| 意味 | 例文 |
impurity diffusionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 887件
A memory element 1 comprises a field effect transistor element which is composed of two impurity diffusion areas 11, a gate electrode 13, and a gate insulating layer 12 on a p-type silicon board 10; and a variable resistance element which is composed of a lower electrode 19, an upper electrode 21, and a variable resistance layer 20 interposed between the lower and upper electrodes 19, 21.例文帳に追加
メモリ素子1は、p型シリコン基板10に、2箇所の不純物拡散領域11とゲート電極13およびゲート絶縁層12から構成される電界効果型トランジスタ素子部と、下部電極19と上部電極21とで可変抵抗層20を挟み構成された可変抵抗素子部とからなる。 - 特許庁
To provide a technology for shortening such a time as the resistance between main electrodes becomes the on resistance under steady state when transition is made from off state to on state in a semiconductor device having an impurity diffusion region of a conductivity type different from that of a drift layer within a range surrounding the footprint of a trench in the drift layer.例文帳に追加
ドリフト層内においてトレンチの底面を取り囲む範囲に、ドリフト層とは異なる導電型の不純物拡散領域を備えている半導体装置の、オフ状態からオン状態に移行する際の主電極間の抵抗が定常状態のオン抵抗となる時間を短縮化する技術を提供する。 - 特許庁
Upper surface portion and right and left side face portions of the semiconductor region 12 along the end of the gate electrode 15 on the drain region side is covered with a selective insulating film 171 thicker than the gate insulating film 14, and a lightly doped n^--type impurity diffusion layer 172 is formed beneath the selective insulating film 171 (offset structure 17).例文帳に追加
ドレイン領域側のゲート電極15の端部近傍に沿う半導体領域12の上面及び左右側面の部分はゲート絶縁膜14よりも厚い選択的絶縁膜171で覆われ、選択的絶縁膜171下には、低濃度N^−型不純物拡散層172が形成される(オフセット構造17)。 - 特許庁
In the semiconductor device, the polysilicon resistor in the semiconductor device loading the polysilicon resistor comprises a polysilicon layer (113) formed in a desired shape, and an impurity diffusion layer (114) formed so as to diffuse impurities to the side inner than the shape of the polysilicon layer (113) in the polysilicon layer (113).例文帳に追加
本発明の半導体装置は、ポリシリコン抵抗が搭載された半導体装置においてポリシリコン抵抗は、所望の形状に成形されたポリシリコン層(113)と、ポリシリコン層(113)に、ポリシリコン層(113)の形状よりも内側に不純物を拡散することにより形成された不純物拡散層(114)とから構成されていることを特徴とする。 - 特許庁
An active layer 1, a light confinement layer and a reflection structure for initiating laser oscillation are formed on a substrate 5, the upper light confinement layer is made a ridge structure, a part of a compound semiconductor on the substrate 5 is made as a semi-insulating layer through impurity diffusion, and the region of the active layer 1 is set to be positioned directly under the ridge structure.例文帳に追加
基板上に活性層と光閉じ込め層とレーザ発振を起こさせるための反射構造とを形成し、上部の光閉じ込め層をリッジ構造にし、基板上に有する化合物半導体の一部を不純物拡散によって半絶縁層化した層により、活性層の領域をリッジ構造の直下に設定する。 - 特許庁
The pixel of the image sensor includes a gate insulation film formed on a substrate doped with an impurity of a first conductivity type, a transfer gate formed on the gate insulation film, a photodiode formed inside one substrate of the transfer gate, and a floating diffusion node formed inside the other substrate of the transfer gate.例文帳に追加
本発明のイメージセンサのピクセルは、第1導電型の不純物でドーピングされた基板上に形成されたゲート絶縁膜と、該ゲート絶縁膜上に形成された転送ゲートと、該転送ゲートの一方の基板の内部に形成されたフォトダイオードと、前記転送ゲートの他方の基板の内部に形成されたフローティング拡散ノードとを備える。 - 特許庁
A method for manufacturing the semiconductor device includes the steps of: forming a first layer 16a on the impurity diffusion region 22 in a semiconductor substrate by a selective epitaxial growth method; forming a second layer 18 on the first layer 16a by the selective epitaxial growth method; and filling a conductive material on the second layer 18 to form the contact plug 21.例文帳に追加
半導体基板内の不純物拡散領域22上に選択エピタキシャル成長法により、第1の層16aを形成する工程と、第1の層16a上に、選択エピタキシャル成長法により第2の層18を形成する工程と、第2の層18上に導電材料を充填することにより、コンタクトプラグ21を形成する工程と、を有する。 - 特許庁
Between stainless steel and Cu, included, an amorphous alloy containing P of 10-24% and V of 1-10%, and composed with at least one of residue Fc and Ni and inevitable impurity is intervened, and by making the temperature kept so that the amorphous alloy only is melted, liquid phase diffusion bonding is performed to produce the clad material having sufficient joint strength.例文帳に追加
ステンレス鋼と銅との間に、P:10〜24at%、V:1〜10at%を含有し、残部FeとNiの少なくとも1種と不可避的不純物からなるアモルファス合金を介在させ、アモルファス合金のみが溶解する温度に保持することにより液相拡散接合させ、十分な接合強度を有するクラッド材を製造する方法。 - 特許庁
To provide a semiconductor device and a manufacturing method thereof wherein the generation of its leakage current can be prevented from a shared contact into a substrate, even though it has a wiring present on a separative insulating film, side walls formed on the side surfaces of the wiring, and the shared contact whereby the wiring and an impurity diffusion layer are connected on an active region.例文帳に追加
分離絶縁膜上の配線と、この配線の側面上に形成されたサイドウォールと、配線と活性領域上の不純物拡散とを接続するシェアードコンタクトを備えた半導体装置であっても、シェアードコンタクから半導体基板へのリーク電流の発生を抑制することができる半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
First and second semiconductor lasers 10 and 20 comprising buffer layers 11 and 21, clad layers 12 and 22, quantum well active layers 13 and 23 and clad layers 14 and 24 laminated on a substrate 1 while having a stripe structure are integrated on the same substrate, and the quantum well active layer near a resonator end face is disordered by impurity diffusion.例文帳に追加
基板1上に積層されたバッファ層11、21、クラッド層12、22、量子井戸活性層13、23、およびクラッド層14、24を備え、ストライプ構造を有する第一および第二半導体レーザ10、20が同一基板上に集積化され、共振器端面近傍における量子井戸活性層は不純物拡散により無秩序化されている。 - 特許庁
Consequently, the on-resistance can be reduced such that the contact resistance can be reduced by contacting with all the side walls of each contact trench Tc and besides the rise of the channel impurity concentration of a p-type well region 4 caused by the lateral direction diffusion of impurities effectively in forming an additional p^+-type region 8 of the bottom may be suppressed.例文帳に追加
これにより、各コンタクトトレンチTcの側壁すべてでコンタクトがとれるようになるためコンタクト抵抗を低減することができ、さらにその底面の追加p^+型領域8形成時の不純物の横方向拡散によるp型ウェル領域4のチャネル不純物濃度の上昇を効果的に抑え、オン抵抗の低減を図ることができる。 - 特許庁
First and second gate electrodes 106 and 107 are formed on a semiconductor substrate 100, having first and second regions 102 and 103 defined thereon, impurities of a second conduction type are implanted into a surface layer part of the second region with the use of the second gate electrode as a mask for activation treatment and for forming a first impurity diffusion region 108.例文帳に追加
第1及び第2領域102,103が画定される半導体基板100に第1のゲート電極106と第2のゲート電極107とを形成し、第2のゲート電極をマスクとして第2領域表層部に第2導電型不純物を注入し活性化処理を行い、第1の不純物拡散領域108を形成する。 - 特許庁
The method for manufacturing the semiconductor light-emitting element 1 absorbs in advance Si atoms 41 obtained by thermal decomposition of SiH_4, thereby forming a diffusion protection layer 31 composed of Si-doped InP with high impurity concentration on one surface of a semiconductor substrate 11 and side surfaces of a semiconductor mesa part 12 in the initial growth of a buried layer 13.例文帳に追加
半導体レーザ素子1の製造方法では、SiH_4を熱分解して得られるSi原子41を予め吸着させることにより、埋込層13の初期成長において、半導体基板11の一面及び半導体メサ部12の側面に、高不純物濃度のSiドープInPによる拡散防止層31を形成する。 - 特許庁
A semiconductor device 100 comprises a silicon substrate 10, a gate electrode 21 formed on the silicon substrate 10 through a gate insulating layer 16, first and second impurity diffusion layers 18 and 20 formed on the silicon substrate 10, and side wall insulating layers 15a and 15b formed on the side surface part of the gate electrode 21.例文帳に追加
半導体装置100は、シリコン基板10と、シリコン基板10上にゲート絶縁層16を介して形成されたゲート電極21と、シリコン基板10に形成された第1不純物拡散層18および第2不純物拡散層20と、ゲート電極21の側面部に形成されたサイドウォール絶縁層15a,15bとを含む。 - 特許庁
Impurity diffusion layers 4, a buffer insulating layer 4 composed of (Ce, Zr)O2 (or CeO2), the second ferroelectric layer 5 comprising Bi3TiNbO9, the first ferroelectric layer 6 consisting of Bi4Ti3O12, and a gate electrode 7 composed of polysilicon are laminated successively in an active region surrounded by the LOCOS film 2 of a silicon substrate 1.例文帳に追加
シリコン基板1のLOCOS膜2によって囲まれる活性領域には、不純物拡散層4と、(Ce,Zr)O_2 (又はCeO_2 )からなるバッファ絶縁層4と、Bi_3 TiNbO_9 からなる第2の強誘電体層5と、Bi_4 Ti_3 O__12からなる第1の強誘電体層6と、ポリシリコンからなるゲート電極7とが順に積層されている。 - 特許庁
To provide a semiconductor device which comprises a first conductive type semiconductor layer, a polysilicon resistor formed via an insulating film on the semiconductor layer, and a second conductive type impurity diffusion region formed on a position which is the principal surface of the semiconductor layer and which corresponds to a portion under the polysilicon resistor, and which amplifies an analog RGB signal.例文帳に追加
第1導電型の半導体層と、前記半導体層上に絶縁膜を介して形成されたポリシリコン抵抗と、前記半導体層の主表面であって前記ポリシリコン抵抗の下部に対応する位置に形成された第2導電型の不純物拡散領域とを有する、アナログのRGB信号を増幅する半導体装置を提供する。 - 特許庁
The semiconductor device of one embodiment comprises a substrate having an element isolation region, a plurality of quadrangle active regions on the substrate, which are isolated by the element isolation region and each having an impurity diffusion region, and a large active region which is an assembly of the plurality of active regions having a contour shape including stepped portions.例文帳に追加
一実施の形態による半導体装置は、素子分離領域を有する基板と、前記素子分離領域に分離された、不純物拡散領域を有する前記基板上の複数の四角形の活性領域と、前記複数の活性領域の集合からなり、段差を含む輪郭形状を有する大活性領域とを有する。 - 特許庁
In a process to form a polysilicon resistor 10 formed on a semiconductor substrate 1, the concentration of an impurity into polysilicon is set at 1×1020 cm-3 or more, and a film or an aluminum wiring 9 is arranged at least on a part of the polysilicon resistor 10 to prevent diffusion of hydrogen when the concentration is treated in an FG gas atmosphere.例文帳に追加
半導体基板1上に形成されたポリシリコン抵抗10を形成する工程において、ポリシリコン中のに注入する不純物濃度を1×10^20cm^-3以上としFGガス雰囲気で処理する際にポリシリコン抵抗10の少なくとも一部の上に水素の拡散を阻害する膜あるいはアルミニウム配線9を配置する。 - 特許庁
To provide a gallium nitride compound semiconductor light emitting element and its manufacturing method by which the influence on a transition active layer caused from distortion can be reduce, diffusion of magnesium as a P-type impurity Mg into the active layer by means of transition to be reduced, and the light emission efficiency and reliability be improved.例文帳に追加
窒化ガリウム系化合物半導体発光素子において、歪にて生じた転位の活性層への影響の低減及び転位を介したP型不純物のMg(マグネシウム)の活性層への拡散の低減し、発光効率及び信頼性を向上させた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子とその製造方法を提供する。 - 特許庁
Silicide layers 47a and 47b of the MOS transistor of a fuse element 11 are formed on impurity diffusion layers 46a and 46b at a predetermined distance from sidewalls 49a and 49b, respectively, and a silicide layer 47d is formed on the contact area of a gate electrode 44 so as to avoid the area of the gate electrode 44 on the a gate oxide film 43.例文帳に追加
ヒューズ素子11のMOSトランジスタのシリサイド層47a、47bは、サイドウォール49a、49bからそれぞれ所定の間隔を隔てて不純物拡散層46a、46b上に形成するとともに、シリサイド層47dは、ゲート酸化膜43上のゲート電極44上を避けるようにしてゲート電極44上のコンタクト領域に形成する。 - 特許庁
To compensate an oxygen defect in a Ta2O5 film and to minimize the formation of an oxide film at the interface between the Ta2O5 film and an Si substrate during a heat treatment process for crystallizing the Ta2O5 film, and to minimize the diffusion of impurity elements in a channel doped region in a semiconductor device having the Ta2O5 film as a gate insulating film.例文帳に追加
Ta_2 O_5 膜をゲート絶縁膜として有する半導体装置において、前記Ta_2 O_5 膜中の酸素欠損を補償し、またこれを結晶化させる熱処理工程の際に前記Ta_2 O_5 膜とSi基板との界面において生じる酸化膜の形成を最小化し、またチャネルドープ領域中の不純物元素の拡散を最小化する。 - 特許庁
After a gate electrode and an impurity diffusion layer are formed, a metal film is formed and 1st metal silicide is formed through a 1st heat treatment in an inert gas atmosphere and the 1st metal silicide is varied in phase into 2nd metal silicide through a 2nd heat treatment; and then a 3rd heat treatment is carried out in an inert gas atmosphere to suppress the cohesion of the silicide.例文帳に追加
ゲート電極と不純物拡散層を形成後金属膜を成膜し、不活性ガス雰囲気中で第1の熱処理によって第1の金属シリサイドを形成し、次に活性雰囲気で第2の熱処理を施し第1の金属シリサイドを相変化させて第2の金属シリサイドとし、次に不活性ガス雰囲気中で第3の熱処理を施すことによって、シリサイドの凝集を抑制する。 - 特許庁
An SOI region obtained by laminating a semiconductor layer 5 on an insulating layer 103 and a bulk region where an underlayer is composed of only a substrate are provided on a same semiconductor substrate 101, and an impurity diffusion layer 91 for fixing a potential is provided in the semiconductor substrate 101 between a bulk transistor 10 formed in the bulk region and an SOI transistor 20 formed in the SOI region.例文帳に追加
絶縁層103上に半導体層5が積層されてなるSOI領域と、下地が基板のみからなるバルク領域とを同一の半導体基板101に備え、バルク領域に形成されたバルクトランジスタ10と、SOI領域に形成されたSOIトランジスタ20との間の半導体基板101に電位固定用の不純物拡散層91を備える。 - 特許庁
The imaging apparatus (CMOS image sensor) comprises: a p-type silicon substrate 10; a gate insulating film 11; three gate electrodes, that is, a transfer gate electrode 12, a multiplication gate electrode 13 and a read-out gate electrode 14; a photodiode portion (PD) 15; a floating diffusion region 16 made of an n-type impurity region; and an element isolation region 17.例文帳に追加
この撮像装置(CMOSイメージセンサ)は、p型シリコン基板10と、ゲート絶縁膜11と、1つの転送ゲート電極12、1つの増倍ゲート電極13および1つの読出ゲート電極14の3つのゲート電極と、フォトダイオード部(PD)15と、n型不純物領域からなるフローティングディフュージョン領域16と、素子分離領域17とにより構成されている。 - 特許庁
The semiconductor device has a selection gate electrode SG of a selection gate transistor ST and a perimeter gate electrode TG of a perimeter gate transistor TR, a first insulation film 30 and a first barrier film 31 on an impurity diffusion layer 28 between gate electrodes SG and TG and the side face of the gate electrode, and a second insulation film 32 filling between the gate electrodes SG and TG on the first barrier film 31.例文帳に追加
選択ゲートトランジスタSTの選択ゲート電極SG、及び周辺トランジスタTRの周辺ゲート電極TGを有し、ゲート電極SG、TG間の不純物拡散層28上及びゲート電極側面に第1絶縁膜30、第1バリア膜31を有し、第1バリア膜31上にゲート電極SG、TG間を埋める第2絶縁膜32を有する。 - 特許庁
This semiconductor device manufacturing method is composed of a process wherein the collector region is formed from the first conductivity type semiconductor substrate 1, and a process wherein the first conductivity type emitter region 6 is formed in the vicinity of the surface of the impurity diffusion layer 5 using a side wall 4 as a mask.例文帳に追加
第1導電型の半導体基板1からコレクタ領域を形成する工程と、前記コレクタ領域の表面近傍に、配線3をマスクとして第2導電型の不純物拡散層5を形成する工程と、前記不純物拡散層5の表面近傍に、サイドウオール4をマスクとして第1導電型のエミッタ領域6を形成する工程とを備える半導体装置の製造方法。 - 特許庁
In the excimer lamp in which, on an inner surface of a discharging vessel made of silica glass, there is formed an ultraviolet reflection layer by a diffusion reflection, which is composed of a particle deposited body of silica particles as a main composition, there is formed an impurity gas permeation controlling region composed as a film-state region continuing as a whole where a particle shape is lost.例文帳に追加
シリカガラスよりなる放電容器の内表面に、シリカ粒子を主成分とする粒子堆積体により構成された拡散反射による紫外線反射層が形成されたエキシマランプにおいて、前記紫外線反射層の内表面には、粒子の形態が失われて一体の連続した膜状領域として構成された不純ガス透過抑制領域が形成されている。 - 特許庁
This CMOS image sensor includes a semiconductor substrate in which an active region and an element isolation region are segmented, a photodiode region and a transistor region which are formed on the active region, a gate electrode formed on the transistor region and having first and second heights, and a diffusion region formed by implanting impurity ions into the photodiode region and the transistor region.例文帳に追加
本発明に係るCMOSイメージセンサは、アクティブ領域と素子分離領域が区画された半導体基板と、アクティブ領域に形成されたフォトダイオード領域とトランジスタ領域と、トランジスタ領域に形成された第1の高さと第2の高さを有するゲート電極と、フォトダイオード領域とトランジスタ領域に不純物イオンが注入されて形成された拡散領域と、を含むことを特徴とする。 - 特許庁
The solid-state imaging device comprises: a multilayer wiring layer 73; a semiconductor layer 64 that is provided on the multilayer wiring layer 73 and has a penetration trench; a first conductive layer 69 embedded inside the penetration trench; a first insulation film 32 formed on the periphery of the first conductive layer 69; and a first impurity diffusion layer 36 of a first conductive type formed on the periphery of the first insulation film 32.例文帳に追加
固体撮像装置は、多層配線層73と、前記多層配線層上に設けられ、貫通トレンチを有する半導体層64と、前記貫通トレンチ内部に埋め込まれた第1導電層69と、前記第1導電層の周囲に形成された第1絶縁膜32と、前記第1絶縁膜の周囲に形成された第1導電型の第1不純物拡散層36とを備える。 - 特許庁
The semiconductor device includes: an MOS transistor whose drain region is an impurity diffusion region formed in the first region of the SOI substrate with an active layer insulated and separated from a support substrate by a buried oxide film and separated into a plurality of regions including the first and the second regions by a field oxide film having a thickness reaching the buried oxide film; and a first wiring layer.例文帳に追加
半導体装置は、埋め込み酸化膜によって支持基板から絶縁分離されるとともに、埋め込み酸化膜にまで達する厚さを有するフィールド酸化膜によって、第1および第2の領域を含む複数の領域に分離された活性層を有するSOI基板の、第1の領域に形成された不純物拡散領域をドレイン領域とするMOSトランジスタと、第1の配線層とを有する。 - 特許庁
The semiconductor device is equipped with a semiconductor substrate 1, gate electrodes 3, an impurity diffusion region 4, at least a wiring layer 6 formed through the intermediary of an interlayer insulating film 5, containing relay pins connected electrically to the gate electrodes 3, and an uppermost wiring layer 8 formed through the intermediary of an interlayer insulating film 7, containing wiring patterns which are electrically connected to the relay pins respectively.例文帳に追加
半導体基板1と、複数のゲート電極3と、不純物拡散領域4と、層間絶縁膜5を介して形成され、複数のゲート電極にそれぞれ電気的に接続された複数の中継ピンを含む少なくとも1層の配線層6と、層間絶縁膜7を介して形成され、複数の中継ピンにそれぞれ電気的に接続された複数の配線パターンを含む最上層の配線層8とを具備する。 - 特許庁
To provide a semiconductor strain gauge and the manufacturing method for preventing generation of channels in the semiconductor strain gauge, which stabilizes the resistance value of output by preventing the generation of channel which tends to be generated between electrodes pads, when impurities and charge are adhered around a diffusion resistor region, or when the impurity concentration of the semiconductor substrate is low, and which can be used for various acceleration sensors, pressure sensors, etc.例文帳に追加
半導体の歪みゲージのチャネル発生を防止するもので、拡散抵抗領域の周囲に不純物や電荷が付着した場合、あるいは半導体基板の不純物濃度が低い場合に電極パッド間に発生しやすくなるチャネルの発生を防止して、出力の抵抗値を安定させることのできる、各種加速センサ、圧力センサ等に利用できる半導体歪みゲージ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
In this case, the method has a process that forms a diffusion layer region 14 at a position where the periphery of a resist pattern 21a is crossed, a process that forms the resist pattern 21 a for covering one of the source and drain regions 25 and 19, and a process that uses the resist pattern 21a as a mask for implanting the impurity ion to the silicon substrate 11.例文帳に追加
この製造方法は、シリコン基板11において後記レジストパターン21aの周囲が横切るような位置に拡散層領域14を形成する工程と、ソース領域25及びドレイン領域19のいずれか一方を覆うレジストパターン21aを形成する工程と、前記レジストパターン21aをマスクとしてシリコン基板11に不純物イオンを注入する工程と、を具備することを特徴とする。 - 特許庁
In the solid-state image pickup device 30, a plurality of photoelectric conversion elements 34 in which a heavily-doped impurity diffusion layer 36 is formed on the surface are formed in a two-dimensional array at the surface of a semiconductor substrate, and an insulating layer 40 is laminated on a semiconductor substrate 32.例文帳に追加
表面に高濃度不純物拡散層36が形成された複数の光電変換素子34が半導体基板表面部に二次元アレイ状に配列形成され、半導体基板32の上に絶縁層40が積層された固体撮像素子30において、前記各光電変換素子の直上の絶縁層40と高濃度不純物層36との間の界面部分にそれぞれ不純物拡散抑制層50を形成する。 - 特許庁
A method of diffusing impurities into crystal silicon particles has process of forming silica glass containing impurities for a second conductive semiconductor on the surface of crystal silicon particles by introducing an impurity gas containing oxygen while inputting a great amount of first conductive crystal silicon particles into a diffusion pipe to make stir and process of forming a second conductive silicon layer by making impurities diffuse on the surface of the crystal silicon.例文帳に追加
結晶シリコン粒子への不純物の拡散方法は、拡散管内に多数の第1導電型の結晶シリコン粒子を入れて攪拌させながら酸素を含んだ不純物ガスを導入することによって、結晶シリコン粒子の表面に第2の導電型用の不純物を含有した珪酸ガラスを形成する工程と、結晶シリコン粒子の表面に不純物を拡散させて第2の導電型のシリコン層を形成する工程とを有する。 - 特許庁
The dummy pixel is adjacent to the effective pixel row, with array pitches of the first impurity diffusion layer for the effective pixel and dummy pixel being identical each other.例文帳に追加
第1導電型である半導体基板と、前記半導体基板中に設けられた第1導電型とは反対の導電型である第1の不純物拡散層により形成されたPNフォトダイオードと、前記PNフォトダイオードが複数配列された有効画素列と、有効画素とピッチを異ならせたダミー画素を有する測距用固体撮像装置において、前記ダミー画素は前記有効画素列に隣接配置され、有効画素とダミー画素の第1不純物拡散層の配列ピッチが同じになるように配置されていることを特徴とする。 - 特許庁
To provide a semiconductor substrate in which a heavily doped layer having a resistance that is uniform within a lot is easily formed, and furthermore any protective film for inhibiting out-diffusion of the impurity from the heavily doped layer is not required.例文帳に追加
この発明は、低濃度の不純物を含有する低濃度不純物基板に高濃度不純物拡散層を形成し、更にその上層に前記高濃度不純物拡散層より低濃度の不純物を含有するエピタキシャル層を形成した構造とすることで、ロット内で均一な抵抗を有する高濃度不純物層を容易に形成することができ、しかも高濃度不純物層からの不純物の外方拡散を防ぐための保護膜を必要としない半導体基板を得ようとするものである。 - 特許庁
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