「"Lift Pin"」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

To provide a lift pin, a device for processing a substrate having the lift pin and a method of processing a substrate using the lift pin.例文帳に追加

本発明はリフトピン、それを具備する基板処理装置及びそれを用いた基板処理方法を提供する。 - 特許庁

LIFT PIN FOR THIN-FILM GROWING DEVICE, ITS FORMATION METHOD AND LIFT PIN TOP例文帳に追加

薄膜成長装置用のリフトピン、その形成方法およびリフトピン頭部 - 特許庁

SEMICONDUCTOR PROCESSING APPARATUS WITH LIFT PIN STRUCTURE例文帳に追加

リフトピン構造を有する半導体処理装置 - 特許庁

LIFT PIN MECHANISM, HEAT TREATMENT EQUIPMENT, AND REDUCED PRESSURE DRYING EQUIPMENT例文帳に追加

リフトピン機構、加熱処理装置、減圧乾燥装置 - 特許庁

PIN OUTPUT DEVICE DRIVEN INSIDE LIFT PIN例文帳に追加

昇降ピン内側にて駆動されるピン出力装置 - 特許庁

LIFT PIN BRAKING MECHANISM OF PIN OUTPUT DEVICE例文帳に追加

ピン出力装置の昇降ピン制動機構 - 特許庁

The top surface of the lift pin is shaped so that the top surface of the lift pin may lift up the protection tape of the notch.例文帳に追加

そして、該リフトピンの上面形状は、該リフトピンの上面が該ノッチにおける該保護テープを持ち上げることができる形状である。 - 特許庁

The base 2 has a cooling water channel 20 and a lift pin 21.例文帳に追加

ベース２には、冷却水路２０やリフトピン２１が設けられている。 - 特許庁

String-like elastic bodies (1 in Fig.1) are arranged on both the sides of the lift pin approximately vertically relative to the axis of the lift pin, and pressure units (2, 3 in Fig.1) are arranged in the vicinity of four corners of the periphery of the lift pin while facing the outsides of the string-like elastic bodies arranged on both the sides of the lift pin.例文帳に追加

昇降ピンの軸に対して略垂直に、該昇降ピンの両側に紐状弾性体（図１の１）を配置し、前記両側の紐状弾性体の外側に面して、前記昇降ピンの周囲４隅付近に圧迫子（図１の２及び３）を配置する。 - 特許庁

LIFT PIN UNIT AND XY STAGE DEVICE HAVING SAME例文帳に追加

リフトピンユニット及びそれを具備したＸＹステージ装置 - 特許庁

The height of the lift pin increases gradually from the outer edge toward the central part.例文帳に追加

リフトピンの高さが、外縁部から中央部に向かって徐々に高くなる。 - 特許庁

To provide a method and a device for supporting a substrate, wherein the angle of a lift pin is restricted for controlling the direction of the lift pin, and/or the lift pin is prevented from being unintentionally combined with a susceptor as the susceptor is raised to prevent the resulting uneven support of the substrate.例文帳に追加

リフトピンの垂直の向きを制御するために、リフトピンの角度を制限し、及び/又はサセプタが上がるにつれてリフトピンがサセプタに無意識に結合するのを防止し且つ基板の結果として生じる平坦でない支持体を防止する、基板支持方法及び装置の提供。 - 特許庁

In the substrate processing apparatus 400 and the method of cleaning the substrate processing chamber 410, the lift pin 440 is made to go down without a substrate 10s; and fluorine radical is generated inside of the substrate processing chamber 410 in a state that the hole 433 for inserting the lift pin is sealed with a head 443 of the lift pin 440.例文帳に追加

基板処理装置４００および基板処理室４１０のクリーニング方法では、基板１０ｓが無い状態でリフトピン４４０を下降させ、リフトピン挿通用穴部４３３をリフトピン４４０の頭部４４３によって塞いだ状態で、基板処理室４１０の内部にフッ素ラジカルを発生させる。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for supporting a substrate, which in order to control the vertical direction of a lift pin, restrict the angle of the lift pin and/or prevent the lift pin from being unconsciously combined with a susceptor as the susceptor is raised and prevent the generation of an uneven support caused by a substrate.例文帳に追加

リフトピンの垂直の向きを制御するために、リフトピンの角度を制限し、及び/又はサセプタが上がるにつれてリフトピンがサセプタに無意識に結合するのを防止し且つ基板の結果として生じる平坦でない支持体を防止する、基板支持方法及び装置の提供。 - 特許庁

A lift pin 29a of the lift frame is fitted into a cam groove 65 of the driven slider 52.例文帳に追加

従動スライダ５２のカム溝６５には、昇降フレームの昇降ピン２９ａが嵌合する。 - 特許庁

Prebaking is performed by adjusting a temperature distribution of the glass substrate by the height of a lift pin.例文帳に追加

ガラス基板５０の温度分布をリフトピン２３の高さにより調整しプリベークすること。 - 特許庁

The lift pin brake mechanism includes a leaf spring and a pressing actuator.例文帳に追加

昇降ピン制動機構を、板ばねと、押圧アクチュエータから構成されるものとする。 - 特許庁

The end of the fiber facing the backside of the wafer is coincident with the end of the hollow lift pin.例文帳に追加

ウェーハ裏面に面するこのファイバの端部は、中空のリフトピンの端部と符合する。 - 特許庁

The end of the fiber facing the wafer backside coincides with the end of the hollow wafer lift pin.例文帳に追加

ウェーハ裏面に面するこのファイバの端部は、中空のリフトピンの端部と符合する。 - 特許庁

To provide a substrate treatment device which is equipped with a lift pin 40 that has improved in following properties when a temperature changes.例文帳に追加

温度変化の際のリフトピンの追随性を良好にした基板処理装置を提供すること。 - 特許庁

A lift pin 3 supports the substrate 1 on a stage 2 and can make it ascend and descend.例文帳に追加

リフトピン３は、ステージ２上で基板１を支持して上昇および下降させることが可能である。 - 特許庁

This device includes a vertically aligned lift pin having a friction plate which maintains the vertical direction of the lift pin, while lifting the substrate and/or a bearing surface which is engaged with a magnetic field.例文帳に追加

基板を持ち上げる間、リフトピンの垂直の向きを維持する摩擦プレート及び/又は磁界と係合する軸受面を有する垂直に整列したリフトピンを含んでいる。 - 特許庁

Consequently, a base plate 182 and a lift pin 184 are raised too, and the substrate G is pushed up by the lift pin 184 above the carrying path 108.例文帳に追加

そうすると、ベース板１８２およびリフトピン１８４も上昇して、リフトピン１８４が下から突き上げるようにして基板Ｇを搬送路１０８の上方へ持ち上げる。 - 特許庁

Horizontal cross-section of the lift pin head part has diameter decreasing gradually for the susceptor toward the shaft part, and the outer circumferential curved surface part 42c of the lift pin head part is formed to project outward.例文帳に追加

リフトピン頭部は、軸部に向かってサセプタに対し水平方向の断面直径が漸次小さくなるとともに当該リフトピン頭部の曲面状外周面部４２ｃが外方に向かって凸の曲面状に形成されている。 - 特許庁

A transfer control unit 13 that controls the lift pin 12 transfers the substrate W to the lift pin 12 after the carrier robot 30 begins an action to carry the substrate to the pertinent process chamber 10.例文帳に追加

リフトピン１２を制御する移載制御部１３は、搬送ロボット３０が該当プロセスチャンバ１０への基板の搬送動作を開始した後に、リフトピン１２へ基板Ｗを移載させる。 - 特許庁

One pressure unit (2 in Fig.1) is fixed on a lift pin holding plate A and the other pressure unit (3 in Fig.1) is fixed on a lift pin holding plate B.例文帳に追加

一方の圧迫子（図１の２）は昇降ピン保持板Ａに固定されており、もう一方の圧迫子（図１の３）は昇降ピン保持板Ｂに固定されている。 - 特許庁

To provide a lift pin holding mechanism for elastically holding an axial direction position of the lift pin, capable of achieving stable retracting movement against touch pressure.例文帳に追加

昇降ピンの軸方向位置を、弾力性を伴って保持しうる昇降ピン保持機構について、触知圧力に対して安定した出没動を実現しうる昇降ピン保持機構を提供する。 - 特許庁

To prevent air from leaking from a through hole for lift pin opened to the atmosphere to the wafer suction area even the through hole is enlarge for horizontally moving a lift pin.例文帳に追加

リフトピンが水平方向に移動するため貫通穴が大きい場合であっても、大気開放しているリフトピン用の貫通穴からウエハ吸着領域への空気漏れを防ぐことができる。 - 特許庁

Lifting of the second lift pin 110b is restricted halfway by a stopper 141, and at the highest position where the substrate 20 is pushed up, a space that a conveyance arm 61 can move in is formed between the second lift pin 110b and substrate 20.例文帳に追加

第２リフトピン１１０ｂの上昇はストッパ１４１により途中で規制され、基板２０を押し上げた最高位置では、第２リフトピン１１０ｂと基板２０との間に、搬送アーム６１が進入可能な空間が形成される。 - 特許庁

To provide a lift pin elevation device that can accurately keep the position of a lift pin tip by preventing an influence of thermal deformation even when a heat treating device increases in size.例文帳に追加

熱処理装置のサイズが大きくなった場合においても、熱変形の影響を防止してリフトピン先端の位置を正確に維持することが可能なリフトピン昇降装置を提供すること。 - 特許庁

To prevent an adverse effect on a wafer resulting from chemical stuck to members such as a lift pin plate (including a lift pin) and a holding plate positioned on the surface side of the holding part side of a workpiece.例文帳に追加

被処理体の保持部側の面側に位置するリフトピンプレート（リフトピンを含む）や保持プレートといった部材に付着した薬液が原因でウエハに悪影響が生じることを防止する。 - 特許庁

The helium gas 6 is stopped, the lift pin 5 is lowered and the semiconductor device substrate 1 is placed on the stage 3 again.例文帳に追加

その後、ヘリウムガス６を止め、リフトピン５を下げ、再びステージ３の上に半導体装置基板１を載置する。 - 特許庁

To definitely discharge static electricity left in a wafer before lifting up the wafer from a block of an electrostatic chuck with a lift pin.例文帳に追加

静電チャックの台からウエハをリフトピンで持ち上げる前に、ウエハに残存している静電気を確実に除去できるようにする。 - 特許庁

Flow passages (21a, 22a, 23a) for spraying the ionized gas fed from an ionizer on the rear surface of the substrate are formed in the lift pin 16.例文帳に追加

リフトピン１６には、イオナイザから供給されたイオン化ガスを基板の裏面に吹き付ける流路（２１ａ，２２ａ，２３ａ）が形成されている。 - 特許庁

The lifting mechanism is provided with at least one lift pin 91 that is vertically movable and is extended penetrating the susceptor.例文帳に追加

リフト機構はサセプタを貫通して伸びる上下動可能な少なくとも１本のリフトピン９１を有している。 - 特許庁

To shorten the ashing time of an ion implanted resist and make the ashing efficient, by a new lift pin of a wafer stage.例文帳に追加

ウェーハステージの新規なリフトピン動作により、イオン注入レジストのアッシング時間を短縮、効率化できる。 - 特許庁

The front and rear idling grooves and the pulling idling grooves maintain a posture of the panel support stay regardless of a relative movement of the lift pin and the rear end.例文帳に追加

前・後の空走溝と引き込み用空走溝は、リフトピンや後端部との相対移動にかかわらず、パネル支持ステーの姿勢を維持させる。 - 特許庁

The swing guide mechanism comprises a lift guide groove 54 of the driving slider, and a lift pin 93 of the panel support stay.例文帳に追加

スイングガイド機構は、駆動スライダのリフトガイド溝５４と、パネル支持ステーのリフトピン９３とからなる。 - 特許庁

The substrate processing apparatus includes mainly a stage 3, a lift pin LP, a bridge structure 4, a slit nozzle 41, and a nozzle lifting mechanism.例文帳に追加

基板処理装置は、主としてステージ３と、リフトピンＬＰと、架橋構造４と、スリットノズル４１と、ノズル昇降機構とを備える。 - 特許庁

The tip end 5 of the lift pin 3 is press inserted in the connecting part 6 and the semiconductor ceramics is a silicon carbide.例文帳に追加

また、リフトピン３は上記先端部５が接続部６に圧入されており、上記半導体セラミックスは炭化珪素であることを特徴とする。 - 特許庁

To provide an apparatus of manufacturing an electrooptical device that is configured to smoothly move up and down a lift pin in the through hole of a susceptor.例文帳に追加

サセプタの貫通孔内においてリフトピンを滑らかに昇降させることのできる構成を有する電気光学装置の製造装置を提供する。 - 特許庁

The processing liquid supply unit 40 and the lift pin plate 20 are configured so as to be relatively moved up and down against the holding plate 30.例文帳に追加

処理液供給部４０およびリフトピンプレート２０は保持プレート３０に対して相対的に昇降するようになっている。 - 特許庁

The leaf spring is bent by the pressure of the pressing actuator, and the working end of the leaf spring functions to brake the side face of the lift pin.例文帳に追加

板ばねは、押圧アクチュエータによって押されることにより湾曲し、その作用端が昇降ピン側面に対して制動作用を及ぼすものとする。 - 特許庁

The processing liquid supply unit 40 has a head part 42 formed so as to cover a through hole 20a of the lift pin plate 20.例文帳に追加

処理液供給部４０は、リフトピンプレート２０の貫通穴２０ａを塞ぐよう設けられたヘッド部分４２を有している。 - 特許庁

Consequently, a lift pin 192, a stopper member 194, and the substrate G incline rearward by the same angle on the carrying path 108.例文帳に追加

そうすると、リフトピン１９２，ストッパ部材１９４、基板Ｇも搬送路１０８上で後ろ向きに同角度だけ傾く。 - 特許庁