「Scanning electron microscope」に関連した英語例文の一覧と使い方(9ページ目) - Weblio英語例文検索

When the crystal grain size of the sintered body is observed by a scanning electron microscope, the average crystal grain size is preferably 0.1 to 20 μm.例文帳に追加

焼結体の結晶粒径を走査型電子顕微鏡で観察したとき、平均結晶粒径は０．１〜２０μｍであることが好ましい。 - 特許庁

To correct a drift of a focusing point position at a high speed in a scanning electron microscope having a function to observe featured objects on a sample.例文帳に追加

試料上の特徴物を観察する機能を有する走査型電子顕微鏡において、合焦点位置のずれを高速に補正する。 - 特許庁

To provide an operational amplifier capable of applying a high voltage and a large current and achieving stable and precise amplification and to provide a scanning electron microscope.例文帳に追加

高電圧・大電流を扱うことができ、安定且つ精密な増幅が可能な演算増幅器、及び走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide an inspection method and a device using a scanning electron microscope capable of performing fine control of a probe accurately and simply.例文帳に追加

探針の微細な制御を正確に簡単に行なうことができる走査電子顕微鏡を用いた検査方法および装置をを実現する。 - 特許庁

To provide an image processing method capable of reducing slimming of a sample, and of providing optimum image quality having high visibility, in a scanning electron microscope.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡において、試料のスリミングを低減し、視認性のよい最適な画質が得られる画像処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide a downsized and highly efficient/highly functional detector to achieve downsizing of the detector, equipping of an energy filter mechanism, and equipping of a secondary electron/reflected electron selection mechanism or the like in detecting the secondary electron and the reflected electron in an electron beam application device such as a scanning electron beam microscope.例文帳に追加

本発明は走査電子顕微鏡など電子線応用装置において二次電子および反射電子の検出において検出器の小形化、エネルギーフィルタ機構の装備、二次電子/反射電子選別機構の装備などを実現し小形で高効率/高機能の検出器を提供することを目的とするものである。 - 特許庁

An electron beam 70 of a scanning electron microscope (scanning the area of interest) is used to activate the precursor gas 55, 65 and this results in deposition of a metal layer over the topographical features of the substrate in the selected area 40.例文帳に追加

対象となる領域を走査する走査電子顕微鏡の電子ビーム７０は、前駆体ガス５５、６５を活性化させるために用いられ、この結果、選択された領域４０の基板のトポグラフィカルフィーチャ上に金属層が堆積される。 - 特許庁

The common sample holder for a scanning electron microscope device and a focused ion beam device is set mountable on a scanning electron microscope device with an electron beam backscatter pattern measurement function and on a focused-ion beam device with a microsampling function, and enables a crystal orientation analysis and microsampling, without having to remount a sample.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡装置と集束イオンビーム装置との共用試料ホルダーは、電子線後方散乱パターン計測機能を有した走査型電子顕微鏡装置と、マイクロサンプリング機能を装備した集束イオンビーム装置とに装着可能で、試料の載せ替え作業をせずに結晶方位解析とマイクロサンプリング加工が可能であることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope or a sample inspection method using the scanning electron microscope which is high in reliability of an element spectrum of a sample or accuracy of quantification thereof by means of suppression of a system peak by regulating an amount of electrons scattering on an objective lens diaphragm to control electrons which deviate from a main electron beam trajectory and are irradiated beyond analysis points.例文帳に追加

本発明は対物レンズ絞り上で散乱する電子の量を制限し、主電子線軌道から外れ、分析点以外に照射される電子を制御することでシステムピークを抑制し、試料の元素スペクトルの信憑性または定量精度の高い走査電子顕微鏡または走査電子顕微鏡による試料検査方法を提供することである。 - 特許庁

In electron irradiation observation from a normal direction on the surface of a wafer WF using a first column 8 of a scanning electron microscope; when it is determined that a defect is caused by releasing, an edge of the wafer WF is moved to an imaging position of the second column 16 of the scanning electron microscope by an XYθ stage 24, and the edge of the wafer WF is observed obliquely.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡の第一カラム８によるウェハWF表面の法線方向からの電子照射観察において、欠陥がはがれに起因すると判定される場合に、ＸＹθステージ２４によってウェハWFのエッジを走査型電子顕微鏡の第二カラム１６の撮像位置に移動し、斜方からウェハWFのエッジを観察する。 - 特許庁

Conversion parts 8, 9 which individually perform coordinate-conversion in each horizontal (X) direction and vertical direction (Y) are provided at a scan control part 12 to form two dimensional coordinates for scanning electron beams of a scanning electron microscope, and the electron beams are scanned in the arbitrary direction in the inspection object region of the sample.例文帳に追加

走査電子顕微鏡の電子ビームを走査（スキャン）させるための２次元の座標を生成するスキャン制御部１２に、水平（Ｘ）方向及び垂直（Ｙ）方向毎に個別に座標変換する変換部８，９を備え、試料の検査対象領域で任意の方向に電子ビームを走査させる。 - 特許庁

To provide a sample preparation method and a sample preparation device, capable of performing sample observation in a short time in a transmission electron microscope, a scanning electron microscope or the like, and a sample observation device capable of observing the prepared sample in a short time.例文帳に追加

透過電子顕微鏡や走査電子顕微鏡などにおける試料観察を短時間に行える試料作製方法および試料作製装置、ならびにその作製された試料を短時間に観察できる試料観察装置を提供する。 - 特許庁

To provide a pattern dimension measuring method capable of measuring a cross-sectional shape using a scanning charged particle microscope such as a STEM (Scanning Transmission Electron Microscope), as to a plurality of cross sections, by one time of sample preparation, and a system therefor.例文帳に追加

ＳＴＥＭ等の走査型荷電粒子顕微鏡を用いた断面形状計測を１回のサンプル作成で複数の断面について行うことができるようにしたパターン寸法計測方法及びそのシステムを提供することにある。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of efficiently detecting reflection electrons emitted by a sample at a small angle without degradation of resolution at the time of capturing a sample image.例文帳に追加

試料像の取得時における分解能の低下をもたらすことなく、試料からの低角度放出反射電子の検出を効率良く行う。 - 特許庁

The method further includes a step of then inspecting whether a non-through hole 13A which is not penetrating through the film 12, is generated or not by a scanning electron microscope.例文帳に追加

次に、走査型電子顕微鏡により第１の絶縁膜１２を貫通していない未貫通孔部１３Ａが生じているか否かを検査する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of obtaining easily three-dimensional shape on the surface of a test piece, while preventing cost increase and large-sizing of the device.例文帳に追加

コストアップと装置の大型化を防ぎなから、試料の表面の立体形状を容易に得ることができる走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which obtains a high-resolution and high-contrast concavo-convex image of a sample surface.例文帳に追加

本発明は、試料表面の高分解能かつ高コントラストな凹凸像を得ることを特徴とする走査型電子顕微鏡を提供するものである。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which is suitable for monitoring conditions of the device, without having to depend on the existence of electrostatic charges or sample tilting, or the like.例文帳に追加

本発明の目的は、帯電や試料傾斜等の存在によらず、装置の状態をモニタするのに好適な走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of obtaining a high-resolution and high-contrast concavoconvex image of a sample surface.例文帳に追加

本発明は、試料表面の高分解能かつ高コントラストな凹凸像を得ることを特徴とする走査型電子顕微鏡を提供するものである。 - 特許庁

An S is a sample cross-section desired to be obtained by an operator, in Fig. (c), and the sample cross-section S is observed thereafter by a scanning electron microscope or the like.例文帳に追加

図９（ｃ）において、Ｓはオペレーターが得たかった試料断面であり、この試料断面Ｓは後で走査電子顕微鏡などで観察される。 - 特許庁

After designating a position inside a memory cell block of a target cell, information on the number of arrangements of cells in a scanning electron microscope(SEM) observation visual field of a radix portion of the cell block is extracted.例文帳に追加

目標セルのメモリセルブロック内での位置を指定後、セルブロックの基点部分のＳＥＭ観察視野でのセルの配置個数情報の抽出。 - 特許庁

To shorten a time for focusing by shortening a scanning range of Z coordinates to actuate for focusing when imaging an image by an electron microscope.例文帳に追加

電子顕微鏡で画像を撮像するとき，焦点を合わせるために動作させるＺ座標の走査範囲を短くして，焦点を合わせる時間を短縮する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which improves a throughput, even if it is observed with a sample electrified into negative electric potential.例文帳に追加

試料を負電位に帯電させて観察を行った場合においてもスループットの向上を図ることができる走査形電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a method for preparing a sample for a scanning electron microscope by a simple operation without damaging the sample being an observation target.例文帳に追加

観察対象の試料にダメージを与えることなく、簡単な操作で、走査電子顕微鏡用の試料を作製する方法を提供することにある。 - 特許庁

To provide a scanning transmission electron microscope including a function capable of correcting easily and highly precisely a quintic spherical aberration C5, and an aberration correction method.例文帳に追加

５次球面収差Ｃ５の補正を簡単かつ高精度に行う機能を備えた走査透過電子顕微鏡、及び収差補正方法を提供する。 - 特許庁

To provide a Z standard calibration specimen for accurately performing a Z calibration in a scanning electron microscope having a three- dimensional shape analyzing means.例文帳に追加

三次元形状解析手段を備えた走査電子顕微鏡において、高精度にＺ校正を行なうためのＺ標準校正試料を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of facilitating cleaning of an electrostatic chuck and reducing the attenuating non-operating time due to the stain of the electrostatic chuck.例文帳に追加

本発明は、静電チャックのクリーニングを容易にし、また静電チャック汚染による不稼働時間を低減可能な走査電子顕微鏡の提供を目的とする。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope, capable of detecting secondarily generated electrons from a sample with high detection efficiency by using a semi-in-lens type object lens.例文帳に追加

セミインレンズ型対物レンズを用いて高い検出効率で試料からの二次発生電子を検出することが可能な走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

This measuring method of a dimension of a register pattern consists of cooling a sample before measuring a regist pattern dimension with a scanning electron microscope.例文帳に追加

レジストパターンの寸法を走査型電子顕微鏡で測定するにあたり、試料を冷却して測定することを特徴とするレジストパターンの寸法測定方法。 - 特許庁

To provide a sample stand for a scanning electron microscope and its angle adjusting method whereby the angle of a sample can be easily and accurately adjusted.例文帳に追加

試料の角度調整を容易かつ正確に行うことができる走査電子顕微鏡用試料台およびその角度調整方法を提供する。 - 特許庁

FOCUSING STATE-DETECTING MEMBER, SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, FOCUSING CONDITION ADJUSTMENT METHOD, FOCUS ADJUSTMENT METHOD, AND FOCUS DEPTH MEASUREMENT METHOD例文帳に追加

集束状態検出用部材、走査型電子顕微鏡、ならびに電子ビームの集束条件調整方法、焦点調整方法及び焦点深度測定方法 - 特許庁

To provide a low-vacuum observation scanning electron microscope having a function for observing a sample under low vacuum in an optimum condition.例文帳に追加

低真空状態で試料を最適な状態で観察できる機能を備えた低真空観察用走査電子顕微鏡電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of performing a chirality distribution in a polymer structure of protein and an analysis of a magnetic domain structure at high resolution.例文帳に追加

タンパク質等の高分子構造におけるカイラリティ分布や、磁区構造の解析を高分解能で行うことが可能な走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which subjects secondary particles to bandpass discrimination in a desired energy region, and detects them at a high yield.例文帳に追加

二次粒子を所望のエネルギー領域でバンドパス弁別し，なおかつ高収量で検出できる走査電子顕微鏡を提供することを課題とする。 - 特許庁

To quantitatively and accurately express quality of a state of a scanning electron microscope device from an observation image of metal particles.例文帳に追加

金属粒子の観察画像から走査型電子顕微鏡装置の状態の良し悪しを定量的かつ高精度に表すことができるようにすること。 - 特許庁

To provide a lattice strain evaluation method of a crystal material for easily performing strain distribution analysis by using a scanning transmission electron microscope, and an evaluation system.例文帳に追加

走査透過型電子顕微鏡を用いて簡易に歪の分布解析を行う結晶材料の格子歪評価方法、評価システムを提供する。 - 特許庁

In this scanning type charged particle beam microscope using an electron beam etc., when a scanning image is taken-in in a memory device synchronizing with a scanning signal, a delay of the electronic circuit is corrected and taken-in by a shift registor having variable number of steps.例文帳に追加

電子線等を使用した走査型荷電粒子ビーム顕微鏡において、走査信号に同期して走査画像を記憶装置に取り込む際に、電子回路の遅延を可変段数のシフトレジスタにより補正して取り込む。 - 特許庁

After internationally charging electric charge at early stages on a sample surface such as a photograph mask, the scanning electron microscope image, is set as the base which obtains the image based on a signal of a secondary electron produced by scanning with a primary electronic beam on the charged sample surface.例文帳に追加

フォトマスクのような試料表面に初期に意図的に電荷を帯電させた後で、帯電された試料表面を１次電子ビームでスキャンして生じる２次電子の信号を基とする画像を得る走査電子顕微鏡画像による。 - 特許庁

To realize a scanning electron microscope formed so that the position of a deflection supporting point of the electron beam always passes through the main surface position of an objective lens, even if the position of the lens main surface of the objective lens is changed.例文帳に追加

対物レンズのレンズ主面の位置が変化しても、電子ビームの偏向支点の位置が常に対物レンズの主面位置を通るように構成した走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of effectively detecting a reflected electron generated from a sample at a low angle while realizing a short focus distance and forming a sample image.例文帳に追加

本発明は、短い焦点距離を実現しつつ、試料から低い角度で発生する反射電子を高率良く検出し、試料像を形成する走査形電子顕微鏡の提供を目的とする。 - 特許庁

A top magnetic pole of an objective lens is electrically insulated against the part of the lens other than that for the top magnetic lens, and a scanning electron microscope with positive voltage applied accelerating a primary electron beam post-deflection is provided.例文帳に追加

対物レンズの上磁極を、対物レンズの上磁極以外の残部に対し電気的に絶縁し、一次電子ビームを後段加速する正の電圧を印加する走査形電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

In order to solve the problems, the scanning electron microscope is proposed that is equipped with a function in which device conditions are monitored based on information obtained in a state that electron beam does not reach a sample.例文帳に追加

上記課題を解決するために、電子ビームを試料に到達させない状態で、得られた情報に基づいて、装置コンディションをモニタする機能を備えた走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

To provide a negative resist composition which retains solubility in an alkali developer while improving dry etching resistance and resistance to an electron beam from a scanning electron microscope (SEM).例文帳に追加

ドライエッチング耐性および走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）による電子線への耐性を向上させるとともにアルカリ現像液に対する溶解性を維持したネガ型レジスト組成物を提供することを課題とする。 - 特許庁

The yttrium oxide powder has an average particle diameter of secondary particles of 0.1-4 μm as observed with a scanning electron microscope of 20,000 magnifications, an average circularity of the secondary particles of 0.70-0.90 as observed with the scanning electron microscope of 20,000 magnifications, and a specific surface area of 1-120 m^2/g.例文帳に追加

走査電子顕微鏡（２００００倍）で観察される２次粒子の平均粒径が０．１μｍ〜４μｍであり、且つ、走査電子顕微鏡（２００００倍）で観察される２次粒子の真円率平均が０．７０〜０．９０であり、且つ、比表面積が１〜１２０ｍ^2／ｇであることを特徴とする酸化イットリウム粉末を提案する。 - 特許庁

The pattern matching method and apparatus for carrying out pattern matching between design data and the image taken by a scanning electron microscope converts the design data into a bitmap, and carries out the matching between the bitmapped design data and the image taken by a scanning electron microscope.例文帳に追加

本発明は、設計データと走査型電子顕微鏡にて取得される画像との間でパターンマッチングを行うパターンマッチング方法及び装置であって、設計データをビットマップに変換して、当該ビットマップ化された設計データと、走査型電子顕微鏡によって取得された画像とのマッチングを行うことを特徴とする。 - 特許庁