「Process Recipe」に関連した英語例文の一覧と使い方(2ページ目) - Weblio英語例文検索

Prepared is a detected light quantity table for an end-point detection part by a polishing process recipe of a polished layer of a semiconductor wafer (S202).例文帳に追加

半導体ウェーハの被研磨層の研磨工程レシピによるエンドポイント検出部の検出光量テーブルを用意するＳ２０２。 - 特許庁

To realize commonalization of a repeated part in a recipe used in a process treatment, in which some steps are executed repeatedly.例文帳に追加

いくつかのステップを繰り返し実行するプロセス処理で使用されるレシピにおいて、繰り返し部分の共通化を実現する。 - 特許庁

In response to determining that at least one requested change shown by the process flow change information is not violating one of process flow rules, the process flow of the recipe is corrected and changed based on the process flow change information.例文帳に追加

プロセスフロー変更情報により示される少なくとも一つの依頼されている変更が、プロセスフロー規則のうちの一つに違反しないとの判断に応答して、プロセスフロー変更情報に基づき、レシピのプロセスフローが修正変更される。 - 特許庁

The method of controlling dimensions of structures formed on the substrate using the etching process includes a step 204 of measuring pre-etching dimensions of the respective elements of a patterned etching mask, a step 206 of adjusting the process recipe of the etching process using the results of the pre-etch measurements, and a step 208 of adjusting the process recipe of the etching process, using the patterned etch mask.例文帳に追加

エッチングプロセスを用いて基板上に形成された構造物の寸法を制御する方法がパターン化されたエッチングマスクのそれぞれの素子のエッチング前の寸法を測定するステップ２０４、前記エッチング前の測定結果を用いてエッチングプロセスのプロセスレシピを調整するステップ２０６及びパターン化されたエッチングマスクを用いてエッチングプロセスを行い、プロセスレシピを調整するステップ２０８を有する。 - 特許庁

A definition file storage section 11 stores a scenario file for allowing a display 2 to display a wizard screen enabling inputting predetermined conditions in a predetermined step in a previously determined reference process recipe, and a partial recipe file prepared in accordance with each of steps in the reference process recipe and defining each of the conditions in each of the corresponding steps.例文帳に追加

定義ファイル記憶部１１には、予め定める基準プロセスレシピ中の所定のステップにおける所定の条件を入力可能なウィザード画面をディスプレイ２に表示させるためのシナリオファイルと、基準プロセスレシピ中の各ステップに対応して用意され、それぞれ対応するステップにおける各条件を規定する部分レシピファイルとが記憶されている。 - 特許庁

In accordance with the specifications, conditions or recipe of the process, a control unit 88 controls the total power and the power ratio of both high frequency waves RF_L1, RF_L2.例文帳に追加

プロセスの仕様、条件またはレシピに応じて制御部８８が両高周波ＲＦ_L1，ＲＦ_L2のトータルパワーおよびパワー比を制御する。 - 特許庁

To obtain a process data collector capable of collecting a process data at a high speed without overburdening a SAN mask communication section and capable of collecting the process data associated with a recipe.例文帳に追加

ＳＡＮマスタ通信部に負荷をかけずに、プロセスデータを高速に収集することができ、また、レシピとの関係付けがされたプロセスデータを収集することができるプロセスデータ収集装置を得ることを目的とする。 - 特許庁

The substrate processing apparatus has a control means for performing a first recipe to process the substrate; and performs a second recipe, to maintain a processing chamber for processing the substrate, when a predetermined period of time elapses, in a state in which the substrate is not fed for the sequential substrate process, after the first recipe is performed, to finalize the predetermined substrate processing.例文帳に追加

本発明に係る基板処理装置は，基板を処理するための第１のレシピを実行する制御手段を備え、前記第１のレシピを実行して所定の基板処理を終了させてから、次の基板処理で使用する基板が投入されない状態で所定時間達したら、前記基板が処理される処理室を保守するための第２のレシピを実行する。 - 特許庁

A control means for simulating the carrying order of the article being processed in the plurality of process chambers on the display means based on the operation recipe is also provided.例文帳に追加

複数のチャンバにおける被処理体の搬送手順を運転レシピに基づいて表示手段上でシミュレートする制御手段を備える。 - 特許庁

Then, the plant structural state data are successively updated according to the control recipe, and the process material states are successively updated by using the behavior model (600).例文帳に追加

次いで、プラント構造状態データを制御レシピに従って順次更新し、プロセス材状態を挙動モデルを用いて逐次更新する（６００）。 - 特許庁

Consequently, the throughput can be prevented from decreasing because of no influence of an increase in download wait time accompanying an increase in amount of information regarding the process recipe.例文帳に追加

プロセスレシピに関する情報量の増加に伴うダウンロード待ち時間の増加に影響されないので、スループットの低下を防止できる。 - 特許庁

METHOD OF SELECTING A GRID MODEL FOR CORRECTING A PROCESS RECIPE FOR GRID DEFORMATIONS IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS AND LITHOGRAPHIC ASSEMBLY USING THE SAME例文帳に追加

リソグラフィ装置における格子変形の処理レシピを修正するための格子モデルの選択方法及び該方法を使用したリソグラフィ・アセンブリ - 特許庁

To provide a recipe cooking process distribution system and server for enabling a person who takes partial charge of a cooking process to refer to the cooking contents of the cooking process assigned to himself or herself without anxiety at any place.例文帳に追加

本発明は、調理工程を分担する分担者が何処でも手軽に自分に割り当てられた調理工程の調理内容を参照することができるレシピ調理工程配信システム及レシピ調理工程配信サーバを提供する。 - 特許庁

To provide a gas injector capable of optimizing the setting of a plurality of injectors for each individual step, process, and/or stage in the working recipe of substrate treatment.例文帳に追加

基板処理の加工レシピにおいて、各個々のステップ、プロセス、および／または段階用に複数のインジェクタの設定を最適化し得るガスインジェクタを提供する。 - 特許庁

Further, by incorporating a function for calculating the offset amount into a recipe creation screen, the optimum condition for the type of the wafer and the process can be created.例文帳に追加

また、レシピ作成画面にこのオフセット量を算出する機能を組み込むことでウェーハの種類や工程に最適な条件作成が可能となる。 - 特許庁

To obtain a uniform coating film by suppressing drying irregularity by performing recipe investigation for suppressing the gradient of surface tension in a drying process.例文帳に追加

乾燥過程における表面張力勾配を抑制するための処方検討を行うことで乾燥ムラを抑制し、均一な塗膜を得ることを課題とする。 - 特許庁

Processing condition according to the result of the measurement is corrected by correcting a parameter of a recipe from a preceding process decision part 35 to a production device control part 60.例文帳に追加

測定結果に基づく加工条件の補正は、先行処理判断部３５から生産装置制御部６０へレシピのパラメータの補正という形で行われる。 - 特許庁

In the case where a specific photographic color reproduction is inappropriate as a result of proofreading after an RIP process, the recipe file RF for the photographic original data PT1 is re-set at the image conversion process part of the output device, and the image conversion process and RIP process are carried out again.例文帳に追加

ＲＩＰ処理後の校正刷りの結果、特定の写真の色再現が不適切な場合は、出力装置の画像変換処理部において当該写真原稿データＰＴ１についてのレシピファイルＲＦを再設定し、再度画像変換処理とＲＩＰ処理とを行う。 - 特許庁

The manufacturing process control system for semiconductor device calculates a recipe, indicative of the conditions for controlling the processing of a semiconductor production apparatus by an operation that uses manufacturing data acquired in the manufacturing process of semiconductor device and a prescribed algorithm, and transmits a previously prepared alternative recipe to a manufacturing management system for managing the semiconductor manufacturing apparatus, when the recipe cannot be derived.例文帳に追加

半導体装置の製造プロセス制御システムは、半導体装置の製造プロセスにおいて取得する製造データと所定のアルゴリズムを用いて行う演算によって半導体製造装置の処理を制御する制御条件を示すレシピの計算をし、前記レシピが導出できなかったときに、半導体製造装置の管理を行う製造管理システムに、予め用意した代替レシピを送信する。 - 特許庁

To provide a method of generating a product recipe to be executed in an automated manufacturing environment by a batch process, so as to define a plurality of logic levels with a product recipe correlated with a plurality of actions, a set of transitions and a set of parameters, and including a phase level with the batch process communicated with a facility by the plurality of actions.例文帳に追加

製品レシピが複数のアクション、一式の遷移および一式のパラメータと関連付けられ、且つ、バッチプロセスが設備と交信するフェーズ・レベルを含む複数の論理レベルを複数のアクションが定義するように自動化製造環境においてバッチプロセスにより実行するために製品レシピを生成する方法の提供。 - 特許庁

A method of manufacturing a semiconductor device includes steps of: inserting a process control system 101 in the route of a network in which a manufacturing execution system 102 and a manufacturing facility 103 made a LAN connection; acquiring the treating result of the last step of a lot with the process control system 101, and rewriting the treatment recipe; and transmitting the treatment recipe rewritten from the process control system 101 to the manufacturing facility 103.例文帳に追加

製造実行システム１０２と製造設備１０３がＬＡＮ接続したネットワークの経路にプロセス制御システム１０１を挿入する工程と、プロセス制御システム１０１でロットの前工程の処理結果を取得し処理レシピを書き換える工程と、プロセス制御システム１０１から製造設備１０３に書き換えた処理レシピを送信する工程とを含む。 - 特許庁

The procedure is executed without delays incurred at critical process steps, and with no additional robots and process modules, other than those required by the recipe and processing requirements of the entering and the exiting lots.例文帳に追加

重要な処理段階で何等の遅延も被ることなく、搬入ロット及び搬出ロットのレシピ及び処理量要件によって求められるもの以外は追加のロボット及び処理モジュールを何も使用しないで実行される。 - 特許庁

The chemical solution staying in the nozzle, etc. is discarded by the pre-dispensing operation, and therefore, the degraded chemical solution is prevented from being supplied to the wafer after the process recipe control is started again.例文帳に追加

プリディスペンス動作により、ノズルなどに溜まった薬液が廃棄されるので、プロセスレシピ制御の再開後に、劣化した薬液がウエハに供給されることを防止できる。 - 特許庁

To provide a substrate processing device capable of reducing the increase of size of a recipe table and a process table even when the kind of substrate is increased which becomes a processing object.例文帳に追加

処理対象となる基板種が増加した場合であっても、レシピテーブルおよびプロセステーブルのサイズの増大を低減することができる基板処理装置を提供する。 - 特許庁

A known standard defect 9 is provided in a sample 2, the defect appearing on a surface of the sample 2 is detected, and prescribed processing recipe evaluation information that varies in response to difference in a processing recipe used in the prescribed production process is acquired, based on a detection result of the standard defect 9.例文帳に追加

試料２に既知の標準欠陥９を設けて、試料２の表面に現れる欠陥を検出し、所定の製造プロセスで使用された処理レシピの相違に応じて変化する所定の処理レシピ評価情報を、標準欠陥９の検出結果に基づいて取得する。 - 特許庁

Concretely, when a step that can shorten a waiting time at which a substrate is made to standby in the process section by reducing the parallel number of processing steps is included in a series of the processing steps described in the recipe, the recipe is determined to be lacked in validity.例文帳に追加

具体的には、レシピに記述された一連の処理工程の中に、当該処理工程の並行数を減じることにより、処理部内で基板が待機させられる待ち時間を短縮できる工程が含まれる場合に、当該レシピを妥当性に欠けるレシピと判断する。 - 特許庁

The control unit 57 changes the number of reciprocative SPM scanning times, decided by a recipe to the number of the reciprocating SPM scanning times corresponding to the data given from the data comparator 63, and controls the process performed by means of a chemical cleaner 13 in accordance with the recipe after being changed.例文帳に追加

洗浄制御部５７は、レシピで定められているＳＰＭ往復スキャン回数を、データ比較部６３から与えられたデータに応じたＳＰＭ往復スキャン回数に変更し、その変更後のレシピに従って、薬液洗浄部１３における処理のための制御を行う。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for depositing a thin film capable of forming stable pressure without being affected by the temporal fluctuation element of the atmosphere in a treatment container, and guaranteeing the process reproducibility without changing the content of a process recipe to the installation conditions, secular changes or the like.例文帳に追加

処理容器内の雰囲気の時間的な変動要素に左右されずに安定した圧力を形成し、設置条件や経年変化等に対してプロセスレシピの内容を変更することなくプロセス再現性を保証すること。 - 特許庁

The procedure is performed with no delays incurred at critical process steps and with no additional robots and process modules other than those called for by the recipe and throughput requirements of the lots to be carried in and out.例文帳に追加

この手順は、重要な処理段階で何等の遅延も被ることなく、搬入ロット及び搬出ロットのレシピ及び処理量要件によって求められるもの以外は追加のロボット及び処理モジュールを何も使用しないで実行される。 - 特許庁

When the determination part determines that the process apparatus is the ordinary state, a correction value calculation part calculates a recipe correction value by using measurement data generated from a measurement instrument arranged behind the process apparatus and the apparatus data.例文帳に追加

プロセス装置が健常状態にあると判定部が判定したときには、補正値演算部はプロセス装置の後続に備えられている測定装置から発される測定データと装置データを用いてレシピの補正値を演算する。 - 特許庁

When a production line controller S controls the existing basic production line A, a data group creation unit 5 stores the first process recipe 1, the process data 2 and the inspection data 3 for the basic production line A in a database 8 while matching each other.例文帳に追加

生産ライン制御装置Ｓは、既存の基幹生産ラインＡを制御する際に、データグループ作成部５で、基幹生産ラインＡ用の第１プロセスレシピ１とプロセスデータ２と検査データ３とを対応付けてデータベース８に蓄積する。 - 特許庁

As a result, even process data which has been worked on and processed by an altered recipe can be divided by process data whose processing contents are the same providing that the added symbol is used to divide when data is analyzed by the arithmetic unit 14, making it possible to collect an appropriate number of process data for which highly accurate data analysis is possible.例文帳に追加

その結果、変更されたレシピで加工処理されたプロセスデータでも、演算装置１４でのデータ分析時に上記付加された記号で分割すれば処理内容が同じプロセスデータ別に分割でき、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集できる。 - 特許庁

In a control program 40, an authority storage 408 stores operator's authority (user authority information) on each attribute value set for the edit type (attribute) of a process recipe (file).例文帳に追加

制御プログラム４０において、権限記憶部４０８は、プロセスレシピ（ファイル）の編集タイプ（属性）に設定される各属性値に対する作業者の権限（ユーザ権限情報）を記憶する。 - 特許庁

In a control program 40, an authority memory 408 stores the authority of an operator (user authority information) for each attribute value set in the editing type (attribute) of a process recipe (file).例文帳に追加

制御プログラム４０において、権限記憶部４０８は、プロセスレシピ（ファイル）の編集タイプ（属性）に設定される各属性値に対する作業者の権限（ユーザ権限情報）を記憶する。 - 特許庁

To provide a manufacturing process control system in which the recipe for controlling the processing of a semiconductor production apparatus can be calculated efficiently, even immediately after the semiconductor manufacturing apparatus has been overhauled.例文帳に追加

半導体製造装置がオーバーホールをした直後でも、半導体製造装置の処理を制御するレシピを効率的に算出することのできる製造プロセス制御システムを提供する。 - 特許庁

A controller 20 of the defect correction device 1 has a recipe database, wherein the data of a pattern of the next process is stored, and determines the defect which will become a problem later, in accordance with an actual image taken in by the CCD camera 6 and the pattern of the next process.例文帳に追加

欠陥修正装置１の制御装置２０には、次工程のパターンのデータが格納されたレシピデータベースを有し、ＣＣＤカメラ６で取り込んだ実際の画像と、次工程のパターンとから後に問題となる欠陥を判定する。 - 特許庁

An arithmetic unit 14 divides process data by step number and searches for divided process data to which the operating condition of reference steps read out from a reference recipe applies, and creates a record table in which the reference step numbers of applicable reference steps and the step numbers of process data are correlated to one another.例文帳に追加

演算装置１４により、プロセスデータをステップ番号別に分割し、基準レシピから読み出された基準ステップの動作条件に該当する上記分割されたプロセスデータを検索し、互いに該当する基準ステップの基準ステップ番号とプロセスデータのステップ番号とを対応付けた記録表を作成する。 - 特許庁

To set the surface of the film on a substrate as the polishing surface and easily determine a polishing recipe to implement the predetermined polishing process when polishing a work on which the uneven surface is formed.例文帳に追加

基板に形成された膜の表面を被研磨面とし、被研磨面に凹凸が形成されているワークを研磨するに際し、その研磨レシピを容易に且つ所望の研磨加工が実施されるように決定する。 - 特許庁

The polishing process recipe of the polished layer is inputted (S204) and the semiconductor wafer is irradiated with light from the end-point detection part to detect the quantity of light reflected by the polished layer (S206).例文帳に追加

被研磨層の研磨工程レシピを入力しＳ２０４、エンドポイント検出部から半導体ウェーハに光を照射して被研磨層から反射すされる光の光量を検出するＳ２０６。 - 特許庁

When a process recipe creation is requested from the controller 12, a transmitting means 2b transmits the arrangement information of the heat treatment system 11 automatically to the data base 51 through the Internet line 3.例文帳に追加

装置コントローラ１２からプロセスレシピ作成要求があったときに、送信手段２ｂは、インターネット回線３を介して熱処理装置１１の構成情報を自動的にデータベース５１へ送信する。 - 特許庁

To provide a processing system device of a workpiece with which a difference between devices is eliminated and the same processing result can be obtained even if a processing is performed in a different processing chamber by using the same process recipe.例文帳に追加

同一のプロセスレシピを用いて異なる処理チャンバで処理を行っても装置間差をなくして同一の処理結果を得ることが可能な被処理体の処理システム装置を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing process control system in which a semiconductor device manufacturing system will not be made to stop, even when an optimal recipe for controlling the processing of a semiconductor production apparatus cannot be derived.例文帳に追加

半導体製造装置の処理を制御する最適なレシピを導出できない場合であっても、半導体装置製造システムを停止させることのない製造プロセス制御システムを提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing device controlling method that avoids acquiring wrong recipe IDs (data related to manufacturing/processing conditions) for a manufacturing device or setting up wrong recipe IDs for a manufacturing device so as to improve the manufacturing device in manufacturing yield, which is suitable for controlling the manufacturing device (e.g., a semiconductor manufacturing apparatus used in a wafer process).例文帳に追加

レシピＩＤ（製造処理条件に関するデータ）を必要とする製造装置（例えば、ウエハ工程で使用する半導体製造装置）を管理する場合に使用して好適な製造装置管理方法に関し、レシピＩＤの取得ミスや製造装置へのレシピＩＤの設定ミスという事態を避け、歩留まりの向上を図ることができるようにする。 - 特許庁

To provide a recipe database information management method for retrieving information, particularly for effectively providing information by linking and managing know-how corresponding to a purpose and the information or the like to be required in a process based on the know-how on the basis of a recipe concept.例文帳に追加

本発明の課題は、情報を検索するレシピデータベース情報管理方法に係り、詳しくは、レシピ概念に基づき、目的に応じた知識（ノウハウ）と知識（ノウハウ）に基づいたプロセスの過程で必要となる情報等とを連携さて管理することによって、効果的に情報を提供するレシピデータベース情報管理方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The cooking information that the user changes in the progress process of the cooking recipe is changed by the operation means 1, and it is displayed on the display means 3, and the control means 5 performs the heating control of a high frequency oscillator 4, etc.例文帳に追加

調理レシピの進行過程においてユーザーが変更する調理情報は、操作手段１により行われ表示手段３に表示し制御手段５により高周波発振器４等の加熱制御を行う。 - 特許庁