「FARADAY CUP」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

FARADAY CUP EQUIPMENT, ION DOPING SYSTEM, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

ファラデーカップ装置およびイオンドーピング装置ならびに半導体装置の製造方法 - 特許庁

MONITORING METHOD FOR FARADAY CUP OF ION IMPLANTING DEVICE USED FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR例文帳に追加

半導体を製造するため使用するイオン注入装置のファラデーカップをモニタする方法 - 特許庁

ION DETECTOR AND QUADRUPOLE MASS SPECTROMETER EQUIPPED WITH THE SAME, AND FARADAY CUP例文帳に追加

イオン検出器及びこれを備えた四重極型質量分析計並びにファラデーカップ - 特許庁

The ion amount measuring instrument comprises a Faraday cup 15 and a movable shielding plate 16.例文帳に追加

イオン量測定器は、ファラデーカップ１５と可動式遮蔽板１６からなる。 - 特許庁

A current integrator 16 temporally integrates a current value of each Faraday cup.例文帳に追加

電流積算器１６は、各ファラデーカップの電流値を時間的に積算する。 - 特許庁

In the faraday cup part 40, an earth electrode part 43 is arranged in the front of the second electrode part 42.例文帳に追加

ファラデーカップ部４０において第２電極部４２前方には接地電極部４３が配置される。 - 特許庁

The targets are the measurement openings 20, 22 and a Faraday cup 17 disposed inside the throttles.例文帳に追加

前記標的は、前記絞り内に配置された、測定用開口２０，２２及びファラデーカップ１７である。 - 特許庁

In order to bring about the electric field release, the Faraday cup (74) is arranged in the central section.例文帳に追加

電界解除をもたらすために、中央区域内にファラデーカップ（７４）が配置される。 - 特許庁

On the internal wall surface of the Faraday cup 10, a nonuniform insulating film ZM is formed.例文帳に追加

ファラデーカップ１０の内壁には、不均一な絶縁膜ＺＭが形成されている。 - 特許庁

A Faraday cup body 50 is constituted of a base member 51 and a sleeve member 52.例文帳に追加

ファラデーカップ本体５０は、台部材５１とスリーブ部材５２で構成されている。 - 特許庁

To significantly improve the productivity of a Faraday cup by efficiently performing ion implantation without lowering the current value of an ion beam even when the Faraday cup is used immediately after cleaning.例文帳に追加

洗浄直後のファラデーカップであってもイオンビーム電流値を下げることなくイオン注入を効率よく行い、生産性を大幅に向上する。 - 特許庁

In setting up an ion beam 3, an ion beam shape with an ion beam width or the like in a desired direction is obtained with the use of a faraday cup 10 or a faraday cup 11.例文帳に追加

イオンビーム３のセットアップ時に、ファラデーカップ１１またはファラデーカップ１０を用いて、所定方向のイオンビーム幅等のイオンビーム形状を取得する。 - 特許庁

An ion beam 32 which is incident from a main slit 14 is made incident on a main Faraday cup 43, a sub-slit 15 and an auxiliary Faraday cup 53 are formed in an ion current detector 10 for measuring ion current, and after the mass spectrometry analysis of an ion beam 33 incident from the sub-slit 15 is carried out, it is admitted into the auxiliary Faraday cup 53.例文帳に追加

主スリット１４から入射したイオンビーム３２を主ファラディカップ４３に入射させ、イオン電流を測定するイオン電流検出器１０に、副スリット１５と副ファラディカップ５３とを設け、副スリット１５から入射したイオンビーム３３を質量分析した後、副ファラディカップ５３に入射させる。 - 特許庁

When the injector flag Faraday cup 32 is inserted in the beam line and shields the ion beam, the ion beam abuts on graphite 32a provided at the injector flag Faraday cut 32.例文帳に追加

インジェクタフラグファラデーカップ３２をビームラインに挿入してイオンビームを遮断すると、イオンビームがインジェクタフラグファラデーカップ３２に設けられたグラファイト３２ａに当たる。 - 特許庁

The device includes at least one Faraday cup 300 for collecting samples of positive ions traversing the plasma sheath.例文帳に追加

装置はプラズマシースを横切る正イオンのサンプルを収集するための少なくとも一つのファラデーカップ３００を含む。 - 特許庁

A Faraday cup 4 to detect ions and an MCP 6 are pinched by a pair of substrates 9, 11, respectively.例文帳に追加

イオンを検出するファラデーカップ４と、ＭＣＰ６とをそれぞれ一対の基板９，１１で挟持する。 - 特許庁

An electron probe emitted by the emitter is captured by the Faraday cup 18, and its current is measured by an ampere meter 20.例文帳に追加

エミッタから放出された電子プローブはファラディーカップ１８に捕らえられ、その電流値が電流計２０により測定される。 - 特許庁

A current from the Faraday cup is converted by a current/voltage converter to generate a current density image of the primary electron beams.例文帳に追加

ファラデーカップからの電流が電流／電圧変換器で変換され、一次電子線の電流密度画像の生成が行われる。 - 特許庁

To provide an ion implanting device which receives no adverse effect on its surrounding member caused by an injector flag Faraday cup.例文帳に追加

インジェクタフラグファラデーカップによりその周辺部材が悪影響を受けることが無いイオン注入装置を提供する。 - 特許庁

When a neutral particle beam enters the calorie meter 18, the beam is converted to heat by a Faraday cup 181.例文帳に追加

カロリーメータ１８に中性粒子ビームが入射すると、当該ビームはファラディカップ１８１によって熱に変換される。 - 特許庁

The Faraday cup body 50 is arranged away from a sensitive substrate mounting part or a mark part for calibration of an optical system for 4 mm or more.例文帳に追加

このファラデーカップ本体５０が、感応基板載置部又は光学系の校正用マーク部から４ｍｍ以上離れて配置されている。 - 特許庁

The Faraday cup 300 is shaped to generate an electric field in the internal chamber 308 in the traverse direction in order to limit electron outflow.例文帳に追加

ファラデーカップ３００は電子流出を抑制するために内部チェンバー３０８内に横方向の電場を生成するように形状付けられる。 - 特許庁

The Faraday cup 62 is arranged with respect to the aperture assembly 70 so as to block the charged particles.例文帳に追加

ファラデーカップ６０は、帯電粒子を遮断するようにアパーチャ・アセンブリ６０に対して配置されている。 - 特許庁

To provide a Faraday cup ammeter receiving no charge of charged particles which are charged on a particle collecting section.例文帳に追加

粒子捕集部に帯電している帯電粒子の電荷を受けることのないファラデーカップ電流計を提供する。 - 特許庁

And the newly-provided diaphragm and the Faraday cup are made in one-body structure and a means of controlling the position against the optical axis is provided.例文帳に追加

また、新たに設けた絞りとファラディカップを一体構造とし、光軸に対して位置を制御する手段を設けた。 - 特許庁

A Faraday cup assembly 60 is arranged so as to shut off a particle beam 40, and the characteristics of the particle beam are measured.例文帳に追加

ファラデーカップ・アセンブリ６０が、粒子ビームを遮断するように配置されていて、粒子ビームの特性を測定する。 - 特許庁

Furthermore, an incident face 6a of the MCP 6 is arranged so as to extendedly exist along an axial line A directed from an opening part 2 to the Faraday cup 4, so that a space is effectively utilized to achieve the miniaturization of the ion detector 1 compared with the case that it is arranged so as to be along the width direction of the Faraday cup 4.例文帳に追加

更に、ＭＣＰ６の入射面６ａが、開口部２からファラデーカップ４へ向かう軸線Ａに沿って延在するように配置することで、ファラデーカップ４の幅方向に沿うように配置した場合に比してスペースを有効に活用し、イオン検出器１の小型化を図る。 - 特許庁

A Faraday cup for measuring the current of the ion beam is installed oppositely to the head of the beam introduction pipe 2 across the sample S under a table 1, and a nitrogen gas introduction pipe is connected thereto, and the air in the space from the under surface of the sample to the Faraday cup is evacuated to form a nitrogen gas atmosphere.例文帳に追加

テーブル１の下方には、試料Ｓを挟んでビーム導入管２の先端と対向するようにイオンビームの電流測定用ファラディカップを設け、これに窒素ガス導入管を接続し、試料の下面からファラディカップまで空間の空気を排除して窒素ガス雰囲気を形成する。 - 特許庁

The control means 16 controls driving means 15 so as to make a Faraday cup 11 in a position on an electron beam optical axis, electron taken out from the emitter 1 is detected by the Faraday cup 11, and angle current density calculating means 17 obtains an angle current density ρ1.例文帳に追加

また、制御手段１６は、ファラデーカップ１１が電子線光軸上に位置するように駆動手段１５を制御し、エミッタ１から引き出された電子はファラデーカップ１１により検出され、角電流密度演算手段１７は角電流密度ρ_1を求める。 - 特許庁

A stage 2 is provided with two Faraday cups 5, 6 the switching patterns of gains used by the respective Faraday cups are made different from each other to selectively use either cup 5, 6 according to current quantity, thereby preventing the current quantity from coming close to a switching point of gains.例文帳に追加

ステージ２にファラデーカップ５、６を２個設け、各ファラデーカップが用いるゲインの切り替わりパターンが互いに異なるものとして、電流量に応じてどちらかのファラデーカップ５、６を選択して用いることにより、電流量がゲインの切り替わり点付近に来るのを防止する。 - 特許庁

In a Faraday cup 2 for measuring an electron beam, tantalum or a heavy metal material having an atomic number larger than that of tantalum is used, and a Faraday cup structure having a high aspect ratio is composed, so that electron beam measurement capable of preventing large beam leakage even for a fine and highly accelerated electron beam 1 can be realized.例文帳に追加

電子ビーム計測用ファラディカップ（２）において、タンタルもしくはタンタル以上の原子番号の大きな重金属材料を用い、かつアスペクト比の高いファラディカップ構造をとることにより微細でも高加速電子ビーム（１）に対してもビーム漏えいの少ない電子ビーム計測が可能となる。 - 特許庁

The ion detector comprises: an inlet opening for receiving ions; a Faraday cup; an electron multiplier; and an ion beam controller arranged for orienting ions received through the inlet opening.例文帳に追加

イオン検出器は、イオンを受け取る入口開口部と、ファラデーカップと、電子増倍器と、入口開口部を通して受け取ったイオンを方向づけるよう配置されたイオンビームコントローラとを備える。 - 特許庁

To provide a plasma doping device in which error of output signal is prevented by separating a column of positive charges formed by ions in a Faraday cup and electrons while maintaining the electrons.例文帳に追加

ファラデーカップに入ったイオンにより形成された正の電荷のカラムと電子とを分離しかつ電子を維持して、出力信号のエラーを防止するプラズマドーピング装置を提供する。 - 特許庁

To make errors of beam current measurement small by suppressing incidence of ions in a plasma generated in beam plasma and near a mask surface to a Faraday cup.例文帳に追加

ビームプラズマおよびマスク表面付近に発生するプラズマ中のイオンがファラデーカップに入射することを抑制して、ビーム電流計測の誤差を小さくする。 - 特許庁

Negative ions generated from this PIG type negative ion source are accelerated, and a target 5 is set to have a positive-polarity high potential, to thereby prevent heavy element ion emission from the target caused by dirt on a Faraday cup 15.例文帳に追加

ＰＩＧ型負イオン源から発生する負イオンを加速し、ターゲット５を正極性の高電位にすることで、ファラデーカップ１５の汚れによるターゲットからの重元素イオン放出を防止する。 - 特許庁

At this time, the measuring device to measure the divergence angle of the ion beam is preferably equipped with a beam splitting slit and a movable Faraday cup.例文帳に追加

このとき、イオンビームの発散角度を測定する測定装置は、ビーム分割スリットと可動式ファラデーカップを具備している構成とするとよい。 - 特許庁

A Faraday cup 8 measuring the current status of an ion beam 3 is disposed on a drive stage 6 carrying a workpiece of an optical element material 7.例文帳に追加

被加工物である光学素子材料７を搭載する駆動ステージ６に、イオンビーム３の電流状態を測定するファラデーカップ８を設置する。 - 特許庁

A removal rate and a removal shape per unit time in processing the optical element material 7 by the ion beam 3 are calculated from output from the Faraday cup 8, and a processing program is made for obtaining a desired processed shape.例文帳に追加

光学素子材料７の加工におけるイオンビーム３による単位時間あたりの除去量および除去形状をファラデーカップ８の出力から算出し、所望の加工形状を得るための加工プログラムを作成する。 - 特許庁

The Faraday cup body 50 is constituted of a material such as high resistance titanium whose volume resistivity is about 10^-6 [Ω.m] and the volume is 150 mm^3.例文帳に追加

ファラデーカップ本体５０は、体積抵抗率が１０^-6［Ω・ｍ］程度以上の高抵抗チタン等の材料で構成されており、その体積は１５０ｍｍ^3以下となっている。 - 特許庁

A bar-shaped member 16 is installed projectingly from the bottom surface 18a of a plate 18 of a Faraday cup 10, and a receiving part 21 is installed on the upper surface 25a of an outer box 25 of a preamplifier device 20.例文帳に追加

棒状部材１６はファラデーカップ１０のプレート１８の底面１８ａから突出するよう取り付けられ、また受け部２１はプリアンプ装置２０の外箱２５の上面２５ａに取り付けられている。 - 特許庁

A focusing stage 30, which is positioned alongside the original recording 1 and is equipped with a knife edge 134 and a Faraday cup 131, is arranged on a slide table 6 of a supporting mechanism 2 which supports the original recording 1.例文帳に追加

原盤１が支持される支持機構部２のスライドテーブル６上に、原盤１のすぐ横に位置してナイフエッジ１３４とファラデーカップ１３１とを備えたフォーカス合わせステージ３０を設ける。 - 特許庁

The amount of current of the electronic beams penetrated through the fine perforations 53 of the membrane 51 is measured by the Faraday cup 55 to decide the degree of adhesion of contamination to the mask 10, in accordance with the degree of deterioration of the amount of penetrating current.例文帳に追加

メンブレン５１の微小開口５３を透過した電子ビームの電流量をファラディカップ５５で測定し、透過電流量の低下の程度に応じてマスク１０へのコンタミネーション付着の程度を判定する。 - 特許庁

The measurement device to measure the parallel degree and the divergence angle is provided with a beam split slit and a movable Faraday cup to measure a current amount of the ion beam passed through the slit.例文帳に追加

また、平行度及び発散角度を測定する測定装置は、ビーム分割スリットと、このビーム分割スリットを透過したビームの電流量を計測する可動式ファラデーカップを具備している構成とした。 - 特許庁

High vacuum inside the microscope body part 2 is influenced on the inside of a Faraday cup 35 by opening a valve 37 of an exhaust passage 36, and an accurate probe current is measured inside the sample chamber 1 held in low vacuum.例文帳に追加

排気路３６のバルブ３７を開いて、鏡体部２内の高真空をファラデーカップ３５内に作用させ、低い真空に保たれた試料室１内で正確なプローブ電流を測定する。 - 特許庁

A heat flux sensor 182 detects the rise of the Faraday cup 181 taking the temperature of a hot bath part 183 as reference, and an electric signal corresponding to the rise is generated.例文帳に追加

ヒートフラックスセンサ１８２は、この熱によるファラディカップ１８１の上昇を熱浴部１８３の温度を基準として検出し、当該上昇に応じた電気信号を発生する。 - 特許庁