「pre alignment」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

To surely perform pre-alignment for a large size substrate to be inspected.例文帳に追加

大型の被検査基板に対して確実にプリアライメントを行う。 - 特許庁

A tool reticle is loaded onto a pre-alignment stage 110, and positional information of a mark on the tool reticle is detected by a pre-alignment system 45.例文帳に追加

工具レチクルをプリアライメントステージ１１０にロードし、プリアライメント系４５で工具レチクル上のマークの位置情報を検出する。 - 特許庁

Change in the pre-tilt with time is canceled between both substrates 1 and 2, by setting the one alignment layer 4 and the other alignment layer 5 in the normal pre-tilt state and the reverse pre-tilt state, respectively.例文帳に追加

一方の配向層４を正プレチルト状態にし他方の配向層５を逆プレチルト状態として、プレチルトの経時的な変化を両基板１，２の間で相殺する。 - 特許庁

PRE-ALIGNMENT APPARATUS AND TRANSFER SYSTEM EQUIPPED WITH THE SAME, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT例文帳に追加

プリアライナー装置、それを備えた搬送システム及び半導体製造装置 - 特許庁

Besides, a pair of the alignment position number and the pre-alignment position number is directly encoded by the block sort compression method.例文帳に追加

また、ブロックソート圧縮法で整列位置番号と整列前位置番号の対を直接に符号化しておく。 - 特許庁

One alignment layer 4 generates a normal pre-tilt state where the liquid crystal 3 is pre-tilted on the same side as the vapor deposition direction, and the other alignment layer 5 generates a reverse pre-tilt state where the liquid crystal 3 is pre-tilted in a direction opposite to the vapor deposition direction.例文帳に追加

一方の配向層４は、蒸着方向と同じ側に液晶３がプレチルトする正プレチルト状態を生じ、他方の配向層５は、蒸着方向と反対側に液晶３がプレチルトする逆プレチルト状態を生じる。 - 特許庁

The pre-alignment mark AM1 is detected by ultraviolet rays having a wavelength of 248 nm which is emitted from a pre-alignment sensor PA, while the fine alignment mark AM2 is detected by a space image sensor on a wafer stage.例文帳に追加

プリアライメントマークＡＭ１は、プリアライメントセンサＰＡから発せられる、波長が２４８ｎｍの紫外線で検出され、ファインアライメントマークＡＭ２は、ウェハステージ上の空間像センサで検出される。 - 特許庁

The detection system is disposed above a reticle to observe the pattern and perform pre-alignment.例文帳に追加

この検出系はレチクル上方に配置し、パターンを観察しプリアライメントを実施する。 - 特許庁

A carrier robot 15 simultaneously conducts an operation receiving the substrate W1 pre-aligned by the pre-alignment device 12 by a first hand 31 and the operation delivering the substrate W2 supported and pre-aligned by a second hand 32 to the pre-alignment device 12.例文帳に追加

搬送用ロボット１５が、プリアライメント装置１２でプリアライメントされた基板Ｗ１を第１のハンド３１で受け取る動作と、第２のハンド３２に支持されたプリアライメントされる基板Ｗ２をプリアライメント装置１２に受け渡す動作と、を同時に行う。 - 特許庁

While a first mask M1 is exposed, a first handler 11a picks up a second mask M2 to be used next from a mask storage section 6, and places the mask on a pre-alignment stage 5 for pre-alignment.例文帳に追加

第１のマスクＭ１での露光中に、第１のハンドラ１１ａがマスク保管部６から次に使用する第２のマスクＭ２を取り出し、プリアライメントステージ５に載せてプリアライメントを行う。 - 特許庁

To provide a pre-alignment method of a semiconductor wafer, capable of shortening the time required for pre-alignment, and shortening the time for transferring the semiconductor wafer to a processing section for the semiconductor wafer.例文帳に追加

プリアライメントに要する時間を短縮し、半導体ウエハの処理部への半導体ウエハの搬送時間を短縮することができる半導体ウエハのプリアライメント方法を提供する。 - 特許庁

When exposure is finished, a second handler 12a carries the first mask M1 to the pre-alignment stage 5.例文帳に追加

露光が終わると第２のハンドラ１２ａが第１のマスクＭ１をプリアライメントステージ５まで運ぶ。 - 特許庁

To provide a semiconductor manufacturing equipment that comprises a pre-alignment section, capable of securely performing alignment with the smallest possible number of alignment pins, even if the directions of orientation flats of stored semiconductor substrates are not uniform, and a method of manufacturing a semiconductor device, which includes a pre-alignment method.例文帳に追加

本発明の目的は、収納状態の半導体基板のオリフラ方向が不揃いであっても、極力少ない位置決めピンで確実に位置決めできるプリアライメント部を備えた半導体製造装置及びプリアライメント方法を含む半導体装置の製造方法を提供することである。 - 特許庁

To control the pre-tilt angle of liquid crystal molecules to prevent unevenness of the pre-tilt angle by controlling the arrangement state of alignment layer molecules to make the state uniform.例文帳に追加

配向膜分子の配列状態を制御、均一化して、液晶分子のプレチルト角を制御しムラが発生することを防止する。 - 特許庁

An exposure device has a mask stage 9, a pre-alignment device 7 pre-aligning a mask 1, to be covered on the stage 9 and a mask-manipulating mechanism 10 for carrying the original edition between the stage 9 and the pre-alignment device 7 or exchanging the two original editions.例文帳に追加

露光装置は、マスクステージ９と、ステージ９に渡たすべきマスク１をプリアライメントするプリアライメント装置７と、ステージ９とプリアライメント装置７との間で原版を搬送し又は２枚の原版を交換するマスク操作機構１０とを有する。 - 特許庁

To provide a pre-alignment device and a pre-alignment method that can make an exposure unit compact on the whole, shorten a tact time, and detect foreign matter with high precision.例文帳に追加

露光ユニット全体を小型化することができ、また、タクトタイムの短縮を図ることができ、且つ高精度に異物を検出することが可能なプリアライメント装置及びプリアライメント方法を提供する。 - 特許庁

From these detection results, a deviation is calculated between the pre-alignment detection system and the RA coordinate system.例文帳に追加

そして、これらの検出結果から、プリアライメント検出系と、ＲＡ座標系とのずれを算出する。 - 特許庁

The pair of alignment layers 16 and 26 have a first alignment regulation area R1 and a second alignment regulation area R2 imparted with alignment regulation force giving a pre-tilt angle to the liquid crystal molecule 31 of the liquid crystal layer 30.例文帳に追加

一対の配向膜１６および２６は、液晶層３０の液晶分子３１にプレチルト角を与える配向規制力が付与された第１配向規制領域Ｒ１および第２配向規制領域Ｒ２を有する。 - 特許庁

Therefore, it is unnecessary to perform pre-alignment using a low-magnification camera as in the conventional manner, and the alignment processing is rapidly performed by photography performed once.例文帳に追加

したがって、従来のように低倍率のカメラを使用したプリアライメントを行う必要はなく、一度の撮影で迅速にアライメント処理を行うことができる。 - 特許庁

As a pre-processing of releasing the vertical alignment layer 4 provided on the substrate 1, treatment for affecting a diamine group in the components of the vertical alignment layer 4 and lowering the vertical alignment controllability is carried out.例文帳に追加

基板１に設けた垂直配向膜４を剥離する際の前工程として、垂直配向膜４成分中のジアミン基に作用し、垂直配向規制力を低下させる処理を行う。 - 特許庁

Before fine alignment, pre-alignment is carried out using the light having a wavelength different from that of exposure light to position the reticle stage with respect to three degree of freedom (XYθ), so that the fine alignment mark AM2 may be so positioned as to be easily detected at the time of fine alignment.例文帳に追加

ファインアライメントの前に露光光の波長と異なる波長の光を用いてプリアライメントを行って、ファインアライメントマークＡＭ２がファインアライメント時に検出しやすい位置となるように、レチクルステージをＸＹθの３自由度に対して位置決めする。 - 特許庁

To decrease the number of light irradiation processes when light alignment is performed so that liquid crystal molecules have a pre-tilt angle.例文帳に追加

光配向によって液晶分子がプレチルト角を有するようにする際に、光照射の回数を減らす。 - 特許庁

In a book binding system 10, a pre-alignment mechanism 50 has a stopper 56 and a jogger 58 abutting on an edge of an inserted paper bundle 4a for alignment processing.例文帳に追加

製本システム１０において、プレ整合機構５０は、整合処理を実行すべく、搬入された用紙束４ａの縁部に当接するストッパ５６およびジョガー５８有する。 - 特許庁

To decrease a total time of a work for conveying and processing a plurality of substrates including its pre-alignment to improve a throughput.例文帳に追加

複数の基板のプリアライメントを含む搬送作業及び処理作業の総時間を短縮して、スループットを向上する。 - 特許庁

In a step S21 the element substrate and a counter substrate are alignment treated and in a step S22 UV pre-curing is carried out thereto.例文帳に追加

ステップＳ21でアライメント処理された素子基板及び対向基板に対して、ステップＳ22でＵＶ前硬化が行われる。 - 特許庁

Recoating is performed by repeating coating and pre-baking plural times to form the alignment layer 107 having the required film thickness.例文帳に追加

この塗布とプリベイクを複数回、繰り返して重ね塗りを行ない所要の膜厚の配向膜１０７を形成する。 - 特許庁

A pre-alignment process in which automatic pattern recognition is used decides the position and direction of the object from the measured edge position.例文帳に追加

自動パターン認識を用いるプレアライメントプロセスが測定したエッジ位置から物体の位置及び方向を判定する。 - 特許庁

The device area needed by the stage is reduced and pre-alignment is made easy by using a polar coordinates stage 320.例文帳に追加

極座標ステージを用いることにより、そのステージが必要とする装置面積を低減し、プレアライメントを容易にする。 - 特許庁

Next, the plurality of structures are surrounded for alignment with a jig 122 including an upper surface positioned lower than the pre-wiring surface 2Pc so that the pre-wiring surfaces 2Pc face upward.例文帳に追加

次に、配線予定面２Ｐｃが上方向に向くように、複数の構造体を、配線予定面２Ｐｃよりも低い位置にある上面を有する治具１２２によって囲って整列させる。 - 特許庁

To improve visual field angle characteristics by subjecting an alignment layer to rubbing treatment and then irradiating the entire surface of the alignment layer with light or an ion beam to reduce a pre-tilt angle of the alignment layer in an in-plane switching mode liquid crystal display device.例文帳に追加

本発明は横電界方式液晶表示装置で配向膜にラビング処理をした後に配向膜全面に光照射またはイオンビーム照射をして配向膜のプリチルト角を減らして視野角特性を改善する。 - 特許庁

Concerning data compressed by the block sort compression method, a pair of the alignment position number and the pre-alignment position number of a BW-converted column and columns aligned in a dictionary form is found.例文帳に追加

ブロックソート圧縮法により圧縮されたデータに対して、ＢＷ変換した列と辞書式に整列させた列との整列位置番号と整列前位置番号の対を求める。 - 特許庁

As the result, pre-tilt is caused in alignment layer 5 and 16 by exposure with radiation of ultraviolet rays for formation of spacers 8 and 18, and an alignment processing stage for exclusive use is not required.例文帳に追加

この結果、スペーサ８、１８を形成するための紫外線照射による露光により、配向膜５、１６にプレティルトを生じさせることができ、専用の配向処理工程は不要である。 - 特許庁

PRE-ALIGNMENT DEVICE, ALIGNMENT DEVICE AND LIQUID DROPLET EJECTION APPARATUS PROVIDED WITH THE SAME, METHOD OF MANUFACTURING ELECTRO-OPTICAL DEVICE, ELECTRO-OPTICAL DEVICE, ELECTRONIC APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING ELECTRONIC APPARATUS例文帳に追加

プリアライメント装置及びこれを備えたアライメント装置及び液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器及び電子機器の製造方法 - 特許庁

To provide a method and a device for carrying a substrate, capable of improving space efficiency and throughput, and easily correcting pre- alignment.例文帳に追加

スペース効率、スループットを向上させ、プリアライメントの位置補正が容易な基板搬送方法および基板搬送装置を提供する。 - 特許庁

Further, the tact time can be shortened by carrying out pre-alignment and foreign matter detection of the substrate whose temperature is being adjusted.例文帳に追加

また、温度の調整が行われている基板にプリアライメント、異物検出を行うことで、タクトタイムの短縮を図ることができる。 - 特許庁

To provide a pre-alignment sensor capable of being used in vacuum environment or chemical atmosphere without problem and detecting highly accurately.例文帳に追加

真空環境下や薬液雰囲気中で問題なく使えるとともに、高精度な検出ができるプリアライメントセンサを提供する。 - 特許庁

To provide a liquid crystal alignment agent for exhibiting a high pre-tilt angle, having superior voltage holding rate, and suitable for a liquid crystal display element.例文帳に追加

高いプレチルト角を発現し、電圧保持率に優れる、液晶表示素子用として好適な液晶配向膜を提供すること。 - 特許庁

To provide an exposure system unit and its substrate exchange method capable of efficiently exchanging substrates in a pre-alignment device.例文帳に追加

プリアライメント装置での基板の交換を効率的に行うことができる露光装置ユニット及びその基板交換方法を提供する。 - 特許庁

To provide a pre-alignment device in which a substrate can be placed by vertical placing or horizontal placing, while the number of sensors can be reduced.例文帳に追加

縦置き又は横置きで基板を載置可能であるとともに、センサの個数を削減することができるプリアライメント装置を提供する。 - 特許庁

The arrangement state can be made uniform over the entire area of the alignment layer 22 and unevenness of the pre-tilt angle of the liquid crystal molecules can be reduced.例文帳に追加

また、配向膜２２の全域にわたって均一化することができ、液晶分子のプレチルト角のムラを低減することができる。 - 特許庁

To provide an exposure system capable of smoothly carrying a glass substrate without causing congestion of the glass substrate among a pre-alignment device, a work loader, and an exposure device when conveying a glass substrate from the pre-alignment device to the exposure device via the work loader to perform exposure treatment, and a method of controlling the exposure system.例文帳に追加

ワークローダを介してガラス基板をプリアライメント装置から露光装置に搬送して露光処理するとき、プリアライメント装置、ワークローダ、及び露光装置間で基板の渋滞を生じさせることなく、スムーズに運搬することができる露光システム及びその制御方法を提供する。 - 特許庁

When a wafer position cannot be measured in pre-alignment, based on measurement of wafer positions in past pre-alignment that is stored as hysteresis information, a wafer position is measured again relative to a measurement position computed according to many pieces of measurement information about wafer positions measured in normal completion.例文帳に追加

プリアライメントの際にウエハ位置の計測不能が発生したとき、履歴情報として記憶される過去にプリアライメントにおけるウエハ位置計測が、正常に終了したときのウエハ計測位置の複数の計測情報に基づいて算出した計測位置を基準としてウエハ位置を再計測する。 - 特許庁

The whole 2nd vertical alignment layer 29 and only the 1st vertical alignment layer 26 in the transmission region are optically improved; and pre-tilt angles of liquid crystal molecules on the interface between the 1st vertical alignment layer 26 and 2nd vertical alignment layer 29 are ≥45° and liquid crystal molecules in the transmission region are aligned in a bend state.例文帳に追加

そして、第２の垂直配向膜２９の全体と、透過領域の第１の垂直配向膜２６のみが光改質され、第１の垂直配向膜２６と第２の垂直配向膜２９の界面の液晶分子のプレチルト角が４５°以上であり、透過領域の液晶分子がベンド配向している。 - 特許庁

The alignment means in the chamber 4 is a highly accurate aligned optical system 2 necessary for proper alignment of the wafers and an alignment stage 6, the proper alignment is executed to the wafer during standby as a pre-exposure treatment in the chamber 4, in parallel with the exposure treatment of the other wafer in the chamber 3 and a reduction of a treatment time is effected.例文帳に追加

露出前室４のアライメント手段は、本アライメントに必要な高精度のアライメント光学系２とアライメントステージ６であり、露光室３での露光処理と平行して露光前室４では、露光前処理として待機中のウエハに対して本アライメントを実施し、処理時間の短縮を図る。 - 特許庁

PRE-ALIGNMENT DEVICE, WORKPIECE TABLE, DROPLET DISCHARGING DEVICE EQUIPPED WITH IT, METHOD OF MANUFACTURING ELECTROOPTIC DEVICE, ELECTROOPTIC DEVICE, AND ELECTRONIC EQUIPMENT例文帳に追加

プリアライメント装置、ワークテーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - 特許庁