「Process Recipe」に関連した英語例文の一覧と使い方(2ページ目) - Weblio英語例文検索

A control means for simulating the carrying order of the article being processed in the plurality of process chambers on the display means based on the operation recipe is also provided.例文帳に追加

複数のチャンバにおける被処理体の搬送手順を運転レシピに基づいて表示手段上でシミュレートする制御手段を備える。 - 特許庁

A definition file storage section 11 stores a scenario file for allowing a display 2 to display a wizard screen enabling inputting predetermined conditions in a predetermined step in a previously determined reference process recipe, and a partial recipe file prepared in accordance with each of steps in the reference process recipe and defining each of the conditions in each of the corresponding steps.例文帳に追加

定義ファイル記憶部１１には、予め定める基準プロセスレシピ中の所定のステップにおける所定の条件を入力可能なウィザード画面をディスプレイ２に表示させるためのシナリオファイルと、基準プロセスレシピ中の各ステップに対応して用意され、それぞれ対応するステップにおける各条件を規定する部分レシピファイルとが記憶されている。 - 特許庁

The substrate processing apparatus has a control means for performing a first recipe to process the substrate; and performs a second recipe, to maintain a processing chamber for processing the substrate, when a predetermined period of time elapses, in a state in which the substrate is not fed for the sequential substrate process, after the first recipe is performed, to finalize the predetermined substrate processing.例文帳に追加

本発明に係る基板処理装置は，基板を処理するための第１のレシピを実行する制御手段を備え、前記第１のレシピを実行して所定の基板処理を終了させてから、次の基板処理で使用する基板が投入されない状態で所定時間達したら、前記基板が処理される処理室を保守するための第２のレシピを実行する。 - 特許庁

The manufacturing process control system for semiconductor device calculates a recipe, indicative of the conditions for controlling the processing of a semiconductor production apparatus by an operation that uses manufacturing data acquired in the manufacturing process of semiconductor device and a prescribed algorithm, and transmits a previously prepared alternative recipe to a manufacturing management system for managing the semiconductor manufacturing apparatus, when the recipe cannot be derived.例文帳に追加

半導体装置の製造プロセス制御システムは、半導体装置の製造プロセスにおいて取得する製造データと所定のアルゴリズムを用いて行う演算によって半導体製造装置の処理を制御する制御条件を示すレシピの計算をし、前記レシピが導出できなかったときに、半導体製造装置の管理を行う製造管理システムに、予め用意した代替レシピを送信する。 - 特許庁

Since the first process recipe 1 of the basic production line A which is producing stably serves as the second process recipe 9 for the new production line B, production of the new production line B is stabilized and the quality of product fulfills a reference level.例文帳に追加

こうして、安定して生産している基幹生産ラインＡの第１プロセスレシピ１を新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９とすることにより、新規生産ラインＢの生産を安定させて製品の品質が基準値を満たすようにする。 - 特許庁

Concretely, when a step that can shorten a waiting time at which a substrate is made to standby in the process section by reducing the parallel number of processing steps is included in a series of the processing steps described in the recipe, the recipe is determined to be lacked in validity.例文帳に追加

具体的には、レシピに記述された一連の処理工程の中に、当該処理工程の並行数を減じることにより、処理部内で基板が待機させられる待ち時間を短縮できる工程が含まれる場合に、当該レシピを妥当性に欠けるレシピと判断する。 - 特許庁

The control unit 57 changes the number of reciprocative SPM scanning times, decided by a recipe to the number of the reciprocating SPM scanning times corresponding to the data given from the data comparator 63, and controls the process performed by means of a chemical cleaner 13 in accordance with the recipe after being changed.例文帳に追加

洗浄制御部５７は、レシピで定められているＳＰＭ往復スキャン回数を、データ比較部６３から与えられたデータに応じたＳＰＭ往復スキャン回数に変更し、その変更後のレシピに従って、薬液洗浄部１３における処理のための制御を行う。 - 特許庁

A known standard defect 9 is provided in a sample 2, the defect appearing on a surface of the sample 2 is detected, and prescribed processing recipe evaluation information that varies in response to difference in a processing recipe used in the prescribed production process is acquired, based on a detection result of the standard defect 9.例文帳に追加

試料２に既知の標準欠陥９を設けて、試料２の表面に現れる欠陥を検出し、所定の製造プロセスで使用された処理レシピの相違に応じて変化する所定の処理レシピ評価情報を、標準欠陥９の検出結果に基づいて取得する。 - 特許庁

To provide a recipe cooking process distribution system and server for enabling a person who takes partial charge of a cooking process to refer to the cooking contents of the cooking process assigned to himself or herself without anxiety at any place.例文帳に追加

本発明は、調理工程を分担する分担者が何処でも手軽に自分に割り当てられた調理工程の調理内容を参照することができるレシピ調理工程配信システム及レシピ調理工程配信サーバを提供する。 - 特許庁

To obtain a process data collector capable of collecting a process data at a high speed without overburdening a SAN mask communication section and capable of collecting the process data associated with a recipe.例文帳に追加

ＳＡＮマスタ通信部に負荷をかけずに、プロセスデータを高速に収集することができ、また、レシピとの関係付けがされたプロセスデータを収集することができるプロセスデータ収集装置を得ることを目的とする。 - 特許庁

A process control model to express a processing content of each process of a process flow is converted into a mathematical expression, a variable in this expression is made to correspond with a data item of an existing database for manufacture, a recipe is decided in accordance with the process control model by making reference to a value registered in the database for manufacture, and a manufacturing facility is operated in accordance with the recipe.例文帳に追加

プロセスフローの各プロセスの処理内容を表すプロセス制御モデルを数式化し、該数式中の変数を既存の製造用データベースのデータ項目と対応付け、該製造用データベースに登録された値を参照しプロセス制御モデルに基づきレシピを決定し、該レシピに基づき製造設備を運転する。 - 特許庁

When an identifier identifying a process recipe and a physical amount corresponding to the target parameter of the process recipe identified by the identifier are input, a processing device calculates correction values of the process recipe identified by the identifier, and respective variable parameters of other process recipes for applying the correspondence relationship thereto based on the identifier, the physical amount and the correspondence relationship, and corrects the process recipes based on the calculated correction values.例文帳に追加

プロセスレシピを特定する識別子、及び当該識別子で特定されるプロセスレシピの目標パラメータに対応する物理量が入力されると、処理装置が、識別子及び物理量と、上記対応関係とに基づいて、識別子で特定されるプロセスレシピ、及び対応関係が適用される他のプロセスレシピの各々の可変パラメータの補正値を算出し、算出された補正値に基づいてプロセスレシピを修正する。 - 特許庁

A method of manufacturing a semiconductor device includes steps of: inserting a process control system 101 in the route of a network in which a manufacturing execution system 102 and a manufacturing facility 103 made a LAN connection; acquiring the treating result of the last step of a lot with the process control system 101, and rewriting the treatment recipe; and transmitting the treatment recipe rewritten from the process control system 101 to the manufacturing facility 103.例文帳に追加

製造実行システム１０２と製造設備１０３がＬＡＮ接続したネットワークの経路にプロセス制御システム１０１を挿入する工程と、プロセス制御システム１０１でロットの前工程の処理結果を取得し処理レシピを書き換える工程と、プロセス制御システム１０１から製造設備１０３に書き換えた処理レシピを送信する工程とを含む。 - 特許庁

Furthermore, the recipe is decided based on the process control model and the process control system consistent with the existing system is formed by operating the respective pieces of manufacturing equipment.例文帳に追加

さらに、プロセス制御モデルに基づきレシピを決定し、各製造設備を運転することで、既存システムと一貫したプロセス制御システムとなる。 - 特許庁

The respective parameters of the process control model are correlated with the respective parameters of the data base or recipe and the manufacturing shop is evaluated in advance based on the process control model.例文帳に追加

プロセス制御モデルの各パラメータをデータベースもしくはレシピの各パラメータと対応付け、プロセス制御モデルに基づき事前に製造ショップを評価する。 - 特許庁

The procedure is executed without delays incurred at critical process steps, and with no additional robots and process modules, other than those required by the recipe and processing requirements of the entering and the exiting lots.例文帳に追加

重要な処理段階で何等の遅延も被ることなく、搬入ロット及び搬出ロットのレシピ及び処理量要件によって求められるもの以外は追加のロボット及び処理モジュールを何も使用しないで実行される。 - 特許庁

When the determination part determines that the process apparatus is the ordinary state, a correction value calculation part calculates a recipe correction value by using measurement data generated from a measurement instrument arranged behind the process apparatus and the apparatus data.例文帳に追加

プロセス装置が健常状態にあると判定部が判定したときには、補正値演算部はプロセス装置の後続に備えられている測定装置から発される測定データと装置データを用いてレシピの補正値を演算する。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for depositing a thin film capable of forming stable pressure without being affected by the temporal fluctuation element of the atmosphere in a treatment container, and guaranteeing the process reproducibility without changing the content of a process recipe to the installation conditions, secular changes or the like.例文帳に追加

処理容器内の雰囲気の時間的な変動要素に左右されずに安定した圧力を形成し、設置条件や経年変化等に対してプロセスレシピの内容を変更することなくプロセス再現性を保証すること。 - 特許庁

To provide a method of generating a product recipe to be executed in an automated manufacturing environment by a batch process, so as to define a plurality of logic levels with a product recipe correlated with a plurality of actions, a set of transitions and a set of parameters, and including a phase level with the batch process communicated with a facility by the plurality of actions.例文帳に追加

製品レシピが複数のアクション、一式の遷移および一式のパラメータと関連付けられ、且つ、バッチプロセスが設備と交信するフェーズ・レベルを含む複数の論理レベルを複数のアクションが定義するように自動化製造環境においてバッチプロセスにより実行するために製品レシピを生成する方法の提供。 - 特許庁

In the case where a specific photographic color reproduction is inappropriate as a result of proofreading after an RIP process, the recipe file RF for the photographic original data PT1 is re-set at the image conversion process part of the output device, and the image conversion process and RIP process are carried out again.例文帳に追加

ＲＩＰ処理後の校正刷りの結果、特定の写真の色再現が不適切な場合は、出力装置の画像変換処理部において当該写真原稿データＰＴ１についてのレシピファイルＲＦを再設定し、再度画像変換処理とＲＩＰ処理とを行う。 - 特許庁

In response to determining that at least one requested change shown by the process flow change information is not violating one of process flow rules, the process flow of the recipe is corrected and changed based on the process flow change information.例文帳に追加

プロセスフロー変更情報により示される少なくとも一つの依頼されている変更が、プロセスフロー規則のうちの一つに違反しないとの判断に応答して、プロセスフロー変更情報に基づき、レシピのプロセスフローが修正変更される。 - 特許庁

As a result, even process data which has been worked on and processed by an altered recipe can be divided by process data whose processing contents are the same providing that the added symbol is used to divide when data is analyzed by the arithmetic unit 14, making it possible to collect an appropriate number of process data for which highly accurate data analysis is possible.例文帳に追加

その結果、変更されたレシピで加工処理されたプロセスデータでも、演算装置１４でのデータ分析時に上記付加された記号で分割すれば処理内容が同じプロセスデータ別に分割でき、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集できる。 - 特許庁

To provide a manufacturing process control system in which a semiconductor device manufacturing system will not be made to stop, even when an optimal recipe for controlling the processing of a semiconductor production apparatus cannot be derived.例文帳に追加

半導体製造装置の処理を制御する最適なレシピを導出できない場合であっても、半導体装置製造システムを停止させることのない製造プロセス制御システムを提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing process control system in which the recipe for controlling the processing of a semiconductor production apparatus can be calculated efficiently, even immediately after the semiconductor manufacturing apparatus has been overhauled.例文帳に追加

半導体製造装置がオーバーホールをした直後でも、半導体製造装置の処理を制御するレシピを効率的に算出することのできる製造プロセス制御システムを提供する。 - 特許庁

In accepting the reproduction instruction from the user of the interrupted reproduction processing, the system control part 20 resumes the reproduction processing of the cooking recipe data, and reproduces the data for display and the voice data corresponding to the next cooking process.例文帳に追加

システムコントロール部２０は、中断した再生処理のユーザからの再開指示を受け付けた場合、料理レシピデータの再生処理を再開し、次の料理過程に対応する表示用データ及び音声データを再生させる。 - 特許庁

To provide a processing system device of a workpiece with which a difference between devices is eliminated and the same processing result can be obtained even if a processing is performed in a different processing chamber by using the same process recipe.例文帳に追加

同一のプロセスレシピを用いて異なる処理チャンバで処理を行っても装置間差をなくして同一の処理結果を得ることが可能な被処理体の処理システム装置を提供する。 - 特許庁

When a process recipe creation is requested from the controller 12, a transmitting means 2b transmits the arrangement information of the heat treatment system 11 automatically to the data base 51 through the Internet line 3.例文帳に追加

装置コントローラ１２からプロセスレシピ作成要求があったときに、送信手段２ｂは、インターネット回線３を介して熱処理装置１１の構成情報を自動的にデータベース５１へ送信する。 - 特許庁

An assigning device writes a management number of a substrate to a recording medium of a first distribution cassette which stores the substrate, and transmits a process flow and the management number including a recipe number corresponding to processing conditions to a host computer.例文帳に追加

付与装置は基板を収納した第１の流通カセットの記録媒体に対し基板の管理番号を書き込み、処理条件に対応するレシピ番号を含む工程フローと管理番号とをホストコンピュータに送信する。 - 特許庁

To obtain a uniform coating film by suppressing drying irregularity by performing recipe investigation for suppressing the gradient of surface tension in a drying process.例文帳に追加

乾燥過程における表面張力勾配を抑制するための処方検討を行うことで乾燥ムラを抑制し、均一な塗膜を得ることを課題とする。 - 特許庁

To provide a substrate processing device capable of reducing the increase of size of a recipe table and a process table even when the kind of substrate is increased which becomes a processing object.例文帳に追加

処理対象となる基板種が増加した場合であっても、レシピテーブルおよびプロセステーブルのサイズの増大を低減することができる基板処理装置を提供する。 - 特許庁

Further, by incorporating a function for calculating the offset amount into a recipe creation screen, the optimum condition for the type of the wafer and the process can be created.例文帳に追加

また、レシピ作成画面にこのオフセット量を算出する機能を組み込むことでウェーハの種類や工程に最適な条件作成が可能となる。 - 特許庁

To set the surface of the film on a substrate as the polishing surface and easily determine a polishing recipe to implement the predetermined polishing process when polishing a work on which the uneven surface is formed.例文帳に追加

基板に形成された膜の表面を被研磨面とし、被研磨面に凹凸が形成されているワークを研磨するに際し、その研磨レシピを容易に且つ所望の研磨加工が実施されるように決定する。 - 特許庁

The polishing process recipe of the polished layer is inputted (S204) and the semiconductor wafer is irradiated with light from the end-point detection part to detect the quantity of light reflected by the polished layer (S206).例文帳に追加

被研磨層の研磨工程レシピを入力しＳ２０４、エンドポイント検出部から半導体ウェーハに光を照射して被研磨層から反射すされる光の光量を検出するＳ２０６。 - 特許庁

The recipe information on a selected cooking menu is sent to the control means 5 within the microcomputer, and this cooking heater performs the control of transmitting the information required in every cooking process to a display means 3 or an operation means 1.例文帳に追加

選択された調理メニューのレシピ情報がマイクロコンピュータ内の制御手段５に送信され、各調理工程毎に必要な情報を表示手段３や操作手段１に伝達する制御を行う。 - 特許庁

To provide a gas injector capable of optimizing the setting of a plurality of injectors for each individual step, process, and/or stage in the working recipe of substrate treatment.例文帳に追加

基板処理の加工レシピにおいて、各個々のステップ、プロセス、および／または段階用に複数のインジェクタの設定を最適化し得るガスインジェクタを提供する。 - 特許庁

In a control program 40, an authority storage 408 stores operator's authority (user authority information) on each attribute value set for the edit type (attribute) of a process recipe (file).例文帳に追加

制御プログラム４０において、権限記憶部４０８は、プロセスレシピ（ファイル）の編集タイプ（属性）に設定される各属性値に対する作業者の権限（ユーザ権限情報）を記憶する。 - 特許庁

To prevent a difference from occurring in a sort recipe between sorting classes, in an automatic defect sorting function, even if a suitable processing parameter is different for each device but a plurality of devices are applied in the same process.例文帳に追加

自動欠陥分類機能では、装置毎に適切な処理パラメータが異なるが同一の工程において複数の装置が運用される場合でも、それぞれの分類レシピにおける分類クラスに差が発生しないようにする。 - 特許庁

In a control program 40, an authority memory 408 stores the authority of an operator (user authority information) for each attribute value set in the editing type (attribute) of a process recipe (file).例文帳に追加

制御プログラム４０において、権限記憶部４０８は、プロセスレシピ（ファイル）の編集タイプ（属性）に設定される各属性値に対する作業者の権限（ユーザ権限情報）を記憶する。 - 特許庁

The cooking information that the user changes in the progress process of the cooking recipe is changed by the operation means 1, and it is displayed on the display means 3, and the control means 5 performs the heating control of a high frequency oscillator 4, etc.例文帳に追加

調理レシピの進行過程においてユーザーが変更する調理情報は、操作手段１により行われ表示手段３に表示し制御手段５により高周波発振器４等の加熱制御を行う。 - 特許庁

The chemical solution staying in the nozzle, etc. is discarded by the pre-dispensing operation, and therefore, the degraded chemical solution is prevented from being supplied to the wafer after the process recipe control is started again.例文帳に追加

プリディスペンス動作により、ノズルなどに溜まった薬液が廃棄されるので、プロセスレシピ制御の再開後に、劣化した薬液がウエハに供給されることを防止できる。 - 特許庁

To convert a process recipe of a substrate processor into a data description format with which data is easily processed, to edit it, to convert a result into a data description format which is used in the processor, and to move it to the processor as it is so as to use it.例文帳に追加

基板処理装置のプロセスレシピをデータ加工が容易なデータ記述形式に変換し、編集した後、その結果を、装置で使用できるデータ記述形式に変換しそのまま装置に移して使用可能にすることにある。 - 特許庁

Processing condition according to the result of the measurement is corrected by correcting a parameter of a recipe from a preceding process decision part 35 to a production device control part 60.例文帳に追加

測定結果に基づく加工条件の補正は、先行処理判断部３５から生産装置制御部６０へレシピのパラメータの補正という形で行われる。 - 特許庁

To provide a polishing method and a polishing apparatus capable of executing a multi-stage polishing process wherein the throughput is enhanced by particularly omitting the measurement of the surface state of substrates between polishing processes as much as possible to the utmost extent and the polishing condition (polishing recipe) is improved.例文帳に追加

特に各段の研磨プロセス間での基板の表面状態の計測を可能な限り省略してスループットを高め、しかも研磨条件（研磨レシピ）を改善させた多段研磨プロセスを行うことができるようにする。 - 特許庁

METHOD OF SELECTING A GRID MODEL FOR CORRECTING A PROCESS RECIPE FOR GRID DEFORMATIONS IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS AND LITHOGRAPHIC ASSEMBLY USING THE SAME例文帳に追加

リソグラフィ装置における格子変形の処理レシピを修正するための格子モデルの選択方法及び該方法を使用したリソグラフィ・アセンブリ - 特許庁

To provide a manufacturing device controlling method that avoids acquiring wrong recipe IDs (data related to manufacturing/processing conditions) for a manufacturing device or setting up wrong recipe IDs for a manufacturing device so as to improve the manufacturing device in manufacturing yield, which is suitable for controlling the manufacturing device (e.g., a semiconductor manufacturing apparatus used in a wafer process).例文帳に追加

レシピＩＤ（製造処理条件に関するデータ）を必要とする製造装置（例えば、ウエハ工程で使用する半導体製造装置）を管理する場合に使用して好適な製造装置管理方法に関し、レシピＩＤの取得ミスや製造装置へのレシピＩＤの設定ミスという事態を避け、歩留まりの向上を図ることができるようにする。 - 特許庁