| 意味 | 例文 |
Scanning electron microscopeの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 665件
In this state, electron beam is irradiated on the sample on the holder 5 and observation of the scanning electron microscope is made.例文帳に追加
この状態でホルダ5上の試料に電子ビームを照射し、走査電子顕微鏡像の観察を行う。 - 特許庁
To perform both observation by a scanning electron microscope and observation by a photo-electron microscope by using a single device without moving a sample.例文帳に追加
試料を移動することなく、一つの装置で走査型電子顕微鏡による観察と光電子顕微鏡による観察とを可能にする。 - 特許庁
To provide a scanning method for a scanning electron microscope improving degradation of length measuring precision by shrink of a sample.例文帳に追加
試料のシュリンクによる測長精度の低下を改善する走査電子顕微鏡の走査法を提供する。 - 特許庁
PROBER DEVICE EQUIPPED WITH SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, AND PROBE CLEANING METHOD OF PROBER DEVICE例文帳に追加
走査型電子顕微鏡を備えたプローバ装置及びプローバ装置の探針クリーニング方法 - 特許庁
REDUCTION IN ABERRATION CAUSED BY WIEN FILTER IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OR THE LIKE例文帳に追加
走査型電子顕微鏡等においてウィーンフィルタによって生成される収差の低減 - 特許庁
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, AND COMPOUND INSPECTION METHOD OF PATTERN BY USING IT例文帳に追加
走査型電子顕微鏡、および走査型電子顕微鏡を用いたパターンの複合検査方法 - 特許庁
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE HAVING DISTANCE MEASUREMENT FUNCTION AND DISTANCE MEASUREMENT METHOD USING THE SAME例文帳に追加
測長機能を備えた走査形電子顕微鏡およびそれを使用した測長方法 - 特許庁
To provide a scanning electron microscope capable of measuring lengths and inspecting defects with one unit.例文帳に追加
一台で、測長と欠陥検査が可能な走査型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁
CONFOCAL SCANNING TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE DEVICE AND THREE-DIMENSIONAL TOMOGRAPHIC OBSERVATION METHOD例文帳に追加
共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び3次元断層像観察方法 - 特許庁
A two-dimensional image of a measurement target object is acquired using a scanning electron microscope.例文帳に追加
走査型電子顕微鏡を用いて、測定対象物の二次元画像を取得する。 - 特許庁
To provide a scanning electron microscope capable of reducing labor for searching an analysis point.例文帳に追加
解析箇所を探す手間を少なくすることが可能な走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁
OBSERVATION METHOD FOR FINE THREE-DIMENSIONAL SHAPE ON SURFACE OF SAMPLE USING SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加
走査型電子顕微鏡を用いた試料表面の微細立体形状の観察法 - 特許庁
METHOD FOR MEASURING RESIST PATTERN, SCANNING ELECTRON MICROSCOPE TYPE DIMENSION MEASURING DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
レジストパターン測定方法、走査電子顕微鏡型測長装置及び半導体装置 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING DIMENSION OF CIRCUIT PATTERN BY USING SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加
走査型電子顕微鏡を用いた回路パターンの寸法計測装置およびその方法 - 特許庁
To provide a scanning electron microscope having improved operability for adjustment of an alignment coil.例文帳に追加
アライメントコイルの調整の操作性を向上させた走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁
ANIMATION FUNCTION USING THREE-DIMENSIONAL COMPUTER GRAPHICS ON SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OR SIMILAR EQUIPMENT例文帳に追加
走査形電子顕微鏡あるいは類似装置における三次元CG(ComputerGraphics)を用いたアニメーション機能 - 特許庁
DEFLECTION MECHANISM OF CHARGED PARTICLE BEAM, CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加
荷電粒子ビームの偏向機構及び荷電粒子ビーム装置並びに走査電子顕微鏡 - 特許庁
With the use of the scanning electron microscope of such a structure, a sample image is obtained.例文帳に追加
このような構造を有する走査型電子顕微鏡を用いて、試料像を得る。 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR QUANTITATIVE THREE DIMENSIONAL RECONSTRUCTION IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加
走査型電子顕微鏡における定量的3次元再構成のための方法および装置 - 特許庁
A scanning probe microscope apparatus 1 comprises a scanning electron microscope 2 having a sample base 3 on which a sample A is set and a scanning probe microscope 4 mounted on the sample base 3.例文帳に追加
走査型プローブ顕微鏡装置1は、試料Aがセットされる試料台3を有する走査型電子顕微鏡2と、前記試料台3に装着される走査型プローブ顕微鏡4とを具備する。 - 特許庁
To provide a compact scanning electron microscope and a method for switching the objective lens usage of the scanning electron microscope, enabling a usage change of the objective lens in a short time.例文帳に追加
小型で、短時間で対物レンズの用途切替ができる走査電子顕微鏡及び走査電子顕微鏡の対物レンズの用途切替方法を提供することを課題とする。 - 特許庁
To selectively detect a secondary electron signal and a reflected electron signal regarding a secondary electron-reflected electron detecting device and a scanning electron microscope having the secondary electron-reflected electron detecting device.例文帳に追加
本発明は2次電子・反射電子検出装置及び2次電子・反射電子検出装置を有する走査電子顕微鏡に関し、2次電子信号と反射電子信号を選択的に検出することを目的としている。 - 特許庁
To provide a chamber suitable for use with a scanning electron microscope useful for allowing wet samples to be viewed under an electron microscope.例文帳に追加
湿潤サンプルの電子顕微鏡検査を可能にすることになる、走査型電子顕微鏡と共に使用するように適合されたチャンバを提供する。 - 特許庁
When a sample 5 processed by an FIB apparatus is inserted into a body tube of the electron microscope, the microscope is automatically set into a scanning secondary electron image acquisition mode.例文帳に追加
FIB装置で加工された試料5は、電子顕微鏡鏡筒内に挿入されると、装置は走査2次電子像取得モードに自動的に設定される。 - 特許庁
To provide a sample holder for a scanning electron microscope which can use a slide glass using for observation by an optical microscope as an observation sample as it is, and also to provide the scanning electron microscope on which the sample holder is mounted.例文帳に追加
光学顕微鏡での観察に使用したスライドガラスをそのまま観察試料として使用可能な、走査電子顕微鏡用試料ホルダおよび当該試料ホルダを搭載した走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁
An optical-microscope unit 24, which detects reflected light while emitting light in an oblique direction to the observation face of a scanning electron microscope, is provided inside or outside a sample chamber of the scanning electron microscope.例文帳に追加
走査電子顕微鏡の試料室外もしくは試料室内に、走査電子顕微鏡の観察面に対して斜め方向に光を照射して反射光を検出する光学顕微鏡ユニット24を設ける。 - 特許庁
The scanning electron microscope 1 is provided with electron guns 3A, 3B, and electron beam B_1 emitted from the electron gun 3A has a higher energy than the electron beam B_2 emitted from the electron gun 3B.例文帳に追加
走査型電子顕微鏡1は電子銃3A,3Bを備え、電子銃3Aから放出される電子ビームB_1は、電子銃3Bから放出される電子ビームB_2よりも高いエネルギーを有している。 - 特許庁
An electron beam transmitting through an object 5 to be analyzed in this scanning transmission electron microscope enters the element mapping device.例文帳に追加
走査透過型電子顕微鏡装置で分析対象物(5)を透過した電子線は元素マッピング装置に入射する。 - 特許庁
The scanning electron microscope is provided with a charge collecting unit to arrest a charge generated in the sample by electron beams irradiated by the scanning electron microscope, and a cost for inspecting the sample can be reduced and a high quality image can be provided.例文帳に追加
走査電子顕微鏡から照射される電子ビームによって試料に発生する電荷を捕集する電荷捕集部を備えることによって、試料検査へのコストを低減し、かつ、高品質の映像を提供する。 - 特許庁
This substrate inspecting method uses a scanning electron microscope.例文帳に追加
本発明に係る基板検査方法は、走査型電子顕微鏡装置を用いた基板検査方法である。 - 特許庁
The beam system includes an ion beam device and a scanning electron microscope with a magnetic objective lens.例文帳に追加
二重ビーム装置はイオン・ビーム装置および磁気対物レンズを備える走査電子顕微鏡を含む。 - 特許庁
STANDARD MEMBER FOR CALIBRATION, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE USING THE SAME例文帳に追加
校正用標準部材およびその作製方法並びにそれを用いた走査電子顕微鏡 - 特許庁
To provide a scanning transmission electron microscope operated with a sample in a high pressure environment.例文帳に追加
高圧環境中の試料を使用して動作する走査透過電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁
DEVICE AND METHOD FOR EXAMINATION OF SAMPLE IN NON-VACUUM ENVIRONMENT USING SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加
走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法 - 特許庁
MICROPROCESSING METHOD AND APPARATUS OF CARBONACEOUS MATERIAL USING LOW VACUUM SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加
低真空走査型電子顕微鏡を用いた炭素系材料の微細加工方法とその装置 - 特許庁
To provide a scanning electron microscope capable of preventing contact between an objective lens and a sample.例文帳に追加
対物レンズと試料の接触を防止できる走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁
To provide a sample holder for a microscope that can observe almost a total region of a sample with high resolution using a scanning electron microscope, and to provide an electron microscope equipped with such a sample holder for a microscope.例文帳に追加
走査型電子顕微鏡を用いて試料の略全域を高分解能で観察することができる顕微鏡用試料ホルダ、及びそのような顕微鏡用試料ホルダを具備する電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁
An electron beam energy analyzer (energy filter) 11 is installed to a scanning transmission type electron microscope to observe an electron beam energy loss spectrum and an element distribution image.例文帳に追加
走査透過型の電子顕微鏡に電子線エネルギー分析装置(エネルギーフィルタ)11を備え、電子線エネルギー損失スペクトルや元素分布像を観察する。 - 特許庁
To provide electron beam devices such as a scanning electron microscope and an electron beam drawing device wherein influences of an atmospheric pressure fluctuation and a low-frequency sound are eliminated.例文帳に追加
大気圧の変動、低周波音による影響を除去した走査電子顕微鏡や電子ビーム描画装置等の電子ビーム装置を実現する。 - 特許庁
To make the shape observation and dimension inspection of very fine pattern possible in an electron beam inspection device of a scanning electron microscope for example.例文帳に追加
走査形電子顕微鏡などの電子ビーム検査装置において、微細なパターンの形状観察や寸法検査を可能とする。 - 特許庁
To provide a sample holder and an electron microscope, capable of improving resolution in acquiring an image when an scanning transmission electron image of a sample is acquired by using a general objective lens of the scanning electron microscope.例文帳に追加
走査電子顕微鏡における一般的な対物レンズを用いて試料の走査透過電子像を取得する際に、像取得時での分解能を向上させることのできる試料ホルダ及び電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁
To provide a constitution method as a composite charged particle beam device capable of preparing a TEM (Transmission Electron Microscope) sample efficiently by using a gas ion beam device, an FIB (Focused Ion Beam) and a SEM (Scanning Electron Microscope).例文帳に追加
気体イオンビーム装置とFIBとSEMを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。 - 特許庁
To provide an electron source which is used for a semiconductor wafer inspection device such as a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer like an Auger electron spectroscopic analyzer, an electron beam exposure apparatus, especially a scanning electron microscope using an electron beam accelerated with low voltage of 1 kV or less, a CD SEM, or a DRSEM.例文帳に追加
走査型又は透過型電子顕微鏡、オージェ電子分光装置等の表面分析装置、電子線露光機、特に、電子ビームの加速電圧が1kV以下の低加速で用いられる走査型電子顕微鏡、CD SEM、DRSEM等の半導体ウェハ検査装置に用いられる電子源を提供する。 - 特許庁
To provide an electron source used for a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer such as an Auger electron spectroscope, an electron beam exposure machine, in particular, a scanning electron microscope used at low acceleration where an acceleration voltage of an electron beam is not higer than 1kV, or a semiconductor wafer inspection device such as a CD SEM or a DRSEM.例文帳に追加
走査型又は透過型電子顕微鏡、オージェ電子分光装置等の表面分析装置、電子線露光機、特に、電子ビームの加速電圧が1kV以下の低加速で用いられる走査型電子顕微鏡、CD SEM、DRSEM等の半導体ウェハ検査装置に用いられる電子源を提供する。 - 特許庁
To provide an electron gun capable of improving accuracy and reliability of a device by stabilizing an electron source in an electron beam application device such as a scanning electron microscope and an electron beam lithography device.例文帳に追加
走査型電子顕微鏡や電子線描画装置など、電子線応用装置において、電子源の安定化を図り、装置の精度および信頼性を向上させる電子銃を提供する。 - 特許庁
To provide a scanning electron microscope that can greatly reduce vibration of the image due to the mechanical vibration of the microscope body tube and the stage.例文帳に追加
鏡筒とステージの機械的な振動による像の振動を著しく軽減することができる走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁
To elongate life of and improve electrooptic performance of a thermionic cathode for a device using electron beams such as a lithography device, a scanning electron microscope (SEM), and a transmission electron microscope (TEM).例文帳に追加
リソグラフィ装置、走査型電子顕微鏡(SEM)、透過型電子顕微鏡(TEM)などの電子ビーム利用装置のための熱陰極の寿命を延ばすとともに電子光学的性能を改善する。 - 特許庁
APPARATUS FOR MEASURING SURFACE CROSS-SECTIONAL SHAPE OR THREE-DIMENSIONAL SURFACE SHAPE AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加
表面の断面形状若しくは三次元表面形状測定装置及び走査型電子顕微鏡 - 特許庁
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