「誘起酸化膜」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

半導体装置の製造方法に関し、ゲート絶縁膜にシリコン酸化膜と比較して誘電率が高い物質の膜を用いる場合、シリコン表面に自然酸化膜が生成されないように、また、シリコンとゲート絶縁膜の反応に起因する酸化膜が生成されないように、更にまた、水素の影響を排除すると共に固定電荷や界面準位の発生を抑止することを可能にしようとする。例文帳に追加

To avoid forming a natural oxide film on an Si surface, avoid forming an oxide film due to the reaction of Si with a gate insulating film, and eliminate the influence of H and suppress appearance of fixed charges or interface level wherein the gate insulation film uses a film of a material having a higher dielectric constant than that of an Si oxide film. - 特許庁

室温で、マンガン酸化物膜２に３．２ｅＶ（波長にして、約０．３９μｍ；青色）のレーザー光３を照射することにより、光誘起効果による材料中のスピン秩序の変化を生起させ、前記マンガン酸化物膜２の１μｍ近傍の光の透過率・伝導率を高速で制御する。例文帳に追加

Spin order in the material is changed owing to light inductive effect by irradiation of 3.2 eV (approximately 0.39 μm in wavelength and blue in color) of laser beam 3 to the manganese oxide 2 at room temperature, so that the light transmissiveness and electrical conductivity in the vicinity of 1 μm of the manganese oxide film 2 is controlled at high speed. - 特許庁

シリコン基板の表面を比較的厚く酸化して、表面に光導波路となる石英膜を形成させる際、酸化誘起積層欠陥を起因とするパーティクルまたは凹状ピットが石英膜上に少ない高品質な光導波路基板を製造する方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing an optical waveguide substrate of high quality in which particles or recessed pits caused by an oxidation- induced lamination defect are few on a quartz film when the quartz film becoming an optical waveguide is formed on the surface by oxidizing the surface of a silicon substrate relatively thick. - 特許庁

エチレンスルフィトもしくはその誘導体により負極２２に安定な被膜が生成されると共に、炭酸エステル誘導体により正極２１で起こる電解液の酸化分解反応が抑制される。例文帳に追加

A stable film is formed on the negative electrode 22 by ethylene sulfite or its derivative, and oxidation decomposition reaction of the electrolytic solution occurring at the positive electrode 21 is suppressed by the carbonate derivative. - 特許庁

アルカリ金属酸化物を含有する鉛フリー低融点ガラスからなる誘電体層の焼成時での透明導電膜の着色を惹き起こすことなく、発光効率の低下を回避可能な薄膜配線層を提供する。例文帳に追加

To provide a thin wiring layer capable of avoiding deterioration of luminous efficiency without causing coloring of a transparent conductive film during baking of a dielectric layer made of lead-free glass of a low melting point containing alkaline metal oxide. - 特許庁

また、第一の薄膜１７上に第二の薄膜１８を成膜する第二の成膜工程は、酸化ガスの含有率が高い第二のスパッタガス雰囲気で行われるので、酸素原子が補完され、第二の薄膜１８を構成する誘電体材料に酸素欠損が起こらず、その結晶性が崩れない。例文帳に追加

On the other hand, a second film forming process for forming a second thin film 18 on the first thin film 17 is carried out under a second spatter gas atmosphere, high in the contents of the oxidizing gas, whereby oxygen atom is supplemented and oxygen missing will not be caused in the dielectric material constituting the second thin film 18, thereby causing no collapse of crystallinity thereof. - 特許庁

表示装置用フィルター膜５０ａが、ナノサイズの金属微粒子が酸化物粒子の表面に付着した構造を有し、金属／酸化物界面で特定波長帯の光を選択的に共鳴吸収する表面プラズモン共鳴現象が誘起される。例文帳に追加

A filter film 50a for a display device has such a structure that metal fine particles of a nanometer size are deposited on the surfaces of oxide particles and that the surface plasmon resonance to selectively absorb light in a specified wavelength band by resonance is induced on the metal/oxide interface. - 特許庁

下部電極形成後、強誘電体膜を形成する熱処理プロセスを行った際に、強誘電体膜にＩｒの酸化物で構成される析出物が多数生じ、この析出物はキャパシタの下部電極と上部電極とを短絡してキャパシタのリーク電流を大きくし、その結果容量の低下、動作電流の増大を引き起こす。例文帳に追加

To manufacture a reliable ferroelectric capacitor having small leakage current with a good yield. - 特許庁

多孔質膜１１の材料としては、酸化物、窒化物及び炭化物の内の少なくとも１つを含むセラミックス、又は熱誘起型相分離法により製造したポリオレフィンを用いる。例文帳に追加

Ceramics containing at least one of an oxide, nitride and carbide, polyolefin prepared by the heat-induced phase separation method are used as a material of porous membrane 11. - 特許庁

光蓄電電極１に光が照射されると、光触媒粒子１ｂにおいて電子及び正孔が励起され、これらが電解液と導電性高分子膜１ａとの間に酸化還元反応を誘発する。例文帳に追加

When the photoelectric storage electrode 1 is irradiated with light, electrons and holes are excited in the photocatalyst particles 1b, they induce an oxidation-reduction reaction between an electrolytic solution and the conductive polymer film 1a. - 特許庁

表面プラズモン共鳴または局在プラズモン共鳴を誘起し得る構造の光学デバイスの特性が、金属膜の酸化により劣化することを防止する。例文帳に追加

To prevent the characteristics of an optical device, which has a structure capable of inducing surface plasmon resonance or local plasmon resonance, from being deteriorated by the oxidation of a metal film. - 特許庁

欠陥が誘起され難くかつ水素や水分の耐性が強い金属酸化物をゲート絶縁膜として用いたＭＩＳ型電界効果トランジスタ及びその製造方法を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide an MIS field effect transistor using metallic oxide the defect of which is not caused easily and which resists hydrogen and water as a gate insulating film, and to provide a method for manufacturing the transistor. - 特許庁

半導体装置に誘起されるチャージが要因とされるシリコン酸化膜の劣化を防止し、特性及び信頼性の高い半導体装置を製造することを可能にする。例文帳に追加

To fabricate a semiconductor device excellent in characteristics and reliability by preventing deterioration of a silicon oxide film due to charges being induced in the semiconductor device. - 特許庁

配線抵抗を上昇させることなく、誘電体焼成時におけるＣｕ配線の酸化を抑制し、配線脇に残存する泡を起因とした耐圧不良を回避可能な保護膜を提供する。例文帳に追加

To provide a protective film which can avoid breakdown voltage failures, caused by bubbles remaining aside of an interconnection by suppressing the oxidation of Cu interconnections, at baking of dielectrics without causing increase in the interconnection resistances. - 特許庁

多孔質シリカ膜の焼成（形成）後に機械的強度を向上させる処理が不要で、かつ、下層への酸素の透過に起因する下層の金属膜の酸化や下層の有機膜の誘電率の増加を抑制することが可能な半導体装置を提供する。例文帳に追加

To provide a semiconductor device which has no need of improving the mechanical strength after baking (forming) a porous silica film, and suppresses the oxidation of a lower layer metal film and the increase of the dielectric constant of a lower layer organic film due to the permeation of oxygen to the lower layer. - 特許庁

ＨＳＧ形成を利用したキャパシタの製造方法で、誘電体薄膜の形成前にウェットエッチング工程を行うと自然酸化膜と一緒にＨＳＧシリコン層の表面も削られて、下部電極の機械的強度不足によりＨＳＧ粒剥がれが発生して電極短絡が起こる。例文帳に追加

To allow an electrode short circuit to occur by cutting the surface of an HSG silicon layer together with a natural oxidation film and producing HSG grain peeling due to lack of mechanical strength of a lower electrode when a wet etching process is performed before formation of a dielectric film in a manufacturing method of a capacitor utilizing HSG formation. - 特許庁

誘電体分離酸化膜１４の表面への高温ポリシリコン層１６の成長後、エッチング面が荒れにくいアルカリエッチによって、シリコンウェーハ１０の裏面に回り込んだ高温ポリシリコン、裏面突起１６ａを除去する。例文帳に追加

A high temperature polysilicon layer 16 is grown on the surface of a dielectric separate oxide film 14, and then a high temperature polysilicon spreading over the rear of a silicon wafer 10 and a rear projection 16a are removed by alkaline etching which hardly roughens an etched surface. - 特許庁

このため、ペアリングトランジスタ間では上述のアンテナ比が同一となり、プラズマ処理に際し、第６の金属配線層１５ａおよび１５ｂの側面からゲート酸化膜２ａおよび２ｂに加えられるプラズマ誘起ダメージも両トランジスタ間で同一に設定される。例文帳に追加

Thereby, the above antenna ratios become the same between the pairing transistors, and plasma-caused damages made from the sides of the sixth metal- wiring layers 15a, 15b to the gate oxide films 2a, 2b can be also set the same between both of the transistors. - 特許庁

光源装置において、副反射鏡の反射面１３１の表層近傍に誘電体多層膜６０の一部として酸化チタン膜６３が形成されていることにより、光源ランプから放射される紫外線を含む光束によって光触媒反応が誘起されるので、副反射鏡の反射面１３１に付着した有機物等の塵埃が分解され、除去される。例文帳に追加

In this light source device, since a photocalytic reaction is induced by the light flux containing ultraviolet emitted from a light source lamp because a titanium oxide film 63 is formed near a reflecting surface 131 of a sub reflecting mirror as a part of a dielectric multilayered film 60, dust such as an organic substance adhering to the reflecting surface 131 of the sub reflecting mirror is decomposed and removed. - 特許庁

人工骨材料がプラスチックのようなものであっても表面に水酸基を有する金属酸化物膜を、高い接着強度で製膜することによって、これを生体内環境に設置するとリン酸カルシウム類の核形成を誘起するような生体活性を有する被膜および該被膜を使用した複合材料を提供する。例文帳に追加

To provide a film being a hydroxyl-containing metal oxide film and having such bioactivity as to induce the formation of nuclei of a calcium phosphate when it is formed on the surface of an artificial bone material (even a plastic) with high bonding strength to form a product and the product is embedded in an environment within the living body and to provide a composite material using the film. - 特許庁

高可視光透過率および高断熱性を有するとともに高温高湿環境下に長期間放置してもＡg膜が酸化凝集して生じる斑点状の欠陥及び誘電体膜に起因する微少欠陥の発生を抑制し、しかも同じガス組成でも成膜可能なコストパフォーマンスに優れた高耐久性の熱線反射ガラスを得ること。例文帳に追加

To provide a heat-reflective glass on which a film having excellent cost-performance and high durability is formed even with the well-known gas composition having a high transparence, high heat-insulation property, without any spot defect caused by the oxidative coagulation of Ag film nor microdefect caused by dielectric film even after leaving in a hot and humid atmosphere for a long time. - 特許庁

本発明の課題は、希土類元素を含む希土類酸化物、希土類窒化物、または、希土類酸窒化物を電極間絶縁膜やブロック絶縁膜として用いる場合、後熱工程に起因する膜質劣化を抑制し結晶化や誘電率低下を回避して、セル動作特性の良好な不揮発性半導体メモリ装置およびその製造方法を提供することにある。例文帳に追加

To provide a nonvolatile semiconductor memory having proper cell operation characteristics, by suppressing impairment of film quality resulting from a post-heating process, when a rare earth oxide, a rare earth nitride or a rare earth oxinitride containing a rare earth element is employed as an inter-electrode insulating film or a block insulating film, thereby avoiding crystallization or deterioration in the permittivity. - 特許庁

チャンバー１５内に反応性ガスを導入し、その反応性ガスを励起してプラズマを発生させることにより活性種およびイオンを生成し、チャンバー内に配置した基板１４の表面に酸化膜を介して形成された高融点金属薄膜を、レジストパターンをマスクとして用いてドライエッチングする方法において、プラズマ源として、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）を用いる。例文帳に追加

In the method for dry etching which by using the metallic film of a high melting point formed through an oxide film on the surface of a substrate 14 arranged in a chamber by introducing reactant gas in the chamber 15 and energizing the reactant gas to generate plasma to generate active species and ions with a regist pattern as a mask, an induction coupled plasma(ICP) is used as a plasma source. - 特許庁

光学媒体３中に設けられた光路２より金属酸化物の微結晶を含む非線形光学薄膜１に信号光を斜入射し、該非線形光学薄膜に可視励起光を照射し、全反射現象を誘起することにより信号光の反射・透過挙動を制御して信号光をスイッチングする光スイッチにおいて、該非線形光学薄膜の屈折率の温度係数と該非線形光学薄膜に接する該光学媒体の屈折率の温度係数との差を15×10^−６／℃以下にする。例文帳に追加

The optical switch makes signal light be obliquely incident on the nonlinear optical thin film 1 containing microcrystal of metal oxide from an optical path 2 provided in an optical medium 3, irradiates the nonlinear optical thin film with visible exciting light, and induces a total reflection phenomenon to control reflection/transmission behavior of the signal light, thereby switching the signal light. - 特許庁

本発明は、形成温度の高い金属酸化物を誘電体層とする薄膜コンデンサを、電子回路を構成する部材に損傷を与えることなく内蔵することで、高周波信号を伝送する際の電源ノイズ等に起因した信号エラーの発生を抑制し、高品質・高信頼性を有する電子回路及びその製造方法を提供することにある。例文帳に追加

To provide an electronic circuit of high quality and reliability together with its manufacturing method by incorporating a thin-film capacitor, with a metal oxide of high forming temperature as a dielectrics layer, without damaging a member constituting the electronic circuit so that a signal error caused by power-source noise and the like when a high-frequency signal is transmitted is suppressed from occurring. - 特許庁