| 例文 |
sinxを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 49件
The transparent conductive film is formed on the base element via an SiNx thin film.例文帳に追加
透明導電膜を、SiNx薄膜を介して、基体上に形成する。 - 特許庁
An SiNx layer and an SiO_2 layer are successively formed on a Cu wiring layer formed on a wafer and the SiO_2 layer and the SiNx layer are dry etched using a resist layer as a mask.例文帳に追加
ウエハに形成したCu配線層の上にSiNx層、SiO_2層を順次形成し、レジスト層をマスクとしてSiO_2層およびSiNx層をドライエッチングする。 - 特許庁
A dielectric film 12A is constituted by the SiNx film 12a and the SiOy film 12b.例文帳に追加
SiN_x 膜12aおよびSiO_y 膜12bにより誘電体膜12Aが構成される。 - 特許庁
Then an SINx film or the like is deposited as a passivation film 14 by a plasma CVD process.例文帳に追加
次に、パッシベーション膜14としてプラズマCVDなどでSIN_x膜などを堆積する。 - 特許庁
A medical ceramic-coated puncture needle excellent in wear resistance and adhesion is available by coating the direct surface of the needle with a SiNx mixed layer 4, next coating it with a SiNx ceramic layer 3, then coating it with a composite SiNx and DLC film layer 2, and finally coating the outermost surface with a DLC layer 1.例文帳に追加
針の最表面にSiNxの混合層4、次いでSiNxのセラミック膜3を被覆、さらに、その上にSiNxとDLC膜の複合層2を被覆、最上層としてDLC1を被覆することにより、低摩耗で密着性に優れた医療用セラミック被覆穿刺針および針を用いる。 - 特許庁
Further, a sealing layer 22 is constituted of silicon nitride (SiNx) formed by using a high density plasma film-forming method.例文帳に追加
また、封止層22を、高密度プラズマ成膜法を用いて形成した窒化シリコン(SiNx)で構成した。 - 特許庁
A p-SiNx is deposited up to the membrane thickness required for the heater protection membrane, thereafter, a cavitation-resistant layer composed of Ta is formed on the heater, then, the p-SiNx is deposited again up to the membrane thickness required as a membrane.例文帳に追加
p−SiNxをヒータ保護膜として必要な膜厚まで成膜し、その後にヒータ上部にTaの耐キャビテェーション層を形成後、p−SiNxを再度メンブレンとして必要な膜厚まで成膜する。 - 特許庁
The polysilicon film 13 is hydrogenated by hydrogen in the raw gases to be used for forming the SiNx film 15.例文帳に追加
ポリシリコン膜13は、SiN_x膜15の形成に使用される原料ガス中の水素により水素化されている。 - 特許庁
An SiNX film 28 is formed on the ridge except an window 31 exposing the contact layer and a p-side electrode 29 is formed on the SiNX film including the window while an n-side electrode 30 is formed on the backside of the substrate.例文帳に追加
リッジ上部のコンタクト層を露出させた窓31を除く領域には、SiN_X 膜28が形成され、窓上を含むSiN_X 膜上にp側電極29が、基板の裏面には、n側電極30が形成されている。 - 特許庁
To provide a film forming device capable of forming an SiNx film without inflicting heat damage to an organic EL element.例文帳に追加
SiNx膜を、有機EL素子に熱ダメージを与えることなく形成することができる成膜装置の提供。 - 特許庁
The entire SiO2 film 14 is covered with an SiNx film 15 formed by low-pressure CVD using raw gases containing hydrogen.例文帳に追加
SiO_2膜14の全体を、水素を含む原料ガスを用いた低圧CVD法で形成されたSiN_x膜15で覆う。 - 特許庁
The abrasion- resistant coating includes at least one type of ultrafine compound selected from a group containing B4C, BN, TiB2, TiB, TiC, WC, SiC, SiNX (X=0.5 to 1.33), andAl2O3.例文帳に追加
耐摩耗性被膜中には、B_4C、BN、TiB_2、TiB、TiC、WC、SiC、SiN_X(X=0.5〜1.33)およびAl_20_3をよりなる群から選択される少なくとも1種の超微粒化合物を含む。 - 特許庁
ULTRA LOW CORE-LOSS GRAIN ORIENTED SILICON STEEL SHEET HAVING SiNX CERAMIC THIN FILM EXCELLENT IN FILM CHARACTERISTIC, AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
被膜特性に優れたSiNX系セラミック薄膜を有する超低鉄損一方向性けい素鋼板およびその製造方法 - 特許庁
The hinge part 13 is formed of a material such as SiNX different from materials forming a frame body 11 and the mirror substrate of a mirror part 12.例文帳に追加
枠体11及びミラー部12のミラー基板を構成する材料とは異なる、例えばSiN_X等の材料でヒンジ部13を構成する。 - 特許庁
The abrasion- resistant coating includes at least one type of ultrafine compound selected from a group containing B4DC, BN, TiB2, TiB, TiC, WC, SiC, SiNX (X=0.5 to 1.33), and Al2O3.例文帳に追加
耐摩耗性被膜中には、B_4C、BN、TiB_2、TiB、TiC、WC、SiC、SiN_X(X=0.5〜1.33)およびAl_20_3をよりなる群から選択される少なくとも1種の超微粒化合物を含む。 - 特許庁
Next, the p-SiNx layer as the second layer is shaved using the Ta as an etching stopping layer, then, the heater protection membrane can obtain the required membrane thickness in respective membranes.例文帳に追加
次に、2層目のp−SiNxをTaをエッチングストップ層として削りこみ、ヒータ保護膜それぞれに必要な膜厚を実現する。 - 特許庁
To provide a method of depositing a SiNx layer and an a-Si layer on a thin film transistor(TFT) substrate at a sufficient deposition rate keeping high film quality.例文帳に追加
TFT基板上にSiN_X層及びa−Si層を充分な堆積速度で堆積し、膜品質を極高く維持する方法を提供する。 - 特許庁
SiNx, SiO2, Ti, Ta, Mo, or MoW is stacked on the source drain film Ag alloy film, and then, a collective pattern is made by dry etching or wet etching.例文帳に追加
ソース・ドレイン膜Ag系合金膜上にSiN_x,SiO_2,Ti,Ta,MoまたはMoWを積層した後ドライまたはウェットエッチにより一括パターン形成する。 - 特許庁
An SiNx film 109 serving as a passivation film and an anti-reflective film for incident light is formed on the n^++ diffusion layer 107 and the n^+ diffusion layer 108.例文帳に追加
N++拡散層107及びN+拡散層108上に、パッシベーション膜および入射光の反射防止膜として機能するSiNx膜109を形成する。 - 特許庁
Therefore, an auxiliary capacitance C1 can be formed by using an arbitrary insulation film of high dielectric constant, such as SiNx without direct influence of a dielectric film for forming the auxiliary capacitance C1 on characteristics, etc., of a TFT.例文帳に追加
前記第1の層間絶縁膜上に容量電極を設け、その上に補助容量の誘電体膜となる第2の層間絶縁膜を成膜する。 - 特許庁
A first moisture blocking layer 26 formed of a silicon-based nitride film of SiNx or the like is formed on the whole surface, covering a drain electrode 22 and a source electrode 24 of a TFT.例文帳に追加
TFTのドレイン電極22、ソース電極24を覆ってSiNx等のシリコン系窒化膜等から形成される第1水分ブロッキング層26を全面に形成する。 - 特許庁
A dispersion mask composed of SiNx film is formed on the n-type GaAs layer 5, and Zn is dispersed on the n-type GaAs layer 5 through the opening of the mask so as to form a p+-type gate region 6.例文帳に追加
n型GaAs層5にSiN_x 膜からなる拡散マスクを形成し、その開口部を通じてZnをn型GaAs層5に拡散させてp^+ 型ゲート領域6を形成する。 - 特許庁
A first flattening film 28 formed of an organic material is provided on the first moisture blocking layer 26, and a second moisture blocking layer 60 formed of SiNx or the like is provided thereon.例文帳に追加
また、この第1水分ブロッキング層26の上に有機材料からなる第1平坦化膜28を設けその上にSiNx等からなる第2水分ブロッキング層60を設ける。 - 特許庁
A first flatten film 26 comprising an organic material is provided on the first moisture blocking layer 26, and a second moisture blocking layer 60 comprising SiNx or the like is provided on it.例文帳に追加
また、この第1水分ブロッキング層26の上に有機材料からなる第1平坦化膜28を設けその上にSiNx等からなる第2水分ブロッキング層60を設ける。 - 特許庁
A moisture blocking layer 26 made of a silicon base nitride film such as SiNx or a TEOS film is formed on the whole surface so as to cover a drain electrode 22 and a source electrode 24 of a TFT.例文帳に追加
TFTのドレイン電極22、ソース電極24を覆ってSiNx等のシリコン系窒化膜やTEOS膜により形成される水分ブロッキング層26を全面に形成する。 - 特許庁
An SiNx film is formed on its surface in a thickness of about 100 nm by a P-CVD method, and a periodically striped mask is formed so that a ratio of area of opening portion/mask portion is 1:5.例文帳に追加
その表面にP−CVD法によりSiNx膜を約100nm製膜し、開口部とマスク部の面積比がそれぞれ1:5になるように周期的なストライプ状のマスクを形成した。 - 特許庁
An SiNx gate insulating film 108, a p-type polycrystalline SiC layer 109 and a Pt/Au gate electrode 110 as an ohmic electrode are successively formed on the ALGaN barrier layer 104.例文帳に追加
AlGaNバリア層104上にSiNxゲート絶縁膜108、p型多結晶SiC層109、オーミック電極であるPt/Auゲート電極110が順次形成されている。 - 特許庁
SiNx films of pixel apertures are removed to increase transmittance and dummy insulating film patterns are formed in the apertures to enable the formation of the pixel electrodes over a wide range, by which the aperture ratios are improved.例文帳に追加
画素開口部のSiN_x膜を除去して透過率を上げると共に、開口部にダミーの絶縁膜パターンを形成し、広範囲に画素電極を形成できるようにして開口率を向上させる。 - 特許庁
Through holes 32 each having a diameter of 50 μm are provided in a core 12a of the high density fault region of the GaN substrate, and embedded with a high resistance layer 34 such as, for example, an SiO_2 layer or an SiNX layer.例文帳に追加
GaN基板の高密度欠陥領域のコア部12aには、直径50μmの貫通孔32が設けられ、高抵抗層34、例えばSiO_2層又はSiN_X 層で埋め込まれている。 - 特許庁
A semiconductor regrowth layer 38 and a SiNx layer 40 are formed on a side of a mesa post 30 of the oxidization constrictive surface light emitting laser element 10 and a polyimide layer 28 is formed thereon.例文帳に追加
酸化狭窄型面発光レーザ素子10のメサポスト30の側面には、半導体再成長層38及びSiNx層40が形成され、その上にポリイミド層28が形成されている。 - 特許庁
High temperature annealing can be carried out for homogenizing a poly-Si semiconductor layer by employing an Ag alloy in the gate electrode and Ta or SiNX in an underlying film thus fabricating a thin film transistor having good transistor characteristics at a high yield.例文帳に追加
Ag合金をゲート電極に且つTaやSiN_xを下地膜とすることで、ポリSi半導体層の均質化のための高温アニールが可能となり、トランジスタ特性及び歩留まりのよい薄膜トランジスタを形成する。 - 特許庁
A protective film 11, whose main component is iridium(Ir) or iridium oxide (IrO2), is interposed between the interlayer insulating film and the SiNx film or the SixNy film, which are formed as moisture resistant protective films.例文帳に追加
イリジウム(Ir)又は酸化イリジウム(IrO_2 )を主成分とする保護膜11が、前記層間絶縁膜と、耐湿保護膜として形成された前記シリコン窒化膜(SiN_X )、又はシリコン酸窒化膜(SiO_X N_Y )との間に介在する。 - 特許庁
The gas barrier layer 19 made of an inorganic material such as SiNx and having 250 nm thickness is formed on cut end surfaces of flexible substrates each comprising a substrate supporting material 11 and gas barrier layers 18 formed on both surfaces thereof.例文帳に追加
基板支持材11とその両面に形成されたガスバリア層18からなる可撓性基板の切断端面にSiNx等の無機材料からなるガスバリア層19を250nmの厚さで形成する。 - 特許庁
In this display panel, after the patterning of a tantalum film which is formed on a dielectric substrate 1 is processed and the electrode wiring 2 of the first layer being the lowermost layer of input lead wirings 21 is formed, an SiNx film is formed as a gate insulating film 3.例文帳に追加
絶縁性基板1上に成膜したタンタル薄膜をパターニング処理して、入力リード配線21の最下層である第1層の電極配線2を形成した後、ゲート絶縁膜3としてSiNx膜を形成する。 - 特許庁
An SiNx film 12a is formed on an electrode forming surface 11 except a part side surface of a first contact layer 4 and an n-side electrode 132, side surfaces of layers 5-8, an upper surface of a second clad layer 8 and the side surface of a ridge part 10.例文帳に追加
第1コンタクト層4の一部側面およびn側電極132を除く電極形成面11、各層5〜8の側面、第2クラッド層8の上面ならびにリッジ部10の側面にSiN_x 膜12aが形成される。 - 特許庁
Of the spots 511 to 516, those to be actually repaired are radiated with laser to cut a surface protection film, an electrode layer forming signal transfer line 508, an N+ type a-Si layer, an a-Si layer, and an a-SiNx film to become an insulation layer.例文帳に追加
511〜516の箇所の中で、実際にリペアする箇所についてレーザー照射し、表面の保護膜、信号転送線508を形成する電極層、N+型a−Si層、a−Si層や絶縁層となるa−SiNx膜を切断する。 - 特許庁
A microcrystalline silicon thin film 7a constituting a channel region and a hydrogen-containing silicon-based insulation film 13 made of silicon nitride (SiNx) containing ≥8×10^21/cm^3 hydrogen [Si-H] bound to the silicon are sequentially laminated and formed on a substrate 1.例文帳に追加
基板1上に、チャネル領域を構成する微結晶シリコン薄膜7aと、シリコンに結合した水素[Si−H]を8×10^21個/cm^3以上含む窒化シリコン(SiNx)からなる水素含有シリコン系絶縁膜13とを積層成膜する。 - 特許庁
At this point, an a-Si layer of high quality is deposited on a g-SiNx layer at a low deposition rate to form an interface 56, and an a-Si layer of average quality is deposited thereon at a high deposition rate to have the formation of an a-Si layer 58 completed.例文帳に追加
その際は先ず低堆積速度で高品質のa−Si層をg−SiN_X層上に堆積して界面56を形成後、高堆積速度で平均的品質のa−Si層を堆積してa−Si層58を完成させる。 - 特許庁
Prior to a sputtered thin copper film forming step, a modified- property silicon nitride layer containing SiO2 and SiNX in a mixed state in its surface is formed on the surface of a silicon oxide-based glass substrate, a quartz substrate, or a silicon thin film by irradiating the surface with nitrogen plasma.例文帳に追加
銅薄膜のスッパタリング成膜工程に先だって、酸化珪素質のガラス基板、石英基板あるいは酸化珪素薄膜の表面に窒素プラズマを照射して、表面にSiO_2 とSiN_x とが混在した窒化珪素変質層を形成する。 - 特許庁
The low radiation rate transparent laminate 17 is equipped with ZnO layers 33, 35 as a dielectric layer which is divided in the direction of film thickness by an SiNx layer 34 as an amorphous layer, and an Ag/Pd layer 32 as a metal layer containing Ag and Pd.例文帳に追加
低放射率透明積層体17は、アモルファス層としてのSiNx層34によって膜厚方向に分割された誘電体層としてのZnO層33,35と、Ag及びPdを含む金属層としてのAg−Pd層32とを備える。 - 特許庁
Surfaces of final annealed, single directional silicon steel sheets are coated by insulation films comprising 0.01-0.2 μm thick Ti(N, O) oxide film on which 0.01-0.2 μm thick SiNx ceramics film is coated, the latter in turn being covered by 0.01-2.0 μm thick film consisting of phosphate and silica as major elements.例文帳に追加
仕上焼鈍済みの一方向性けい素鋼板の表面に、0.01〜0.2 μm 厚のTi系の窒・酸化物被膜〔Ti(N,O) 膜〕、その上に0.01〜0.2 μm 厚のSiN_X 系セラミック被膜、さらにその上に0.01〜2.0 μm 厚のりん酸塩とシリカを主成分とする絶縁被膜を被成する。 - 特許庁
Both the first and second gate insulating films 5 and 6 are SiNx films, the value of the optical band gap of the first gate insulting film 5 ranges from 3.0 to 4.5 eV, and that of the second one 6 ranges from 5.0 to 5.3 eV.例文帳に追加
第1のゲート絶縁膜5、第2のゲート絶縁膜6はともにSiN_x 膜であり、第1のゲート絶縁膜5の光学的バンドギャップの値が3.0ないし4.5eVの範囲にあるとともに、第2のゲート絶縁膜6の光学的バンドギャップの値が5.0ないし5.3eVの範囲にある。 - 特許庁
Pior to forming an SiNx base ceramic film in a DC magnetron spattering method on the filmless surface of the grain oriented silicon steel plate already subjected to a finish annealing, bom-bard treatment is applied under plasma atmosphere using inert gas to remove the oxide on the surface of the silicon steel plate.例文帳に追加
仕上焼鈍済みの膜無し一方向性けい素鋼板の表面に、直流マグネトロン・スパッタ法によってSiN_x 系セラミック被膜を被成するに先立ち、不活性ガスを用いたプラズマ雰囲気中にてボンバード処理を行うことにより、けい素鋼板表面の酸化物を除去する。 - 特許庁
In a method of forming the protective film of a silicon nitride (SiNx) film on a semiconductor surface of low-temperature polysilicon, material gas containing gas for H_2 passivation and Si is introduced into the semiconductor surface and a low-temperature plasma process is carried out to achieve H_2 passivation and deposition with a silicon nitride (SiN_x) film.例文帳に追加
低温ポリシリコンの半導体表面に窒化シリコン(SiN_x)膜の保護膜を形成する成膜方法において、半導体表面にH_2パッシベーション用ガスとSiを含む材料性ガスとを導入し、低周波プラズマ処理により、H_2パッシベーションと窒化シリコン(SiN_x)膜の成膜とを行う。 - 特許庁
In this case, and it is preferred that the surface temperature of the substrate in the surface coating layer forming process is kept 400°C or below, any metal of tungsten, molybdenum, vanadium, silicon and platinum is used, an SiNx film, an SiOx film, an SiOC film, an SiNC film or an SiC film is employed for the surface coating layer.例文帳に追加
このとき、表面被覆層形成工程中の基板表面温度を400℃以下に保つこと、触媒体として、タングステン、モリブデン、バナジウム、シリコン及び白金のいずれかの金属を用いること、表面被覆層を、SiNx膜、SiOx膜、SiOC膜、SiNC膜及びSiC膜のいずれかとすることが望ましい。 - 特許庁
The transparent gas barrier film 10 has a thin film 2 containing silicon atoms and nitrogen atoms on one side face or both side faces of a resin substrate 1, wherein a ratio between the silicon atoms and the nitrogen atoms contained in the thin film 2 satisfies SiNx (wherein, 0.5≤x≤1.4), and also the film thickness of the thin film 2 is 20 to 50 nm.例文帳に追加
樹脂基板1の片面または両面に珪素原子と窒素原子とを含む薄膜2を有する透明ガスバリアフィルム10であって、前記薄膜2に含まれる珪素原子と窒素原子との割合がSiNx(ただし、0.5≦x≦1.4)であり、かつ、前記薄膜2の膜厚が20〜50nmであることを特徴とする透明ガスバリアフィルム10。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing an array substrate comprising the steps of simultaneously patterning a three-layer metal film (Mo/Al/Mo) and multilayer nonmetallic film (SiNx/aSi:H/n+-type a-Si:H), by using one mask pattern capable of forming a stepwise cut of a film covering the multilayer film pattern and sufficiently preventing a fault due to the cut.例文帳に追加
一つのマスクパターンを用いて、三層金属膜(Mo/Al/Mo)及び多層非金属膜(SiNx/a-Si:H/n^+a-Si:H)を一括してパターニングする工程を含むアレイ基板の製造方法において、多層膜パターンを覆う膜についての段切れの形成、及びこれに起因する不良の発生を充分に防止することができるものを提供する。 - 特許庁
This preparation consists of a step forming a semiconductor layer comprising a laminated structure of a-Si film 5 and n+ a-Si film 6, a step forming ITO film 7 as a transparent pixel electrode at a separated position from the semiconductor layer, a step forming an SiNx protective film 10 in whole area and an etching step patterning so as to separate this protective film from the transparent pixel electrode.例文帳に追加
ガラス基板1の上にa−Si膜5およびn^+ a−Si膜6の積層構造からなる半導体層を形成する工程と、半導体層と離れた位置に透明画素電極となるITO膜7を形成する工程と、全体にSiNx保護膜10を形成する工程と、この保護膜を、透明画素電極と離れるようにパターンニングするエッチング工程と、により液晶表示装置用のアレイ基板を製造する。 - 特許庁
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