「Scanning electron microscope」に関連した英語例文の一覧と使い方(12ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an apparatus for preventing an image distortion indicating a width and a dimension of a gap of a circuit formed by an SEM (scanning electron microscope) under the influence of an external electromagnetic radiation emitted from an adjacent manufacturing apparatus.例文帳に追加

隣接する製造装置から放出された外部電磁放射の影響下でＳＥＭにより形成された回路の幅及び間隔の寸法を示す画像の歪みを防止する装置を提供する。 - 特許庁

A focal length of an objective is continuously changed by making accelerated voltage from a power source 1 of an electron beam accelerating voltage connected to an electron gun 2 of the scanning electron microscope variable by a voltage fine controller 3 to realize focusing to a sample without adjusting a position of a sample by a mechanical means.例文帳に追加

走査電子顕微鏡の電子銃２に接続される電子線加速高圧電源１を電圧微細調整器３により加速電圧を可変にすることにより対物レンズの焦点距離を連続的に変更し、試料位置を機械的手段で調整することなく試料への焦点合わせを実現させる。 - 特許庁

The sample holder 14 is equipped with a means, having a mechanism of inclination and rotation, in addition to the movement of the position of the sample or a means for altering the position of the lens barrel 1 of the scanning electron microscope and a reflected electron detector 12, to make the lens barrel 1 and the reflected electron detector 12 face the surface of the sample.例文帳に追加

前記試料ホルダ１４は、試料位置の移動に加え傾斜と回転の機構を有するか、前記走査型電子顕微鏡の鏡筒１と反射電子検出器１２の位置を変更し、前記鏡筒１と反射電子検出器１２を前記試料表面に対向させるための手段を備える。 - 特許庁

To provide a stereoscopic shape measuring method by a scanning electron microscope (SEM) and its device capable of highly-accurate stereoscopic shape measurement even in the case of a flat surface or a nearly vertical surface, by utilizing tilt angle dependency of a secondary electron image signal quantity.例文帳に追加

ＳＥＭの２次電子画像信号量の傾斜角依存性を利用して平坦な面や垂直に近い面についても高精度な立体形状計測を可能にしたＳＥＭによる立体形状計測方法およびその装置を提供することにある。 - 特許庁

When aligning the crystal direction of the sample to an optical axis of a scanning transmission electron microscope, accurate and quick crystal direction alignment can be performed since a direction for inclining the sample can be directly determined from the shape of the electron beam diffraction image.例文帳に追加

本発明によれば、ＳＴＥＭの光軸に対して試料の結晶方位を合わせる際、試料を傾斜させるべき方向を電子線回折像の形状から直接判断することができるため、正確かつ迅速な結晶方位合せが可能となる。 - 特許庁

Thereby, the sample holder 21 can be supported in an objective lens of the electron microscope, the electron beam having passed through the opening 20b can reach the sample 9 in the sample holder 21, and thereby signals of scanning transmission electrons generated from the sample 9 can be detected.例文帳に追加

これにより、電子顕微鏡の対物レンズ内で試料ホルダ２１を支持することができ、該開口２０ｂを通過した電子線が試料ホルダ２１内の試料９に到達し、これにより試料９から発生する走査透過電子の信号を検出できる。 - 特許庁

To provide a scanning X-ray electron microscope capable of detecting photoelectrons under a wide range of a vacuum condition from a low vacuum to a high vacuum when photoelectrons generated from a sample by the scanning of X-rays are detected.例文帳に追加

本発明は、Ｘ線の走査により試料から発生した光電子を検出する際、低真空から高真空までの広範囲の真空条件において光電子を検出することが可能な走査Ｘ線電子顕微鏡を提供することを目的とする。 - 特許庁

To realize a computing means which can optimize an amount of focal gap in STEM and which can erase a virtual image and receive a feedback of a condition by substantially shortening the period of time to obtain a computed image and by comparing an image of an electron microscope to the computed image right after observation in an observation method and an observation equipment by a scanning transmission electron microscope.例文帳に追加

走査透過型電子顕微鏡に依る観察方法及び観察装置に関し、ＳＴＥＭに於ける焦点ずれ量の最適化や虚像の消去を可能にする計算手段を実現し、そして、計算像を得る為の時間を大幅に短縮して電子顕微鏡像を観察直後に計算像と比較して条件をフィードバックできるようにする。 - 特許庁

To provide radial clusters of sharp-ended multiwalled carbon nanotubes, which are new carbon nanostructures useful as a probe for STM (scanning tunneling microscope) or AFM (atomic force microscope), a field emission electron source of a display element, a display, or the like, and to provide a method for preparing the radial clusters.例文帳に追加

ＳＴＭやＡＦＭ用探針、表示素子、ディスプレイ等の電界放出電子源などとして有用な、新規なカーボンナノ構造物である鋭端多層カーボンナノチューブ放射状集合体とその製造方法鋭端多層カーボンナノチューブ放射状集合体とその製造方法を提供する。 - 特許庁

Furthermore, after the cross section of the specific place of the semiconductor device is observed by the scanning microscope, the protective film of the amorphous structure is provided on the observation cross section in an observation sample formed in order to observe the same observation cross section by the transmission electron microscope.例文帳に追加

更に、半導体デバイスの特定箇所の断面を走査型顕微鏡で観察した後、同一観察断面を透過型電子顕微鏡で観察すべく作製される観察試料において、前記観察断面上に非晶質構造の保護膜を有することを特徴とする。 - 特許庁

The electron microscope is provided in which an excitation current or an impressing voltage to an objective lens or an acceleration cylinder for accelerating electron beams of the scanning electron microscope is cut off when the measuring object test piece is separated from underneath of the objective lens, or is made weak excitation compared with before separation for excitation current, or cut off or made to be lower voltage compared with before the separation for impressing voltage.例文帳に追加

上記目的を達成するために、走査電子顕微鏡の対物レンズ、或いは電子ビームを加速するための加速円筒への励磁電流、或いは印加電圧を、測定対象試料を対物レンズ下から離間させたときに、励磁電流をオフ、或いは離間させる前に比べて弱励磁、又は印加電圧をオフ、或いは離間させる前に比べて低電圧とする電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

This scanning electron microscope is equipped with a sample chamber 5 of the microscope and a sample processing chamber 10 via an airlock valve 9, and the sample disposed in the specimen processing chamber 10 is processed, then subjected to slanting and rotation drive, followed by the introduction of the processed sample into the sample chamber 5 of the microscope for observation.例文帳に追加

走査電子顕微鏡であって、該走査電子顕微鏡の試料室５とエアロックバルブ９を介して試料加工室１０が設けられており、該試料加工室１０内に配置された試料を傾斜・回転駆動させて加工した後、加工された試料を走査電子顕微鏡の試料室５に導入して観察するように構成する。 - 特許庁

The scanning electron microscope for two-dimensionally scanning an electron beam on a sample to form an image with signals obtained from the sample and sent to display means comprises a means for controlling pressure in a sample cell and a means for sending signals obtained from the sample to the display means by controlling in accordance with the pressure in the sample cell.例文帳に追加

試料上で電子線を２次元的に走査し試料から得られる信号を表示手段に送って像を形成する走査電子顕微鏡において、試料室の圧力を制御する手段と、前記試料から得られる信号を前記試料室の圧力に応じて制御して表示手段に送る手段とを備えたことを特徴とする。 - 特許庁

To realize a method of manufacturing a membrane sample for a scanning transmission electron microscope which is suitable for being used in the inspection of a multilayer structure in a semiconductor device and which is handled easily, and to realize an observation method for the membrane sam ple.例文帳に追加

半導体デバイスの多層構造の検査に用いて好適であり、取り扱いが容易な走査透過電子顕微鏡用薄膜試料作製方法および薄膜試料の観察方法を実現する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope, allowing an image satisfactory for observing of the irregular shapes of an object of observation to be observed correctly and accurately three-directionally, and to provide a three-dimensional image display method that uses it.例文帳に追加

被観察対象物の凹凸形状を観察するに十分な画像を正確に精度よく立体観察可能とする走査型電子顕微鏡装置およびこれを用いた三次元画像表示方法を提供する。 - 特許庁

To provide a charged particle beam device of a critical-dimension measuring scanning electron microscope (CD-SEM) or the like, measuring accurately a pattern dimension on a photomask for nanoimprint by a retarding voltage application system.例文帳に追加

リターディング電圧印加方式によってナノインプリント用フォトマスク上のパターン寸法を正確に測定することができる微小寸法測定走査電子顕微鏡（CD-SEM）等の荷電粒子線装置を提供することにある。 - 特許庁

To provide a template matching method by which erroneous determination is prevented even when a ground pattern appears in extracting a pattern matched with a template from the images using a design pattern as the template, and to provide a scanning electron microscope.例文帳に追加

設計パターンをテンプレートとし、画像からテンプレートと一致するパターンを抽出するときに、画像に下地パターンが現れていても誤判断のないテンプレートマッチング方法、および走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

The probe for the scanning probe microscope includes a cantilever like base part 101 equipped with a conical needle part 101a, the insulating layer 102 formed the base part 101 and the electron discharge layer 103 formed on the insulating layer 102.例文帳に追加

円錐状の針部１０１ａを備えたカンチレバー状の基部１０１と、基部１０１の上に形成された絶縁層１０２と、絶縁層１０２の上に形成された電子放出層１０３とを備える。 - 特許庁

To provide an image processor for improving the success rate and accuracy of pattern matching of two images without lowering the efficiency of the inspection work of length measurement or the like, an image processing method and a scanning electron microscope.例文帳に追加

２つの画像のパターンマッチングの成功率および精度を向上させ、しかも、測長などの検査作業の効率を低下させない画像処理装置、画像処理方法および走査型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a method for evaluating feature values such as the area, width, and height of the whole part or specific part of an SEM image(scanning electron microscope image) to be inspected without generating the fluctuation of evaluation.例文帳に追加

検査対象のＳＥＭ像（電子顕微鏡画像）に基づいて、その全体または特定部分の面積や幅、高さなどの特徴量を評価する評価方法で、評価にバラツキが発生しない方法を提供する。 - 特許庁

To provide means which allows an operator for easily acquiring a desired observation image under an arbitrary observation condition, in a scanning electron microscope having a plurality of different types of detectors.例文帳に追加

本発明の目的は、異なる種類の複数の検出器を有した走査電子顕微鏡において、任意の観察条件で操作者が所望する観察画像を容易に取得する手段を提供することにある。 - 特許庁

To accurately calculate a coordinate data conversion/correction formula for a short time so as to effectively search particles on a wafer from their data that are measured by a particle counter, by a scanning electron microscope (SEM).例文帳に追加

パーティクルカウンタで測定したウェーハ上の粒子の座標データに対し走査型電子顕微鏡（SEM）で当該粒子の探索を効果的に行うための、座標データ変換・補正式を短時間で精度良く算出する。 - 特許庁

To automatically image a desired evaluation point (EP) on a sample, and automatically measure a circuit pattern formed at the evaluation points, in the dimension measurement of a circuit pattern using a scanning electron microscope (SEM).例文帳に追加

走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いた回路パターンの寸法計測において、試料上の任意の評価ポイント（ＥＰ）を自動で撮像し，評価ポイントに形成された回路パターンを自動で計測することを可能にする。 - 特許庁

To provide a stage system enabling alleviation of vibration or drift at a high level and positioning accuracy, which are required for a sample stage of a scanning electron microscope used in a field of semiconductor manufacturing.例文帳に追加

半導体製造分野で用いられる走査型電子顕微鏡の試料ステージについて要求されるような高いレベルでの振動やドリフトの低減および位置決め精度を可能とするステージ装置の提供。 - 特許庁

The magnesium oxide powder has a cubic particle shape when observed by a scanning electron microscope, and has a cumulative 50% particle diameter (D_50) of at least 1.0 μm by a laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡にて観察した粒子形状が立方体状であり、かつレーザ回折散乱式粒度分布測定による累積５０％粒子径（Ｄ_５０）が１．０μｍ以上である酸化マグネシウム粉末。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope in which a rapid change of an irradiation current can be suppressed against intensity changes of a focusing lens at changing the irradiation current by changing the intensity of the focusing lens.例文帳に追加

集束レンズの強度を変化させて照射電流を変化させるに際して、集束レンズの強度変化に対して、照射電流の急激な変化を抑えることができる走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

The sample production device achieves sample production suitable for observation by a scanning electron microscope, by forming a micro irregularity every structure by focused ion beam assistant etching using assist gas for increasing the spatter yield difference for every material.例文帳に追加

材料毎のスパッタイールド差を大きくするアシストガスを利用した集束イオンビームアシストエッチングにより、構造毎の微小凹凸を形成することで、走査電子顕微鏡観察に適した試料作製を実現する。 - 特許庁

A probe, means for replacing the inside of a sample chamber with prescribed gas and means for turning into images by ion current detection or absorbed current detection are incorporated to realize a safe SEM (scanning electron microscope) whose risk of electrical discharge is low.例文帳に追加

探針と、試料室内を所定のガスで置換する手段と、イオン電流検出や吸収電流検出による画像化手段を備えることにより、放電の危険性の低い安全なＳＥＭを実現する。 - 特許庁

To provide a low vacuum scanning electron microscope including an evacuation system in which an orifice diameter can be made larger than the conventional one so that a throughput until observation from sample exchange can be improved, and a required amount of a probe current can be obtained when irradiating an electron beam.例文帳に追加

本発明の目的は、試料交換から観察までのスループット向上を図ると共に、電子ビーム照射時には、必要なプローブ電流量が得られるようオリフィス径を従来より拡大することができる排気システムを備えた低真空電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁

In a method that an image is formed by utilizing a secondary electron amplification by residual gas around a sample in a low vacuum scanning electron microscope(SEM) and an absorption current, the observation with high resolution and good image quality is enabled by an electric field in which an electrode acts with the comparatively reduced number of parts and a design taking scattering of a first electron beam into consideration.例文帳に追加

低真空SEMにおける試料周辺の残留ガス分子による二次電子増幅法と吸収電流を利用して画像を形成する方式に於いて、比較的少ない部品数で電極が作用する電界や１次電子ビームの散乱を考慮した設計によって、低真空における高分解能・良好な像質での観察を可能とする。 - 特許庁

An electron microscope can display the observed image on a display unit 28 by applying an acceleration voltage to an electron gun to irradiate a sample with an electron beam based on predetermined image observation conditions, scanning the desired area of the surface of the sample while secondary electrons or reflected electrons emitted from the sample are detected by one or more detectors, thereby focusing the image.例文帳に追加

電子顕微鏡は、所定の像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して電子線を試料に照射し、試料から放出される二次電子または反射電子を１以上の検出器で検出しながら試料表面の所望の領域を走査することで、観察像を結像し表示部２８にて表示可能である。 - 特許庁

To enhance efficiency for reviewing a defect to review the large number of defects in a short time, in the defect review for a semiconductor device capable of detecting the defect in a low magnification of SEM (Scanning Electron Microscope) image and capable of observing the defect in a high magnification of SEM image.例文帳に追加

低倍率のＳＥＭ像で欠陥を検出し、高倍率のＳＥＭ画像で欠陥を観察する半導体デバイスの欠陥レビューにおいて、欠陥レビューの効率をあげて短時間に多数に欠陥をレビューできるようにする。 - 特許庁

The standard sample for the charged particle beam containing different two samples for magnification or dimension calibration, and the charged particle beam device using the standard sample are formed, in a TEM, an STEM (scanning transmission electron microscope), or an SEM for observing a sample by using electrons transmitted through it.例文帳に追加

本発明では、上記目的を達成するために、倍率、或いは寸法校正のための異なる２つの試料が含まれている荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of attaining both photographing and preservation of a moving image and a still image and especially attaining photographing and preservation of the moving image and photographing of the still image with high image quality.例文帳に追加

本発明の目的は、動画の撮影・保存と静止画撮影・保存がいずれも可能な走査電子顕微鏡、特に動画の撮像・保存と、高画質な静止画像が撮影できる走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁

To provide a conveying device of a mini-environment system efficiently conveying a sample to a scanning electron microscope for critical dimension measuring, even when an SMIF-pod (standard mechanical interface-pod) housing only one piece of photomask is used.例文帳に追加

１枚のフォトマスクしか収納することはできないスミフポッドを使用する場合でも、効率的に、試料を微小寸法測定走査電子顕微鏡に搬送することができるミニエンバイラメント方式の搬送装置を提供する。 - 特許庁

In a scanning electron microscope in which a lubricant is coated on a sliding portion of a movable member that moves inside a vacuum chamber, a substance from which low molecular components were removed is used as the lubricant.例文帳に追加

以上のような目的を達成するために、真空室内にて移動する移動部材の摺動部分に潤滑剤を塗布した走査型電子顕微鏡において、当該潤滑剤として、低分子成分が除去されたものを採用する。 - 特許庁

Further as one embodiment, the scanning electron microscope includes a function to correct conditions and the like in an apparatus such as magnification, focus, measuring coordinate and the like varied in accordance with a sample electrification, based on the measured sample height and the sample electrification.例文帳に追加

また、その一態様として、測定された試料高さや試料電位に基づいて、試料帯電によって変動する装置条件（例えば倍率，フォーカス，観察座標等）を補正する走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

To evade failure in X-ray analysis caused by coming-out from a sample position where an X-ray is efficiently taken in, when executing the X-ray analysis following to sample observation by a scanning electron microscope.例文帳に追加

走査電子顕微鏡による試料観察に引き続いてＸ線分析を実行する場合に、試料の位置がＸ線を効率良く取り込める位置から外れていることでＸ線分析が失敗してしまうことを回避する。 - 特許庁

When characterization of the tip of a diamond probe 1 for machining is needed, a high resolution scanning electron microscope observation at a high accelerating voltage is performed for the tip of the diamond probe 1 in use for machining under a water vapor atmosphere.例文帳に追加

加工用ダイヤモンド探針１の先端のキャラクタリゼーションが必要なときは使用している加工用ダイヤモンド探針1の先端を水蒸気雰囲気下での高加速電圧の高分解能走査電子顕微鏡観察を行う。 - 特許庁

As for formation of a buried plug in formation of a wiring contact part, a buried plug is formed by using a conductive material and inspection of burying height by means of a scanning electron microscope is made possible by electrical conductivity of the buried plug.例文帳に追加

配線コンタクト部の形成における埋め込みプラグの形成について、導電性材料を用いて埋め込みプラグを形成し、埋め込みプラグの導電性によって走査型電子顕微鏡による埋め込み高さの検査を可能とする。 - 特許庁

A specimen transfer system S used for a semiconductor scanning electron microscope is equipped with a specimen chamber 1, a specimen replacing chamber 2, a loading board 11, a specimen transfer path, a transfer means of the specimens 13, and a control device of controlling the transfer means.例文帳に追加

半導体用走査電子顕微鏡用の試料搬送システムＳは、試料室１、試料交換室２、ロードポート１１、試料搬送経路、試料１３の搬送手段、搬送手段を制御する制御装置を備えている。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which can effectively detect ions excited by primary electrons, reflecting electrons, secondary electrons generated due to bias electrode electric field or the like to obtain an absorption current.例文帳に追加

一次電子励起のイオンや反射電子励起のイオン、バイアス電極電界により生じた二次電子励起のイオンなどのイオンを効率よく検出し、吸収電流を得ることができる走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁

The scanning electron microscope scans electron beams on a test piece two-dimensionally and produces two dimensional image data 40 based on secondary electrons emitted from the test piece and composes scales 41a, 41b for expressing a prescribed length (1 μm) on the image data along two vertical and horizontal directions mutually perpendicular.例文帳に追加

本発明の走査型電子顕微鏡は、電子ビームを試料上に２次元状に走査し、試料から発せられる２次電子に基づいて２次元的な画像データ４０を生成するとともに、画像データ４０に、互いに垂直な縦横の２方向に沿って、所定の長さ（１μｍ）を表すスケール４１ａ，４１ｂを合成する。 - 特許庁

In the scanning electron microscope in which the inside of an inner pipe for passing an electron beam is set up to be vacuum and a low vacuum observation is possible with an objective restriction arranged between the inner pipe and a specimen chamber, a two-stage objective restriction unit having another second objective restriction between the objective restriction and the specimen is arranged at an end of the inner pipe.例文帳に追加

本発明は、電子ビームが通過するインナーパイプ内部を真空とし、試料室との間に設けた対物絞りにより低真空観察が可能な走査電子顕微鏡において、対物絞りと試料との間にさらに第二の対物絞りを設けた２段対物絞りユニットをインナーパイプの端に設ける。 - 特許庁

When a multi-axial stage 40 of a scanning electron microscope 10 is rotated horizontally, inclined or moved horizontally, an operation of rotating, inclining or horizontally moving an image for specification is performed by means of a mouse 62 while creating an image for specification from an SEM image obtained from a signal of a secondary electron detector 20 and displaying the image on an image display unit 61.例文帳に追加

走査電子顕微鏡１０の多軸ステージ４０を水平回転、傾斜、水平移動させるに際して、二次電子検出器２０の信号から得られるＳＥＭ像から指定用画像を作成して画像表示装置６１に表示しつつ、マウス６２で指定用画像を回転、傾斜、水平移動させる操作を行う。 - 特許庁