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alignment errorsの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 54



例文

To provide an exposure apparatus that can reduce alignment errors or focus errors, thus achieving a pattern form and a line width as targets.例文帳に追加

アライメント誤差又はフォーカス誤差を低減し、目標とするパターン形状、線幅を達成する露光装置を提供する。 - 特許庁

To provide an automatic alignment method for active region and deep trench, with which alignment can be performed automatically and influence due to alignment errors can be avoided.例文帳に追加

自動的にアライメントを行いアライメント誤差による影響を避けることができる活性領域と深トレンチの自動アライメント方法を提供する。 - 特許庁

TARGET, METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING ASSEMBLY AND ALIGNMENT ERRORS IN SENSOR ASSEMBLY例文帳に追加

センサアセンブリにおけるアセンブリおよび位置合わせエラーを測定するための標的、方法および装置 - 特許庁

To enhance measuring accuracy by facilitating alignment, and preventing errors caused by distance.例文帳に追加

簡便に位置合わせができ、距離による誤差が生じないようにして測定精度を向上する。 - 特許庁

例文

ALIGNMENT METHOD, METHOD OF MEASURING ALIGNMENT ERRORS FROM REAR SIDE TO FRONT SIDE, METHOD OF DETECTING NON-ORTHOGONALITY, CORRECTING METHOD, AND LITHOGRAPHY DEVICE例文帳に追加

アラインメント方法、前側から裏側へのアラインメントエラーを測定する方法、非直交性を検出する方法、校正方法、およびリソグラフィ装置 - 特許庁


例文

To provide a method of fabricating a color-filter layer, wherein the possibility of the occurrence of alignment errors of black matrix, and errors in the assembly of the color filter layer is reduced effectively.例文帳に追加

カラーフィルター層の組み立てにおいてブラックマトリックスのアラインメント誤差の発生を有効に低減させるカラーフィルター層を製作する方法を提供する。 - 特許庁

To provide lithography equipment capable of reducing alignment errors due to misalignment in a projection system and the other portion.例文帳に追加

投影システムとその他の部分のミスアライメントから生じるアライメントエラーを低減できるリソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁

To eliminate errors in alignment of masks, when grooves or trenches of different depths are provided in a substrate.例文帳に追加

基板にそれぞれ深さの異なる複数の溝またはトレンチを形成させる際にマスク整列の誤差を無くす。 - 特許庁

To provide an alignment method, a method of measuring an alignment errors from front side to rear side, a method of detecting a non-orthogonality, a correcting method, and a lithography device.例文帳に追加

アラインメント方法、前側から裏側へのアラインメントエラーを測定する方法、非直交性を検出する方法、校正方法、およびリソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a method of correcting accurately the errors caused by an alignment discrepancy generated when performing the alignment of a substrate after its processing, even though no calibrating measurement extending over a wide range is performed.例文帳に追加

広範囲な校正測定を行わなくても、処理の後で基板を整合した場合に起こる整合のずれによる誤差の正確な修正方法を提供すること。 - 特許庁

例文

Basic data necessary for alignment accuracy corresponding to accuracy errors specific to the aligners 11-13 are recorded in a data base 2.例文帳に追加

データベース2には、露光装置11〜13の固有の精度誤差に応じた重ね合わせ精度に必要な基礎データが記録されている。 - 特許庁

To provide an alignment system which reduces correction errors, when detecting the edge of a substrate to correct misalignment of the substrate.例文帳に追加

基板の端縁を検出して基板の位置ずれを修正する際、修正誤差を少なくするアライメント装置を提供すること。 - 特許庁

First alignment marks 52 for measuring the distortion of a reticule caused by errors or the like, when the reticule is formed, are arranged in grillages 45'.例文帳に追加

レチクルの製作時の誤差等に起因する歪を計測するための第1のアライメントマーク53を、グリレージ部45′に配置する。 - 特許庁

To simplify the operation of alignment and link coordinates without the increase of coordinate errors even if inspecting conditions are changed.例文帳に追加

アライメント操作を簡略化し、また、検査条件が変更された場合にも座標誤差を大きくすることなく座標リンクを行う。 - 特許庁

A relative position of the marks on the front and rear sides of the substrate is obtained, and the alignment errors of the front and rear sides of the whole body of the substrate are measured.例文帳に追加

基板の表裏側にあるマークの相対位置を求めて、基板全体での表裏側のアラインメントエラーを計算する。 - 特許庁

To eliminate mechanical alignment by correcting errors of a single rotation position detecting signal using an offset circuit.例文帳に追加

本発明は、オフセット回路を用いて1回転位置検出信号の誤差の補正を行い、機械的位置合わせをなくすことを目的とする。 - 特許庁

To allow positioning without play and assembling errors and to enable alignment and tilt adjustment to be free from deviation in the optical axis of an objective lens.例文帳に追加

がた付きおよび組付け誤差のない位置決めができ、対物レンズの光軸ずれがない位置決め,傾き調整を可能にする。 - 特許庁

To provide a target, method and apparatus for measuring assembly and alignment errors in a scanner sensor assembly.例文帳に追加

スキャナセンサアセンブリにおけるアセンブリおよび位置合わせエラーを測定するための標的、方法、および装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a method for reducing errors due to alignment by accurately conforming respective optical axes of alignment cameras for observing a recording head and a material to be recorded in order to grasp the positional relationship between them.例文帳に追加

記録ヘッドと被記録物の相対的位置関係を把握するために、それぞれを観察するためのアライメントカメラの光軸を正確に一致させ、アライメントによる誤差を小さくする方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a thin film transistor display plate capable of minimizing the errors of the alignment between layers.例文帳に追加

本発明の目的は、層間の整列の誤差を最少化することができる薄膜トランジスタ表示板の製造方法をを提供することにある。 - 特許庁

Thus, the errors in the vertical alignment of the mirrors 7, 9 and 12 and the errors in the mirrors 8, 10 and 11 are canceled, the beam emitted from optical fibers 3 and 5 is made incident to optical fibers 4 and 6 while the optical axis is almost kept in parallel.例文帳に追加

これによって、ミラー7,9,12とミラー8,10,11の垂直度誤差が相殺されて、光ファイバ3,5から出射されるビームは、ほとんど光軸が平行に保たれたまま、光ファイバ4,6に入射する。 - 特許庁

To provide an alignment method extremely excellent in practicability which is capable of achieving improvement in accuracy of positioning by offsetting errors due to unique characteristics of the apparatus, and to provide an alignment apparatus as well as an organic EL element forming apparatus.例文帳に追加

装置固有の特性に起因する誤差を相殺して位置合わせ精度の向上を図ることができる極めて実用性に秀れたアライメント方法及びアライメント装置並びに有機EL素子形成装置の提供。 - 特許庁

To provide a method and machine that can realize high precision alignment by avoiding errors in detecting the alignment marks, without increasing the manufacturing steps of a semiconductor device.例文帳に追加

半導体装置の製造プロセスにおける工程数を増加することなくアライメントマークの位置の誤検出を回避し、露光装置における高精度のアライメントを実現するアライメント方法及びアライメント装置を提供する。 - 特許庁

To obtain a high quality image without glimmering by suppressing the effect of dimension errors of the high resistivity region when inherently there exists an error in the alignment precision.例文帳に追加

本質的に位置合わせ精度に誤差が存在する場合に、高抵抗領域の寸法の誤差による影響を抑制し、チラツキのない画質を得る。 - 特許庁

To provide an optical pickup device which allows stable servo performance to be obtained, by compensating the offset of a servo signal due to alignment errors, resulting from the optical pickup assembling.例文帳に追加

光ピックアップ組み立て調整誤差のよるサーボ信号のオフセットを補正することで、安定したサーボ性能が得られる光ピックアップ装置を提供する。 - 特許庁

In a method of measuring a front and rear side alignment errors by one embodiment, a transparent substrate has a plurality of marks on both sides of the front and rear sides.例文帳に追加

1つの実施形態により表裏側アラインメントエラーを測定する方法では、透明な基板が、表裏側の両方に複数のマークを有する。 - 特許庁

To provide a vertical Hall element which makes possible the detection of magnetism with higher accuracy by suppressing the occurrence of offset voltage caused by a positional deviation due to mask alignment errors (deviated alignment) at the time of manufacturing the element, and also to provide its manufacturing method.例文帳に追加

素子作製時のマスク合わせ誤差による位置ずれ(アライメントずれ)に起因するオフセット電圧の発生を抑制して、より高い精度での磁気検出を可能とする縦型ホール素子およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

The cemented lens can be moved finely in a direction perpendicular to the optical axis to be disaligned in parallel, when assembling a zoom lens system 2 and prevents the degradation of imaging performance which is caused by manufacturing errors, alignment errors, etc. of other lenses constituting the zoom lens system 2.例文帳に追加

また、この接合レンズは、ズームレンズ2の組み立て等に際して光軸に垂直な方向に微動して並行偏芯可能になっており、ズームレンズ2を構成する他のレンズの製造誤差、調芯誤差等に起因する結像性能の劣化を防止する。 - 特許庁

To make it harder to cause human errors due to subjective operation by an operator and to provide evaluation results of foot joint dynamic alignment in a short time.例文帳に追加

オペレータの主観的な操作による人的誤差を生じにくくするとともに、短時間で足関節の動的アライメントの評価結果を出すことができるようにする。 - 特許庁

The relative position in the y-axis direction is adjusted, based on alignment errors Δy1 and Δy2 in the y-axis direction between the two y-axis marks and the marks for the masks corresponding to them.例文帳に追加

2つのy軸用マークとそれに対応するマスクのマークとのy軸方向の位置合わせ誤差Δy_1及びΔy_2に基づいてy軸方向の相対位置を調節する。 - 特許庁

Thereby, not only a time required for an installation process of the spacers is reduced, but also alignment errors among the spacers, and cathode and anode electrodes can be minimized even after passing a high-temperature process.例文帳に追加

それにより、スペーサの設置工程にかかる時間が減るだけではなく、高温工程を経てもスペーサ、カソード及びアノード電極間の整列誤差が最小化される。 - 特許庁

To enable an operator to easily set and move a check measuring device and also easily measure the track alignment errors alone.例文帳に追加

10m弦軌道検測器において、測定時の設定及び移動が一人で簡単にできると共に、作業者が一人でも容易に軌道狂いを測定することができる。 - 特許庁

To provide a mark arrangement inspection method capable of reducing errors in arranging marks to be arranged on scribe lines such as an alignment mark and a measurement mark in designing scribe line data.例文帳に追加

スクライブラインデータの設計時に、アライメントマークや計測マークなどのスクライブライン上に配置されるマークの配置ミスを低減することができるマーク配置検査方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for determining alignment errors of the Hall sensor of a brushless direct current motor, preferably, by measuring back EMF waveforms during the inertial drive period of the motor.例文帳に追加

ブラシレス直流モーター駆動部の、望ましくはモーターの惰走期間中に逆EMF波形を測定することによって、ホールセンサーの位置合わせ誤差を決定する手法。 - 特許庁

To provide a color filter with alignment marks permitting to easily and simultaneously check the conveyance direction of a color filter substrate and the errors on each side, as alignment marks for positioning used at the time of sequentially forming a light shielding layer and each coloring pixel.例文帳に追加

遮光層と各着色画素のパターンを順次形成する際に用いる位置合わせ用のアライメントマークとして、カラーフィルター基板の搬送向きと表裏の誤りを容易にしかも同時にチェックできるアライメントマークを付したカラーフィルターを提供すること。 - 特許庁

By averaging dimensional and positional errors over a large number of localized couplings of the flexible and fixed alignment features, elastic averaging provides the same accuracy as the more costly and complex kinematic alignment techniques.例文帳に追加

柔軟なアライメント形状および固定したアライメント形状の多数の局所的な結合にわたって、寸法的および位置的な誤差を平均することにより、弾性平均は、より高価で複雑な運動学的アライメント技法と同じ精度を提供する。 - 特許庁

To provide an ocular refracting power measuring instrument which is capable of decreasing refracting power measurement errors as far as possible by providing the instrument with a mechanism for alignment to the cornea vertex with which signal detection is easy.例文帳に追加

信号検出が容易な角膜頂点へのアライメントする機構を備えるとともに、眼屈折力測定誤差を極力低減できる眼屈折力測定装置を提供する。 - 特許庁

To reduce radiological-image density irregularities stemming from an alignment errors between a radiation source and a radiation detector applied without neither correcting radiological images nor increasing the device cost.例文帳に追加

放射線画像を補正することなく、また装置のコストを増大させることなく、放射線源と放射線検出器とのアライメントエラーに起因する放射線画像の濃度ムラを低減する。 - 特許庁

To provide a method of determining the position of reference point that will not be affected by aberrations or the like of a camera lens and is capable of reducing errors caused by the defective shape of alignment mark.例文帳に追加

カメラレンズの収差等の影響を受けることがなく、また、アライメントマークの形状不良に起因する誤差を低減させることができる基準点の位置決定方法を提供すること。 - 特許庁

To reduce pitch-feed work by a worker when executing the alignment of electronic components in an electronic component supply device, while keeping a suction rate at a higher level by avoiding component extraction errors.例文帳に追加

電子部品供給装置の頭出し動作を行ったとき等の作業者のピッチ送りの作業を軽減することができ、また、部品取出しミスを回避して吸着率を維持する。 - 特許庁

To improve throughput by optimizing a step drive profile for each drive, without deteriorating scan synchronization errors of a reticle stage and a wafer stage during alignment in a step-and-scan type aligner.例文帳に追加

ステップ&スキャン式露光装置において、露光中のレチクルステージとウエハステージのスキャン同期誤差を悪化させることなく、ステップ駆動プロファイルを駆動毎に最適化することによって、スループットを向上させる。 - 特許庁

To provide a light guide having high coupling efficiency, even when using conventional mounting devices and simply performing optical connection by enlarging an allowable range of alignment errors, and to provide a connection method of optical components.例文帳に追加

本発明の目的は、上記の問題を回避すべく、簡便にかつ高効率で光結合するための光導波路およ光学部品等同士を接続する方法を提案することにある。 - 特許庁

Also, the alignment mask of the substrate can be detected directly from the surface of the color filter material 49 which is approximate in distance from a substrate 41, when the pattern is transferred and exposed, and the deterioration of image quality can be reduced by lessening the errors in detection.例文帳に追加

また、上記パターン転写露光時に下地アライメントマークを基板41からの距離が近いカラーフィルタ材料49の面から直接検出でき、検出誤差を小さくして画質劣化を少なくする。 - 特許庁

To provide a compound eye optical system constituted by assembling lenses individually molded and a lens holding member and to provide a technique for constituting the compound eye optical system by which the alignment of the lenses is facilitated and errors in the attachment of the lenses are prevented.例文帳に追加

個々に成型したレンズと、レンズ保持部材との組み立てて構成する複眼光学系において、レンズのアライメントを容易にし、かつレンズの取り付けミスを防止できる複眼光学系の構成手法を提示すること。 - 特許庁

To provide an image recording system, an image recording method, a program and an image forming method by which manual calculation, manual input work or the like by an operator is made unnecessary, a theoretical position of an alignment mark can be accurately and easily designated, thereby, the time required for alignment and human errors can be reduced, and the time required for image exposure can be reduced.例文帳に追加

オペレータによる手計算、手入力等を不要にして、アライメントマークの理論位置を、確実かつ簡単に指定することができ、これにより、アライメントに要する時間および人為的ミスを低減し、画像露光に要する時間を短縮することができる画像記録システム、画像記録方法、プログラムおよび画像形成方法を提供することにある。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing electronic equipment by which the occurrence of defects caused by distortion errors can be prevented, even when the margin of alignment accuracy is small manufacturing of a system LSI, etc., having fine wiring, and to provide an exposure control system.例文帳に追加

微細な配線を持つシステムLSI等の製造において、合わせ精度の余裕が小さい場合においても歪み誤差による欠陥の発生を防ぐことが可能となる電子部品の製造方法および露光制御システムを提供することにある。 - 特許庁

To provide a micro-holed array that is one of optical fiber arranging parts used for connecting optical fiber, and a method for manufacturing the same, by which the optical fiber is not damaged and alignment errors are not caused, when the optical fiber is fixed, and further the number of manufacturing processes are reduced.例文帳に追加

光ファイバーの接続に使用する光ファイバ用整列部品において、光ファイバーを固定する際に光ファイバーの損傷、接続の位置ずれが生じることのなく、また、製造工程の少ないマイクロホールアレイおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To obtain an X-ray measurement apparatus which attain improvement in the spatial intensity distribution of the flux, alignment of an energy distribution and radiation doses of flux of the intensities in peripheral sections, with those in the center section and the decrease in measurement errors caused by measurement positions, while restraining occurrence of beam hardening.例文帳に追加

ビームハードニングの発生を抑制しつつ、フラックスの空間的な強度分布を改善し、中央部と周辺強度のフラックスのエネルギー分布と線量を揃え、測定位置に起因する測定誤差を低減することを可能とするX線測定装置を実現する。 - 特許庁

To provide a plasma display device so made to prevent bus electrodes from infiltrating into a discharge space by forming them in a narrower width in order to decrease a panel static capacity, and giving substantial margins for them in due consideration of errors in an alignment process.例文帳に追加

パネル静電容量を減少させるためにバス電極の幅を狭く形成し、位置合せ工程上の誤差を勘案して、前記バス電極のマージンを充分に設けて形成し、前記バス電極が放電空間の内部に侵入しないようにする、プラズマディスプレイ装置を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a vacuum circuit breaker whose manufacture is facilitated by integrally molding components of a main circuit from an epoxy mold, while preventing assembly errors, securing an insulation distance between a distribution board and a circuit as the main circuit is arranged in symmetry with respect to the drive unit, and easily achieving right or left alignment depending on the installation atmosphere of the distribution board.例文帳に追加

主回路部の部品がエポキシモールドで一体形成され製造が容易になり、組立誤差を防止し、主回路部が駆動部に対して対称配置され配電盤と回路部間の絶縁距離を確保し、配電盤の設置環境に応じて左又は右配列を容易に実現する真空遮断器を提供する。 - 特許庁




  
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