate by pulse laser deposition method, and it is patterned to pase over the irradiated region 3 to make a wring.例文帳に追加

そのあとYBCO膜4をパルスレーザ蒸着法により基板全面に堆積し、照射領域3を横切るようにパターニングして配線4aとする。 - 特許庁

To provide lithography equipment in which a patterned radiation beam is projected on a substrate from a pattern-forming device by using a projection system.例文帳に追加

投影系を用いてパターン形成装置から基板上にパターン化された放射線ビームを投影するように構成されたリソグラフィ装置を提供すること。 - 特許庁

The patterned antenna is composed of two loops formed on both surfaces of the substrate along the peripheral edge of the substrate, respectively, and an inter-loop connection which is extended from the side faces of the substrate to peripheral edge areas of both the surfaces of the substrate and connects the two loop sections to each other.例文帳に追加

パターンアンテナが、基板の両面に基板の周縁に沿ってそれぞれ形成された2つのループ部分と基板の側面から基板の両面の周縁領域まで延在して2つのループ部分間を連接するループ間連接部分とから成る2重ループアンテナである構造。 - 特許庁

A lithographic apparatus includes a substrate table WT for holding a substrate W, a projection system PL for projecting a patterned beam onto a target portion of the substrate W, and an independent reference frame MF for providing a reference surface with which the position of the substrate W is measured.例文帳に追加

基板Wを保持するための基板テーブルWT、基板Wの目標部分上にパターン化されたビームを投影するための投影システムPL、および基板Wが測定される基準面を供給するための独立基準フレームMFを備えるリソグラフィ装置。 - 特許庁

A cover layer is formed on a temporary substrate having a flat surface, a patterned recording layer is formed on the cover layer, a reinforcing layer is formed on the recording layer, a main substrate is bonded onto the reinforcing layer and the temporary substrate is removed after the main substrate is bonded onto the reinforcing layer.例文帳に追加

表面が平坦な仮基板上にカバー層を形成し、カバー層上にパターン化された記録層を形成し、記録層上に補強層を形成し、補強層上に本基板を接合し、本基板を補強層上に接合後に仮基板を除去するように構成する。 - 特許庁

The manufacturing method includes steps of (A) forming a patterned organic film on a substrate; (B) forming a conductive layer on the patterned organic film by electroless plating; and (C) removing a part of the conductive layer by etching.例文帳に追加

上記製造方法は、(A)基板上にパターン化有機膜を形成する工程と、(B)無電解メッキにより前記パターン化有機膜表面に導電層を形成する工程と、(C)エッチング処理により前記導電層の一部を除去する工程と、を含んでなる。 - 特許庁

METHOD FOR PRODUCING NANOCARBON AND NANOCARBON PRODUCED USING THE SAME, COMPOSITE MATERIAL OR MIXED MATERIAL EACH CONTAINING NANOCARBON AND METALLIC FINE PARTICLES, DEVICE FOR PRODUCING NANOCARBON, METHOD FOR FORMING PATTERN OF NANOCARBON AND PATTERNED NANOCARBON SUBSTRATE USING THE SAME, AND ELECTRON EMISSION SOURCE USING PATTERNED NANOCARBON SUBSTRATE例文帳に追加

ナノカーボンの製造方法及びその方法を用いて製造されたナノカーボン及びナノカーボンと金属微粒子を含む複合材料又は混合材料,ナノカーボンの製造装置、ナノカーボンのパターン化方法及びその方法を用いてパターン化されたナノカーボン基材及びそのパターン化されたナノカーボン基材を用いた電子放出源 - 特許庁

例文

In a method of producing the semiconductor element having a light-emitting semiconductor layer or a light-emitting semiconductor element, two contact locations, and a vertically or horizontally patterned carrier substrate, the carrier substrate is patterned in such a way that the thermal stresses are reduced or compensated sufficiently to ensure that the element does not fail.例文帳に追加

光出射半導体層、又は、光出射半導体素子、2つのコンタクト個所及び垂直又は水平に構造化された支持体基板を有する半導体構成素子の製造方法において、支持体基板は、熱応力を、構成素子が故障しないように十分に小さくし、乃至、補償するように構造化する。 - 特許庁




  
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