「Scanning electron microscope」に関連した英語例文の一覧と使い方(8ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a scanning electron microscope capable of detecting secondary electrons generated from a whole face of a target in high efficiency.例文帳に追加

ターゲット全面から発生した２次電子を高い効率で検出することができる走査電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

To achieve a scanning electron microscope capable of automatically photographing an inclined review image from an arbitrary inclined observation direction.例文帳に追加

任意の傾斜観察方向から傾斜レビュー画像を自動的に撮像することができる走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

The analysis method is at least one method selected from the group consisting of transmission electron microscope, scanning electron microscope, electron probe microanalysis, Auger electron spectroscopy, atom probe, infrared spectroscopy, laser Raman spectroscopy, inductive coupled plasma spectroscopy, liquid chromatography, and gas chromatography.例文帳に追加

該分析方法は、透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、電子プローブマイクロアナリシス、オージエ電子分光、２次イオン質量分析、アトムプローブ、赤外分光、レーザーラマン分光、誘導結合プラズマ、液体クロマトグラフ、ガスクロマトグラフからなる群より選択される少なくとも一つの方法である。 - 特許庁

To easily carry out incident axis adjusting method of a scattered electron beam against an annular dark field scanning image detector regarding an incident axis adjusting method of a scattered electron beam against an annular dark field scanning image detector and a scanning transmission electron microscope.例文帳に追加

本発明は環状暗視野走査像検出器に対する散乱電子ビームの入射軸調整方法及び走査透過電子顕微鏡に関し、環状暗視野走査像検出器に対する散乱電子ビームの入射軸合わせ容易に行うようにすることを目的としている。 - 特許庁

In order to observe a worked cross section being worked by an FIB, the axis of the electron optics system of a scanning electron microscope(SEM) 40 is set vertical to the axis of the ion-optics system of an FIB device 20.例文帳に追加

ＦＩＢで加工中の加工断面を観察するために、ＦＩＢ装置２０のイオン光学系の軸に対しＳＥＭ４０の電子光学系の軸を垂直にした。 - 特許庁

A wafer 6 is rotated, an electron beam is emitted to the rotating wafer 6 from a scanning electron microscope 1, and secondary electrons 9 emitted from the wafer 6 are detected.例文帳に追加

ウェハ６を回転させ、回転するウェハ６に対して走査型電子顕微鏡１から電子ビームを照射し、ウェハ６から放出される２次電子９を検出する。 - 特許庁

To provide a luminous body with high speed of response and luminescence intensity, and to provide an electron beam detector, scanning electron microscope and mass spectroscope using the same.例文帳に追加

応答速度が速く、且つ発光強度が高い発光体と、これを用いた電子線検出器、走査型電子顕微鏡及び質量分析装置を提供する。 - 特許庁

As an observed area of the sample 3 is irradiated by the electron beam E1 during observation with a scanning electron microscope, the area is negatively charged.例文帳に追加

走査電子顕微鏡等を用いた観察時に、電子ビームＥ１が試料３の被観察領域に照射されるにつれて、当該被観察領域が負に帯電されていく。 - 特許庁

This scanning electron microscope irradiates an electron beam to a sample while keeping pressure in a sample chamber not less than 1 Pa, and detects generated ions to display images of the sample.例文帳に追加

走査電子顕微鏡は、試料室圧力を１Ｐａ以上に保持して試料に電子線を照射し、発生するイオンを検出して試料像を表示する。 - 特許庁

In this way, since a transmission electron image is obtained by the electron beam scanning at searching for the visual field as for this invention of the electron microscope, the magnetized state remains unchanged from searching for the visual field up to the photographing time.例文帳に追加

このように、本発明の電子顕微鏡においては、視野探しの時に電子線を走査させて透過電子像を得ており、視野探しから撮影にかけて集束レンズの励磁状態は変化しない。 - 特許庁

To properly offset external disturbance by correcting deflection of a primary electron without impairing original operability of a scanning electron microscope even when changing a converging condition of an electron lens.例文帳に追加

電子レンズの収束条件を変化させた場合にも，走査電子顕微鏡本来の操作性を損なうことなく一次電子の偏向を補正して外部擾乱の相殺が適切に行えることを目的とする。 - 特許庁

Alternatively, an inert gas can be injected into the scanning electron microscope at the point where the electron beam impinges the specimen to neutralize a charge build-up on the specimen by the ionization of the inert gas by the electron beam.例文帳に追加

あるいは、非活性ガスは、電子ビームが標本に当たる点で走査電子顕微鏡に注入されて、電子ビームによる不活性ガスのイオン化によって標本上の電荷蓄積を中和化し得る。 - 特許庁

On a sample holder 20 for an electron microscope, the electron beam that transmits through a sample S supported by a grid 28 and passes through an aperture member 31 with a main body portion 21 attached to a sample stand of a scanning electron microscope is irradiated on a secondary electron generating surface 32, resulting in a secondary electron being generated from the secondary electron generating surface 32.例文帳に追加

電子顕微鏡用試料ホルダ２０においては、走査型電子顕微鏡の試料台に本体部２１が取り付けられた状態で、グリッド２８によって支持された試料Ｓを透過し且つ絞り部材３１を通過した電子線が２次電子発生面３２に照射され、それにより、２次電子発生面３２から２次電子が発生させられる。 - 特許庁

To provide a linewidth measurement regulation method and a scanning electron microscope capable of preventing a measured result from being fluctuated even when changing a magnification, a scanning direction and a measuring instrument.例文帳に追加

倍率、走査方向や測定装置を変更しても、測定結果の変動が生じない線幅測定調整方法及び走査型電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

In order to solve the problems, a device is proposed in which a prescribed treatment is carried out by a line as a unit (scanning line as a unit) when an image is processed in a scanning electron microscope.例文帳に追加

上記課題を解決するために、走査電子顕微鏡の画像処理に際し、ライン単位（走査線単位）で所定の処理を実施する装置を提案する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope and a sample observation method capable of obtaining a stable scanning image by sufficiently reducing the influence of charge-up of a sample surface.例文帳に追加

試料表面のチャージアップの影響を十分に軽減し、安定した走査画像を得ることができる走査型電子顕微鏡及び試料観察方法を提供する。 - 特許庁

A cross section of a thin film layer of which the dimensions are previously known is processed into a mirror finished surface, image data of a scanning electron microscope image is obtained, and thereafter the performance evaluation of the scanning electron microscope is stably and quantitatively executed by using a means such as a frequency analysis or the like.例文帳に追加

予め寸法の分かっている薄膜層の断面を鏡面加工し、走査形電子顕微鏡像の画像データを取得後、周波数解析等の手段を用いて、走査形電子顕微鏡の性能評価を安定かつ定量的に行う。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope by which lowering in the sensitivity and the reduction of the scanning range caused, when a detector leaves a specimen is eliminated, and an impact on secondary electrons that are detected by a magnetic field generated by scanning coils is eliminated.例文帳に追加

検出器が試料から遠ざかることによる感度低下、走査範囲の減少を解消し、走査コイルが発生する磁場により検出される２次電子に対する影響を除くこと。 - 特許庁

To provide an electron beam microscope device having a scan control capable of improving throughput of the device by shortening the substantial scanning time without changing image acquisition condition at the time of electron beam scanning.例文帳に追加

本発明の目的は、電子線走査時の画像取得条件を変えることなく実質走査時間を高速化し、装置のスループットを向上可能な走査制御を有する電子線顕微鏡装置提供することにある。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope for analysis having an analyzing function accurately performing element analysis and element mapping at a specific area of a sample at a correct analysis position (consonance of electron beam) with a simple constitution without providing an equivalent circuit on a scanning electron microscope side and an external analyzer side.例文帳に追加

走査電子顕微鏡本体側と外部分析装置側に同等の回路を備えることなく、簡単な構成により、試料の特定領域の元素分析や元素マッピングを正しい分析位置（電子ビーム一致）で正確に行うことができる分析機能を有した分析走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

To allow various defects on a wafer to be quickly observed with high sensitivity in a defect observation method and a device for the same of a scanning electron microscope (SEM).例文帳に追加

ＳＥＭの欠陥観察方法及びその装置において、ウェハ上の多様な欠陥を高速、高感度に欠陥を観察する。 - 特許庁

The known method includes using a scanning transmission electron microscope, and also using a scanned diffraction beam of the STEM.例文帳に追加

知られた方法は、走査透過電子顕微鏡を使用することを伴うと共に、ＳＴＥＭの回折の走査されたビームを使用する。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope provided with a mean measuring a dose of particle beam such as electron beam and ion beam.例文帳に追加

電子ビームやイオンビーム等の粒子線の粒子線量を測定する手段を備えた走査形プローブ顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

This application may be composed as an additional module receivable particularly onto the sample table of a conventional scanning electron microscope.例文帳に追加

本発明は、特に、従来式の走査電子顕微鏡の試料台の上で受容可能な追加モジュールとして構成されていてよい。 - 特許庁

The scanning electron microscope 10 includes the image processor 4 for performing the pattern matching of a first image and a second image.例文帳に追加

走査型顕微鏡１０は、第１の画像と第２の画像とのパターンマッチングを行なう画像処理装置４を含んで構成される。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope that is adapted to obtain an image removed of image disorder influences due to disturbances by means of simple measures.例文帳に追加

簡単な手段で、外乱による像障害の影響を除去した像を得るのに適した走査電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

A detection signal is sent to a monitor 23, and subsequently a scanning electron microscope image is displayed on an image display area.例文帳に追加

検出信号は、モニター２３に供給され、その結果、像表示領域には、走査電子顕微鏡像が表示されることになる。 - 特許庁

It is also possible to allocate a device equipped with performance necessary for each process using the scanning electron microscope.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡を用いる各工程に対し、その工程に必要な装置性能を備えた装置を割り当てることも可能となる。 - 特許庁

To realize an image display method of a scanning electron microscope capable of quantitatively observing the state of unevenness of the surface of a sample.例文帳に追加

試料表面の凹凸の状態を定量的に観察することができる走査電子顕微鏡の像表示方法を実現する。 - 特許庁

To interrupt length measurement by detecting that a sample carrying mechanism of a scanning electron microscope including a vacuum exhaust system is in operation.例文帳に追加

真空排気系を含む走査電子顕微鏡の試料搬送機構が稼働中であることを検出して測長を中断する。 - 特許庁

The method is especially suitable for use in a particle optical device including a scanning electron microscope column (20) and a converging ion beam column (10).例文帳に追加

本方法は、とりわけ、走査電子顕微鏡カラム(20)と集束イオンビームカラム(10)とを備えた、粒子光学装置での使用に最適である。 - 特許庁

The scanning electron microscope includes; a vacuum evacuation system 13 capable of low vacuum control; an energy dispersion type X-ray detector 14; and a sample holder 15 on which a slide can be mounted, thereby the slide using for observation by a polarization microscope can be mounted on the electron microscope as it is, and the scanning electron microscope can be provided which can perform observation and analysis for the same sample.例文帳に追加

本発明による走査電子顕微鏡は、低真空制御が可能な真空排気系１３と、エネルギー分散型Ｘ線検出器１４と、スライドを搭載できる試料ホルダ１５を有することで、偏光顕微鏡で観察するのに使用したスライドをそのまま電子顕微鏡に搭載することが可能となり、同一試料による観察および分析ができる走査電子顕微鏡の提供が可能となる。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope suitable for measuring an accurate probe current at the time of sample observation, even in a sample chamber held in lower vacuum than the inside of a microscope body part.例文帳に追加

鏡体部内よりも低い真空に保たれた試料室においても、試料観察時に正確なプローブ電流を測定するのに適した走査電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

Further, the foreign bodies are collected by a foreign body removing mechanism arranged on the sample conveying hand prepared between a scanning electron microscope body and the sample cassette so as not to bring the foreign bodies generated in the scanning electron microscope to a sample cassette or the like.例文帳に追加

更に走査電子顕微鏡内で発生した異物を、試料カセット等に持ち込まないように、走査電子顕微鏡鏡体と試料カセットとの間に設けられた試料搬送用ハンドに設けられた異物除去機構によって、異物を回収する走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

The scanning electron microscope is constructed so as to emit high-energy charged particles from an electron source 2 and irradiate the high-energy charged particles on a sample S by reducing the speed of the high-energy charged particles between an objective lens 6 of an electron gun 1 and the sample.例文帳に追加

電子源２から高エネルギーの荷電粒子を放出し、この高エネルギーの荷電粒子を電子銃１の対物レンズ６と試料との間で減速させて試料Ｓに照射する構成とする。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which can switch in a simple operation a low vacuum secondary electron detection to other detections like a reflector electron detection without exposing a test piece chamber to an atmosphere.例文帳に追加

試料チャンバを大気開放することなく、低真空二次電子検出とそのほかの例えば反射電子検出等との切り換えを簡便な操作で以て行うことができる走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

The pitch-based carbon short fiber filler has >10 to ≤40 μm average fiber diameter (L1) observed under an optical microscope, a closed graphene sheet in observation of a filler end face under a transmission type electron microscope, and a substantially flat surface observed under a scanning electron microscope.例文帳に追加

光学顕微鏡で観測した平均繊維長（Ｌ１）が１０μｍ以上４０μｍ以下であって、透過型電子顕微鏡によるフィラー端面観察においてグラフェンシートが閉じており、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平坦であるピッチ系炭素短繊維フィラー。 - 特許庁

The pitch-based carbon short fiber filler has a mean fiber length (L1) of 40 μm or more but less than 80 μm observed with an optical microscope, a closed graphene sheet by filler end face observation with a transmission electron microscope, and a substantially flat surface observed with a scanning electron microscope.例文帳に追加

光学顕微鏡で観測した平均繊維長（Ｌ１）が４０μｍ以上８０μｍ未満であって、透過型電子顕微鏡によるフィラー端面観察においてグラフェンシートが閉じており、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平坦であるピッチ系炭素短繊維フィラー。 - 特許庁

To provide a technique capable of restraining the charges generated by electron beam irradiation from accumulating in a measuring sample, in a probing device that uses an SEM (scanning electron microscope) as the observation means.例文帳に追加

ＳＥＭを観察手段として用いるプロービング装置において、電子線照射により生じる測定試料への電荷の蓄積を抑制することのできる技術を提供する。 - 特許庁

To provide a differential pumping scanning electron microscope capable of easily carrying out maintenance and inspection of various parts of an electron-optical system and a differential pumping orifice easily making spin finishing of a pipe.例文帳に追加

電子光学系の各部品及び差動排気用オリフィスの保守点検が容易に行え、またパイプの芯出しの容易な差動排気走査形電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

This application relates to this scanning electron microscope provided with a sample chamber, an electron detector disposed in the sample chamber, and a sample table disposed in the sample chamber and equipped with a sample holder.例文帳に追加

本発明は、試料室と、試料室の中に配置された電子の検出器と、試料室の中に配置された、試料ホルダを備える試料台とを備える走査電子顕微鏡に関する。 - 特許庁

To automatically execute adjustment of an electron beam entering into a monochromator and adjustment of an operating condition of the monochromator, in a scanning electron microscope equipped with the monochromator.例文帳に追加

モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、モノクロメータに入射する電子ビームの調整及びモノクロメータの動作条件の調整を自動的に行うことを可能にする。 - 特許庁

To provide a length-measuring method of a scanning electron microscope wherein no error in measuring length takes place from the configuration of a sample or film kind, etc.例文帳に追加

試料の構成や膜種等によって測長誤差の生じることのない走査形電子顕微鏡の測長方法を提供する。 - 特許庁

An upper layer pattern and a lower layer pattern are subjected to pattern matching between SEM (Scanning Electron Microscope) images, to thereby generate an upper layer correlation map and a lower layer correlation map.例文帳に追加

上層パターンと下層パターンをそれぞれSEM画像の間でパターン・マッチングを行ない、上層相関マップと下層相関マップを生成する。 - 特許庁

To provide a length measuring method by a scanning electron microscope, capable of preventing a length measuring error from being generated by the constitution of a sample, a kind of film or the like.例文帳に追加

試料の構成や膜種等によって測長誤差の生じることのない走査形電子顕微鏡の測長方法を提供する。 - 特許庁