| 意味 | 例文 |
alignment-markの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1590件
An IJ/camera system control part 40 makes the direction of a substrate 2 placed on each placing stand 5 coincide with the standard straight line based on the alignment mark formed on the substrate 2.例文帳に追加
IJ・カメラ系制御部40は、基板2に形成されたアライメントマークに基づいて、各載置台5に載置された基板2の方向を基準直線に一致させる。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a semiconductor wafer, a method capable of forming an alignment mark in an optional position in the depth direction of the semiconductor wafer by laser beam machining.例文帳に追加
レーザ加工によって半導体ウェーハの深さ方向の任意の位置にアライメントマークを形成することが可能な半導体ウェーハの製造方法を提供すること。 - 特許庁
To form precisely and simply an alignment mark having high resistance to a thermal process and stress on the glass substrate of a flat panel display such as a plasma display panel.例文帳に追加
プラズマディスプレイパネル等のフラットパネルディスプレイのガラス基板上に精度よく、かつ熱プロセスおよび応力に対しての耐性の高いアライメントマークを簡単に形成する。 - 特許庁
To reduce the number of processes when entering identification information into a wafer by utilizing photolithography with an alignment mark formed first as a position reference.例文帳に追加
ウェハに対して、最初に形成されるアライメントマークを位置の基準として、フォトリソグラフィを利用して識別情報を記入する場合において、工程数を少なくする。 - 特許庁
A light irradiation section 1 irradiates a mask M with exposure light, and an alignment microscope 10 receives a projection image of a mask mark MAM, and position coordinates of the projection image are found and stored.例文帳に追加
光照射部1からマスクMに露光光を照射し、アライメント顕微鏡10でマスクマークMAMの投影像を受像し、その位置座標を求め記憶する。 - 特許庁
To mount a resonator at a prescribed position of a circuit board side with high accuracy by providing an alignment mark to the resonator so as to enhance characteristics such as a Q and the reliability.例文帳に追加
共振器に位置合わせマークを設けることにより、共振器を回路基板側の所定位置に高い精度で搭載し、Q値等の特性や信頼性を向上させる。 - 特許庁
A droplet ejection device control section 7 detects the position of an alignment mark from the image data of a circuit board 10A obtained by photographing the circuit board 10A using a camera provided in a carriage 3.例文帳に追加
液滴吐出装置制御部7は、キャリッジ3に設けられたカメラの撮影により得られる回路基板10Aの画像データからアライメントマークの位置を検出する。 - 特許庁
In a semiconductor assembling method, a mother board having a board unit 213 is provided, and an alignment mark 215 for coupling to the ground is disposed at a corner of the board unit 213.例文帳に追加
半導体実装方法により、基板ユニット213を有するマザー基板を提供し、基板ユニット213の角隅に接地連結の位置合わせマーク215を設置する。 - 特許庁
To provide an arrangement and a method that automatically select a substrate alignment mark on a substrate in lithography apparatus or overlay metering target in an overlay meter.例文帳に追加
リソグラフィ装置の基板上で基板アラインメントマークを、またはオーバレイ計量装置でオーバレイ計量目標を自動的に選択する配置構成および方法を提供する。 - 特許庁
To accurately control the formation position of polycrystalline silicon during a crystallization stage by forming an alignment mark on a non-display region, and to form an active layer with optimum characteristics.例文帳に追加
非表示領域にアラインマークを形成して結晶化工程中に多結晶シリコンの形成位置を正確に制御及び最適特性のアクティブ層を形成する。 - 特許庁
To provide an alignment mark, electronic member and the like for simply and accurately aligning a narrow pitched wiring and electrode and the like on an electronic member.例文帳に追加
電子部材上の狭ピッチ化,微細化された配線,電極などの位置合わせを簡単かつ高精度で行うことができるアライメントマーク,電子部材等を提供する。 - 特許庁
A first electromagnetic shield layer 251 is formed and patterned on the lower surface 212 of the mother board and on a group of the half-cut grooves 240 to cover and couple with the alignment mark 215.例文帳に追加
位置合わせマーク215を被覆連結するようにマザー基板の下表面212と半切断溝群240とに第一電磁遮蔽層251をパターン化形成する。 - 特許庁
In this slit plate of the spatial image sensor, the alignment mark to be provided on the slit plate for aligning the slit plate includes a checkered pattern.例文帳に追加
本発明による空間像センサのスリット板は、スリット板を位置合せするためにスリット板上に付けられるアライメントマークが市松模様を含むことを特徴とする。 - 特許庁
An alignment mark 1 is formed by densely arranging patterns of element configuring components in a scribe line region 3 of a reticle 5 used for pattern transfer to the wafer.例文帳に追加
アライメントマーク1は、ウェハに対するパターン転写に用いられるレチクル5のスクライブライン領域3に、素子構成要素のパターンを密集して配置することにより構成されている。 - 特許庁
To provide an illumination device for alignment and an illumination method capable of controlling illumination so as to obtain proper brightness when imaging a positioning mark of a printed circuit board.例文帳に追加
基板の位置決めマークを撮像する際に適当な明るさになるように照明を制御することができるアライメント用照明装置および照明方法を提供する。 - 特許庁
In this process, a second level difference 23 is formed for a polycrystalline silicon film 22, and the second level difference 23 is used as an alignment mark.例文帳に追加
この工程により、多結晶シリコン膜22に対し、第2の段差部23を形成することができ、該第2の段差部23をアライメントマークとして利用することができる。 - 特許庁
Also a through-hole 44A which acts as an optical transparent part is provided in the receiving base 2 at the position corresponding to the alignment mark 33a, provided on the panel substrate 9a.例文帳に追加
また、パネル基板9aに設けられるアライメントマーク33aに対応する位置の受台2には、光学的透明部分として作用する貫通穴44Aが設けられる。 - 特許庁
To provide a plating apparatus which can achieve an automatic process of plating a region having wiring formed thereon in a state that a peripheral part (such as alignment mark portion) of a substrate is masked.例文帳に追加
基板の周縁部(アライメントマーク部など)をマスクした状態で配線形成領域にめっきを行う工程を自動化によって達成できるめっき装置を提供する。 - 特許庁
With the first opening 27 as an alignment mark, at least a third opening 102 corresponding to a second well formation region 4 is formed in the first film 18.例文帳に追加
第1開口27を位置合わせマークに用いて、第1の膜18に、第2のウェル形成領域4に対応した第3開口102を少なくとも形成する。 - 特許庁
In this process, the wiring part 51, 71, substrate mounting terminal 28, alignment mark 55 and driving IC 13 formed in a protruding region 25 are covered with a protective layer.例文帳に追加
その際、張り出し領域25に形成されている配線部分51、71、基板実装端子28、アライメントマーク55、および駆動用IC13を保護層で覆っておく。 - 特許庁
The Web is carried by the control means (20) at the stored Web carrying speed in the period until the first alignment mark is detected in the following printing operation.例文帳に追加
制御手段(20)は、次に発生する印刷動作において、最初の位置合わせマークが検出されるまでの期間を、記憶されたウェブ搬送速度にてウェブ搬送する。 - 特許庁
Then, for example, the post 26 for defense is arranged so that its diameter (maximum diameter) may be, for example, 0.6 μm, and may become larger than a diameter (for example 0.2 μm) of the alignment mark 24.例文帳に追加
そして、例えば、防御用ポスト26は、その径(最大径)が例えば0.6μmであり、アライメントマーク24の径(例えば0.2μm)に対して大きくなるように配設させる。 - 特許庁
The position of the center of rotation of the substrate W is corrected through centering processing using substrate rotation center position information generated by imaging an alignment mark 204 with a low magnification.例文帳に追加
低倍率でアライメントマーク204を撮像した基板回転中心位置情報を用いるセンタリング処理によって基板Wの回転中心位置を位置補正する。 - 特許庁
When the fuse wiring 23 is laser-processed, the target mark 25 included in the same wiring layer is used to perform alignment, thereby enabling a reduction in displacement during processing.例文帳に追加
ヒューズ配線23のレーザ加工の際に、同じ配線層に含まれるターゲットマーク25を用いてアライメントを行なうことにより、加工時の位置ずれを低減することができる。 - 特許庁
A complicated area can be easily designated by designating the mark by handwriting, and the designated area can be reflected on the original image data with high accuracy by performing the alignment.例文帳に追加
手書きでマークを指定することにより複雑な領域を容易に指定でき、位置合わせを行うことにより指定した領域を精度よく元画像データに反映できる。 - 特許庁
To exactly detect the position deviation of a work by picking up the image of an alignment mark formed on a counter surface without positioning an optical image pickup system between works.例文帳に追加
撮像光学系をワークの間に位置させることなく、その対向面に形成されたアライメントマークを撮像して、ワークの位置ずれを正確に検出できるようにする。 - 特許庁
The position of the alignment mark WA is detected by two detection optical systems 10-1 and 10-2 arranged symmetrically to a normal line VL of a wafer W.例文帳に追加
ウエハWの法線VLに対して対称に配置された2つの検出光学系10−1,10−2により、アライメントマークWAの位置が検出される。 - 特許庁
This halftone phase shift mask consists of a halftone phase shift mask structure having resist deposited on the halftone films of wafer alignment mark parts and the light shielding belt parts existing on the outside of pattern forming regions.例文帳に追加
ウェハ合わせマーク部のハーフトーン膜上とパターン形成領域の外側にある遮光帯部にレジストが被着されたハーフトーン位相シフトマスク構造とする。 - 特許庁
To provide a semiconductor device capable of securely preventing misrecognition as an alignment mark by a simple structure by forming a dummy pattern used for a CMP method on a wiring layer.例文帳に追加
CMP法に用いるダミーパターンを配線層に形成し、簡単な構造でアライメントマークとの誤認識を確実に防止し得る半導体装置を提供する。 - 特許庁
To provide a formation means for forming an alignment mark which secures sufficient level difference used for positioning by oxidization of a silicon layer in the wafer where a silicon thin film layer is laminated.例文帳に追加
シリコン薄膜層を積層したウェハに、シリコン層の酸化により位置合せに用いる十分な段差を確保したアライメントマークを形成する手段を提供する。 - 特許庁
The fuse 4b and the alignment mark 4a are formed at the same time by subjecting a metal film formed on the protection film 3 to designated photolithography and anisotropic etching.例文帳に追加
ヒューズ4bとアライメントマーク4aは、保護膜3上に形成された金属膜に所定のフォトリソグラフィと異方性エッチングを施すことにより同時に形成されている。 - 特許庁
An element separating oxide film 2 and a protection film 3 are formed on the main surface of a semiconductor substrate 1, and a fuse 4b and an alignment mark 4a are formed on the protection film 3.例文帳に追加
半導体基板1の主表面に素子分離酸化膜2および保護膜3が形成され、その保護膜3上にヒューズ4bとアライメントマーク4aが形成されている。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a multilayer wiring board that detects an alignment mark reliably and can form a via hole at a precise position corresponding to a conductor circuit.例文帳に追加
位置合わせマークを確実に検出し、導体回路に対応した正確な位置にビア穴を形成することができる多層配線基板の製造方法を提供する。 - 特許庁
A plurality of rectangular patterns 1a are aligned within an imaging screen, and frame width and size of respective rectangle patterns 1a are changed for forming the alignment mark 1.例文帳に追加
複数の矩形パターン1aを撮像画面内に入るように配列し、各々の矩形パターン1aのフレーム幅や大きさを変化させてアライメントマーク1を形成する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a laminated board in which an alignment mark can be exposed easily and surely and in which a yield in its manufacturing operation can be enhanced.例文帳に追加
容易かつ確実に位置合わせマークを露出させることができ、製造時の歩留まりを向上させることのできる積層基板の製造方法を提供すること。 - 特許庁
Finally, the control section determines the conditions for measuring the position of an alignment mark based on the variation calculated for the plurality of measurement conditions, respectively.例文帳に追加
そして、制御部は、かつ複数の計測条件に関してそれぞれ算出されたばらつきに基づいて、アライメントマークの位置を計測する計測条件を決定する。 - 特許庁
The shape of the working region is measured (step 6) with the alignment mark as a standard in the correction process (step 5), and the correction work is applied in accordance with the result of measurement (step 8).例文帳に追加
修正工程(ステップ5)では、アライメントマークを基準にして、加工領域の形状を測定し(ステップ6)、この測定結果に基づいて修正加工を施す(ステップ8)。 - 特許庁
To accurately align a recording pattern center with a rotary axis on front and back sides of a disk without forming any alignment mark in a medium to be transferred in manufacturing of a disk substrate.例文帳に追加
ディスク基板の製造において、被転写媒体にアライメントマークを設けることなく、記録パターン中心と回転軸をディスクの表裏で正確に位置合せすること。 - 特許庁
To provide a semiconductor device capable of suppressing degradation of image recognition accuracy even in a state covered with a permeable film and including an alignment mark, and to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加
透過膜に覆われた状態でも画像認識精度の低下を抑制し得るアライメントマークを備えた半導体装置、および半導体装置の製造方法を得る。 - 特許庁
Solder paste is printed on the surfaces of the first Au layer 51 and the second Au layer on the pad 11 and the alignment mark, and a flux is applied on the surface of the second Au layer.例文帳に追加
パッド11およびアライメントマークの第一Au層51および第二Au層表面にハンダペーストを印刷し、第二Au層表面にフラックスを塗布する。 - 特許庁
In order to accurately match positions of a black matrix 15 and a photo-mask 4a for color filter layers, alignment is performed to match the center of a window 55-1 and the center of an alignment mark 53-1 which is formed when forming the black matrix 15.例文帳に追加
ブラックマトリクス15とカラーフィルタ層用のフォトマスク4aの位置を正確にあわせるために、窓55−1の中心とブラックマトリクス15を形成する時に形成されたアライメントマーク53−1の中心が一致するように位置合わせを行う。 - 特許庁
When the phase shifter pattern is formed by patterning a transparent film 4a, the formation and alignment of the phase shifter pattern with respect to a metallic layer 3 for forming the light shielding film of a mask substrate 2 are executed by using alignment mark patterns disposed at the metallic layer 3.例文帳に追加
透明膜4aをパターニングして位相シフタパターンを形成する際に、マスク基板2の遮光膜形成用の金属層3に設けられた位置合わせマークパターンを用いて、金属層3に対する位相シフタパターンの形成位置合わせを行う。 - 特許庁
The scattered light of near-field light 68 being generated from irradiation light 74 being applied to an alignment mark 61 from an excitation light irradiation means 71 is guided to a detector 137 via a fiber 87 of the probe 62 for alignment.例文帳に追加
励起光照射手段71からアライメントマーク61に対して照射された照射光74により生じた近接場光68の散乱光は、アライメント用プローブ62のファイバ87を介して検出器137へと導光される。 - 特許庁
The phase shift mask is formed by scanning an alignment groove with an electron beam, the groove patterned in a halftone film by using an alignment mark for a photomask, and then patterning a light shielding film by exposure to an electron beam to remove the scanning track.例文帳に追加
フォトマスク用アライメントマークを用いてハーフトーン膜にパターニングされたアライメント用溝部を電子ビームによりスキャンした後、スキャン跡を除去するように電子ビーム露光を用いて遮光膜をパターニングすることにより位相シフトマスクを形成する。 - 特許庁
By selecting the optical filter 17 of transmission wavelength corresponding to the thickness of the transparent electrode 12, light from the white light source is irradiated toward the alignment mark 13 through the optical filter 17, the alignment work of the shadow mask 14 and the transparent substrate 11 is carried out.例文帳に追加
透明電極12の厚さに対応する透過波長の光学フィルタ17を選択して、その光学フィルタ17を介してアライメントマーク13に向けて白色光源からの光を照射してシャドーマスク14と透明基板11とのアライメント作業を行う。 - 特許庁
An alignment mask 30 is used to perform batch exposure on a plurality of semiconductor chip areas 5 of a first semiconductor wafer 1, and a first alignment mark 2 is formed in each of the plurality of semiconductor chip areas 5 of the first semiconductor wafer 1.例文帳に追加
アライメントマスク30を用いて、第1半導体ウェハ1の複数の半導体チップ領域5に対して一括露光を行って、第1半導体ウェハ1の複数の半導体チップ領域5のそれぞれに第1アライメントマーク2を形成する。 - 特許庁
To provide a semiconductor manufacturing equipment, constituted of a pattern recognition device for recognizing a pattern of a mark and an alignment device for determining the alignment condition of a wafer, based on the output of the pattern recognition device.例文帳に追加
標識のパターンを認識するパターン認識装置と、パターン認識装置の出力からウェーハの整合状態を決定する整合装置とを有する、整合状態の決定装置を備える、半導体の製造装置を提供することである。 - 特許庁
A memory stores at least one set of positions of substrate alignment marks or overlay metering targets can be used for selection, and a selection rule for selecting an appropriate substrate alignment mark or overlay metering target from the at least one set.例文帳に追加
メモリは、選択に使用可能な1つまたは複数のセットの基板アラインメントマークまたはオーバレイ計量目標の位置と、この少なくとも1つのセットから適切な基板アラインメントマークまたはオーバレイ計量目標を選択する選択規則とを記憶する。 - 特許庁
The amount of shift between the position of the plate-side mark PPM transferred to the adjustment substrate AW and the position of the substrate-side mark WM is measured to calculate an alignment correction amount of the adjustment substrate AW relative to the printing plate on the basis of the amount of shift.例文帳に追加
調整用基板AWに転写された版側マークPPMの位置と基板側マークWMの位置とのずれ量を測定し、そのずれ量に基づいて印刷版に対する調整用基板AWの位置調整補正量を算出する。 - 特許庁
A cross mark 7 whose point of intersection indicates a center-of-gravity position on the retroreflective sheet 4 is marked off on the target face 3, and alignment marks 8 are formed in positions in points of intersection of perpendicular projections to the mounting face 5 of the cross mark 7 with edges on the mounting face 5.例文帳に追加
ターゲット面3には、その交点が再帰性反射シート4の重心位置を示すクロスマーク7が罫書かれており、クロスマーク7の取り付け面5への垂直射影と取り付け面5エッジとの交点の位置に、合せマーク8が設けられている。 - 特許庁
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