| 意味 | 例文 |
solution processの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2890件
In manufacturing of the catalyst paste 42, concentration of water in the DE2020 is set up to be 5% by heating 10 g of the DE2020 (product made from Du pont) as a pre-solution in a water bath in a water removing process.例文帳に追加
触媒ペースト42の製造においては、水除去工程において、プレ溶液である10gのDE2020(Du pont社製)を湯煎して前記DE2020中の水の濃度を5%とする。 - 特許庁
In the process for production of the active material, an aqueous solution containing a metal fluorocomplex is contacted with a metal oxide to form a surface-modified layer 2 on the surface of the metal oxide.例文帳に追加
本発明の活物質の製造方法では、金属酸化物に対して金属フルオロ錯体を含む水溶液を接触させることにより、金属酸化物の表面に表面改質層2を形成する。 - 特許庁
The method involves continuously crystallizing sucralose from an aqueous solution by a process providing continuous removal and recirculation of the vessel contents, and providing a long residence time for sucralose in the system.例文帳に追加
容器の内容物の連続的な除去および再循環を付与し、システム中のスクラロースに長い滞留時間を付与する工程によって水溶液からスクラロースを連続的に結晶化する方法。 - 特許庁
This is a solubility controlling method wherein the duration of frozen time is controlled in a process of obtaining the hyaluronic acid made hardly water soluble by freezing an aqueous solution of usual hyaluronic acid having pH ≤2.0 followed by its thawing.例文帳に追加
ヒアルロン酸の pH 2.0 以下の水溶液を凍結し、次いで解凍することにより得られる水難溶性化したヒアルロン酸の凍結時間を調整することによる溶解性制御方法を構成とする。 - 特許庁
To solve a problem in a conventional method of filling a through-hole, which includes filling the inside of the through-hole with a plating metal through an electrolytic metal plating process with the use of an electrolytic plating solution, which needs to a great attention to the control.例文帳に追加
管理に多大の注意を払う電解めっき液を用いた電解金属めっきによってスルーホール内をめっき金属で充填する従来のスルーホールの充填方法の課題を解消する。 - 特許庁
The manganese dioxide can be produced by a producing method including a process in which an aqueous solution containing manganese ions is converted into a subcritical or supercritical state, to thereby deposit the manganese dioxide.例文帳に追加
前記二酸化マンガンは、マンガンイオンを含む水溶液を亜臨界状態または超臨界状態として、二酸化マンガンを析出させる工程を包含する製造方法により作製することができる。 - 特許庁
The method for producing the water-absorbing resin includes a polymerization process in which an aqueous monomer solution containing a water-soluble unsaturated-carboxylic-acid ammonium salt is polymerized under the following conditions (1) and (2).例文帳に追加
水溶性不飽和カルボン酸アンモニウム塩を含有する単量体水溶液を下記(1)及び(2)の条件下で重合する重合工程を含むことを特徴とする吸水性樹脂の製造方法。 - 特許庁
In a gelation process, a silica solution is continuously produced from a water glass through an ion exchange membrane of an electrodialysis apparatus, and is then gelatinized by adding a gelation catalyst to obtain a water-based gel continuously.例文帳に追加
ゲル化工程において、水ガラスからイオン交換膜による電気透析装置を通してケイ酸水溶液を連続的に生産し、ゲル化触媒を加えてゲル化し、水性ゲルを連続的に得る。 - 特許庁
To provide a simple method of efficiently producing a sulfide salt such as sodium sulfide and sodium disulfide in an alkali solution in an alkali recovery process in the production of pulp.例文帳に追加
パルプ製造におけるアルカリ回収工程において、簡便な方法で、効率的にアルカリ溶液中に硫化ナトリウムや二硫化ナトリウムなどの硫化物塩を生成させる方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a process for treating wastewater containing alkali metal and/or alkaline earth metal chlorides, while producing a chlorine solution substantially free from toxic substance such as heavy metals or dioxin.例文帳に追加
重金属類やダイオキシン等の有害物質を実質的に含まない塩素含有溶液を得つつ、アルカリ金属および/またはアルカリ土類金属の塩化物を含有する廃水を処理する方法を提供する。 - 特許庁
In this process, a treatment with a metal alkoxide is conducted for deactivating the Lewis acid in a solution containing an isobutylene block copolymer and a Lewis acid.例文帳に追加
イソブチレン系ブロック共重合体及びルイス酸を含有してなる溶液中のルイス酸を失活させるにあたって、金属アルコキシドによる処理を行う、イソブチレン系ブロック共重合体の製造方法。 - 特許庁
The process for production is consisted of a specific organic solvent, a specific sol-gel reaction catalyst, a silica source and water, and comprises the preparation of a reaction solution substantially free of a template forming substance and a sol-gel reaction.例文帳に追加
特定の有機溶媒、特定のゾル−ゲル反応触媒、シリカ源、及び水から構成され、実質的に鋳型(テンプレート)物質を含まない反応溶液を調製してゾル−ゲル反応をさせる。 - 特許庁
The method for the production of the optical film by a solution casting process preferably comprises mixing of the cellulose ester addition liquid produced by the above method to a main dope.例文帳に追加
溶液流延法による光学フィルムの製造工程で、上記製造方法によって作製されたセルロースエステル添加液を主ドープと混合することを特徴とする光学フィルムの製造方法。 - 特許庁
The endless belt manufacturing method includes a process of forming a coating film by applying a solution containing a polyimide precursor over the surface of a core body having been cut in the circumferential direction.例文帳に追加
少なくとも、周方向に切削加工が施された芯体表面にポリイミド前駆体を含む溶液を塗布することにより塗膜を形成する工程を含むことを特徴とする無端ベルト製造方法。 - 特許庁
In the process for producing a composition for forming a water- repellent coated film, a hydrogen-binding solvent dispersant and a polymer dispersant are added to a perfluorocyclo polymer solution, and a fine particulate aqueous dispersion is dispersed.例文帳に追加
パーフルオロシクロポリマーの溶液に水素結合性溶媒分散剤及び高分子量分散剤を添加し、微粒子の水系分散物を分散する撥水性被膜形成用組成物の製造方法。 - 特許庁
According to this method, the acrylic acid-containing solution at a high concentration can be obtained, and dehydration treatment can be performed without using an azeotropic solvent to enable the production of high purity acrylic acid in a simple process.例文帳に追加
本発明によれば、高濃度のアクリル酸含有溶液を得ることができ、共沸溶媒を使用することなく脱水処理でき、簡便な工程で高純度のアクリル酸を製造することができる。 - 特許庁
This process for purifying the antibody is characterized by adding a mixture containing the antibody and contaminants to a hydrophobic interaction chromatography (LPHIC) column and then eluting the antibody with a buffer solution of pH 2.5 to 4.5 from the column.例文帳に追加
抗体と汚染物質を含有する混合物を、疎水相互作用クロマトグラフィーカラム(LPHIC)に添加し、そのカラムからpH2.5〜4.5の緩衝液で抗体を溶出させる抗体の精製方法。 - 特許庁
During the process, the workpiece is rotated and laterally moved while an electrodeposition solution is delivered onto the wafer surface at a predetermined flow rate, and a potential difference is applied between the workpiece surface and the electrode.例文帳に追加
電着溶液が予め定められた流動レートでウェハ表面上に与えられながら、ワークピースが回転され、横に移動され、ワークピースの表面と電極との間の電位差が与えられる。 - 特許庁
This method for purifying the ionic pigment compound includes a process for dialyzing an aqueous solution or a suspension of the ionic pigment compound into which the residual organic solvent is mixed through a porous separating material.例文帳に追加
残留有機溶媒が混入したイオン性色素化合物の水溶液または懸濁液を、多孔質分離材を介して透析する工程を含むイオン性色素化合物の精製方法を採用した。 - 特許庁
In the swelling treatment process 12, a film product 17 having a cellulose ester film and a layer containing an additive, e.g. a higher fatty acid ester is treated with a specified aqueous solution to obtain a swollen film 19.例文帳に追加
膨潤処理工程12において、セルロースエステルフィルムと高級脂肪酸エステルのような添加剤を含む層とを有するフィルム製品17を所定の水溶液で処理し、膨潤フィルム19とする。 - 特許庁
In a process for removing a residual monomer from a vinyl acetate polymer solution generated after polymerizing the vinyl acetate polymer, removal of the monomer is performed in the presence of air or oxygen.例文帳に追加
酢酸ビニル系モノマーを重合した後に生成する酢酸ビニル系重合体溶液から残存するモノマーを除去する工程において、空気又は酸素を共存させながらモノマーの除去を行う。 - 特許庁
The polyvinyl alcohol-based film is produced by a process for forming a polyvinyl alcohol-based film by a casting method using an aqueous solution of a polyvinyl alcohol-based resin containing an alkyl sulfonate-based surfactant.例文帳に追加
アルキルスルホン酸塩系の界面活性剤を含むポリビニルアルコール系樹脂水溶液を用いて、キャスト法によりポリビニルアルコール系フィルムを製膜する工程により、ポリビニルアルコール系フィルムを製造する。 - 特許庁
To provide an industrial method of preparing low-moisture nickel chloride anhydride by efficiently dewatering and drying moisture by accompanying a wet process in the method of dewatering and drying an aqueous nickel chloride solution.例文帳に追加
塩化ニッケル水溶液を脱水・乾燥する方法において、湿式法にともなう水分を効率よく脱水・乾燥し、低水分の無水塩化ニッケルを製造する工業的方法を提供する。 - 特許庁
A steel plate is treated chemically with a phosphate solution of pH 3-4.5 containing phosphate ions and nitrate ions as main components and 100-300 ppm of zinc ions (chemical treatment process).例文帳に追加
リン酸イオンおよび硝酸イオンを主成分とし、さらに、亜鉛イオンを100〜300ppm含有してなるpH3〜4.5のリン酸塩化成処理液で被塗物である鋼板を化成処理する(化成処理工程)。 - 特許庁
When an electroforming process is started, nickel precipitated from an aqueous solution of sulfamic acid nickel deposits on the surface of a silver plating film 5 except the parts where boric acid particles 2 are present to form a nickel precipitation layer 9.例文帳に追加
電鋳処理が開始されると、ホウ酸粒子2の存在部分を除く銀めっき膜5の表面にスルファミン酸ニッケル水溶液から析出したニッケルが電着してニッケル析出層9を形成する。 - 特許庁
To provide a polypropylene multilayer film which dispenses with a process for coating a release agent solution, from the surface of which a polydimethylsiloxane is scarcely detached and is excellent in releasing property from a pressure sensitive adhesive.例文帳に追加
離型剤溶液の塗布工程を必要とせず、ポリプロピレン系フィルム表面からのポリジメチルシロキサンの脱離が少なく、かつ粘着剤との離型性に優れたポリプロピレン系多層フィルムを提供する。 - 特許庁
The process for producing a film-forming composition comprises processing a solution containing an aromatic polyarylene and/or an aromatic polyarylene ether through a filter medium on which a zeta potential acts.例文帳に追加
芳香族ポリアリーレンおよび芳香族ポリアリーレンエーテルもしくはいずれか一方を含有する溶液をゼータ電位が作用する濾材により処理することを特徴とする膜形成用組成物の製造方法。 - 特許庁
This method for producing the zinc oxide-protein complex comprises an addition process of a proteing having a cavity in its inside as represented by ferritine, zinc ions, and a buffer solution containing ammonia.例文帳に追加
本発明に係る酸化亜鉛−タンパク質複合体は、フェリチンに代表されるような内部に空洞を有するタンパク質、亜鉛イオン、およびアンモニアを含有する緩衝液を添加する工程を有する。 - 特許庁
Thereby a silicate ion of an aqueous solution of water glass generated in the 1st hydrothermal reaction process, reacts with an aluminate ion originated from the 2nd raw material.例文帳に追加
これによって、第1水熱反応工程において生成された水ガラス水溶液のシリケートイオンと、第2原料に由来するアルミン酸イオンとが反応し、効率的に高品位の人工ゼオライトを製造できる。 - 特許庁
This method for removing the catalyst is achieved by washing reaction solution containing the isobutylene-based polymer treated with a catalyst inactivation process, with water containing 0.001-0.05 wt.% organic polymer-coagulating agent.例文帳に追加
触媒失活処理を行ったイソブチレン系重合体を含む反応溶液を、有機系高分子凝集剤が0.001〜0.05重量%含まれる水により洗浄することにより達成される。 - 特許庁
The invention relates to the albumin-purification method comprising a process subjecting an aqueous albumin solution having a concentration of 15-80 g/L and a pH of not less than 7, to nanofiltration in a temperature range of 15-55°C.例文帳に追加
15g/L〜80g/Lの濃度及び7以上のpHを有するアルブミン水溶液を15℃〜55℃の温度範囲におけるナノ濾過に供する工程を含むアルブミンを精製するための方法。 - 特許庁
This method treats the magnesium alloy sheet 1 through 'a combined process of pickling with a pickling liquid 3 such as a sulfuric acid solution and mechanical surface grinding with a rotating brush 4 or the like', as shown in fig. 1, for instance.例文帳に追加
例えば図1に示すように、マグネシウム合金板1に“硫酸水溶液等の酸洗液3による酸洗と回転ブラシ4等による機械的表面研削とを併用した処理”を施す。 - 特許庁
To suppress a decrease in process-uniformity effected by a droplet from a spray nozzle and to easily improve a uniformity of a mist diameter at a low cost when adding a catalytic element solution to an amorphous semiconductor film.例文帳に追加
触媒元素溶液を非晶質半導体膜に添加する際に、スプレーノズルからの液滴が及ぼす処理の均一性の低下を抑制し、ミスト粒径の均一性を低コストで容易に向上させる。 - 特許庁
The method for producing the aggregate of hollow carbon fibers or of carbon fibers whose core parts are filled, includes (i) a process for heating a solution containing at least carbon, oxygen, hydrogen and sulfur as constitutive elements, or (ii) a process for heating vapor of the solution containing at least carbon, oxygen, hydrogen and sulfur as constitutive elements in an atmosphere of a saturated vapor pressure of the solution.例文帳に追加
本発明は、中空状または芯部が充填された炭素繊維の集合体を製造する方法であって、(i)少なくとも炭素、酸素、水素および硫黄を構成要素として有する溶液を加熱する工程、若しくは(ii)少なくとも炭素、酸素、水素および硫黄を構成要素として有する溶液の飽和蒸気圧の雰囲気中において、該溶液の蒸気を加熱する工程を有することを特徴とする、中空状または芯部が充填された炭素繊維の集合体の製造方法である。 - 特許庁
In a process for producing polymer particles comprising blowing steam directly into a liquid mixture of a polymer solution containing an organic acid, an organic solvent, and a (meth)acrylic polymer, a dispersant, and water to remove the organic solvent from the polymer solution by steam stripping, the process for producing the spherical (meth)acrylic polymer particles is characterized in that a salt is present in the water.例文帳に追加
有機酸と有機溶剤と(メタ)アクリル系重合体を含む重合体溶液と、分散剤と水とを含む混合液を、スチームを直接吹き込むスチームストリッピングによって該重合体溶液より有機溶剤を除去し、重合体粒子を製造する方法において、水中に塩を存在させることを特徴とする(メタ)アクリル系重合体球状粒子の製造方法により達成できる。 - 特許庁
The carbon nanotubes are refined by mixing a solution dispersed with a carbon compound containing the carbon nanotubes and a solution containing a compound having peptide; separating the solubilized compound of the compound having the carbon nanotubes and peptide obtained in the previous process and the insoluble matter; specifically cutting the bond of the carbon nanotubes and the peptide of the solubilized compound; and separating the peptide fragments and carbon nanotubes cut in the previous process.例文帳に追加
カーボンナノチューブを含む炭素化合物を分散した溶液とペブチドを有する化合物を含む溶液とを混合し、前記工程得られるカーボンナノチューブとペブチドを有する化合物の可溶化複合体と不溶物を分離し、前記可溶化複合体のカーボンナノチューブとペブチドとの結合を特異的に切断し、前記工程で切断されたペプチド断片とカーボンナノチューブとを分離することにより、カーボンナノチューブを精製する。 - 特許庁
The method of manufacturing the oxide superconducting thin film includes: alternately performing a calcined film producing process of applying an organic metal compound solution and performing calcination heat treating to produce a calcined film having a predetermined thickness, and a nanoparticle depositing process of depositing the nanoparticles on the calcined film by using the solution of the nanoparticles; and subsequently performing main burning treatment.例文帳に追加
有機金属化合物溶液の塗布、仮焼熱処理を行い、所定厚みの仮焼膜を作製する仮焼膜作製工程と、ナノ微粒子の溶液を用いて仮焼膜の上にナノ微粒子を付着させるナノ微粒子付着工程とを、交互に行い、その後、本焼熱処理を施し、ナノ微粒子が所定間隔で層状に設けられた酸化物超電導薄膜を製造する酸化物超電導薄膜の製造方法。 - 特許庁
This method of detoxifying instruments containing organic halogen compounds comprises a process for filling a solution 2 formed by adding an alkaline compound to a hydrogen donator, into an instrument 1 having insulation oil containing organic halogen compounds adhering thereto; and a process for decomposing the organic halogen compounds contained in the insulation oil remaining in the instrument 1, by circulating the solution 2 through a catalyst-packed apparatuses 4.例文帳に追加
有機ハロゲン化合物を含む絶縁油が付着した機器1に、水素供与体にアルカリ化合物を添加してなる溶液2を充填する工程と、前記溶液2を触媒充填装置4に流通させながら循環させることにより、機器1に残存する絶縁油中に含まれる有機ハロゲン化合物を分解する工程とを有することを特徴とする、有機ハロゲン化合物内蔵機器の無害化処理方法。 - 特許庁
This method for synthesizing the macrocyclic pyridinophane of the present invention is characterized by comprising a process for dropwisely adding a solution containing a bifunctional monomer comprising a 2,6-dibromopyridine derivative to a dispersion containing additives, and a process for heating the additive-containing dispersion containing the dropwisely added monomer-containing solution to synthesize the macrocyclic compound comprising many monomers and having a space therein.例文帳に追加
本発明の大環状ピリジノファンの合成方法は、2,6−ジブロモピリジンの誘導体からなる二官能性モノマーを含む溶液を添加物を含む分散液に滴下する工程と、このモノマーを含む溶液を滴下した添加物を含む分散液を加熱することにより、モノマーの多量体から構成され、内部に空孔を有する大環状体を合成する工程とを含むことを特徴とする。 - 特許庁
To provide a method for producing a silver colloidal solution comprising silver particulates with a mean particle diameter of ≤30 nm in which the uniformity of particle diameters is extremely high, and having excellent dispersibility and particularly suitable as a pigment for ink having metallic luster by applying a polyol process as a liquid phase process suitable for mass production; to provide silver particulates obtained by the production method; and to provide a dispersed solution thereof.例文帳に追加
大量生産に適した液相法であるポリオール法を応用することにより、平均粒径が30nm以下であり、しかも粒径の均一性が極めて高く、分散性に優れた銀微粒子、特に金属光沢性インク用の顔料として好適な銀微粒子を含有した銀コロイド溶液の製造方法及び該製造方法により得られた銀微粒子とその分散液を提供する。 - 特許庁
The method of evaluating the positive electrode active material includes a surface treatment process of dissolving the surface of a positive electrode active material whose component density changes from the surface into the inside into an acid solution and a computation process of analyzing elements in the acid solution into which the surface of the positive electrode active material is dissolved and computing the coverage from the results of analysis.例文帳に追加
この正極活物質の評価方法は、表面から内部に向かって構成する元素の濃度に変化がある正極活物質の表面を、酸溶液に溶解させる表面処理工程と、表面処理工程を行った後、正極活物質の表面を溶解させた酸溶液に対して元素分析を行い、測定結果から被覆率を算定する算定工程と、を備えるものである。 - 特許庁
This method for producing the alcohol or an organic acid comprises a saccharification process of hydrolyzing the waste construction materials to produce the sugar, a fermentation pre-treatment process of treating a sugar solution obtained by the saccharification process, and a fermentation process of obtaining the alcohol by the fermentation of the sugar.例文帳に追加
廃建材を加水分解して糖を生成する糖化工程と、前記糖化工程で得られた糖溶液を処理する発酵前処理工程と、糖から発酵によりアルコールを得る発酵工程とを有するアルコール又は有機酸の製造方法であって、前記発酵前処理工程が、前記発酵工程を阻害する発酵阻害物質を除去するために、前記糖溶液の蒸発を行う工程であることを特徴とするアルコール又は有機酸の製造方法。 - 特許庁
To provide a photosensitive resist solution which can etch fine and high-density conductor circuits by forming an etching resist layer free of tack on a coating film by using a dipping process, and to provide a method for manufacturing a printed circuit board having the fine and high-density conductor circuits by using the resist solution.例文帳に追加
ディップ法を用いて塗膜にタックのないエッチングレジスト層を形成し、微細で高密度の導体回路をエッチング加工できる感光性レジスト液を提供し、該レジスト液を用い微細で高密度の導体回路を有するプリント配線基板の製造方法を提供することを課題とするものである。 - 特許庁
To provide an apparatus for liquid phase growth equipped with a mechanism stirring a raw material solution in a cooling process, by which the temperature of the raw material solution is homogenized and the difference of the film thickness of the epitaxial layer grown on a substrate, even on a substrate with a large area, between its periphery and center is minimized.例文帳に追加
冷却過程において原料溶液を撹拌する機構を備えることによって原料溶液の温度を均質化し、これにより、大面積の基板上でも、その上に成長されるエピタキシャル層の膜厚が周辺と中央とで差が生じないようにした液相成長装置を提供することにある。 - 特許庁
This negative type radiation sensitive resin composition solution is suitable for use as a resist which is not swellable with a developing solution, excellent in developability, pattern shape, focus latitude, heat resistance, pattern faithfulness, lithographic process stability, etc., having high sensitivity and high resolution and adaptable to various radiation sources.例文帳に追加
本発明によれば、現像液による膨潤がなく、現像性、パターン形状、フォーカス許容性、耐熱性、パターン忠実度、リソグラフィープロセス安定性などに優れ、高感度かつ高解像度で様々な放射線源に対応できるレジストとして好適なネガ型感放射線性樹脂組成物溶液を得ることができる。 - 特許庁
To provide a cyclic olefin polymer solution adaptable to solution casting process capable of easy control of thickness with high productivity, and to provide a cyclic olefin polymer sheet/film having excellent characteristics such as moisture-proof, easy tearing, easy opening and easy incinerating.例文帳に追加
防湿性、易引裂性、易開封性、易焼却性などに優れた環状オレフィン系重合体の、厚さ制御が容易で生産性良く製造することのできる、溶液流延法に好適な環状オレフィン系重合体溶液、およびそれを用いて得られる環状オレフィン系重合体シート又はフィルムを提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing an electrolytic copper foil having few curls and pin boles, by stabilizing an electrolytic solution level in an electrolytic solution pool used for forming an initial nucleus, in a process of manufacturing the electrolytic copper foil by using an auxiliary anode and passing a current with a high current density when starting electrodeposition, and to provide an apparatus used therefor.例文帳に追加
電着開始時に補助陽極を用いて高電流密度の電流を通電して電解銅箔を製造する際、初期核形成に用いる電解液溜り中の電解液面を安定化させることにより、カールとピンホールの少ない電解銅箔の製造方法とそれに用いる装置を提供する。 - 特許庁
The method for avoiding inhibition of nucleic acid amplification reaction with the bile component by using an enriched culture solution containing a cell body obtained by a culture process as a testing sample and removing a bile component in the culture solution by centrifugal concentration and alkali treatment is provided in a method for amplifying a nucleic acid derived from a cell body.例文帳に追加
菌体由来の核酸を増幅する方法において、培養法によって得られた菌体を含む増菌培養液を被検試料とし、遠心濃縮およびアルカリ処理により前記培養液中の胆汁成分を除去することによって、胆汁成分による核酸の増幅反応阻害を回避する方法。 - 特許庁
The method for isolating the virus includes a process to filter a liquid sample containing the virus with a filter having a pore size of 0.1 μm, inoculate the filtrate to a culture solution of algae of the genus Heterocapsa and culture the filtrate and cloning the virus by diluting the culture solution in which lysis of the algae of the genus Heterocapsa is observed.例文帳に追加
該ウイルスの単離方法は、ウイルスを含有する液体試料を0.1μm孔径のフィルターで濾過し、得られた濾液をヘテロカプサ属の藻類の培養液に接種して培養を行い、ヘテロカプサ属の藻類の溶藻が観察された培養液を限界希釈することにより前記ウイルスをクローニングする工程を含む。 - 特許庁
To provide a post-ashing treatment solution which prevents the corrosion of metallic wiring and reliably removes residue such as a degenerated photoresist film and a metallic deposition from a substrate subjected a ashing after dry etching under severer conditions in an ultrafine patterning process and a treatment method using the solution.例文帳に追加
超微細パターン化プロセスにおけるより過酷な条件のドライエッチング、続いてアッシングが施された基板において、金属配線に対する腐食を防止し、かつホトレジスト変質膜、金属デポジション等の残渣物を確実に除去し得るアッシング後の処理液およびこれを用いた処理方法を提供する。 - 特許庁
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