「Scanning electron microscope」に関連した英語例文の一覧と使い方(10ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a charged particle beam device such as an electron scanning microscope to construct a three-dimensional image (stereoscopic image) from an image obtained by the beam inclination of a right/left disparity angle.例文帳に追加

左右視差角分のビーム傾斜により得られる画像から立体画像（ステレオ画像）を構築する走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

To provide a fine pattern measuring method which accurately measures a sidewall angle of a fine pattern from an image obtained by a scanning electron microscope.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡で得られる画像から微細パターンの側壁角度を精度良く測定することができる微細パターン測定方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which is of low cost, easy to use, and can make it sufficiently small in size as can be put on, for example, a table in a classroom.例文帳に追加

安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

Pattern data corresponding to a portion having a pattern formed thereon and background data corresponding to a background are detected from image data in an imaging area of an SEM(scanning electron microscope) 20.例文帳に追加

撮像領域におけるＳＥＭ２０画像デ−タのうち、パターンが形成された部分に対応するパタ−ンデ−タおよび背景に対応する背景デ−タを検出する。 - 特許庁

To make reduction in time for photographing images and high image quality photographing compatible in a scanning electron microscope for measurement, inspection, and defect review or the like of semiconductor wafers.例文帳に追加

半導体ウェーハの測定、検査、欠陥レビュー用などの走査電子顕微鏡において、画像を撮像する時間の短縮と高画質撮像の両立を実現する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope and a sample observation method capable of observing a sample with accuracy by making constant a potential of a conductive layer on a surface of the sample.例文帳に追加

試料表面の導体層の電位を一定にして精度よく試料を観察することのできる走査型電子顕微鏡及び試料観察方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a cross-section observation scanning electron microscope for allowing the bright view of an observed cross section.例文帳に追加

本発明は断面観察用走査電子顕微鏡に関し、観察断面が明るく見えるような断面観察用走査電子顕微鏡を提供することを目的としている。 - 特許庁

To install a micromachining function of an FIB (focused-ion beam) system and a non-destructive and excellent image forming function of an SEM (scanning electron microscope) into a single apparatus suitable for mass production of high-precision nanodevices.例文帳に追加

ＦＩＢシステムのマイクロマシニング機能と、ＳＥＭの非破壊かつ優れた像形成機能とを、高精度なナノデバイスの大量生産に適した１台の装置に組み込む。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope device with an inclined column capable of obtaining an inclined image having high resolution in the same level as that of a top-down image obtained using a vertical column.例文帳に追加

直立カラムを用いて得られるトップダウン像と同程度の高分解能の傾斜像を得ることのできる傾斜カラム付の走査電子顕微鏡装置を提供する。 - 特許庁

To provide a coating method that can be easily applied to an observation sample for a scanning electron microscope and can fully observe fine structure of a sample surface.例文帳に追加

走査電子顕微鏡用の観察試料に簡便に適用することができ、かつ試料表面の微細構造を十分に観察し得るコーティング方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a miniaturized scanning electron microscope enabling observation of the optional position of a large sample, and capable of easily obtaining a three-dimensional image.例文帳に追加

大型試料の任意の位置を観察することを可能にし、また、三次元立体像を容易に得ることができ小型化された走査型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To enable to collect a vertical image photographing against an observation sample and a slant observation image in observation using a scanning type electron microscope at a high speed.例文帳に追加

走査式電子顕微鏡を用いた観察において、観察試料に対して鉛直下向きに撮像する落射画像と、傾斜観察画像とを高速に収集すること。 - 特許庁

To provide an image display device for a scanning electron microscope, capable of printing the accurate magnification together with an image, even when the image is printed in any desired size.例文帳に追加

画像を任意の大きさで印刷する場合でも、画像と共に正確な倍率の印刷を行うことができる走査電子顕微鏡の画像表示装置を実現する。 - 特許庁

To provide a scanning probe electron microscope (SFM) facilitating a change of probes while dispensing with adjustment for positioning a deflection detector after a change of probe.例文帳に追加

プローブ交換を容易にするとともにプローブ交換後の偏向検出器の位置決めのための調節を不要にした走査型プローブ電子顕微鏡（ＳＦＭ）を提供する。 - 特許庁

To prevent degradation of throughput in a scanning electron microscope having a function of imaging a defect on a semiconductor wafer and transferring a captured image to an external device.例文帳に追加

半導体ウェーハ上の欠陥を撮像し、撮像画像を外部装置へ転送する機能を有する走査型電子顕微鏡において、スループットの低下を防止する。 - 特許庁

To establish a scanning image signal acquiring method and provide a scan type electron microscope, capable of producing an accurate image with a high resolution without requiring any expensive, complicated vibrationproof mechanism.例文帳に追加

高価で複雑な除振機構を必要とせず、高い分解能で正確な像を得ることができる走査像信号取得方法および走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

To realize a cheap and exact focusing function independent on mechanical means in a scanning electron microscope, in which at least an objective is formed by a permanent magnetic lens.例文帳に追加

少なくとも対物レンズが永久磁石レンズで構成された走査電子顕微鏡に於いて機械的手段に依らない安価で正確な焦点合わせ機能を実現する。 - 特許庁

To provide a method and apparatus to allow automated focusing of a charged particle beam in the scanning electron microscope or the like.例文帳に追加

自動的に荷電粒子線の焦点合わせを行うことができる走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置における焦点合わせ方法および装置を提供すること。 - 特許庁

To enable to detect a transmitted electron with a large scattering angle and to observe an STEM image of a high contrast according to a testpiece and a purpose, in a high-resolution scanning electron microscope having an in-lens type objective lens.例文帳に追加

インレンズ形対物レンズを有する高分解能走査電子顕微鏡において、散乱角の大きな透過電子を検出できるようにし、試料や目的に応じた高コントラストのＳＴＥＭ像を観察する。 - 特許庁

To provide an inspection device and method using a scanning electron microscope which detects an highly accurate electron beam image and excludes limitation of an AD conversion element for a low sampling rate as a subject matter.例文帳に追加

高精度の電子線画像を検出すると同時に、その際問題となる低サンプリングレートに対するＡＤ変換素子の制約を排除した走査電子顕微鏡を用いた検査装置および検査方法を提供する。 - 特許庁

To provide a transmission electron microscope with a scanned image observation function which can remarkably reduce deterioration of scanned image quality and resolution due to noises superposed on a deflecting current for scanning of electron beam.例文帳に追加

電子ビームの走査のための偏向電流に重畳したノイズによる走査像の画質や分解能の劣化を、著しく軽減することができる走査像観察機能を有した透過電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

To provide a semiconductor reflection electron detector for a scanning electron microscope, capable of achieving compatibly between data analysis and collection efficiency of reflection electrons, and capable of improving performance in 3D measurement.例文帳に追加

データ解析の向上及び反射電子の収集効率の向上を両立させ、且つ、３D計測の性能を改善することができる走査型電子顕微鏡用半導体反射電子検出器を提供する。 - 特許庁

In the pitch-based carbon short fiber filler, a graphene sheet is closed at a filler end face when observed by a transmission electron microscope, while a surface observed by a scanning electron microscope is substantially flat, and the number average fiber length is 80 to 500 μm.例文帳に追加

透過型電子顕微鏡によるフィラー端面観察においてグラフェンシートが閉じており、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平坦であるピッチ系炭素短繊維フィラーであり、個数平均繊維長が８０μｍ以上５００μｍ以下であることをピッチ系炭素短繊維フィラー。 - 特許庁

To display, at the real time, a scanning electron microscope image of the state of an interface between the side where a load is given and the opposite side or the like, by making inclinable a surface dynamics characteristic test device for testing a surface dynamics characteristic of composite material, and by arranging it in a sample chamber of the scanning microscope.例文帳に追加

複合材料の界面力学特性の試験を行う界面力学特性試験装置を傾斜可能にして走査型顕微鏡の試料室に配置し、荷重をかけた側と反対側の界面などの状態の走査型電子顕微鏡像をリアルタイムに表示する。 - 特許庁

A reference position of a measurement position by a scanning electron microscope or the like is set based on position information of a reference pattern on an image which is formed at a position apart from the measurement position and obtained by a scanning electron microscope or the like and information of the position relationship between a reference pattern detected based on a design data and the measurement position.例文帳に追加

上述のような問題を解決するため、測定個所から離間した位置に形成され、走査電子顕微鏡等によって得られる画像上の基準パターンの位置情報と、設計データに基づいて検出される基準パターンと測定個所の位置関係の情報に基づいて、走査電子顕微鏡等による測定個所の基準位置を設定する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope apparatus which enables to get always a high accuracy SEM image and line width measurement value without giving damage or the like to an object of measurement (observation) even under a high magnification, and a method of a length measurement with the microscope apparatus.例文帳に追加

高倍率下においても測定（観察）対象物にダメージ等を与えず、常に高精度なＳＥＭイメージと線幅測定値とを得ることができる走査型電子顕微鏡装置と該装置による測長方法を提供する。 - 特許庁

The observation is performed by a scanning transmission electron microscope observation equipment equipped with a field emission electron gun, a convergence means to converge an electron ray emitted from the field emission electron gun onto a sample, a deflecting means to scan a convergence electron ray irradiating the sample, a projecting means to project a sample image, and a measuring means for a sample thickness.例文帳に追加

電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃から放射された電子線を試料に収束する収束手段と、試料を照射する収束電子線を走査する偏向手段と、試料像を投影する投影手段と、試料厚さ測定手段とを備える走査透過型電子顕微鏡観察装置を用いて観察を行う。 - 特許庁

This electronic microscope having an electron source, an electronic lens and an electron beam deflecting unit, further comprises an electron beam pulsing means and an acoustic wave measuring means, the energy of electrons entering into the sample is 1000 eV or less, and the measurement and examination of the inside of the sample are performed on the basis of the scanning information of the electron beam and the information of the detected sound.例文帳に追加

電子源、電子レンズ、電子線偏向器を有してなる電子顕微鏡装置において、さらに電子線パルス化手段、音波測定手段を備え、試料中に入射する電子のエネルギを１０００ｅＶ以下とし、電子線の走査情報と検出音の情報から試料内部の計測・検査をおこなう。 - 特許庁

This tension testing device is attached to an inside of a scanning electron microscope mounted with a reflected electron detector, a test piece is tensioned while photographing a reflected electron image, and a change of a shape in a crystal grain appearing in the reflected electron image is measured to compute sequentially a strain amount in each crystal grain and a cross section with respect to a tensioned direction.例文帳に追加

反射電子検出器を装着した走査電子顕微鏡内に引張り装置を取り付け、反射電子像を撮影しながら試験片を引張り、反射電子像に現れる結晶粒の形の変化を測定し、結晶粒毎の歪量及び引張り方向に対する断面積を逐次演算する。 - 特許庁

A distribution of a reflection electron or secondary electron intensity is processed from a control system of a scanning microscope and an adjacent terminal, and a shape of an area expressing the vicinity of an edge is digitalized to calculate a tapering tendency based on a result thereof.例文帳に追加

走査型顕微鏡の制御系ないし隣接する端末から反射電子ないしは２次電子強度の分布を処理し、エッジ近傍を表わす領域の形状を数値化しそれらの結果からテーパ傾向を算出する。 - 特許庁

The scanning electron microscope is provided with a means of changing optical angles of aperture by changing a plurality of converging lenses and aperture hole diameters, and changes electron beam angles of aperture in accordance with a visual field range equivalent to one pixel, a so-called pixel size.例文帳に追加

複数の収束レンズ及び絞りの穴径を変化させることにより光学系の開き角を変化させる手段をもち、１画素に相当する視野範囲、いわゆる画素サイズに応じて電子ビーム開き角αを変化させる。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope that prevents an inspection time from being extended due to vertical vibration of a sample when obtaining a two-dimensional image by irradiating the sample with an electron beam inclined with respect to the perpendicular direction of the sample.例文帳に追加

試料の垂直方向に対して傾斜させた電子ビームを試料に照射して二次元像を得るときに、試料の上下振動が原因で検査時間が長くなることを防止できる走査形電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

This secondary electron image observation device 10 is provided with an irradiation system 15 having a structure for observing a sample while scanning it with an electron microscope and capable of irradiating the sample with at least either of an ultraviolet ray and an X-ray.例文帳に追加

試料に対して電子顕微鏡を走査しながら観察を行う構成を有し、紫外光、Ｘ線の、少なくともいずれかを照射可能な、照射系１５を具備している二次電子像観察装置１０を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of obtaining an image with a superior contrast even if a primary beam current is small and efficiency of a secondary electron emission is small.例文帳に追加

本発明は走査型電子顕微鏡に関し、１次ビーム電流が小さい場合や試料の２次電子放出効率が小さくてもコントラストの良い画像を得ることができる走査型電子顕微鏡を提供することを目的としている。 - 特許庁

To provide a transmission electron microscope having a scan image observation function for always passing a main beam through the center of an annular dark-field scan image detector even when scanning is carried out by a tilted electron beam on a sample.例文帳に追加

電子ビームを試料上で傾斜させて走査した場合でも、主ビームが常に円環状の暗視野走査像検出器の中心を通るようにすることができる走査像観察機能を有した透過型電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

This scanning electron microscope is structured so that an ion detector for detecting an ion is disposed on the further electron source side than a first differential exhaust throttle to maintain prescribed vacuum in a sample chamber.例文帳に追加

上記目的を達成するための構成として、試料室を所定の真空に維持するための第１の差動排気絞りより、電子源側にイオンを検出するためのイオン検出器を配置した走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

To provide a negative resist composition which retains solubility in an alkali developer while improving dry etching resistance and resistance to an electron beam from a scanning electron microscope (SEM) and further has high resolution.例文帳に追加

ドライエッチング耐性および走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）による電子線への耐性を向上させるとともにアルカリ現像液に対する溶解性を維持し、さらに高解像性を有するネガ型レジスト組成物を提供することを課題とする。 - 特許庁

To provide a scanning transmission electron microscope capable of obtaining a scanning transmission image having a specified resolution by deciding an aberration coefficient from Ronchigram and applying feedback of signals correcting each aberration to a device.例文帳に追加

ロンチグラムから収差係数を決定し各収差を補正する信号を装置にフィードバックすることにより、指定した分解能を有する走査透過像を得ることができることを特徴とした走査透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

In this scanning electron microscope, the acceleration voltage of an electron beam EB irradiated on a sample 2 is set to 4 kV, and a voltage of -3 kV is applied to the sample 2 from a power source 11, so that the electron beam EB is decelerated immediately in front of the sample and is irradiated on the sample 2 with an energy of 1 kV.例文帳に追加

試料２に照射される電子ビームＥＢの加速電圧は、４ｋＶとされており、試料２には電源１１より−３ｋＶの電圧が印加されていることから、電子ビームＥＢは試料の直前で減速され、１ｋＶのエネルギーで試料２に照射される。 - 特許庁

To provide a scanning transmission electron microscope capable of independently setting capturing angle ranges of a scattered electron beam detector and an energy spectrometer, and not requiring to change a condition of the energy spectrometer for the change of the capturing angle range of the scattered electron beam detector.例文帳に追加

散乱電子線検出器の取り込み角度範囲の設定と独立にエネルギー分光器の取りこみ角度範囲が設定でき、散乱電子線検出器の取り込み角度範囲の変化に対してエネルギー分光器の条件を変更する必要がない走査透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a method and a device for adjusting automatic axis of an electron lens of a scanning electron microscope capable of automatically adjusting an axis of the electron lens in high precision.例文帳に追加

本発明は走査型電子顕微鏡における電子レンズの自動軸調整方法及び装置に関し、電子レンズの軸調整を高精度で高速に自動で行なうことができる電子顕微鏡における電子レンズの自動軸調整方法及び装置を提供することを目的としている。 - 特許庁

The electron scanning microscope is provided with a plurality of apertures through which electron beams are capable of passing through and a mechanism in which the plurality of apertures are changed from one to another with the electron beams, and the method of static charge control of the sample is carried out by the changeover of the apertures.例文帳に追加

上記目的を達成するために、電子ビームが通過可能な開口を複数備え、前記電子ビームに対して前記複数の開口を切り替える機構を備えた走査電子顕微鏡、及び開口の切り替えによって、試料の帯電を制御する方法を提案する。 - 特許庁

This scanning electron microscope is so structured that an insulation member 5d is arranged between an inner magnetic pole 5a and an outer magnetic pole 5b; and the inner magnetic pole 5a and the outer magnetic pole 5b are electrically insulated from each other.例文帳に追加

内側磁極５ａと外側磁極５ｂの間に絶縁部材５ｄが配置され、内側磁極５ａと外側磁極５ｂが電気的に絶縁される構造となっている。 - 特許庁

To obtain a scanning electron microscope or a charged particle beam device having a function capable of easily managing the use state, e.g. the irradiation position of a microscale or the number of uses.例文帳に追加

マイクロスケールの照射位置あるいは使用回数といった使用状態を簡便に管理できる機能を備えた走査電子顕微鏡あるいは荷電粒子線装置を実現する。 - 特許庁

To provide a sample conveying mechanism capable of removing foreign bodies stuck on a sample during conveyance of the sample, and to provide a scanning electron microscope having the sample conveying mechanism.例文帳に追加

本発明は、試料搬送中に、試料に付着した異物の除去を行う試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡の提供を目的とする。 - 特許庁